真空吸附裝置及其操作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種真空吸附裝置及其方法，包括：底座1、柔性吸附盤2、吸附盤定位裝置3、工件定位裝置5以及接頭及管件6；柔性吸附盤2安裝于吸附盤定位裝置3上；吸附盤定位裝置3安裝于底座1上；吸附盤定位裝置3設置有內(nèi)孔；工件定位裝置5安裝于底座1四周，工件定位裝置5用于通過移動來調(diào)整工件4相對于底座1的位置；吸附盤定位裝置3下部通過接頭及管件6與真空泵相連接，并用于通過柔性吸附盤2變形完成柔性吸附盤2對工件4的吸附，使工件4與底座1上端面緊密貼合。本發(fā)明可以顯著提高光學玻璃、陶瓷材料、不銹鋼以及其他非鐵磁性材料工件定位精度。
【專利說明】真空吸附裝置及其操作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明屬于機械工程【技術領域】，具體為一種真空吸附裝置及操作方法。
【背景技術】
[0002]光學玻璃、陶瓷材料、不銹鋼以及其他非鐵磁性材料廣泛應用于精密儀器、高精度測量儀器中。而在該類材料加工過程中，真空吸附裝置應用廣泛。以激光慣性約束核聚變實驗為例，需要眾多高精度大尺寸光學玻璃，而磨削作為主要加工手段，對光學玻璃平面磨削的安裝精度提出了非常高的要求，現(xiàn)有真空夾具難以滿足定位精度。因此，需要一種可靠方便的真空吸附裝置及其操作方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對現(xiàn)有技術中缺陷，本發(fā)明的目的在于克服了現(xiàn)有的真空夾具的不足，提供了一種真空吸附裝置及操作方法。
[0004]根據(jù)本發(fā)明提供的真空吸附裝置，包括:底座1、柔性吸附盤2、吸附盤定位裝置3、工件定位裝置5以及接頭及管件6 ；
[0005]柔性吸附盤2安裝于吸附盤定位裝置3上；吸附盤定位裝置3安裝于底座I上；吸附盤定位裝置3設置有內(nèi)孔；工件定位裝置5安裝于底座I四周，工件定位裝置5用于通過移動來調(diào)整工件4相對于底座I的位置；吸附盤定位裝置3下部通過接頭及管件6與真空泵相連接，并用于通過柔性吸附盤2變形完成柔性吸附盤2對工件4的吸附，使工件4與底座I上端面緊密貼合。
[0006]優(yōu)選地，還包括工件4，其中，柔性吸附盤2與工件4緊密貼合形成空腔，且此空腔內(nèi)的氣體壓力能夠自由調(diào)節(jié)，用于吸附工件4。
[0007]優(yōu)選地，吸附盤定位裝置3與底座I的相對位置能夠進行調(diào)整。
[0008]優(yōu)選地，內(nèi)孔能夠使柔性吸附盤2與工件4之間的氣體通過。
[0009]根據(jù)本發(fā)明提供的上述的真空吸附裝置的操作方法，包括如下操作步驟:
[0010]首先，將底座I固定在所要安裝的磨床工作臺之上；
[0011]其次，對底座I上端面進行平面磨削，保證裝置上端面的平面度以及與磨床工作臺平面的平行度；
[0012]再次，調(diào)整吸附盤定位裝置3使柔性吸附盤2相對于底座I位于合適位置；
[0013]之后，利用真空吸附裝置四周的工件定位裝置5定位工件4位置；
[0014]最后，利用真空泵通過接頭及管件6對柔性吸附盤2與工件4形成的空腔抽真空，柔性吸附盤2產(chǎn)生變形，并帶動工件4與底座I上端面貼合，完成工件4的定位裝夾。
[0015]與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明具有如下的有益效果:
[0016]本發(fā)明通過真空吸附裝置及操作方法的采用，可以顯著提高光學玻璃、陶瓷材料、不銹鋼以及其他非鐵磁性材料工件定位精度。【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本發(fā)明的其它特征、目的和優(yōu)點將會變得更明顯:
[0018]圖1、圖2是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖中:
[0020]I為底座；
[0021]2為柔性吸附盤；
[0022]3為吸附盤定位裝置；
[0023]4為工件；
[0024]5為工件定位裝置；
[0025]6為接頭及管件。
【具體實施方式】
[0026]下面結(jié)合具體實施例對本發(fā)明進行詳細說明。以下實施例將有助于本領域的技術人員進一步理解本發(fā)明，但不以任何形式限制本發(fā)明。應當指出的是，對本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進。這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。
[0027]如圖1、圖2所示，在本實施例中，一種真空吸附裝置包括:底座1、柔性吸附盤2、吸附盤定位裝置3、工件4、工件定位裝置5、接頭及管件6。
[0028]柔性吸附盤2與工件4緊密貼合形成空腔，且此空腔內(nèi)的氣體壓力可以自由調(diào)節(jié)，用于吸附工件4 ;柔性吸附盤2固定于吸附盤定位裝置3上；吸附盤定位裝置3固定于底座I上，并可對吸附盤定位裝置3相對底座I的位置進行調(diào)整；吸附盤定位裝置3有內(nèi)孔，可以使柔性吸附盤2與工件4之間的氣體通過；工件定位裝置5固定于底座I四周，通過工件定位裝置移動調(diào)整工件4相對于底座I的位置；吸附盤定位裝置3下部通過接頭及管件6與真空泵相連接，并通過柔性吸附盤2變形完成柔性吸附盤2對工件4的吸附，使工件4與底座I上端面緊密貼合。
[0029]本發(fā)明工作時，首先，將底座I固定在所要安裝的磨床工作臺之上；其次，對底座I上端面進行平面磨削，保證裝置上端面的平面度以及與磨床工作臺平面的平行度；再次，調(diào)整吸附盤定位裝置3使柔性吸附盤2相對于底座I位于合適位置；之后，利用真空吸附裝置四周的工件定位裝置5定位工件4位置；最后，利用真空泵通過接頭及管件6對柔性吸附盤2與工件4形成的空腔抽真空，柔性吸附盤2產(chǎn)生變形，并帶動工件4與底座I上端面貼合，完成工件4的定位裝夾。
[0030]以上對本發(fā)明的具體實施例進行了描述。需要理解的是，本發(fā)明并不局限于上述特定實施方式，本領域技術人員可以在權(quán)利要求的范圍內(nèi)做出各種變形或修改，這并不影響本發(fā)明的實質(zhì)內(nèi)容。
【權(quán)利要求】
1.一種真空吸附裝置，其特征在于，包括:底座(I)、柔性吸附盤(2)、吸附盤定位裝置(3)、工件定位裝置(5)以及接頭及管件(6)； 柔性吸附盤(2)安裝于吸附盤定位裝置(3)上；吸附盤定位裝置(3)安裝于底座(I)上；吸附盤定位裝置(3)設置有內(nèi)孔；工件定位裝置(5)安裝于底座(I)四周，工件定位裝置(5)用于通過移動來調(diào)整工件(4 )相對于底座(I)的位置；吸附盤定位裝置(3 )下部通過接頭及管件(6 )與真空泵相連接，并用于通過柔性吸附盤(2 )變形完成柔性吸附盤(2 )對工件(4 )的吸附，使工件(4)與底座(I)上端面緊密貼合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空吸附裝置，其特征在于，還包括工件(4)，其中，柔性吸附盤(2)與工件(4)緊密貼合形成空腔，且此空腔內(nèi)的氣體壓力能夠自由調(diào)節(jié)，用于吸附工件(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空吸附裝置，其特征在于，吸附盤定位裝置(3)與底座(I)的相對位置能夠進行調(diào)整。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空吸附裝置，其特征在于，內(nèi)孔能夠使柔性吸附盤(2)與工件(4)之間的氣體通過。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空吸附裝置的操作方法，其特征在于，包括如下操作步驟: 首先，將底座(I)固定在所要安裝的磨床工作臺之上； 其次，對底座(I)上端面進行平面磨削，保證裝置上端面的平面度以及與磨床工作臺平面的平行度； 再次，調(diào)整吸附盤定位裝置(3)使柔性吸附盤(2)相對于底座(I)位于合適位置； 之后，利用真空吸附裝置四周的工件定位裝置(5)定位工件(4)位置； 最后，利用真空泵通過接頭及管件(6)對柔性吸附盤(2)與工件(4)形成的空腔抽真空，柔性吸附盤(2 )產(chǎn)生變形，并帶動工件(4 )與底座(I)上端面貼合，完成工件(4 )的定位裝夾。
【文檔編號】B24B41/06GK103737488SQ201410003032
【公開日】2014年4月23日 申請日期:2014年1月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月3日
【發(fā)明者】姚振強, 忻曉蔚, 徐正松, 胡俊, 孫姚飛, 許勝 , 侯耀宗 申請人:上海交通大學