專(zhuān)利名稱(chēng)：蒸鍍用掩模板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及OLED顯示屏制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種蒸鍍用掩模板及其制造方法。
背景技術(shù)：
有機(jī)電致發(fā)光器件，具有自發(fā)光、反應(yīng)時(shí)間快、視角廣、成本低、制造工藝簡(jiǎn)單、分辨率佳及高亮度等多項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)，被認(rèn)為是下一代的平面顯示器新興應(yīng)用技術(shù)。在OLED(Organic Light-Emitting Diode,有機(jī)電致發(fā)光二極管)技術(shù)中，真空蒸鍍中的掩模板技術(shù)是一項(xiàng)非常重要和關(guān)鍵的技術(shù)，該技術(shù)的精度等級(jí)直接影響OLED產(chǎn)品的質(zhì)量和制造成本。 傳統(tǒng)的蒸鍍用的掩模板是先在掩模板上加工出所需要的蒸鍍孔，再將該掩模板焊接到板框上。然而，在將掩模板焊接到板框上時(shí)，需要將掩模板拉平拉緊，而在掩模板上已經(jīng)制好了蒸鍍孔，在拉平的過(guò)程中，蒸鍍孔會(huì)受到繃緊力而變形，使蒸鍍孔偏離原來(lái)的設(shè)計(jì)尺寸和形狀，造成形狀和尺寸誤差，而由于OLED顯示屏的制造工藝對(duì)蒸鍍孔的精度要求非常高，這種誤差顯然會(huì)對(duì)蒸鍍效果產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，直接降低蒸鍍效果，使生產(chǎn)出來(lái)的OLED顯示屏存在較大的缺陷。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于，針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種蒸鍍用掩模板及其制造方法，可以有效避免蒸鍍孔變形，提高掩模板的精度和穩(wěn)定性。為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案。本發(fā)明提供一種蒸鍍用掩模板，包括板框和拉平固定于板框上的掩模板，所述掩模板上設(shè)置有多個(gè)規(guī)則排列的蒸鍍孔，所述多個(gè)蒸鍍孔位于掩模板的中央，所述蒸鍍孔的外圍設(shè)置有至少一排緩沖孔，每個(gè)所述緩沖孔與所述蒸鍍孔平行設(shè)置。優(yōu)選地，所述掩模板橫向設(shè)置有N列蒸鍍孔，縱向設(shè)置有M行蒸鍍孔，每行蒸鍍孔的左右兩邊分別設(shè)置有一個(gè)所述緩沖孔，每列蒸鍍孔的上下兩邊亦分別設(shè)置有一個(gè)所述緩沖孔，形成一圈緩沖帶。優(yōu)選地，每個(gè)所述蒸鍍孔內(nèi)部設(shè)置有條形網(wǎng)格，所述蒸鍍孔外設(shè)置有一排或一列緩沖孔，每排緩沖孔為N個(gè)，每列緩沖孔為M個(gè)，并分別與所述網(wǎng)格平行設(shè)置。優(yōu)選地，所述緩沖孔為矩形通孔或盲孔。優(yōu)選地，所述掩模板由鎳鐵合金或銦瓦合金制成，厚度為30 100 μ m。優(yōu)選地，所述板框由鎳鐵合金或銦瓦合金制成，厚度為14-50 mm，寬度為30-80mmD本發(fā)明還提供一種上述蒸鍍用掩模板的制造方法，該方法依次包括以下步驟 將所述掩模板裁成稍大于所述板框大小的尺寸，平放在所述板框上，將掩模板的四邊
拉平并貼緊在所述板框上；將所述掩模板焊接于所述板框上；
沿所述板框的外邊緣切除多余的部分；
在所述掩模板的外圍開(kāi)設(shè)至少一排緩沖孔；
在掩模板的中間開(kāi)設(shè)所述蒸鍍孔，并使所述緩沖孔與蒸鍍孔平行設(shè)置。優(yōu)選地，所述沿板框的外邊緣切除多余的部分的步驟具體為
采用激光工藝將所述多余部分切除。 優(yōu)選地，所述在蒸鍍孔的外圍開(kāi)設(shè)至少一排緩沖孔的步驟具體包括
沿掩模板的橫向開(kāi)設(shè)N列蒸鍍孔，沿縱向設(shè)置有M行蒸鍍孔，每行蒸鍍孔的左右兩邊分別開(kāi)設(shè)一個(gè)所述緩沖孔，每列蒸鍍孔的上下兩邊亦分別開(kāi)設(shè)一個(gè)所述緩沖孔，或者
每個(gè)所述蒸鍍孔內(nèi)部設(shè)置有條形網(wǎng)格，在所述蒸鍍孔外設(shè)置有一排或一列緩沖孔，每排緩沖孔為N個(gè)，每列緩沖孔為M個(gè)，并分別與所述網(wǎng)格平行設(shè)置。優(yōu)選地，所述在掩模板上位于板框內(nèi)處開(kāi)設(shè)所述蒸鍍孔的步驟具體為
采用激光切割工藝或化學(xué)蝕刻工藝開(kāi)設(shè)所述蒸鍍孔。本發(fā)明先將掩模板焊接于板框上，再在掩模板位于板框內(nèi)處開(kāi)設(shè)蒸鍍孔，并在蒸鍍孔旁設(shè)置緩沖孔，使得在蒸鍍用掩模板制造完成后，掩模板上的蒸鍍孔不會(huì)發(fā)生變形，在生產(chǎn)大尺寸的蒸鍍用掩模板時(shí)，效果更加明顯，因此可以有效地提高掩模板的精度和穩(wěn)定性，顯著提升OLED顯示屏特別是大尺寸OLED顯示屏的制造精度，降低制造成本。


圖1是本發(fā)明實(shí)施例中蒸鍍用掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖一。圖2是本發(fā)明實(shí)施例中蒸鍍用掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖二。圖3是本發(fā)明實(shí)施例中蒸鍍用掩模板的制造方法的流程示意圖。本發(fā)明目的的實(shí)現(xiàn)、功能特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)將結(jié)合實(shí)施例，參照附圖做進(jìn)一步說(shuō)明。
具體實(shí)施例方式以下將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，以便更清楚、直觀地理解本發(fā)明的發(fā)明實(shí)質(zhì)。圖1是本發(fā)明實(shí)施例中蒸鍍用掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖一；圖2是本發(fā)明實(shí)施例中蒸鍍用掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖二。參照?qǐng)D1所示，本實(shí)施例提供一種蒸鍍用掩模板，包括板框I和拉平固定于板框上的掩模板2，掩模板2上設(shè)置有規(guī)則排列的多個(gè)蒸鍍孔3，該多個(gè)蒸鍍孔3位于掩模板2的中央，并位于板框I內(nèi)部。在蒸鍍孔3的外圍設(shè)置有一圈緩沖孔4，用于緩沖掩模板2的繃緊力給蒸鍍孔3帶來(lái)的張力，從而保護(hù)蒸鍍孔3不變形。本實(shí)施例的掩模板2在橫向設(shè)置有N列蒸鍍孔3，在縱向設(shè)置有M行蒸鍍孔3，每行蒸鍍孔3的左右兩邊分別設(shè)置有一個(gè)緩沖孔4，每列蒸鍍孔3的上下兩邊亦分別設(shè)置有一個(gè)緩沖孔4，使每個(gè)緩沖孔4均與蒸鍍孔3平行。參照?qǐng)D2所示，若每個(gè)蒸鍍孔3的內(nèi)部設(shè)置有條形網(wǎng)格31，則只需在蒸鍍孔3外設(shè)置有一排或一列緩沖孔，且該排或該列緩沖孔4與上述網(wǎng)格31平行設(shè)置。其中，每排緩沖孔4為N個(gè)，每列緩沖孔4為M個(gè)，使每排蒸鍍孔3分別對(duì)應(yīng)一個(gè)緩沖孔4，每列蒸鍍孔3也分別對(duì)應(yīng)一個(gè)緩沖孔4，并且各自對(duì)齊，由于來(lái)自掩模板2的與網(wǎng)格31平行的方向的張力施加在網(wǎng)格31上，不會(huì)使蒸鍍孔3變形，無(wú)需設(shè)置緩沖孔4，而來(lái)自掩模板2的張力則完全由緩沖孔4吸收。為了更均勻地分散上述張力，本實(shí)施例的緩沖孔4設(shè)置為寬度較小的矩形通孔或盲孔。使蒸鍍孔3所受到的張力盡可能小，以保證其形狀和尺寸不會(huì)發(fā)生改變。本實(shí)施例的掩模板2由鎳鐵合金或銦瓦合金制成，厚度為30 100 μ m,板框I由鎳鐵合金或銦瓦合金制成，厚度為14-50 _，寬度為30-80 _。需要說(shuō)明的是，本發(fā)明所說(shuō)的板框I的寬度不是指板框I的外框的寬度，也非內(nèi)框的寬度，而是指板框I的外框與內(nèi)框之間的用于固定掩模板2的那部分的寬度。采用上述結(jié)構(gòu)的掩模板2，可以使蒸鍍孔3的實(shí)際尺寸與最初的設(shè)計(jì)尺寸基本一致，不會(huì)因受到掩模板2的張力而發(fā)生變化，特別是當(dāng)掩模板2為大尺寸時(shí)，蒸鍍孔3的精 度保持效果更加顯著，從而可以生產(chǎn)出高質(zhì)量的OLED顯示屏。圖3是本發(fā)明實(shí)施例中蒸鍍用掩模板的制造方法的流程示意圖。參照?qǐng)D3所示，本實(shí)施例提供一種加工上述蒸鍍用掩模板的制造方法，該方法主要包括以下步驟
S1:將掩模板裁成稍大于板框大小的尺寸，平放在板框上，將掩模板的四邊拉平并貼緊在板框上；
52:將掩模板焊接于板框上；
53:沿板框的外邊緣切除多余的部分；
54:在掩模板的外圍開(kāi)設(shè)至少一排緩沖孔；
55:在掩模板的中間開(kāi)設(shè)蒸鍍孔，并使緩沖孔與蒸鍍孔平行設(shè)置。其中，在步驟S3中，沿板框的外邊緣切除多余的部分的步驟具體為采用激光工藝將多余部分切除。因?yàn)榧す馇懈罴夹g(shù)的切割精度較高，而且無(wú)需復(fù)雜的裝夾工藝，恰可用于切除多余部分。在步驟S4中，在掩模板的外圍，位于板框內(nèi)部的位置上開(kāi)設(shè)至少一排緩沖孔，緩沖孔的數(shù)量對(duì)應(yīng)于預(yù)設(shè)的蒸鍍孔的數(shù)量，即若蒸鍍孔為M行、N列，則沿橫向開(kāi)設(shè)N個(gè)緩沖孔，沿縱向開(kāi)設(shè)M個(gè)緩沖孔，或者，若每個(gè)蒸鍍孔內(nèi)部設(shè)置有條形網(wǎng)格，在蒸鍍孔外設(shè)置有至少一排或至少一列緩沖孔，每排緩沖孔為N個(gè)，每列緩沖孔為M個(gè)，并分別與上述網(wǎng)格平行設(shè)置。這些緩沖孔構(gòu)成一個(gè)緩沖帶，設(shè)置在蒸鍍孔外圍，可均勻地分散掩模板的張力，避免蒸鍍孔因受力變形而產(chǎn)生誤差。在步驟S5中，在上述矩形緩沖帶內(nèi)開(kāi)設(shè)蒸鍍孔，并使蒸鍍孔與緩沖孔對(duì)應(yīng)平行，橫向設(shè)置的緩沖孔與橫排(M行)的蒸鍍孔平行，縱向設(shè)置的緩沖孔與縱列(N列)的蒸鍍孔平行。本實(shí)施例采用激光切割工藝或化學(xué)蝕刻工藝來(lái)加工蒸鍍孔，因?yàn)榧す馇懈罟に嚭突瘜W(xué)蝕刻工藝無(wú)需復(fù)雜的裝夾工序，也不會(huì)對(duì)掩模板造成損傷，因此，采用激光切割工藝和化學(xué)蝕刻工藝來(lái)開(kāi)設(shè)蒸鍍孔能滿(mǎn)足實(shí)際工藝需求，而且也能將蒸鍍孔加工成喇叭狀，滿(mǎn)足OLED顯示屏的蒸鍍需求。采用本方法可以使掩模板上的蒸鍍孔的形狀和尺寸保持原有的設(shè)計(jì)精度，避免了傳統(tǒng)的先加工蒸鍍孔，再將掩模板焊接于板框上的制造工藝中會(huì)使蒸鍍孔變形的現(xiàn)象，從而可以加工出大尺寸、高質(zhì)量的OLED顯示屏。
綜上所述，本發(fā)明先將掩模板焊接于板框上，再在掩模板位于板框內(nèi)處開(kāi)設(shè)蒸鍍孔，并在蒸鍍孔旁設(shè)置緩沖孔，使得在蒸鍍用掩模板制造完成后，掩模板上的蒸鍍孔不會(huì)發(fā)生變形，在生產(chǎn)大尺寸的蒸鍍用掩模板時(shí)，效果更加明顯，因此可以有效地提高掩模板的精度，顯著提升OLED顯示屏特別是大尺寸OLED顯示屏的制造精度，降低制造成本。
以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，并非因此限制其專(zhuān)利范圍，凡是利用本發(fā)明說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專(zhuān)利保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種蒸鍍用掩模板，包括板框和拉平固定于板框上的掩模板，所述掩模板上設(shè)置有規(guī)則排列的多個(gè)蒸鍍孔，其特征在于所述多個(gè)蒸鍍孔位于掩模板的中央，所述蒸鍍孔的外圍設(shè)置有至少一排緩沖孔，每個(gè)所述緩沖孔與所述蒸鍍孔平行設(shè)置。
2.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模板，其特征在于所述掩模板橫向設(shè)置有N列蒸鍍孔，縱向設(shè)置有M行蒸鍍孔，每行蒸鍍孔的左右兩邊分別設(shè)置有一個(gè)排所述緩沖孔，每列蒸鍍孔的上下兩邊亦分別設(shè)置有一個(gè)所述緩沖孔，形成一圈緩沖帶。
3.如權(quán)利要求2所述的蒸鍍用掩模板，其特征在于每個(gè)所述蒸鍍孔內(nèi)部設(shè)置有條形網(wǎng)格，所述蒸鍍孔外設(shè)置有一排或一列緩沖孔，每排緩沖孔為N個(gè)，每列緩沖孔為M個(gè)，并分別與所述網(wǎng)格平行設(shè)置。
4.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模板，其特征在于所述緩沖孔為矩形通孔或盲孔。
5.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模板，其特征在于所述掩模板由鎳鐵合金或銦瓦合金制成，厚度為30 100 μ m。
6.如權(quán)利要求5所述的蒸鍍用掩模板，其特征在于所述板框由鎳鐵合金或銦瓦合金制成，厚度為14-50 mm,寬度為30-80 mm。
7.—種權(quán)利要求1所述蒸鍍用掩模板的制造方法，其特征在于，依次包括以下步驟將所述掩模板裁成稍大于所述板框大小的尺寸，平放在所述板框上，將掩模板的四邊拉平并貼緊在所述板框上；將所述掩模板焊接于所述板框上；沿所述板框的外邊緣切除多余的部分；在所述掩模板的外圍開(kāi)設(shè)至少一排緩沖孔；在掩模板的中間開(kāi)設(shè)所述蒸鍍孔，并使所述緩沖孔與蒸鍍孔平行設(shè)置。
8.如權(quán)利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述沿板框的外邊緣切除多余的部分的步驟具體為采用激光工藝將所述多余部分切除。
9.如權(quán)利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述在蒸鍍孔的外圍開(kāi)設(shè)至少一排緩沖孔的步驟具體包括沿掩模板的橫向開(kāi)設(shè)N列蒸鍍孔，沿縱向設(shè)置有M行蒸鍍孔，每行蒸鍍孔的左右兩邊分別開(kāi)設(shè)一個(gè)所述緩沖孔，每列蒸鍍孔的上下兩邊亦分別開(kāi)設(shè)一個(gè)所述緩沖孔，或者每個(gè)所述蒸鍍孔內(nèi)部設(shè)置有條形網(wǎng)格，在所述蒸鍍孔外設(shè)置有一排或一列緩沖孔，每排緩沖孔為N個(gè)，每列緩沖孔為M個(gè)，并分別與所述網(wǎng)格平行設(shè)置。
10.如權(quán)利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述在掩模板上位于板框內(nèi)處開(kāi)設(shè)所述蒸鍍孔的步驟具體為采用激光切割工藝或化學(xué)蝕刻工藝開(kāi)設(shè)所述蒸鍍孔。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種蒸鍍用掩模板及其制造方法，包括板框和拉平固定于板框上的掩模板，掩模板上設(shè)置有規(guī)則排列的多個(gè)蒸鍍孔，所述多個(gè)蒸鍍孔位于掩模板的中央，所述蒸鍍孔的外圍設(shè)置有至少一排緩沖孔，緩沖孔與所述蒸鍍孔平行設(shè)置。本發(fā)明可使得在蒸鍍用掩模板制造完成后，掩模板上的蒸鍍孔不會(huì)發(fā)生變形，在生產(chǎn)大尺寸的蒸鍍用掩模板時(shí)，效果更加明顯，因此可以有效地提高掩模板的精度，顯著提升OLED顯示屏特別是大尺寸OLED顯示屏的制造精度，降低制造成本。
文檔編號(hào)C23C14/04GK103014618SQ20121056966
公開(kāi)日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月25日
發(fā)明者唐軍 申請(qǐng)人:唐軍, 錢(qián)超