專利名稱：Pecvd的石英管用鎖緊裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光伏電池制造過程中PECVD的設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種PECVD的石英管用鎖緊裝置。
背景技術(shù)：
光伏電池生產(chǎn)過程中，需要在光伏電池的半成品電池即硅片的表面鍍上一層減反射膜。目前，采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積方法(PECVD, Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition),使氣體在娃電池片表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并形成覆蓋層，即減反射膜。該方法借助微波或射頻等使含有薄膜組成的原子的氣體電離，在局部形成等離子體，由于等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在硅電池片上沉積出所期望的薄膜。鏈?zhǔn)絇ECVD工藝腔室中，將硅電池片放置在特氣槽內(nèi)，氫化硅和氨氣在等離子狀 態(tài)下，在硅電池片的表面形成氮化硅膜，增強(qiáng)了硅電池片對太陽光線的吸收，減少了反射。從而，在一定程度上提高了硅電池片將光能轉(zhuǎn)換為電能的轉(zhuǎn)換效率。但是，在工藝反應(yīng)一段時間(即沉積反應(yīng)經(jīng)過一段時間)之后，特氣槽和石英管表面會沉積一層厚度范圍為1_2_的氮化硅層，而這個氮化硅層會改變耦合條件和沉積性能，降低沉積率，導(dǎo)致必須更換新的石英管。目前，現(xiàn)有技術(shù)中將鎖套和密封組件緊密接觸，鎖套插入微波法蘭，通過旋轉(zhuǎn)鎖套擠壓密封組件，密封組件擠壓石英管達(dá)到密封固定石英管的效果。當(dāng)石英管使用一段時間后，石英管和鎖套會被氮化硅覆蓋，導(dǎo)致無法將鎖套從微波法蘭中取出，即無法將石英管完整取下。通常是先將石英管打碎，然后旋轉(zhuǎn)鎖套并將其取下，更換新的石英管，最后用專用工具旋轉(zhuǎn)鎖套將石英管鎖緊。但是，將石英管打碎再進(jìn)行拆卸，使得無疑增加了工作量，使得工作人員的勞動強(qiáng)度較高；對于可再利用的石英管造成了浪費(fèi)，增加了光伏電池的生產(chǎn)成本。綜上所述，如何在更換石英管時避免打碎石英管，以降低工作人員的勞動強(qiáng)度，同時降低光伏電池的生產(chǎn)成本，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的重要技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種PECVD的石英管用鎖緊裝置，降低了工作人員的勞動強(qiáng)度；同時，提高了石英管的再利用率，降低了光伏電池的生產(chǎn)成本。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案一種PECVD的石英管用鎖緊裝置，包括設(shè)有卡槽的法蘭和套設(shè)于所述石英管上的密封組件，所述卡槽包括相連通的軸向段和周向段，該石英管用鎖緊裝置還包括套設(shè)于所述石英管上的第一鎖件，所述第一鎖件包括連接段和可套設(shè)于所述法蘭上的鎖緊段，所述鎖緊段內(nèi)部設(shè)置有可沿所述卡槽移動的鎖柱；可卡設(shè)于所述第一鎖件內(nèi)部，能夠被限制沿遠(yuǎn)離所述法蘭的方向移動的第二鎖件，所述第二鎖件包括套設(shè)于所述密封組件上的密封段和套設(shè)于所述石英管上，且與所述密封組件相抵接觸的固定段。優(yōu)選的，上述中PECVD的石英管用鎖緊裝置中，所述鎖緊段的內(nèi)徑大于所述連接段的內(nèi)徑。優(yōu)選的，上述中PECVD的石英管用鎖緊裝置中，所述密封段靠近所述法蘭的一端設(shè)置有能夠限制所述第二鎖件遠(yuǎn)離所述法蘭的凸臺，所述凸臺上設(shè)置有供所述鎖柱通過所述密封段的開口。優(yōu)選的，上述中PECVD的石英管用鎖緊裝置中，所述凸臺沿所述密封段的周向延伸，所述凸臺的外壁與所述鎖緊段的內(nèi)壁貼合。優(yōu)選的，上述中PECVD的石英管用鎖緊裝置中，所述鎖柱的數(shù)目為兩個，且所述鎖柱關(guān)于所述第一鎖件的軸線對稱分布；所述開口的數(shù)目為兩個。優(yōu)選的，上述中PECVD的石英管用鎖緊裝置中，所述固定段與所述密封段相連的一端設(shè)置有向所述密封段凸出，且能夠限制所述密封組件的密封件沿遠(yuǎn)離所述法蘭的方向移動的抵接段。優(yōu)選的，上述中PECVD的石英管用鎖緊裝置中，所述鎖緊段外壁上設(shè)置有盲孔，所述盲孔與所述鎖柱共軸線。優(yōu)選的，上述中PECVD的石英管用鎖緊裝置中，所述第一鎖件的外壁上設(shè)置有第一工具定位孔。優(yōu)選的，上述中PECVD的石英管用鎖緊裝置中，所述第一工具定位孔沿所述第一鎖件的周向均勻分布于所述第一鎖件上。優(yōu)選的，上述中PECVD的石英管用鎖緊裝置中，所述第二鎖件遠(yuǎn)離所述第一鎖件的一端的外壁上設(shè)置有第二工具定位孔。本實(shí)用新型提供的PECVD的石英管用鎖緊裝置的鎖緊方法如下工作人員將第二鎖件內(nèi)伸于第一鎖件的連接段，使得二者卡設(shè)相連，移動第一鎖件和第二鎖件，并使密封段套設(shè)在密封組件的外側(cè)，固定段套設(shè)在石英管的外側(cè)，且固定段的端面與密封組件相抵接觸，限制密封組件遠(yuǎn)離法蘭，實(shí)現(xiàn)對石英管的密封；同時將第一鎖件對準(zhǔn)法蘭上的卡槽的軸向段的開口推入，即使得鎖緊段套設(shè)在法蘭的外側(cè)；然后旋轉(zhuǎn)第一鎖件，使得鎖緊段的鎖柱沿卡槽的周向段移動，直至到達(dá)周向段的端頭，即實(shí)現(xiàn)了第一鎖件與法蘭的鎖緊，即實(shí)現(xiàn)了石英管與法蘭的鎖緊。需要拆卸石英管時，只需固定第二鎖件，旋轉(zhuǎn)第一鎖件，使得鎖柱脫離卡槽即可實(shí)現(xiàn)對石英管的完整拆卸。本實(shí)用新型提供的PECVD的石英管用鎖緊裝置，通過第一鎖件和第二鎖件實(shí)現(xiàn)了對石英管的鎖緊，需要拆卸石英管時，只需固定第二鎖件，旋轉(zhuǎn)第一鎖件，使得鎖柱脫離卡槽，實(shí)現(xiàn)了第一鎖件和第二鎖件與法蘭、密封組件的脫離，使得石英管不再被鎖緊，即可實(shí)現(xiàn)對石英管的完整拆卸，與現(xiàn)有技術(shù)相比，避免了在更換石英管時打碎石英管，減少了工作人員的工作量，降低了工作人員的勞動強(qiáng)度；同時，保證了石英管的完整性，提高了石英管的再利用率，降低了光伏電池的生產(chǎn)成本。

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD的石英管用鎖緊裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD的石英管用鎖緊裝置中的第一鎖件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供PECVD的石英管用鎖緊裝置中的第一鎖件的軸向剖視圖；圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供PECVD的石英管用鎖緊裝置中的連接段的徑向剖視圖；圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例提供PECVD的石英管用鎖緊裝置中的第二鎖件的結(jié)構(gòu)示 意圖；圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例提供PECVD的石英管用鎖緊裝置中的第二鎖件的軸向剖視圖。上圖I-圖6中石英管I、第一鎖件2、鎖緊段21、鎖柱211、盲孔212、連接段22、第一工具定位孔221、第二鎖件3、密封段31、凸臺311、開口 312、固定段32、第二工具定位孔321、密封組件
4、法蘭5、卡槽51。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型提供了一種PECVD的石英管用鎖緊裝置，降低了工作人員的勞動強(qiáng)度；同時，保證了石英管的完整性，提高了石英管的再利用率，降低了光伏電池的生產(chǎn)成本。下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。請參考附圖1-6，圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD的石英管用鎖緊裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD的石英管用鎖緊裝置中的第一鎖件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供PECVD的石英管用鎖緊裝置中的第一鎖件的軸向剖視圖；圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供PECVD的石英管用鎖緊裝置中的連接段的徑向剖視圖；圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例提供PECVD的石英管用鎖緊裝置中的第二鎖件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例提供PECVD的石英管用鎖緊裝置中的第二鎖件的軸向剖視圖。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD的石英管用鎖緊裝置，包括設(shè)有卡槽51的法蘭5和套設(shè)于石英管I上的密封組件4，卡槽51包括相連通的軸向段和周向段；可卡設(shè)于第一鎖件2內(nèi)部，能夠被限制沿遠(yuǎn)離法蘭5的方向移動的第二鎖件3，第一鎖件2包括連接段22和可套設(shè)于法蘭5上的鎖緊段21，鎖緊段21內(nèi)部設(shè)置有可沿卡槽51移動的鎖柱211 ;套設(shè)于第一鎖件2內(nèi)部的第二鎖件3，第二鎖件3包括套設(shè)于密封組件4上的密封段31和套設(shè)于石英管I上，且與密封組件4相抵接觸的固定段32。其中，密封組件4 一般包括密封件和套設(shè)在密封件外側(cè)的呂杯，密封件一般包括墊片、密封圈和墊圈。密封段31套設(shè)于呂杯的外側(cè)。[0038]上述實(shí)施例提供的PECVD的石英管用鎖緊裝置的鎖緊方法如下工作人員首先將第一鎖緊2、第二鎖件3和密封組件4套設(shè)在石英管I上，第二鎖件3內(nèi)伸于第一鎖件2的連接段22，實(shí)現(xiàn)二者的卡設(shè)相連，移動第一鎖件2和第二鎖件3，并使密封段31套設(shè)在密封組件4的外側(cè)，固定段32套設(shè)在石英管I的外側(cè)，且固定段32與密封組件4相抵接觸，限制密封組件4遠(yuǎn)離法蘭5，實(shí)現(xiàn)對石英管I的密封；同時將第一鎖件2對準(zhǔn)法蘭5上的卡槽51的軸向段的開口推入，即使得鎖緊段21套設(shè)在法蘭5的外側(cè)；然后旋轉(zhuǎn)第一鎖件2，使得鎖緊段21的鎖柱211沿卡槽51的周向段移動，直至到達(dá)周向段的端頭，即實(shí)現(xiàn)了第一鎖件2與法蘭5的鎖緊，上述鎖緊裝置，采用分體鎖套的形式，利用第二鎖件3與密封組件4相抵連接，通過第一鎖件2使得第二鎖件3與法蘭5鎖緊，第一鎖件2為 第二鎖件3提供沿軸線方向的作用力，使得石英管I與密封組件4、法蘭5相抵，即實(shí)現(xiàn)了將石英管I與法蘭5鎖緊。需要拆卸石英管I時，工作人員通過施加外力，只需固定第二鎖件3，旋轉(zhuǎn)第一鎖件2，使得鎖柱211脫離卡槽51，實(shí)現(xiàn)了第一鎖件2和第二鎖件3與法蘭5、密封組件4的脫離，使得石英管I不再被鎖緊，即可實(shí)現(xiàn)對石英管I的完整拆卸。具體地，在上述安裝過程中，可采用扭矩可調(diào)扳手旋轉(zhuǎn)第一鎖件2，當(dāng)扭矩可調(diào)扳手的扭矩達(dá)到設(shè)定的扭力時，即可實(shí)現(xiàn)第一鎖緊2與法蘭5的鎖緊；在上述拆卸過程中，可用一個扳手固定第二鎖件3，用另一個扳手旋轉(zhuǎn)第一鎖件2，實(shí)現(xiàn)石英管I的完整拆卸。當(dāng)然，上述實(shí)施例提供的PECVD的石英管用鎖緊裝置，還可以通過其他工具進(jìn)行安裝和拆卸，本實(shí)用新型對此不做具體地的限定。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD的石英管用鎖緊裝置，通過第一鎖件2和第二鎖件3實(shí)現(xiàn)了對石英管I的鎖緊，需要拆卸石英管I時，只需固定第二鎖件3，旋轉(zhuǎn)第一鎖件2，使得鎖柱211脫離卡槽51，實(shí)現(xiàn)了第一鎖件2和第二鎖件3與法蘭5、密封組件4的脫離，使得石英管I不再被鎖緊，即可實(shí)現(xiàn)對石英管I的完整拆卸，與現(xiàn)有技術(shù)相比，避免了在更換石英管I時打碎石英管I，減少了工作人員的工作量，降低了工作人員的勞動強(qiáng)度；同時，保證了石英管I的完整性，提高了石英管I的再利用率，降低了光伏電池的生產(chǎn)成本。為了便于第二鎖件3卡設(shè)在第一鎖件2內(nèi)，實(shí)現(xiàn)第二鎖件3與密封組件4相抵連接，上述實(shí)施例提供的PECVD的石英管用鎖緊裝置中，優(yōu)先選擇，鎖緊段21的內(nèi)徑大于連接段22的內(nèi)徑，便于第二鎖件3卡設(shè)在第一鎖件2的內(nèi)部，便于實(shí)現(xiàn)石英管I與法蘭5的密封相連。當(dāng)然，鎖緊段21的內(nèi)徑可與連接段22的內(nèi)徑大小相同，本實(shí)用新型對此不做具體地限定。第二鎖件3與第一鎖件2卡設(shè)相連，有多種實(shí)現(xiàn)方式。優(yōu)選的，密封段31靠近法蘭5的一端設(shè)置有能夠限制第二鎖件3遠(yuǎn)離法蘭5的凸臺311，凸臺311上設(shè)置有供鎖柱211通過密封段31的開口 312。凸臺311與鎖件段21相連，則連接段22限制了凸臺311遠(yuǎn)離法蘭5，即限制了第二鎖件3遠(yuǎn)離法蘭5，即保證了第二鎖件3與密封組件4相抵連接。當(dāng)然凸臺311可位于連接段22遠(yuǎn)離法蘭5的一端。為了更加穩(wěn)定的實(shí)現(xiàn)第二鎖件3與第一鎖件2卡設(shè)相連，凸臺311沿密封段31的周向延伸，凸臺311的外壁與鎖緊段21的內(nèi)壁貼合，使得第二鎖件3與第一鎖件2緊固相連，保證了第二鎖件3與密封組件4相抵連接，保證了石英管I與法蘭5的緊固相連。為了進(jìn)一步保證石英管I與法蘭5緊固相連，上述實(shí)施例提供的PECVD的石英管用鎖緊裝置中，鎖柱211的數(shù)目為兩個，開口 312的數(shù)目為兩個?？筛鶕?jù)法蘭5上的卡槽51的具體情況，設(shè)置多個鎖柱211，進(jìn)一步加固石英管I與法蘭5的相連，本實(shí)用新型對鎖柱211的具體數(shù)目不做具體地限定。優(yōu)先選擇鎖柱211關(guān)于第一鎖件2的軸線對稱分布，使得法蘭5和第一鎖件2受力均衡。上述實(shí)施例提供的PECVD的石英管用鎖緊裝置中，為了保證固定段32與密封組件4相抵接觸，第二組件3的固定段32的內(nèi)徑小于密封段31的內(nèi)徑，即固定段32的內(nèi)徑不大于密封組件4的內(nèi)徑。為了進(jìn)一步保證固定段32與密封組件4相抵接觸，固定段32與密封段31相連的一端設(shè)置有向密封段31凸出，且能夠限制密封組件4的密封件沿法蘭5的方向移動的抵接段。因?yàn)槊芊饨M件4包括密封件和套設(shè)在密封件外側(cè)的呂杯，抵接段限制看密封件沿遠(yuǎn)離法蘭5的方向移動，進(jìn)一步保證了石英管I與法蘭5的密封鎖緊。由于鎖柱211位于第一鎖件2的內(nèi)部，不便于使鎖柱211進(jìn)入或者離開卡槽51，為了便于安裝和拆卸上述鎖緊裝置，優(yōu)選的，鎖緊段21外壁上設(shè)置有盲孔212，盲孔212與鎖柱211共軸線，觀察盲孔212的位置，即可確定鎖柱211的位置，即方便了該鎖緊裝置的安裝和拆卸。當(dāng)然，鎖緊段21外壁上也可設(shè)置其他與鎖柱211位置相對的結(jié)構(gòu)或者部件，只要能夠直觀地確定鎖柱211的位置即可，本實(shí)用新型對此不做具體地限定。為了方便第一鎖緊2的旋轉(zhuǎn)，第一鎖件2的外壁上設(shè)置有第一工具定位孔221，可采用專用工具旋轉(zhuǎn)第一鎖件2，進(jìn)而便于上述PECVD的石英管用鎖緊裝置的安裝和拆卸。優(yōu)選的，第一工具定位孔221沿第一鎖件2的周向均勻分布于第一鎖件2上，使得第一鎖緊2均勻受力，避免對第一鎖件2造成損壞。第一鎖件2旋轉(zhuǎn)時，如果第二鎖件3不固定會帶動第二鎖件3隨著第一鎖件2的旋轉(zhuǎn)而轉(zhuǎn)動，在第二鎖件3旋轉(zhuǎn)的過程中可能會對石英管I造成磨損，為了降低石英管I磨損的風(fēng)險(xiǎn)，在將鎖柱211旋入卡槽51時，工作人員需要將第二鎖件3固定，然后在旋轉(zhuǎn)第一鎖件2，使得鎖柱211進(jìn)入卡槽51。將為了降低工作人員的勞動強(qiáng)度，上述實(shí)施例中，第二鎖件3遠(yuǎn)離第一鎖件2的一端的外壁上設(shè)置有第二工具定位孔321，可采用專用工具固定第二鎖件3，降低了工作人員的勞動強(qiáng)度。對所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會被限制于本文所述的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種PECVD的石英管用鎖緊裝置，包括設(shè)有卡槽(51)的法蘭(5)和套設(shè)于所述石英管(I)上的密封組件(4)，所述卡槽(51)包括相連通的軸向段和周向段，其特征在于，該石英管用鎖緊裝置還包括 套設(shè)于所述石英管(I)上的第一鎖件(2)，所述第一鎖件(2)包括連接段(22)和可外套于所述法蘭(5)的鎖緊段(21)，所述鎖緊段(21)內(nèi)部設(shè)置有可沿所述卡槽(51)移動的鎖柱(211)； 可卡設(shè)于所述第一鎖件(2)內(nèi)部，能夠被限制沿遠(yuǎn)離所述法蘭(5)的方向移動的第二鎖件(3)，所述第二鎖件(3)包括套設(shè)于所述密封組件(4)上的密封段(31)和套設(shè)于所述石英管(I)上，且端面與所述密封組件(4)相抵接觸的固定段(32)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的PECVD的石英管用鎖緊裝置，其特征在于，所述鎖緊段(21)的內(nèi)徑大于所述連接段(22)的內(nèi)徑。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的PECVD的石英管用鎖緊裝置，其特征在于，所述密封段(31)靠近所述法蘭(5)的一端設(shè)置有能夠限制所述第二鎖件(3)遠(yuǎn)離所述法蘭(5)的凸臺(311)，所述凸臺(311)上設(shè)置有供所述鎖柱(211)通過所述密封段(31)的開口(312)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的PECVD的石英管用鎖緊裝置，其特征在于，所述凸臺(311)沿所述密封段(31)的周向延伸，所述凸臺(311)的外壁與所述鎖緊段(21)的內(nèi)壁貼合。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的PECVD的石英管用鎖緊裝置，其特征在于，所述鎖柱(211)的數(shù)目為兩個，且所述鎖柱(211)關(guān)于所述第一鎖件(2)的軸線對稱分布；所述開口(312)的數(shù)目為兩個。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的PECVD的石英管用鎖緊裝置，其特征在于，所述固定段(32)與所述密封段(31)相連的一端設(shè)置有向所述密封段(31)凸出，且能夠限制所述密封組件(4)的密封件沿遠(yuǎn)離所述法蘭(5)的方向移動的抵接段。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的PECVD的石英管用鎖緊裝置，其特征在于，所述鎖緊段(21)外壁上設(shè)置有盲孔(212)，所述盲孔(212)與所述鎖柱(211)共軸線。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任意一項(xiàng)所述的PECVD的石英管用鎖緊裝置，其特征在于，所述第一鎖件(2)的外壁上設(shè)置有第一工具定位孔(221)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的PECVD的石英管用鎖緊裝置，其特征在于，所述第一工具定位孔(221)沿所述第一鎖件(2)的周向均勻分布于所述第一鎖件(2)上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任意一項(xiàng)所述的PECVD的石英管用鎖緊裝置，其特征在于，所述第二鎖件(3)遠(yuǎn)離所述第一鎖件(2)的一端的外壁上設(shè)置有第二工具定位孔(321)。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種PECVD的石英管用鎖緊裝置，包括設(shè)有卡槽的法蘭和套設(shè)于石英管上的密封組件，卡槽包括相連通的軸向段和周向段；套設(shè)于石英管上的第一鎖件，第一鎖件包括連接段和可外套于法蘭的鎖緊段，鎖緊段內(nèi)設(shè)置有可沿卡槽移動的鎖柱；可卡設(shè)于第一鎖件內(nèi)部，能夠被限制沿遠(yuǎn)離法蘭的方向移動的第二鎖件，第二鎖件包括套設(shè)于密封組件上的密封段和套設(shè)于石英管上，且端面與密封組件相抵接觸的固定段。上述PECVD的石英管用鎖緊裝置，實(shí)現(xiàn)了對石英管的鎖緊，需要拆卸石英管時固定第二鎖件、旋轉(zhuǎn)第一鎖件使鎖柱脫離卡槽，實(shí)現(xiàn)了對石英管的完整拆卸，降低了工作人員的勞動強(qiáng)度，提高了石英管的再利用率，降低了光伏電池的生產(chǎn)成本。
文檔編號C23C16/44GK202543318SQ201220157090
公開日2012年11月21日 申請日期2012年4月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月13日
發(fā)明者劉俊嶺, 孫雙慶, 李曉明 申請人:英利能源(中國)有限公司