專利名稱：一種安全蒸鍍機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及基板或鐳射膜的蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種發(fā)生故障后能自動(dòng)報(bào)警的安全蒸鍍機(jī)。
技術(shù)背景所謂蒸鍍機(jī)是指在蒸鍍?nèi)萜鲀?nèi)配置蒸鍍材料和被蒸鍍體，保持蒸鍍?nèi)萜鲀?nèi)的低壓狀態(tài)，加熱并熔融蒸鍍材料使其蒸發(fā) 或者升華從而使其氣化，并將氣化的蒸鍍材料堆積在被蒸鍍體表面而形成薄膜的裝置。近年來，蒸鍍機(jī)的使用并沒有僅限于金屬蒸鍍薄膜的形成，還使用于有機(jī)物蒸鍍薄膜的形成或者多種有機(jī)物混合蒸鍍薄膜的形成。目前市場上的蒸鍍機(jī)一般包括蒸鍍倉、與蒸鍍倉通過管道連通的蒸鍍發(fā)生器及與蒸鍍發(fā)生器通過管道連通的排氣裝置，蒸鍍發(fā)生器包括容器、設(shè)置于容器內(nèi)的增壓泵和擴(kuò)散泵，容器底部設(shè)有給蒸鍍材料加熱的電加熱器，排氣裝置包括機(jī)械泵及與機(jī)械泵的出風(fēng)ロ連通的排氣管道；但是，當(dāng)蒸鍍倉的排氣量較小時(shí)，利用大功率的機(jī)械泵進(jìn)行排氣容易造成資源的嚴(yán)重浪費(fèi)，不能有效地利用機(jī)械泵；另外，上述蒸鍍機(jī)缺少對(duì)排氣裝置進(jìn)行故障檢測的檢測器，當(dāng)機(jī)械泵應(yīng)某種故障而停止工作吋，設(shè)置于容器內(nèi)的增壓泵和擴(kuò)散泵還在繼續(xù)加熱，導(dǎo)致蒸鍍倉內(nèi)的高壓氣體不能及時(shí)排出，從而影響蒸鍍機(jī)的蒸鍍效果，嚴(yán)重時(shí)甚至發(fā)生安全事故
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種節(jié)能的，發(fā)生故障后能自動(dòng)報(bào)警的安全蒸鍍機(jī)。為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案ー種安全蒸鍍機(jī)，包括蒸鍍倉、設(shè)置于蒸鍍倉外部的控制箱、與蒸鍍倉通過管道連通的蒸鍍發(fā)生器及與蒸鍍發(fā)生器通過管道連通的排氣裝置，蒸鍍發(fā)生器包括容器、設(shè)置于容器內(nèi)的增壓泵和擴(kuò)散泵，容器底部設(shè)有電加熱器，排氣裝置包括機(jī)械泵及與機(jī)械泵的出風(fēng)ロ連通的排氣管道，機(jī)械泵的進(jìn)風(fēng)ロ通過管道與容器連通，所述機(jī)械泵旁側(cè)設(shè)有維持泵，維持泵與機(jī)械泵通過管道并聯(lián)；所述排風(fēng)裝置設(shè)有檢測機(jī)械泵或維持泵是否正常工作的檢測器，該檢測器與控制箱電連接；控制箱設(shè)有與控制箱電連接的報(bào)警器。其中，所述檢測器為壓カ氣壓傳感器。其中，所述報(bào)警器包括報(bào)警喇叭或警示燈。其中，所述機(jī)械泵和維持泵的進(jìn)風(fēng)ロ分別設(shè)置有封堵管道的安全閥，工作時(shí)，安全閥為接通狀態(tài)。本實(shí)用新型的有益效果在于本實(shí)用新型提供了ー種安全蒸鍍機(jī)，包括蒸鍍倉、設(shè)置于蒸鍍倉外部的控制箱、與蒸鍍倉通過管道連通的蒸鍍發(fā)生器及與蒸鍍發(fā)生器通過管道連通的排氣裝置，蒸鍍發(fā)生器包括容器、設(shè)置于容器內(nèi)的增壓泵和擴(kuò)散泵，容器底部設(shè)有電加熱器，排氣裝置包括機(jī)械泵及與機(jī)械泵的出風(fēng)ロ連通的排氣管道，機(jī)械泵的進(jìn)風(fēng)ロ通過管道與容器連通，所述機(jī)械泵旁側(cè)設(shè)有維持泵，維持泵的進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)ロ分別通過管道與機(jī)械泵的進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)ロ連通；當(dāng)排氣量很大吋，同時(shí)開啟機(jī)械泵和維持泵可以迅速排走蒸鍍倉內(nèi)的高壓氣體，提高排氣效率，而當(dāng)排氣量較小時(shí)，可以只用開啟機(jī)械泵和維持泵中的一臺(tái)即可滿足排氣需求，提高了排氣裝置的效率，降低了生產(chǎn)成本；所述排氣裝置設(shè)有檢測機(jī)械泵或維持泵是否正常工作的檢測器，該檢測器與控制箱電連接，控制箱設(shè)有與控制箱電連接的報(bào)警器；當(dāng)機(jī)械泵或維持泵發(fā)生故障而無法工作時(shí)，檢測器將該信號(hào) 傳送給控制箱，控制箱控制報(bào)警器開始報(bào)警，提醒操作人員做相應(yīng)的處理，從而避免因設(shè)置于容器內(nèi)的增壓泵和擴(kuò)散泵還在繼續(xù)加熱，導(dǎo)致蒸鍍倉內(nèi)的高壓氣體不能及時(shí)排出而影響蒸鍍機(jī)的蒸鍍效果，進(jìn)而減少安全事故的發(fā)生。進(jìn)ー步，所述維持泵的額定功率小于機(jī)械泵的額定功率，排氣量很小時(shí)，如果使用機(jī)械泵，將不能有效地利用功率較大的機(jī)械泵，為此配置一種功率較小的輔助泵來維持機(jī)械泵工作，即維持泵，在滿足同樣排氣要求的前提下，使得節(jié)能效果更加明顯。

圖I為本實(shí)用新型ー種安全蒸鍍機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖I所示，ー種安全蒸鍍機(jī)，包括蒸鍍倉I、設(shè)置于蒸鍍倉I外部的控制箱、與蒸鍍倉I通過管道連通的蒸鍍發(fā)生器及與蒸鍍發(fā)生器通過管道連通的排氣裝置，蒸鍍發(fā)生器包括容器2、設(shè)置于容器2內(nèi)的增壓泵和擴(kuò)散泵，容器底部設(shè)有電加熱器3，排氣裝置包括機(jī)械泵4及與機(jī)械泵4的出風(fēng)ロ連通的排氣管道5，機(jī)械泵4的進(jìn)風(fēng)ロ通過管道與容器2連通，所述機(jī)械泵4旁側(cè)設(shè)有維持泵6，維持泵6與機(jī)械泵4通過管道并聯(lián)；當(dāng)排氣量很大吋，同時(shí)開啟機(jī)械泵4和維持泵6可以迅速排走蒸鍍倉內(nèi)的高壓氣體，提高排氣效率，而當(dāng)排氣量較小時(shí)，只用開啟維持泵6即可滿足排氣需求，提高了排氣裝置的利用率，降低了生產(chǎn)成本；所述排風(fēng)裝置設(shè)有檢測機(jī)械泵4或維持泵6是否正常工作的檢測器，所述檢測器為壓カ氣壓傳感器，該檢測器與控制箱電連接，控制箱設(shè)有與控制箱電連接的報(bào)警器；當(dāng)機(jī)械泵4或維持泵6發(fā)生故障而無法工作吋，導(dǎo)致排風(fēng)裝置氣壓異常，則該檢測器將該信號(hào)傳送給控制箱，控制箱控制報(bào)警器開始報(bào)警，提醒操作人員做相應(yīng)的處理，從而避免因設(shè)置于容器2內(nèi)的增壓泵和擴(kuò)散泵仍然繼續(xù)加熱，導(dǎo)致蒸鍍倉I內(nèi)的高壓氣體不能及時(shí)排出而影響蒸鍍機(jī)的蒸鍍效果，進(jìn)而減少安全事故的發(fā)生。本實(shí)施例的所述維持泵6的額定功率為機(jī)械泵4額定功率的1/3，當(dāng)排氣量很小吋，如果使用機(jī)械泵4，將不能有效地利用功率較大的機(jī)械泵4，為此配置一種功率較小的輔助泵來維持機(jī)械泵工作，即維持泵6，在滿足同樣排氣要求的前提下，其節(jié)能效果更加明顯。本實(shí)施例的所述報(bào)警器包括報(bào)警喇叭或警示燈，將報(bào)警器的報(bào)警信號(hào)轉(zhuǎn)換成操作人員容易接收的聲音信號(hào)或視覺信號(hào)，以便于操作人員接收?qǐng)?bào)警裝置的報(bào)警信號(hào)，從而做出相應(yīng)的處理。[0019]本實(shí)施例中，所述機(jī)械泵4和維持泵6的進(jìn)風(fēng)ロ分別設(shè)置有封堵管道的安全閥7，工作時(shí)，安全閥7為接通狀態(tài)；若機(jī)械泵4或維持泵6發(fā)生故障需要修理時(shí)，只要關(guān)閉相應(yīng)的安全閥7即可安全地對(duì)機(jī)械泵4或維持泵6進(jìn)行修理或更換操作上述實(shí)施例為本實(shí)用新型較佳的實(shí)現(xiàn)方案之一，除此之外，本實(shí)用新型還可以其他方式實(shí)現(xiàn)，在不脫離本實(shí)用新型發(fā)明構(gòu)思的前提下任何顯而易見的替換均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種安全蒸鍍機(jī)，包括蒸鍍倉(I)、設(shè)置于蒸鍍倉(I)外部的控制箱、與蒸鍍倉(I)通過管道連通的蒸鍍發(fā)生器、與蒸鍍發(fā)生器通過管道連通的排氣裝置，蒸鍍發(fā)生器包括容器(2)、設(shè)置于容器(2)內(nèi)的增壓泵和擴(kuò)散泵，容器(2)底部設(shè)有電加熱器(3)，排氣裝置包括機(jī)械泵(4)及與機(jī)械泵(4)的出風(fēng)口連通的排氣管道(5)，機(jī)械泵(4)的進(jìn)風(fēng)口通過管道與容器(2)連通，其特征在于所述機(jī)械泵(4)旁側(cè)設(shè)有維持泵￠)，維持泵(6)與機(jī)械泵(4)通過管道并聯(lián)；所述排氣裝置設(shè)有檢測機(jī)械泵(4)或維持泵(6)是否正常工作的檢測器，該檢測器與控制箱電連接；控制箱設(shè)有與控制箱電連接的報(bào)警器。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的安全蒸鍍機(jī)，其特征在于所述檢測器為壓力氣壓傳感器。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的安全蒸鍍機(jī)，其特征在于所述報(bào)警器包括報(bào)警喇叭或警示燈。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的安全蒸鍍機(jī)，其特征在于所述機(jī)械泵(4)和維持泵(6)的進(jìn)風(fēng)口分別設(shè)置有封堵管道的安全閥(7)。
專利摘要本實(shí)用新型公開的一種安全蒸鍍機(jī)，包括蒸鍍倉、控制箱、蒸鍍發(fā)生器及排氣裝置，排氣裝置包括機(jī)械泵及與機(jī)械泵的出風(fēng)口連通的排氣管道，機(jī)械泵的進(jìn)風(fēng)口通過管道與容器連通，所述機(jī)械泵旁側(cè)設(shè)有維持泵，維持泵與機(jī)械泵通過管道并聯(lián)；所述排風(fēng)裝置設(shè)有檢測機(jī)械泵或維持泵是否正常工作的檢測器，當(dāng)機(jī)械泵或維持泵發(fā)生故障而無法工作時(shí)，控制箱控制報(bào)警器開始報(bào)警，提醒操作人員做相應(yīng)的處理，從而避免因設(shè)置于容器內(nèi)的增壓泵和擴(kuò)散泵還在繼續(xù)加熱，導(dǎo)致蒸鍍倉內(nèi)的高壓氣體不能及時(shí)排出而影響蒸鍍機(jī)的蒸鍍效果，進(jìn)而減少安全事故的發(fā)生。
文檔編號(hào)C23C14/24GK202369633SQ201120524018
公開日2012年8月8日 申請(qǐng)日期2011年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月15日
發(fā)明者王信飛 申請(qǐng)人:無錫光群雷射科技有限公司