一種鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備。所述鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備(100)包括桶狀結(jié)構(gòu)(112)、多個加熱器(120)、坩堝(110)、多個溫度傳感器(160)及多個驅(qū)動機(jī)構(gòu)(200)，所述多個加熱器(120)縱向分布在所述桶狀結(jié)構(gòu)(112)內(nèi)并用于對所述坩堝(110)內(nèi)的材料進(jìn)行加熱，所述多個溫度傳感器(160)縱向分布在所述坩堝(110)內(nèi)以測量所述坩堝(110)內(nèi)的溫度，所述多個驅(qū)動機(jī)構(gòu)(200)用于使所述多個加熱器(120)中的至少一個加熱器(120)縱向移動以控制所述坩堝(110)內(nèi)的溫度分布，所述鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備可以通過改變加熱器的縱向分布密度，控制坩堝的上下溫度分布，進(jìn)而控制蒸鍍速率而使其穩(wěn)定。
【專利說明】一種鍍膜機(jī)坊堝設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]熱蒸鍍方式主要是在真空環(huán)境下加熱容納在鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備內(nèi)的有機(jī)材料，使升華型或者熔融型的有機(jī)材料在高溫狀態(tài)下氣化，沉積在有薄膜場效應(yīng)晶體管TFT結(jié)構(gòu)或者陽極結(jié)構(gòu)的基板上。有機(jī)材料的蒸發(fā)溫度與其裂解溫度相差很小，坩堝內(nèi)部往往溫差較大，容易造成蒸鍍速率不穩(wěn)定。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于，提供一種鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備，其可以控制蒸鍍速率而使其穩(wěn)定。
[0004]本發(fā)明通過如下技術(shù)方案實現(xiàn):一種鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備，其中，所述鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備包括桶狀結(jié)構(gòu)、多個加熱器、坩堝、多個溫度傳感器及多個驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述多個加熱器縱向分布在所述桶狀結(jié)構(gòu)內(nèi)并用于對所述坩堝內(nèi)的材料進(jìn)行加熱，所述多個溫度傳感器縱向分布在所述坩堝內(nèi)以測量所述坩堝內(nèi)的溫度，所述多個驅(qū)動機(jī)構(gòu)用于使所述多個加熱器中的至少一個加熱器縱向移動以控制所述坩堝內(nèi)的溫度分布。
[0005]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述多個加熱器包括纏繞在所述桶狀結(jié)構(gòu)的內(nèi)壁上的加熱電熱絲，所述坩堝位于所述桶狀結(jié)構(gòu)內(nèi)部，所述多個加熱器位于所述坩堝的外壁與所述桶狀結(jié)構(gòu)的內(nèi)壁之間。
[0006]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述加熱電熱絲的分布密度沿縱向不同。
[0007]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述多個溫度傳感器包括位于所述坩堝的縱向不同區(qū)域的多個熱電偶。
[0008]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述坩堝的下部設(shè)置有隔熱墊，所述坩堝的上部設(shè)有隔熱罩。
[0009]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述坩堝具有容納部及出口部，所述容納部與所述出口部連通，所述出口部具有一個出氣口或多個出氣口。
[0010]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述多個驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括分別位于所述桶狀結(jié)構(gòu)的兩側(cè)的左驅(qū)動機(jī)構(gòu)組和右驅(qū)動機(jī)構(gòu)組，所述左驅(qū)動機(jī)構(gòu)組和所述右驅(qū)動機(jī)構(gòu)組對稱分布。
[0011]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述多個驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括至少十二個驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
[0012]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，各驅(qū)動機(jī)構(gòu)均具有驅(qū)動源和傳動桿結(jié)構(gòu)，所述傳動桿結(jié)構(gòu)用于將驅(qū)動源的動力傳遞至所述至少一個加熱器。
[0013]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn),所述傳動桿結(jié)構(gòu)包括橫向傳動桿及縱向傳動桿，所述橫向傳動桿與所述驅(qū)動源連接并穿過所述桶狀結(jié)構(gòu)的壁部與所述縱向傳動桿連接，所述縱向傳動桿用于驅(qū)動所述至少一個加熱器縱向移動。
[0014]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明的鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備可以通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)改變加熱器的縱向分布密度，控制坩堝的上下溫度分布，進(jìn)而控制蒸鍍速率而使其穩(wěn)定。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個具體實施例的鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2是用于說明本發(fā)明的其他具體實施例的鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備內(nèi)加熱電熱絲的縱向分布圖的一種方式；
[0017]圖3是用于說明本發(fā)明的其他具體實施例的鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備內(nèi)加熱電熱絲的縱向分布圖的另一種方式。
【具體實施方式】
[0018]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】進(jìn)行進(jìn)一步的說明。
[0019]如圖1所示，本實施例的鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備100包括桶狀結(jié)構(gòu)112、多個加熱器120、坩堝110、多個溫度傳感器160及多個驅(qū)動機(jī)構(gòu)200。其中，所述多個加熱器120沿縱向Z分布在所述桶狀結(jié)構(gòu)112內(nèi)并用于對容納在所述坩堝110內(nèi)的材料進(jìn)行加熱。所述多個溫度傳感器160沿縱向Z分布在所述坩堝110內(nèi)以測量所述坩堝110的各個縱向不同區(qū)域的溫度。所述多個驅(qū)動機(jī)構(gòu)200用于使所述多個加熱器120中的至少一個加熱器120沿縱向Z移動以控制所述坩堝110內(nèi)的溫度分布。以這種方式，改變加熱器的縱向分布密度，控制坩堝的上下溫度分布，進(jìn)而控制蒸鍍速率而使其穩(wěn)定。
[0020]在本實施例中，所 述多個加熱器120包括纏繞在所述桶狀結(jié)構(gòu)112的內(nèi)壁上的加熱電熱絲122。而且，所述坩堝110位于所述桶狀結(jié)構(gòu)112內(nèi)部，所述多個加熱器120位于所述坩堝110的外壁與所述桶狀結(jié)構(gòu)112的內(nèi)壁之間。從圖1中可以看出，所述加熱電熱絲122的分布密度沿縱向Z不同。坩堝110的不同位置的溫度，由加熱電熱絲122的密度決定，通常在坩堝110中從底向上，溫度需逐漸升高。
[0021]而且，所述坩堝110的下部設(shè)置有隔熱墊132，所述坩堝110的上部設(shè)有隔熱罩150。通過隔熱墊132和隔熱罩150防止熱量的散失。隔熱墊132位于坩堝110的底部與桶狀結(jié)構(gòu)112的底部142之間。隔熱墊132和隔熱罩150可以由金屬制成。所述坩堝110具有容納部104及出口部，所述容納部104與所述出口部連通。本實施例中，所述出口部具有一個出氣口 102。在其他實施例中，所述出口部可以具有多個出氣口。
[0022]在本實施例中，所述多個溫度傳感器160包括位于所述坩堝110的縱向的不同區(qū)域的多個熱電偶，以便于監(jiān)控各區(qū)域的溫度。
[0023]如圖1所示，所述多個驅(qū)動機(jī)構(gòu)200包括分別位于所述桶狀結(jié)構(gòu)112的兩側(cè)的左驅(qū)動機(jī)構(gòu)組和右驅(qū)動機(jī)構(gòu)組，所述左驅(qū)動機(jī)構(gòu)組和所述右驅(qū)動機(jī)構(gòu)組對稱分布。所述左驅(qū)動機(jī)構(gòu)組和所述右驅(qū)動機(jī)構(gòu)組優(yōu)選為均包括至少六個驅(qū)動機(jī)構(gòu)，即所述多個驅(qū)動機(jī)構(gòu)200包括至少十二個驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
[0024]具體而言，各驅(qū)動機(jī)構(gòu)200均具有驅(qū)動源202和傳動桿結(jié)構(gòu)。所述傳動桿結(jié)構(gòu)用于將驅(qū)動源202的動力傳遞至所述至少一個加熱器120。其中，所述傳動桿結(jié)構(gòu)包括橫向傳動桿204及縱向傳動桿206。所述橫向傳動桿204與所述驅(qū)動源202連接并穿過所述桶狀結(jié)構(gòu)112的壁部與所述縱向傳動桿206連接，所述縱向傳動桿206用于驅(qū)動所述至少一個加熱器120沿縱向Z移動。[0025]在本發(fā)明的其他實施例中，可以設(shè)置觸摸控制面板。觸摸控制面板與多個溫度傳感器160連接，且觸摸控制面板與多個驅(qū)動機(jī)構(gòu)200連接。觸摸控制面板可以根據(jù)多個溫度傳感器160的測量結(jié)果，控制多個驅(qū)動機(jī)構(gòu)200，得到所希望的溫度分布，進(jìn)而控制蒸鍍速率而使其穩(wěn)定。
[0026]另外，由于不同材料的起蒸點(diǎn)和裂解點(diǎn)不一樣，所以不同材料需要不同溫度差的坩堝。此時，可以從坩堝底部到頂部，設(shè)置從(TC~40°C的不同溫度差(均為從底部到頂部溫度依次升高)，設(shè)置多個模式(例如以5°C為單位設(shè)置9個模式)。各模式分別對應(yīng)不同的溫度差，并在觸摸控制面板上顯示。在使用不同的材料時，需依據(jù)該材料的特性，選擇多個模式中的其中一種，進(jìn)行蒸鍍。
[0027]在選擇好溫差模式之后，正常使用和蒸鍍時，保持坩堝從底部到頂部溫度依次升高的狀態(tài)，進(jìn)行蒸鍍。
[0028]在升華型材料的使用中，在發(fā)生堵孔的情況下，可以使坩堝下部的加熱區(qū)開始降溫，中部的加熱區(qū)也降溫，但較下部降溫的程度小一些，上部加熱區(qū)開始升溫，下部溫度需低于上部40°C以上，頂部溫度略低于材料裂解點(diǎn)，使得保護(hù)坩堝下部的材料不裂解，同時將堵住出氣口的材料蒸發(fā)。在蒸鍍速率降到較低水平，出口材料已燒完，而下部的材料因為溫度低，沒有速率，此時可以恢復(fù)正常蒸鍍時加熱絲的狀態(tài)，待蒸鍍速率穩(wěn)定后，繼續(xù)蒸鍍制程。
[0029]在熔融型材料預(yù)融時，因為溫差的存在，容易融化不均，包裹氣泡或粉末，造成速率穩(wěn)定時間推遲的情況下，可以使下部和中部的加熱區(qū)保持升溫曲線一致，使中部和下部的溫差接近O。同時，上部的加熱區(qū)則比中下部升溫慢一些。當(dāng)溫度穩(wěn)定后，中下部比上部的溫度略高(例如約20°C~30°C )，使坩堝不同位置的材料在同樣的溫度下進(jìn)行預(yù)融，避免產(chǎn)生因縱向不同位置溫度不同，使材料預(yù)融不均，拉長速率穩(wěn)定時間。
[0030]以上【具體實施方式】對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明，但這些并非構(gòu)成對本發(fā)明的限制。本發(fā)明的保護(hù)范圍并不以上述實施方式為限，但凡本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明所揭示內(nèi)容所作的等效修飾或變化，皆應(yīng)納入權(quán)利要求書中記載的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備(100)，其特征在于，所述鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備(100)包括桶狀結(jié)構(gòu)(112)、多個加熱器(120)、坩堝(110)、多個溫度傳感器(160)及多個驅(qū)動機(jī)構(gòu)(200)，所述多個加熱器(120)縱向分布在所述桶狀結(jié)構(gòu)(112)內(nèi)并用于對所述坩堝(110)內(nèi)的材料進(jìn)行加熱，所述多個溫度傳感器(160)縱向分布在所述坩堝(110)內(nèi)以測量所述坩堝(110)內(nèi)的溫度，所述多個驅(qū)動機(jī)構(gòu)(200)用于使所述多個加熱器(120)中的至少一個加熱器(120)縱向移動以控制所述坩堝(110)內(nèi)的溫度分布。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備(100)，其特征在于，所述多個加熱器(120)包括纏繞在所述桶狀結(jié)構(gòu)(112)的內(nèi)壁上的加熱電熱絲(122)，所述坩堝(110)位于所述桶狀結(jié)構(gòu)(112)內(nèi)部，所述多個加熱器(120)位于所述坩堝(110)的外壁與所述桶狀結(jié)構(gòu)(112)的內(nèi)壁之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備(100)，其特征在于，所述加熱電熱絲(122)的分布密度沿縱向不同。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備(100)，其特征在于，所述多個溫度傳感器(160)包括位于所述坩堝(110)的縱向不同區(qū)域的多個熱電偶。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備(100)，其特征在于，所述坩堝(110)的下部設(shè)置有隔熱墊(132)，所述坩堝(110)的上部設(shè)有隔熱罩(150)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備(100)，其特征在于，所述坩堝(110)具有容納部(104)及出口部，所述容納部(104)與所述出口部連通，所述出口部具有一個出氣口(102)或多個出氣口。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項所述的鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備(100)，其特征在于，所述多個驅(qū)動機(jī)構(gòu)(200)包括分別位于所述桶狀結(jié)構(gòu)(112)的兩側(cè)的左驅(qū)動機(jī)構(gòu)組和右驅(qū)動機(jī)構(gòu)組，所述左驅(qū)動機(jī)構(gòu)組和所述右驅(qū)動機(jī)構(gòu)組對稱分布。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備(100)，其特征在于，所述多個驅(qū)動機(jī)構(gòu)(200)包括至少十二個驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備(100)，其特征在于，各驅(qū)動機(jī)構(gòu)(200)均具有驅(qū)動源(202)和傳動桿結(jié)構(gòu)，所述傳動桿結(jié)構(gòu)用于將驅(qū)動源(202)的動力傳遞至所述至少一個加熱器(120)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的鍍膜機(jī)坩堝設(shè)備(100)，其特征在于，所述傳動桿結(jié)構(gòu)包括橫向傳動桿(204)及縱向傳動桿(206)，所述橫向傳動桿(204)與所述驅(qū)動源(202)連接并穿過所述桶狀結(jié)構(gòu)(112)的壁部與所述縱向傳動桿(206)連接，所述縱向傳動桿(206)用于驅(qū)動所述至少一個加熱器(120)縱向移動。
【文檔編號】C23C14/26GK103757590SQ201310753996
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2013年12月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月31日
【發(fā)明者】張鑫狄, 李冠政 申請人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司