磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線前、后粗抽真空室的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線前、后粗抽真空室，包括真空室、上蓋板、傳動軸、外真空鎖、內(nèi)真空鎖，其中，兼作玻璃板的進出通道的外真空鎖設(shè)置在真空室左端的側(cè)壁上，兼作真空室進出口的內(nèi)真空鎖設(shè)置在真空室右端側(cè)壁上；上蓋板呈凹形，其除外周密封用方框外，中間部份整體下凹，下凹部分的下表面與真空室左側(cè)壁頂端的上密封法蘭框底面平齊，上蓋板與真空室左右側(cè)壁之間通過真空室上密封法蘭框連接；真空室右端部分的高度大于其左端部分的高度，在其右端的頂部設(shè)置有真空鎖維修蓋，真空室整體呈臺階式矩形結(jié)構(gòu)，其底部每相鄰兩個傳動軸之間設(shè)置有若干兩端密閉的方鋼。本實用新型最大限度地減少了真空室內(nèi)非工藝必需的冗余空間。
【專利說明】磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線前、后粗抽真空室
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線前、后真空室，特別涉及一種磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線前、后粗抽真空室。
【背景技術(shù)】
[0002]磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線生產(chǎn)過程中，粗抽真空室每個生產(chǎn)分步驟的工序流程依次是:開外真空鎖、進玻璃板、關(guān)外真空鎖、抽真空、開內(nèi)真空鎖、出玻璃板、關(guān)內(nèi)真空鎖、破真空充氣恢復(fù)大氣壓。除抽真空工序外，其他各工序所需的時間基本固定不變。因此,抽真空時間的長短決定了整個生產(chǎn)過程的生產(chǎn)效率。
[0003]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的粗抽真空室結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，粗抽真空室由左、右側(cè)壁、底板和上蓋板圍成一個密閉的整體呈矩形結(jié)構(gòu)空間，其中上蓋板為可拆卸連接，其通過左、右側(cè)壁上部的真空室上密封法蘭框連接；左、右兩端側(cè)壁分別設(shè)置有外真空鎖和內(nèi)真空鎖，真空室的下部間隔設(shè)置有若干傳動軸。
[0004]真空室還設(shè)置有玻璃板進出的通道，該通道只在玻璃板進出真空室時才打開，其他時間該通道由外真空鎖封閉。從上述真空室的結(jié)構(gòu)可以看出，由于需要安裝內(nèi)真空鎖，其內(nèi)部空間很大。生產(chǎn)過程中，粗抽真空室空間越大,則其抽真空和破真空所需的時間就較長，整個工藝流程所需的時間也就越長。所以，真空室空間的大小直接決定了單位時間內(nèi)的產(chǎn)量和生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率。
[0005]從圖1可以看出，現(xiàn)有技術(shù)中的粗抽真空室結(jié)構(gòu)形式?jīng)Q定了其內(nèi)部空間必然很大，而且，在真空室工作過程中，其無效或者無法有效利用的空間占比較大。即，現(xiàn)有技術(shù)中的粗抽真空室結(jié)構(gòu)和布置存在諸多的不合理之處，其真空室存在較多的冗余空間。
實用新型內(nèi)容
[0006]本實用新型的目的是，提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、布置合理、冗余空間小的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線前、后粗抽真空室。
[0007]本實用新型要解決的技術(shù)問題是，在保證工藝要求的同時，盡可能減小真空室的冗余空間，以縮短抽真空和破真空所需要的時間，減少無謂的能源消耗，提高單位時間的產(chǎn)量和生產(chǎn)效率。
[0008]本實用新型為解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是，一種磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線前、后粗抽真空室，包括真空室、上蓋板、傳動軸、外真空鎖、內(nèi)真空鎖，其中，兼作玻璃板的進出通道的外真空鎖設(shè)置在真空室左端的側(cè)壁上，兼作真空室進出口的內(nèi)真空鎖設(shè)置在真空室右端側(cè)壁上，上述真空室右端部分的高度大于其左端部分的高度，其整體呈臺階式矩形結(jié)構(gòu)，真空室的右端的頂部設(shè)置有真空鎖維修蓋，上蓋板呈凹形，其除外周密封用方框夕卜，中間部份整體下凹，上蓋板的下凹部分的下表面與所述真空室左側(cè)壁頂端的上密封法蘭框底面平齊，上蓋板與真空室左右側(cè)壁之間通過上述真空室上密封法蘭框連接。
[0009]上述磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線前、后粗抽真空室，由于其采用了左、右兩端呈臺階式的矩形結(jié)構(gòu)，其中左端高度相對較低的空間部分用于真空室的工作空間，右端高度相對較高的空間部分用于設(shè)置真空鎖維修蓋，以保證檢修人員能夠進出真空室以便維修右端側(cè)壁上的兼作真空室進出口的內(nèi)真空鎖。S卩，本實用新型的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線前、后粗抽真空室相對于現(xiàn)有技術(shù)，其除安裝內(nèi)真空鎖的右端側(cè)壁部份的空間保持原高度外，其余部份的空間高度均降至與玻璃板通道口的上表面的高度平齊。因而，在滿足玻璃板能自由進出真空室和保證檢修人員能夠進出真空室以便維修右端側(cè)壁上的內(nèi)真空鎖的前提下，最大限度地減小了磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線前、后粗抽真空室的內(nèi)部空間。
[0010]作為優(yōu)選，上述真空室的底部每相鄰兩個傳動軸之間的空間內(nèi)設(shè)置有若干兩端密閉的方鋼。
[0011]該優(yōu)選技術(shù)方案中，在真空室的底部每相鄰兩個傳動軸之間的空間內(nèi)設(shè)置有若干兩端密閉的方鋼，其中兩端封閉的方鋼僅僅只是起填充作用，從而減小真空室內(nèi)空氣可能占據(jù)的空間。上述技術(shù)方案的作用或技術(shù)效果是，最大限度地減少了真空室內(nèi)非工藝必需的冗余空間。
[0012]作為優(yōu)選，上述傳動軸為空心管軸，其中段部分為空心管，兩個軸頭分別焊接在空心管的兩端。
[0013]由于傳動軸通過滾動帶動其上面的玻璃板在水平方向進行左或右移動，其負荷不大，采用空心管結(jié)構(gòu)的傳動軸可以降低設(shè)備自重，有利于減少電能消耗和節(jié)省設(shè)備制作的材料。
[0014]從上述技術(shù)方案可以看出，本實用新型的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線前、后粗抽真空室的結(jié)構(gòu)直接帶來了以下技術(shù)效果:
[0015]真空室的冗余空間小，最大限度地縮短了抽真空破真空所需的時間，最大限度地減少了抽真空與破真空過程的動力消耗量，節(jié)約了生產(chǎn)成本；并且，相應(yīng)地縮短了整個生產(chǎn)線生產(chǎn)周期，提高了單位時間的產(chǎn)量和生產(chǎn)效率。
[0016]另一方面，本實用新型在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上通過簡單地技術(shù)改造完成，其制作成本低、結(jié)構(gòu)簡單，既能滿足工藝使用要求，又方便維修。
[0017]本實用新型的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線前、后粗抽真空室，其內(nèi)部空間約為現(xiàn)有技術(shù)的矩形真空室結(jié)構(gòu)內(nèi)部空間的一半；由于其最大限度地減小了真空室內(nèi)非工藝必需的冗余空間；本實用新型的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線前、后粗抽真空室其內(nèi)部實際可供空氣占據(jù)的總空間約為現(xiàn)有技術(shù)的矩形結(jié)構(gòu)的真空室的四分之一左右。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的粗抽真空室結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2為本實用新型的粗抽真空室結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖對本實用新型作更進一步的說明
[0021]如圖2所示，本實用新型的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線前、后粗抽真空室5整體呈臺階式矩形結(jié)構(gòu)，真空室內(nèi)分別設(shè)置有上蓋板2、傳動軸4、兩端密閉的方鋼3、內(nèi)真空鎖維修蓋6、兼作玻璃板的進出通道9的外真空鎖1、兼作真空室進出口的內(nèi)真空鎖7。[0022]結(jié)合附圖1和圖2可以看出，上述臺階式矩形真空室5，其右端安裝內(nèi)真空鎖7的部份的空間高度較真空室左端空間的高度高，其目的是保證檢修人員能夠進出真空室以便維修右端側(cè)壁上的兼作真空室進出口的內(nèi)真空鎖7，右端安裝內(nèi)真空鎖部份的空間的長度方面，只需滿足維修人員進入真空室內(nèi)部便于維修真空鎖所需的距離即可；
[0023]真空室左端部份空間的高度與玻璃板通道口的上表面平齊；
[0024]上蓋板2除其左端與上蓋外方框10接觸面外，其中間部份整體下凹。該下凹部分的下表面與真空室左側(cè)壁頂端的上密封法蘭框8的底面平齊，上蓋板與真空室左右側(cè)壁之間通過真空室上密封法蘭框8連接；
[0025]在真空室的底部每相鄰兩個傳動軸4之間設(shè)置有若干兩端密閉的方鋼3。
【權(quán)利要求】
1.一種磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線前、后粗抽真空室，包括真空室、上蓋板、傳動軸、外真空鎖、內(nèi)真空鎖，其中，兼作玻璃板的進出通道的外真空鎖設(shè)置在真空室左端的側(cè)壁上，兼作真空室進出口的內(nèi)真空鎖設(shè)置在真空室右端側(cè)壁上，其特征在于，所述真空室右端部分的高度大于其左端部分的高度，其整體呈臺階式矩形結(jié)構(gòu)，所述真空室的右端的頂部設(shè)置有真空鎖維修蓋，所述上蓋板呈凹形，其除外周密封用方框外，中間部分整體下凹，所述上蓋板的下凹部分的下表面與所述真空室左側(cè)壁頂端的上密封法蘭框底面平齊，所述上蓋板與真空室左右側(cè)壁之間通過所述真空室上密封法蘭框連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線前、后粗抽真空室，其特征在于，所述真空室的底部每相鄰兩個傳動軸之間的空間內(nèi)設(shè)置有若干兩端密閉的方鋼。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線前、后粗抽真空室，其特征在于，所述傳動軸為空心管軸，其中段部分為空心管，兩個軸頭分別焊接在空心管的兩端。
【文檔編號】C23C14/56GK203440442SQ201320483258
【公開日】2014年2月19日 申請日期:2013年8月8日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月8日
【發(fā)明者】郭玉芬, 丁秀芳, 趙彬, 莊慧顯, 丁波, 曹本偉, 董磊, 尹懷秀 申請人:青島環(huán)球集團股份有限公司