專利名稱：加壓機構和研磨機的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及ー種研磨機，尤其涉及ー種適用于脆性材料研磨拋光的研磨機加壓機構。
背景技術：
隨著光伏產(chǎn)業(yè)及藍寶石加工產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，應用于薄片材料的研磨、拋光設備也有長足的進步。研磨、拋光薄片材料的設備對施加在研磨、拋光薄片材料上的壓カ要求比較特殊，例如藍寶石、單晶硅片屬于脆性材 料，所以要求壓カ不能太大，壓カ的剛性要柔和，但是目前的研磨設備的加壓機構難以柔和的施加壓力，導致成品率較低，生產(chǎn)成本較高。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于提供ー種研磨機及其加壓機構，以解決現(xiàn)有技術存在的壓力剛性不夠柔和導致的成品率較低的問題。為了實現(xiàn)本實用新型的目的，本實用新型提供的加壓機構包括加壓座、導桿和研磨壓頭，所述加壓座呈筒狀，所述導桿可軸向移動地設于所述加壓座中，所述研磨壓頭設于所述導桿的下端，其中，還包括螺帽，所述螺帽下段的內(nèi)壁設有第一螺紋并通過該第一螺紋連接于所述加壓座的上部，所述螺帽上段的內(nèi)壁設有第二螺紋；調整螺桿，所述調整螺桿的下段與所述第二螺紋螺合旋入所述螺帽的上段；彈簧，所述彈簧的上端面抵接于所述調整螺桿的下端面，所述彈簧的下段套設于所述導桿的上段且軸向固定于所述導桿的上段。根據(jù)上述加壓機構的ー種優(yōu)選實施方式，其中，還包括導向墊，所述彈簧的上端面設于所述導向墊的下表面，所述導向墊的上表面抵接于所述調整螺桿的下端面。根據(jù)上述加壓機構的ー種優(yōu)選實施方式，其中，所述螺帽中段的內(nèi)壁光滑便于所述導向墊的邊緣沿所述螺帽中段的內(nèi)壁滑動。根據(jù)上述加壓機構的ー種優(yōu)選實施方式，其中，所述螺帽上段的內(nèi)徑小于所述螺帽中段的內(nèi)徑；所述螺帽下段的內(nèi)徑大于所述螺帽中段的內(nèi)徑；所述螺帽中段的內(nèi)徑等于所述加壓座的內(nèi)徑。根據(jù)上述加壓機構的ー種優(yōu)選實施方式，其中，所述導向墊下表面的中心部位設有圓柱，所述圓柱插入所述彈簧的上段。根據(jù)上述加壓機構的ー種優(yōu)選實施方式，其中，所述導桿上段的側壁設有L形第一延伸緣，所述第一延伸緣與所述導桿上段的側壁結合形成環(huán)形槽，所述彈簧的下端設于所述環(huán)形槽中。根據(jù)上述加壓機構的ー種優(yōu)選實施方式，其中，所述導向墊的邊緣設有垂直向下的第二延伸緣以防止所述彈簧的上端面移動。根據(jù)上述加壓機構的ー種優(yōu)選實施方式，其中，還包括直線軸承，所述直線軸承設于所述加壓座的內(nèi)壁和所述導向桿之間。根據(jù)上述加壓機構的ー種優(yōu)選實施方式，其中，所述研磨壓頭的下端面設有緩沖墊。為了實現(xiàn)本實用新型的目的，本實用新型提供的研磨機包括加壓機構，其中，所述加壓機構為上述任ー加壓機構。為了實現(xiàn)本實用新型的目的，本實用新型提供ー種研磨機，其包括工作臺、設于所述工作臺上、承載研磨對象的研磨機構、設于所述研磨機構上方的橫梁和加壓機構，其特征在于，所述加壓機構為權利要求1-8任一所述的加壓機構，所述加壓機構的加壓座通過所述螺帽固定于所述橫梁上設置有的孔，利用所述調整螺桿通過所述導桿和所述加壓座對所述研磨壓頭施加研磨壓カ而對所述研磨對象進行加壓。根據(jù)上述研磨機的ー種優(yōu)選實施方式，其中，所述研磨對象是藍寶石或者單晶硅片。本實用新型可以通過改變調整螺桿的上下位置對薄片脆性材料施加不同壓力，由于彈簧能夠減小施カ的剛性，因此，本實用新型能夠有效地保護被加工零件不被破壞，使得廣品的成品率得到提聞。

圖I為本實用新型的研磨機優(yōu)選實施例的局部結構示意圖。附圖標記1工作臺；2橫梁；3調整螺桿；4藍寶石；5夾具；6研磨壓頭；7加壓座；8螺帽；9導向墊；10彈簧；11平墊；12直線軸承；13導桿；14緩沖墊；71螺釘；72凸起；91第二延伸緣；92圓柱；101研磨盤；102研磨墊；131第一延伸緣。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施方式
對本實用新型做進ー步詳細說明。圖I示意性的示出了本實用新型的研磨機優(yōu)選實施例的局部結構，如其所示，本優(yōu)選實施例包括工作臺I、設于工作臺I上的研磨盤101、設于研磨盤101上并用于承載藍寶石4 (或單晶硅片)的研磨墊102 (由研磨盤101和研磨墊102構成研磨機構)、橫梁2和加壓機構。加壓機構包括調整螺桿3、螺帽8、導向墊9、彈簧10、導桿13、加壓座7、平墊11、直線軸承12、研磨壓頭6、緩沖墊14和夾具5。加壓座7呈筒狀，其下端向周圍水平延伸，形成固定環(huán)形面，該固定環(huán)形面通過螺釘71固定于夾具5的上表面，加壓座7的上段穿過橫梁2上的孔，然后由螺帽8結合設于加壓座7外壁的環(huán)形凸起72，將加壓座7固定于橫梁2。導桿13可軸向移動(也即上下移動)地設于加壓座7中。導桿13的上段套設于彈簧10中，下端頭設置研磨壓頭6。螺帽8下段的內(nèi)壁設有第一螺紋(未標記)并連接于加壓座7的上段外側，同時用于將加壓座7固定于橫梁2。螺帽8上段的內(nèi)壁設有用于連接調整螺桿3的第二螺紋(未標記)。調整螺桿3的下段旋入螺帽8的上段，以通過導向墊9改變施加于壓縮彈簧10上的壓力。彈簧10的上端面設于導向墊9的下表面,導向墊9的上表面抵接于調整螺桿3的下端面，彈簧10的下段套設于導桿13的上段且軸向固定于導桿13的上段，軸向固定即是彈簧10的下端與導桿13的位置是固定的，不能發(fā)生相對位移，但是可以旋轉。導向墊9的設置可以使調整螺桿3施加于彈簧10的作用カ更均勻。在其他實施例中，在調整螺桿的下端面大于彈簧的上端面時，也可以使彈簧直接抵接于調整螺桿的下端面。[0021]應用時，調整螺桿3向下擰入螺帽8，可以使調整螺桿3的下端面向導向墊9施加更大的壓カ，進而通過彈簧10使導桿13向下移動，研磨壓頭6施加于藍寶石4的壓カ增加，反之則相反。為了使導向墊9更平滑地沿螺帽8的內(nèi)壁滑動，螺帽8中段的內(nèi)壁光滑，以便于導向墊9的邊緣沿螺帽8中段內(nèi)壁滑動。在本優(yōu)選實施例中，螺帽8上段的內(nèi)徑小于其中段的內(nèi)徑，下段的內(nèi)徑大于中段的內(nèi)徑，中段的內(nèi)徑等于加壓座7的內(nèi)徑，這樣利于簡化結構和加工エ藝，以及使運行更平穩(wěn)。導桿13上段的側壁設有L形第一延伸緣131，也即第一延伸緣131的截面呈L形。
第一延伸緣131與加壓座7上段的側壁結合形成環(huán)形槽，該環(huán)形槽開ロ向上，彈簧10的下端設于環(huán)形槽中，從而避免壓縮彈簧10的下端滑動。在其他實施例中，可以將彈簧10的下端直接固定于導桿13的上段，例如焊接。為了使導向墊9更穩(wěn)定的設于彈簧10的上端面，導向墊9下表面的中心部位設有圓柱92，圓柱92插入彈簧10的上段，導向墊9的邊緣設有垂直向下的第二延伸緣91。為了減小導桿13的運動阻力，使得導桿13的動靜摩擦系數(shù)接近，從而使壓カ的傳遞靈敏度更好，本優(yōu)選實施例設置有直線軸承12，直線軸承12設于加壓座7的內(nèi)壁和導向桿13之間，且直線軸承12的上端設有平墊11。為了使本優(yōu)選實施例向藍寶石4施加壓カ時更加柔和，研磨壓頭6的下端面設有緩沖墊14。緩沖墊14由柔性物質制作，例如硅膠等。綜上，本實用新型通過改變調整螺桿的上下位置，進而通過導向墊對彈簧進行施壓，利用彈簧被壓縮后產(chǎn)生的弾力推動導桿向下運動，帶動研磨壓頭和緩沖墊對藍寶石或單晶硅片進行壓緊。由于彈簧和緩沖墊能夠減小施カ的剛性，所以不會壓碎藍寶石或單晶硅薄片，能夠有效地保護被加工零件不被破壞，使得產(chǎn)品的成品率得到提高。由技術常識可知，本實用新型可以通過其它的不脫離其精神實質或必要特征的實施方案來實現(xiàn)。因此，上述公開的實施方案，就各方面而言，都只是舉例說明，并不是僅有的。所有在本實用新型范圍內(nèi)或在等同于本實用新型的范圍內(nèi)的改變均被本實用新型包含。
權利要求1.一種加壓機構，包括加壓座、導桿和研磨壓頭，所述加壓座呈筒狀，所述導桿能夠軸向移動地設于所述加壓座中，所述研磨壓頭設于所述導桿的下端，其特征在于，還包括 螺帽，螺帽下段的內(nèi)壁設有第一螺紋并通過該第一螺紋連接于所述加壓座的上部，螺帽上段的內(nèi)壁設有第二螺紋； 調整螺桿，所述調整螺桿的下段與所述第二螺紋螺合旋入所述螺帽的上段；和 彈簧，所述彈簧的上端面抵接于所述調整螺桿的下端面，所述彈簧的下段套設于所述導桿的上段且軸向固定于所述導桿的上段。
2.根據(jù)權利要求I所述的加壓機構，其特征在于，還包括導向墊，所述彈簧的上端面設于所述導向墊的下表面，所述導向墊的上表面抵接于所述調整螺桿的下端面。
3.根據(jù)權利要求2所述的加壓機構，其特征在于，螺帽中段的內(nèi)壁光滑便于所述導向墊的邊緣沿螺帽中段的內(nèi)壁滑動，螺帽上段的內(nèi)徑小于螺帽中段的內(nèi)徑；螺帽下段的內(nèi)徑大于螺帽中段的內(nèi)徑；螺帽中段的內(nèi)徑等于所述加壓座的內(nèi)徑。
4.根據(jù)權利要求2所述的加壓機構，其特征在于，所述導向墊的下表面的中心部位設有圓柱，所述圓柱插入所述彈簧的上段。
5.根據(jù)權利要求I所述的加壓機構，其特征在于，所述導桿的上段的側壁設有L形第一延伸緣，所述第一延伸緣與所述導桿的上段的側壁結合形成環(huán)形槽，所述彈簧的下端設于所述環(huán)形槽中。
6.根據(jù)權利要求2所述的加壓機構，其特征在于，所述導向墊的邊緣設有垂直向下的第二延伸緣以防止所述彈簧的上端面移動。
7.根據(jù)權利要求I所述的加壓機構，其特征在于，還包括直線軸承，所述直線軸承設于所述加壓座的內(nèi)壁和所述導桿之間。
8.根據(jù)權利要求I所述的加壓機構，其特征在于，所述研磨壓頭的下端面設有緩沖墊。
9.一種研磨機，包括工作臺；設于所述工作臺上、承載研磨對象的研磨機構；設于所述研磨機構上方的橫梁和加壓機構，其特征在于，所述加壓機構為權利要求1-8任一所述的加壓機構，所述加壓機構的所述加壓座通過所述螺帽固定于所述橫梁上設置有的孔，利用所述調整螺桿通過所述導桿和所述加壓座對所述研磨壓頭施加研磨壓力，從而對所述研磨對象進行加壓。
10.如權利要求9所述的研磨機，其特征在于，所述研磨對象是藍寶石或者單晶硅片。
專利摘要本實用新型提供一種加壓機構和研磨機，該加壓機構包括加壓座、導桿和研磨壓頭，所述加壓座呈筒狀，所述導桿能夠軸向移動地設于所述加壓座中，所述研磨壓頭設于所述導桿的下端，其中，還包括螺帽，所述螺帽下段的內(nèi)壁設有第一螺紋并連接于所述加壓座的上部，所述螺帽上段的內(nèi)壁設有第二螺紋；調整螺桿，所述調整螺桿的下段旋入所述螺帽的上段；彈簧，所述彈簧的上端面抵接于所述調整螺桿的下端面，所述彈簧的下段套設于所述導桿的上段且軸向固定于所述導桿的上段。本實用新型能夠有效地保護被加工零件不被破壞，使得產(chǎn)品的成品率得到提高。
文檔編號B24B37/34GK202572127SQ20122018250
公開日2012年12月5日 申請日期2012年4月26日 優(yōu)先權日2012年4月26日
發(fā)明者薛鵬祥 申請人:萬全京儀機床有限公司