一種用于泡沫鎳生產(chǎn)的高效節(jié)能型高真空獲取設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及泡沫鎳生產(chǎn)領(lǐng)域，特別涉及一種用于泡沫鎳生產(chǎn)的高效節(jié)能型高真空獲取設(shè)備。它包括真空室及分別與真空室連接的兩個(gè)擴(kuò)散泵，其特征是：每個(gè)擴(kuò)散泵依次連接一個(gè)羅茨泵和一個(gè)旋片泵；所述真空室還與第一羅茨泵和第二羅茨泵分別連接，第一羅茨泵和第二羅茨泵又分別與一個(gè)滑閥泵連接。本實(shí)用新型既能保證設(shè)備真空體系獲取過程抽空效率，又能降低真空體系維持過程的能耗。
【專利說(shuō)明】一種用于泡沬鎳生產(chǎn)的高效節(jié)能型高真空獲取設(shè)備
[0001](一)【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本實(shí)用新型涉及泡沫鎳生產(chǎn)領(lǐng)域，特別涉及一種用于泡沫鎳生產(chǎn)的高效節(jié)能型高真空獲取設(shè)備。
[0003](二)【背景技術(shù)】
[0004]泡沫鎳是一種具有海綿狀三維多孔結(jié)構(gòu)的金屬鎳材料，連續(xù)泡沫鎳的規(guī)?；a(chǎn)開始于21世紀(jì)初，是一種應(yīng)用領(lǐng)域廣泛的新技術(shù)材料。泡沫鎳可用于鎳氫電池、燃料電池的電極材料，汽車催化劑轉(zhuǎn)換器、催化燃燒、柴油車黑煙凈化器的催化劑載體，可用作過濾器材料，處理流體中磁性粒子的磁流導(dǎo)體，用于儲(chǔ)氫媒介、熱交換媒介。
[0005]泡沫鎳產(chǎn)品的生產(chǎn)流程為模芯導(dǎo)電化處理、電沉積、氧化還原、分切包裝。模芯導(dǎo)電化處理工序產(chǎn)品的質(zhì)量直接影響到最終泡沫鎳產(chǎn)品的多項(xiàng)物理化學(xué)性能，是泡沫鎳生產(chǎn)的關(guān)鍵工序。
[0006]模芯導(dǎo)電化處理可采用真空磁控濺射鍍鎳、化學(xué)鍍鎳或浸涂導(dǎo)電膠的方法。真空磁控濺射鍍鎳工藝具有產(chǎn)品純度高、無(wú)污染，成品阻值均勻等顯著優(yōu)勢(shì)，在泡沫鎳生產(chǎn)中已逐步替代化學(xué)鍍鎳和浸涂導(dǎo)電膠工藝。
[0007]用于連續(xù)泡沫鎳生產(chǎn)的模芯導(dǎo)電化處理過程的真空磁控濺射過程要在KT1Pa高真空環(huán)境下進(jìn)行，并且通有一定量的氬氣，模芯材料也有一定的放氣量。為了保證生產(chǎn)效率與運(yùn)行成本符合規(guī)模化生產(chǎn)的需求，這就要求真空磁控濺射設(shè)備具有將真空度在較短時(shí)間內(nèi)(小于10分鐘)由IO5Pa提升至5X 10°Pa的高效的抽空速率的真空獲取系統(tǒng)，同時(shí)又具有順利抽出生產(chǎn)過程中濺射時(shí)的氣體釋放、氬氣的通入和模芯材料放氣，保持NX KT1Pa真空度的低能耗真空維持系統(tǒng)。
[0008]目前國(guó)內(nèi)用于泡沫鎳生產(chǎn)的真空鍍?cè)O(shè)備真空獲取系統(tǒng)普遍采用由滑閥泵、羅茨泵與擴(kuò)散泵組成，為能夠滿足高效抽空速率的要求滑閥泵、羅茨泵的配置功率很高。一般容積在IOm3的真空室獲取設(shè)備配置兩套H-150滑閥泵和ZJP-1200羅茨泵，其功率分別為15kw和llkw。在真空度達(dá)到生產(chǎn)要求后繼續(xù)用上述設(shè)備來(lái)維持生產(chǎn)過程真空度。由于體系真空度維持過程對(duì)滑閥泵、羅茨泵能力要求顯著降低，造成真空維持過程設(shè)備能力嚴(yán)重過剩，造成較大能源浪費(fèi)。
[0009](三)
【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本實(shí)用新型為了彌補(bǔ)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供了一種既能保證設(shè)備真空體系獲取過程抽空效率，又能降低真空體系維持過程的低能耗的用于泡沫鎳生產(chǎn)的高效節(jié)能型高真空獲取設(shè)備。
[0011]本實(shí)用新型是通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0012]一種用于泡沫鎳生產(chǎn)的高效節(jié)能型高真空獲取設(shè)備，包括真空室及分別與真空室連接的兩個(gè)擴(kuò)散泵，其特征是:每個(gè)擴(kuò)散泵依次連接一個(gè)羅茨泵和一個(gè)旋片泵；所述真空室還與第一羅茨泵和第二羅茨泵分別連接，第一羅茨泵和第二羅茨泵又分別與一個(gè)滑閥泵連接。
[0013]本實(shí)用新型的有益效果是:[0014]本實(shí)用新型既能保證設(shè)備真空體系獲取過程抽空效率，又能降低真空體系維持過程的能耗。
[0015](四)【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明。
[0017]圖1為本實(shí)用新型的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖中，I真空室，2擴(kuò)散泵，3羅茨泵，4旋片泵，5第一羅茨泵，6第二羅茨泵，7滑閥栗。
[0019](五)【具體實(shí)施方式】
[0020]附圖為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例。如圖1所示，該種用于泡沫鎳生產(chǎn)的高效節(jié)能型高真空獲取設(shè)備，包括真空室1，真空室I兩側(cè)分別連接一個(gè)擴(kuò)散泵2，每個(gè)擴(kuò)散泵2依次連接一個(gè)羅茨泵3和一個(gè)旋片泵4 ;真空室I兩側(cè)還分別與第一羅茨泵5和第二羅茨泵6連接，第一羅茨泵5和第二羅茨泵6又分別與一個(gè)滑閥泵7連接，該處使用的第一羅茨泵5和第二羅茨泵6的型號(hào)為ZJP1200，滑閥泵7的型號(hào)為H-150。
[0021]設(shè)備剛開始運(yùn)行時(shí)，滑閥泵7工作，然后啟動(dòng)第一羅茨泵5和第二羅茨泵6，這樣可以實(shí)現(xiàn)快速抽空；當(dāng)真空度達(dá)到小于5Pa時(shí)，排氣量已經(jīng)很少，這時(shí)開啟擴(kuò)散泵2，關(guān)閉滑閥泵7、第一羅茨泵5和第二羅茨泵6，在生產(chǎn)效能不變的情況下實(shí)現(xiàn)節(jié)能降耗。
[0022]節(jié)電效果分析如下:
[0023]原配置生產(chǎn)過程中電機(jī)消耗:
[0024](15+11) X2=52 (kw)，每小時(shí)耗電 52kwh。
[0025]增加維持系統(tǒng)后生產(chǎn)過程中電機(jī)消耗:
[0026]5.2 X 2=10.4 (kw),每小時(shí)耗電 8kwh。
[0027]由此可以得出每小時(shí)節(jié)電量:52-10.4=41.6 (kwh)
[0028]除說(shuō)明書所述技術(shù)特征外，其余技術(shù)特征均為本領(lǐng)域技術(shù)人員已知技術(shù)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于泡沫鎳生產(chǎn)的高效節(jié)能型高真空獲取設(shè)備，包括真空室(I)及分別與真空室(I)連接的兩個(gè)擴(kuò)散泵(2)，其特征是:每個(gè)擴(kuò)散泵(2)依次連接一個(gè)羅茨泵(3)和一個(gè)旋片泵(4);所述真空室(I)還與第一羅茨泵(5)和第二羅茨泵(6)分別連接，第一羅茨泵(5)和第二羅茨泵(6)又分別與一個(gè)滑閥泵(7)連接。
【文檔編號(hào)】C23C14/56GK203754801SQ201320861669
【公開日】2014年8月6日 申請(qǐng)日期:2013年12月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月25日
【發(fā)明者】畢研文, 王乃用, 劉俊林, 宋小斌, 李偉, 江衍勤, 孟國(guó)強(qiáng), 田利 申請(qǐng)人:菏澤天宇科技開發(fā)有限責(zé)任公司