專(zhuān)利名稱(chēng)：化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及ー種化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備。
背景技術(shù)：
化學(xué)機(jī)械研磨(CMP, chemical mechanical polishing,也稱(chēng)為化學(xué)機(jī)械拋光)目前被廣泛用于半導(dǎo)體 制造過(guò)程中的表面平坦化工藝處理。化學(xué)機(jī)械研磨的過(guò)程是把晶圓放在旋轉(zhuǎn)的研磨墊上，再加一定的壓力，用化學(xué)研磨液來(lái)研磨晶圓以使晶圓平坦化。在化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備對(duì)硅片進(jìn)行研磨的過(guò)程中，研磨劑(拋光液)通過(guò)管路流在研磨墊上，在研磨過(guò)程中起到潤(rùn)滑作用，并且研磨劑也可與所研磨的硅片起適當(dāng)?shù)幕瘜W(xué)反應(yīng)，提高研磨去除速度。諸如美國(guó)應(yīng)用材料公司生產(chǎn)的Mirra Mesa之類(lèi)的化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備通過(guò)研磨劑傳遞機(jī)械臂來(lái)傳遞研磨劑。為了防止在使用了研磨劑傳遞機(jī)械臂之后忘記使研磨劑傳遞機(jī)械臂復(fù)位，設(shè)計(jì)了近距離開(kāi)關(guān)來(lái)檢測(cè)研磨劑傳遞機(jī)械臂的實(shí)際位置。圖I示意性地示出了研磨劑傳遞機(jī)械臂的示意圖。該研磨劑傳遞機(jī)械臂包括可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂部分I、不可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂保持部分2、布置在機(jī)械臂保持部分2上的傳感器安裝孔3、以及布置在傳感器安裝孔3內(nèi)的機(jī)械臂傳感器(未示出)。其中，傳感器安裝孔3對(duì)應(yīng)于機(jī)械臂部分I的復(fù)位位置。機(jī)械臂傳感器例如是近距離開(kāi)關(guān)，一種無(wú)源元件。其中，機(jī)械臂傳感器用于在開(kāi)始進(jìn)行學(xué)機(jī)械研磨處理之前在感測(cè)到機(jī)械臂部分I未復(fù)位時(shí)發(fā)出相應(yīng)的信號(hào)。例如，在感測(cè)到機(jī)械臂部分I已經(jīng)復(fù)位時(shí)，機(jī)械臂傳感器發(fā)出信號(hào)“O”；反之，在感測(cè)到機(jī)械臂部分I未復(fù)位時(shí)，機(jī)械臂傳感器發(fā)出信號(hào)“ I”。具體地說(shuō)，圖2示意性地示出了圖I所示的研磨劑傳遞機(jī)械臂未復(fù)位時(shí)的示意圖。如圖2所示，由于可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂部分I相對(duì)于不可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂保持部分2的旋轉(zhuǎn)，當(dāng)機(jī)械臂部分I上設(shè)置的檢測(cè)對(duì)象(如黒色半圓所表示，檢測(cè)對(duì)象覆蓋機(jī)械臂保持部分2的半個(gè)圓)未達(dá)到對(duì)應(yīng)于機(jī)械臂部分I的復(fù)位位置的傳感器安裝孔3時(shí)，傳感器安裝孔3處的機(jī)械臂傳感器4感測(cè)不到機(jī)械臂部分1，從而判斷機(jī)械臂部分I未復(fù)位。圖3示意性地示出了圖I所示的研磨劑傳遞機(jī)械臂復(fù)位時(shí)的示意圖。如圖2所示，由于可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂部分I相對(duì)于不可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂保持部分2的旋轉(zhuǎn)，當(dāng)機(jī)械臂部分I上設(shè)置的檢測(cè)對(duì)象(如黒色半圓所表示，檢測(cè)對(duì)象覆蓋機(jī)械臂保持部分2的半個(gè)圓)達(dá)到對(duì)應(yīng)于機(jī)械臂部分I的復(fù)位位置的傳感器安裝孔3時(shí)，傳感器安裝孔3處的機(jī)械臂傳感器4感測(cè)到機(jī)械臂部分1，從而判斷機(jī)械臂部分I已經(jīng)復(fù)位。但是，如果連接機(jī)械臂傳感器的電纜發(fā)生故障，那么將不會(huì)從機(jī)械臂傳感器發(fā)出警告信息機(jī)臺(tái)端接收到的信號(hào)是“0”，機(jī)臺(tái)認(rèn)為機(jī)械臂已經(jīng)復(fù)位。所以，這時(shí)，即使感測(cè)到機(jī)械臂部分I未復(fù)位，也無(wú)法正確地發(fā)送警告信號(hào)；由此化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備不會(huì)停止處理。這樣的話，由于機(jī)械臂部分I未復(fù)位，從而不會(huì)傳遞研磨劑，由此化學(xué)機(jī)械將在沒(méi)有研磨劑的情況下進(jìn)行，從而損壞晶圓。
因此，希望提供ー種能夠有效地感測(cè)機(jī)械臂部分是否復(fù)位的解決方案。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在上述缺陷，在不改變?cè)袀鞲衅鬟壿嫞ㄟ^(guò)物理位置調(diào)整實(shí)現(xiàn)邏輯反轉(zhuǎn)，提供ー種能夠有效地感測(cè)機(jī)械臂部分是否復(fù)位的化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備。根據(jù)本發(fā)明，提供了ー種化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備，其包括可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂部分、不可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂保持部分、布置在機(jī)械臂保持部分上的反向傳感器安裝孔、布置在反向傳感 器安裝孔內(nèi)的機(jī)械臂傳感器、布置在機(jī)械臂部分上的檢測(cè)對(duì)象、以及處理單元；其中，反向傳感器安裝孔與對(duì)應(yīng)于機(jī)械臂部分的復(fù)位位置相対；其中，機(jī)械臂傳感器用于在開(kāi)始進(jìn)行學(xué)機(jī)械研磨處理之前在感測(cè)到機(jī)械臂部分復(fù)位時(shí)發(fā)出表示機(jī)械臂部分復(fù)位的復(fù)位通知信號(hào)，并且，機(jī)械臂傳感器在感測(cè)到機(jī)械臂部分未復(fù)位時(shí)不發(fā)出任何信號(hào)；其中，所述檢測(cè)對(duì)象覆蓋了的截面的超過(guò)180度的扇形部分；并且，一方面，由于可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂部分相對(duì)于不可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂保持部分的旋轉(zhuǎn)，當(dāng)機(jī)械臂部分上設(shè)置的檢測(cè)對(duì)象所形成的扇形的開(kāi)ロ部分未對(duì)應(yīng)于反向傳感器安裝孔位置處的機(jī)械臂傳感器時(shí)，傳感器安裝孔處的機(jī)械臂傳感器感測(cè)不到機(jī)械臂部分，由此機(jī)械臂傳感器不發(fā)出任何信號(hào)；另一方面，由于可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂部分相對(duì)于不可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂保持部分的旋轉(zhuǎn)，當(dāng)機(jī)械臂部分上設(shè)置的檢測(cè)對(duì)象所形成的扇形的開(kāi)ロ部分對(duì)應(yīng)于反向傳感器安裝孔位置處的機(jī)械臂傳感器時(shí)，傳感器安裝孔處的機(jī)械臂傳感器感測(cè)到機(jī)械臂部分，從而機(jī)械臂傳感器發(fā)出復(fù)位通知信號(hào)；而且，化學(xué)研磨設(shè)備的處理單元在從機(jī)械臂傳感器接收到復(fù)位通知信號(hào)之后才啟動(dòng)對(duì)待處理晶圓的化學(xué)研磨處理。優(yōu)選地，所述機(jī)械臂保持部分的截面未被所述檢測(cè)對(duì)象覆蓋的弧形部分的尺寸對(duì)應(yīng)于反向傳感器安裝孔內(nèi)的機(jī)械臂傳感器的尺寸。優(yōu)選地，所述檢測(cè)對(duì)象覆蓋了機(jī)械臂保持部分的截面的340度至355度的扇形部分。優(yōu)選地，所述檢測(cè)對(duì)象6覆蓋了機(jī)械臂保持部分2的截面的350度的扇形部分。優(yōu)選地，所述機(jī)械臂傳感器是近距離開(kāi)關(guān)。優(yōu)選地，所述復(fù)位通知信號(hào)是信號(hào)“ I ”根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，由于機(jī)械臂傳感器在感測(cè)到機(jī)械臂部分未復(fù)位時(shí)不發(fā)出任何信號(hào)，而只有在機(jī)械臂傳感器感測(cè)到機(jī)械臂部分復(fù)位時(shí)而且此時(shí)只有傳感器工作正常時(shí)才能發(fā)出復(fù)位通知信號(hào)，從而化學(xué)研磨設(shè)備才能啟動(dòng)對(duì)待處理晶圓的化學(xué)研磨處理。由此，只有在連接機(jī)械臂傳感器的電纜沒(méi)有故障，并且機(jī)械臂部分已經(jīng)復(fù)位從而可以提供研磨劑時(shí)，才可以啟動(dòng)對(duì)待處理晶圓的化學(xué)研磨處理。換言之，這種改進(jìn)設(shè)計(jì)解決了原有機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì)的一個(gè)缺陷當(dāng)傳感器失效時(shí)，如果機(jī)械臂不在位置機(jī)臺(tái)也不會(huì)停止研磨。只有當(dāng)傳感器エ作正常而且機(jī)械臂位置正確時(shí)候機(jī)臺(tái)才可以開(kāi)始研磨處理。所以，根據(jù)本發(fā)明的化學(xué)研磨設(shè)備不會(huì)出現(xiàn)由于化學(xué)機(jī)械將在沒(méi)有研磨劑的情況下進(jìn)行從而損壞晶圓的問(wèn)題。從而，本發(fā)明提供ー種能夠有效地感測(cè)機(jī)械臂部分是否復(fù)位的化學(xué)研磨設(shè)備。


結(jié)合附圖，并通過(guò)參考下面的詳細(xì)描述，將會(huì)更容易地對(duì)本發(fā)明有更完整的理解并且更容易地理解其伴 隨的優(yōu)點(diǎn)和特征，其中圖I示意性地示出了研磨劑傳遞機(jī)械臂的示意圖。圖2示意性地示出了圖I所示的研磨劑傳遞機(jī)械臂未復(fù)位時(shí)的示意圖。圖3示意性地示出了圖I所示的研磨劑傳遞機(jī)械臂復(fù)位時(shí)的示意圖。圖4示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的研磨劑傳遞機(jī)械臂未復(fù)位時(shí)的示意圖。圖5示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的研磨劑傳遞機(jī)械臂復(fù)位時(shí)的示意圖。需要說(shuō)明的是，附圖用于說(shuō)明本發(fā)明，而非限制本發(fā)明。注意，表示結(jié)構(gòu)的附圖可能并非按比例繪制。并且，附圖中，相同或者類(lèi)似的元件標(biāo)有相同或者類(lèi)似的標(biāo)號(hào)。
具體實(shí)施例方式為了使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚和易懂，下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)描述。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備包括可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂部分I、不可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂保持部分2、布置在機(jī)械臂保持部分2上的反向傳感器安裝孔、以及布置在反向傳感器安裝孔內(nèi)的機(jī)械臂傳感器4。其中，反向傳感器安裝孔與對(duì)應(yīng)于機(jī)械臂部分I的復(fù)位位置相対。機(jī)械臂傳感器4例如是近距離開(kāi)關(guān)，一種無(wú)源元件。其中，機(jī)械臂傳感器4用于在開(kāi)始進(jìn)行學(xué)機(jī)械研磨處理之前在感測(cè)到機(jī)械臂部分I復(fù)位時(shí)發(fā)出表示機(jī)械臂部分I復(fù)位的復(fù)位通知信號(hào)，例如復(fù)位通知信號(hào)是信號(hào)“ 1”，當(dāng)然，復(fù)位通知信號(hào)也可以是信號(hào)“O”。并且，與現(xiàn)有技術(shù)不同的是，機(jī)械臂傳感器4在感測(cè)到機(jī)械臂部分I未復(fù)位時(shí)不發(fā)出任何信號(hào)。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備還包括布置在機(jī)械臂部分上的檢測(cè)對(duì)象6。并且，如圖4和圖5，機(jī)械臂部分I上設(shè)置的檢測(cè)對(duì)象，與現(xiàn)有技術(shù)不同的是，所述檢測(cè)對(duì)象6不僅僅只覆蓋機(jī)械臂保持部分2的截面的180度的半個(gè)圓部分，而是覆蓋了的截面的超過(guò)180度的扇形部分。例如，優(yōu)選地，所述檢測(cè)對(duì)象6覆蓋了機(jī)械臂保持部分2的截面的340度至355度的扇形部分。更優(yōu)選地，所述檢測(cè)對(duì)象6覆蓋了機(jī)械臂保持部分2的截面的350度的扇形部分。此外，優(yōu)選地，在具體優(yōu)選實(shí)施例中，機(jī)械臂保持部分2的截面未被所述檢測(cè)對(duì)象6覆蓋的弧形部分的尺寸對(duì)應(yīng)于反向傳感器安裝孔內(nèi)的機(jī)械臂傳感器4的尺寸。相應(yīng)地，圖4示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的研磨劑傳遞機(jī)械臂未復(fù)位時(shí)的示意圖。如圖4所示，由于可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂部分I相對(duì)于不可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂保持部分2的旋轉(zhuǎn)，當(dāng)機(jī)械臂部分I上設(shè)置的檢測(cè)對(duì)象6所形成的扇形的開(kāi)ロ部分未對(duì)應(yīng)于反向傳感器安裝孔位置處的機(jī)械臂傳感器4時(shí)，傳感器安裝孔3處的機(jī)械臂傳感器4感測(cè)不到機(jī)械臂部分1，從而判斷機(jī)械臂部分I未復(fù)位。并且，與現(xiàn)有技術(shù)不同的是，在感測(cè)到機(jī)械臂部分I未復(fù)位時(shí)，機(jī)械臂傳感器不發(fā)出任何信號(hào)。此外，圖5示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的研磨劑傳遞機(jī)械臂復(fù)位時(shí)的示意圖。圖5所示的機(jī)械臂部分I的復(fù)位狀態(tài)等同于圖3所示的機(jī)械臂部分I的復(fù)位狀態(tài)。如圖5所示，由于可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂部分I相對(duì)于不可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂保持部分2的旋轉(zhuǎn)，當(dāng)機(jī)械臂部分I上設(shè)置的檢測(cè)對(duì)象6所形成的扇形的開(kāi)ロ部分對(duì)應(yīng)于反向傳感器安裝孔位置處的機(jī)械臂傳感器4吋，傳感器安裝孔3處的機(jī)械臂傳感器4感測(cè)到機(jī)械臂部分1，從而判斷機(jī)械臂部分I已經(jīng)復(fù)位。并且，在感測(cè)到機(jī)械臂部分I未復(fù)位時(shí)，機(jī)械臂傳感器4發(fā)出復(fù)位通知信號(hào)，例如信號(hào)“I”。并且，與現(xiàn)有技術(shù)不同的是，化學(xué)研磨設(shè)備的處理單元(未示出)在從機(jī)械臂傳感器4接收到復(fù)位通知信號(hào)之后才啟動(dòng)對(duì)待處理晶圓的化學(xué)研磨處理。由此，可以看出，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，由于機(jī)械臂傳感器4在感測(cè)到機(jī)械臂部分I未復(fù)位時(shí)不發(fā)出任何信號(hào)，而只有在機(jī)械臂傳感器4感測(cè)到機(jī)械臂部分I復(fù)位時(shí)才發(fā)出復(fù)位通知信號(hào)，從而化學(xué)研磨設(shè)備才能啟動(dòng)對(duì)待處理晶圓的化學(xué)研磨處理。由此，只有在連接機(jī)械臂傳感器的電纜沒(méi)有故障，并且機(jī)械臂部分I已經(jīng)復(fù)位從而可以提供研磨劑(拋光液)時(shí)，才可以啟動(dòng)對(duì)待處理晶圓的化學(xué)研磨處理?？梢钥闯?，本發(fā)明實(shí)施例的這種改進(jìn)設(shè)計(jì)解決了原有機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì)的一個(gè)缺陷當(dāng)傳感器失效時(shí)，如果機(jī)械臂不在位置機(jī)臺(tái)也不會(huì)停止研磨。只有當(dāng)傳感器工作正常而且機(jī)械臂位置正確時(shí)候機(jī)臺(tái)才可以開(kāi)始研磨處理。所以，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的化學(xué)研磨設(shè)備不會(huì)出現(xiàn)由于化學(xué)機(jī)械將在沒(méi)有研磨劑的情況下進(jìn)行從而損壞晶圓的問(wèn)題。從而，提供ー種能夠有效地感測(cè)機(jī)械臂部分是否復(fù)位的化學(xué)研磨設(shè)備?？梢岳斫獾氖?，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，然而上述實(shí)施例并非用以限定本發(fā)明。對(duì)于任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述掲示的技術(shù)內(nèi)容對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。權(quán)利要求
1.ー種化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備，其特征在于包括可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂部分、不可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂保持部分、布置在機(jī)械臂保持部分上的反向傳感器安裝孔、布置在反向傳感器安裝孔內(nèi)的機(jī)械臂傳感器、布置在機(jī)械臂部分上的檢測(cè)對(duì)象、以及處理單元； 其中，反向傳感器安裝孔與對(duì)應(yīng)于機(jī)械臂部分的復(fù)位位置相對(duì)； 其中，機(jī)械臂傳感器用于在開(kāi)始進(jìn)行學(xué)機(jī)械研磨處理之前在感測(cè)到機(jī)械臂復(fù)位并發(fā)出表示機(jī)械臂部分復(fù)位的復(fù)位通知信號(hào)，并且，機(jī)械臂傳感器在感測(cè)到機(jī)械臂部分未復(fù)位時(shí)不發(fā)出任何信號(hào)； 其中，所述檢測(cè)對(duì)象覆蓋了的截面的超過(guò)180度的扇形部分； 并且，一方面，由于可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂部分相對(duì)于不可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂保持部分的旋轉(zhuǎn)，當(dāng)機(jī)械臂部分上設(shè)置的檢測(cè)對(duì)象所形成的扇形的開(kāi)ロ部分未對(duì)應(yīng)于反向傳感器安裝孔位置處的機(jī)械臂傳感器吋，傳感器安裝孔處的機(jī)械臂傳感器感測(cè)不到機(jī)械臂部分，由此機(jī)械臂傳感器不發(fā)出任何信號(hào)； 另ー方面，由于可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂部分相對(duì)于不可旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂保持部分的旋轉(zhuǎn)，當(dāng)機(jī)械臂部分上設(shè)置的檢測(cè)對(duì)象所形成的扇形的開(kāi)ロ部分對(duì)應(yīng)于反向傳感器安裝孔位置處的機(jī)械臂傳感器時(shí)，傳感器安裝孔處的機(jī)械臂傳感器感測(cè)到機(jī)械臂部分，從而機(jī)械臂傳感器發(fā)出復(fù)位通知信號(hào)； 而且，化學(xué)研磨設(shè)備的處理單元在從機(jī)械臂傳感器接收到復(fù)位通知信號(hào)之后才啟動(dòng)對(duì)待處理晶圓的化學(xué)研磨處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備，其特征在于，所述機(jī)械臂保持部分的截面未被所述檢測(cè)對(duì)象覆蓋的弧形部分的尺寸對(duì)應(yīng)于反向傳感器安裝孔內(nèi)的機(jī)械臂傳感器的尺寸。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備，其特征在于，所述檢測(cè)對(duì)象覆蓋了機(jī)械臂保持部分的截面的340度至355度的扇形部分。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備，其特征在于，所述檢測(cè)對(duì)象6覆蓋了機(jī)械臂保持部分2的截面的350度的扇形部分。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備，其特征在于，所述機(jī)械臂傳感器是近距離開(kāi)關(guān)。
6.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備，其特征在于，所述復(fù)位通知信號(hào)是信號(hào)“ I，，。
全文摘要
化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備包括布置在機(jī)械臂保持部分上的反向傳感器安裝孔、布置在反向傳感器安裝孔內(nèi)的機(jī)械臂傳感器、以及布置在機(jī)械臂部分上的檢測(cè)對(duì)象。由于機(jī)械臂部分相對(duì)于機(jī)械臂保持部分的旋轉(zhuǎn)，當(dāng)機(jī)械臂部分上設(shè)置的檢測(cè)對(duì)象所形成的扇形的開(kāi)口部分對(duì)應(yīng)于反向傳感器安裝孔位置處的機(jī)械臂傳感器時(shí)，安裝孔處的機(jī)械臂傳感器感測(cè)到機(jī)械臂，從而機(jī)械臂傳感器發(fā)出復(fù)位通知信號(hào)；而且，處理單元在從機(jī)械臂傳感器接收到復(fù)位通知信號(hào)之后才啟動(dòng)對(duì)待處理晶圓的化學(xué)研磨處理。所以，該改進(jìn)設(shè)計(jì)解決了原有機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì)的一個(gè)缺陷當(dāng)傳感器失效時(shí)，如果機(jī)械臂不在位置機(jī)臺(tái)也不會(huì)停止研磨。只有當(dāng)傳感器工作正常而且機(jī)械臂位置正確時(shí)候機(jī)臺(tái)才可以開(kāi)始研磨處理。
文檔編號(hào)B24B37/005GK102744674SQ20121026075
公開(kāi)日2012年10月24日 申請(qǐng)日期2012年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月26日
發(fā)明者楊陽(yáng), 石強(qiáng), 邱麟, 邵爾劍, 陳洪雷 申請(qǐng)人:上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司