專(zhuān)利名稱(chēng)：磨邊裝置及磨邊方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種磨邊裝置及磨邊方法。
背景技術(shù)：
作為玻璃板等板狀體的磨邊裝置，已知有一種磨邊裝置，其具有吸附板狀體的工作臺(tái)和對(duì)在該工作臺(tái)的上表面吸附的板狀體的周緣部進(jìn)行磨削的砂輪(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。該磨邊裝置具有對(duì)在工作臺(tái)的上表面設(shè)置的多個(gè)開(kāi)口部?jī)?nèi)進(jìn)行減壓的減壓裝置和向多個(gè)開(kāi)口部?jī)?nèi)供給壓縮氣體的供氣裝置。在該磨邊裝置中，通過(guò)減壓裝置對(duì)多個(gè)開(kāi)口部?jī)?nèi)進(jìn)行減壓，將板狀體吸附于工作臺(tái)。并且，在吸附前，供氣裝置向多個(gè)開(kāi)口部?jī)?nèi)供給壓縮氣體，所以板狀體因壓縮氣體的風(fēng)壓而處于從工作臺(tái)浮起的狀態(tài)，因此能夠減輕工作臺(tái)和板狀體的接觸壓力，從而能夠使工作臺(tái)和板狀體容易地對(duì)位?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2009-203141號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問(wèn)題然而，雖然上述現(xiàn)有的磨邊裝置對(duì)多個(gè)開(kāi)口部?jī)?nèi)進(jìn)行減壓而進(jìn)行吸附，但是沒(méi)有特別規(guī)定開(kāi)始減壓的順序。因此，根據(jù)開(kāi)始減壓的順序，有時(shí)會(huì)將板狀體在變形的狀態(tài)下吸附于工作臺(tái)，在板狀體的周緣部的位置產(chǎn)生變動(dòng)，磨削精度低。本發(fā)明是鑒于上述課題而完成的，其目的在于提供一種磨削精度高的磨邊裝置及磨邊方法。用于解決問(wèn)題的手段為了解決上述課題，本發(fā)明提供一種磨邊裝置，具有吸附板狀體的工作臺(tái)和對(duì)吸附于該工作臺(tái)的吸附面的板狀體的周緣部進(jìn)行磨削的砂輪，其中，所述吸附面由3個(gè)以上的吸附區(qū)域構(gòu)成，在各吸附區(qū)域至少各設(shè)置有一個(gè)開(kāi)口部，所述磨邊裝置具有減壓裝置，該減壓裝置從距所述吸附面的中央近的吸附區(qū)域朝向距所述吸附面的中央遠(yuǎn)的吸附區(qū)域，依次對(duì)每個(gè)吸附區(qū)域開(kāi)始各開(kāi)口部?jī)?nèi)的減壓，從而進(jìn)行吸附。在本發(fā)明的磨邊裝置中，優(yōu)選的是，所述砂輪的磨削對(duì)象為矩形形狀的所述板狀體的彼此相對(duì)的兩邊，所述磨邊裝置還具有在吸附前使所述工作臺(tái)和所述板狀體對(duì)位的對(duì)位裝置，所述對(duì)位裝置具有四對(duì)能夠與所述板狀體的四邊中的任一邊接觸的接觸體，在兩對(duì)所述接觸體與作為非磨削對(duì)象的兩邊接觸而夾住所述板狀體之后，剩余的兩對(duì)所述接觸體與作為磨削對(duì)象的兩邊接觸而夾住所述板狀體，從而進(jìn)行對(duì)位。在本發(fā)明的磨邊裝置中，優(yōu)選的是，所述對(duì)位裝置使另一對(duì)接觸體朝向固定于所述工作臺(tái)的一對(duì)接觸體靠近，以使剩余的兩對(duì)所述接觸體與作為磨削對(duì)象的兩邊接觸而夾住所述板狀體，從靠近方向觀察，進(jìn)行靠近的一對(duì)所述接觸體和作為磨削對(duì)象的一邊的兩個(gè)接觸位置分別處于固定的一對(duì)所述接觸體和作為磨削對(duì)象的剩余的一邊的兩個(gè)接觸位置之間。并且，本發(fā)明提供一種磨邊方法，包括使板狀體吸附于工作臺(tái)的吸附工序和對(duì)吸附于所述工作臺(tái)的吸附面的板狀體的周緣部進(jìn)行磨削的磨削工序，其中，所述吸附面由3個(gè)以上的吸附區(qū)域構(gòu)成，在各吸附區(qū)域至少各設(shè)置有一個(gè)開(kāi)口部，在所述吸附工序中，從距所述吸附面的中央近的吸附區(qū)域朝向距所述吸附面的中央遠(yuǎn)的吸附區(qū)域，依次對(duì)每個(gè)吸附區(qū)域開(kāi)始各開(kāi)口部?jī)?nèi)的減壓，從而進(jìn)行吸附。本發(fā)明的磨邊方法，優(yōu)選的是，在所述磨削工序中，對(duì)矩形形狀的所述板狀體的彼此相對(duì)的兩邊進(jìn)行磨削，所述磨邊方法還具有對(duì)位工序，該對(duì)位工序是在所述吸附工序之前使用四對(duì)能夠與所述板狀體的四邊中的任一邊接觸的接觸體來(lái)使所述工作臺(tái)和所述板狀體對(duì)位的工序，在所述對(duì)位工序中，在兩對(duì)所述接觸體與作為非磨削對(duì)象的兩邊接觸而夾住所述板狀體之后，剩余的兩對(duì)所述接觸體與作為磨削對(duì)象的兩邊接觸而夾住所述板狀體，從而進(jìn)行對(duì)位。本發(fā)明的磨邊方法，優(yōu)選的是，在所述對(duì)位工序中，使另一對(duì)接觸體朝向固定于所述工作臺(tái)的一對(duì)接觸體靠近，以使所述剩余的兩對(duì)接觸體與作為磨削對(duì)象的兩邊接觸而夾住所述板狀體，從靠近方向觀察，進(jìn)行靠近的一對(duì)所述接觸體和作為磨削對(duì)象的一邊的兩個(gè)接觸位置分別處于固定的一對(duì)所述接觸體和作為磨削對(duì)象的剩余的一邊的兩個(gè)接觸位置之間。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種磨削精度高的磨邊裝置及磨邊方法。


圖1是本發(fā)明的一實(shí)施方式的磨邊裝置的概略結(jié)構(gòu)圖(I)。圖2是本發(fā)明的一實(shí)施方式的磨邊裝置的概略結(jié)構(gòu)圖(2)。圖3是由減壓裝置40開(kāi)始減壓時(shí)的工作臺(tái)20的截面圖。圖4是由供氣裝置50供給壓縮氣體時(shí)的工作臺(tái)20的截面圖。圖5是本發(fā)明的一實(shí)施方式的磨邊方法的說(shuō)明圖(I)。圖6是本發(fā)明的一實(shí)施方式的磨邊方法的說(shuō)明圖(2)。圖7是本發(fā)明的一實(shí)施方式的磨邊方法的說(shuō)明圖(3)。圖8是移載機(jī)的概略結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的方式進(jìn)行說(shuō)明。(磨邊裝置)圖1及圖2是本發(fā)明的一實(shí)施方式的磨邊裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。圖3是由減壓裝置40開(kāi)始減壓時(shí)的工作臺(tái)20的截面圖。圖4是由供氣裝置50供給壓縮氣體時(shí)的工作臺(tái)20的截面圖。如圖1及圖2所示，磨邊裝置10例如具有工作臺(tái)20、砂輪30、減壓裝置40、供氣裝置50、及對(duì)位裝置60。磨邊裝置10是對(duì)板狀體100的周緣部進(jìn)行磨削的裝置。例如，磨邊裝置10對(duì)矩形形狀的板狀體100的彼此相對(duì)的兩邊102、104進(jìn)行磨削。在此，“矩形形狀”除了長(zhǎng)方形(包括正方形)之外，還包括長(zhǎng)方形的角被切削或修圓后的形狀。此外，在磨邊裝置10的附近設(shè)有與磨邊裝置10相同的結(jié)構(gòu)且對(duì)板狀體100的剩余兩邊106、108進(jìn)行磨削的裝置。相鄰的磨邊裝置10之間的板狀體100的交接通過(guò)移載機(jī)70 (參照?qǐng)D8)進(jìn)行。移載機(jī)70為一般的結(jié)構(gòu)即可，例如如圖8所示，由支承板狀體100的框架(支承體)71等構(gòu)成?？蚣?1具有框架主體72及在框架主體72的下表面排列的多個(gè)吸附墊73。吸附墊73具有吸附板狀體100的吸附面74。在吸附面74上設(shè)有吸附孔，并連接于真空泵等吸氣源。在板狀體100與吸附面74接觸的狀態(tài)下，吸氣源進(jìn)行動(dòng)作并對(duì)吸附孔內(nèi)進(jìn)行減壓后，將板狀體100吸附于吸附面74。從該狀態(tài)開(kāi)始，吸氣源停止動(dòng)作并將吸附孔內(nèi)向大氣開(kāi)放時(shí)，吸附被解除。框架71構(gòu)成為能夠沿水平方向及上下方向移動(dòng)。作為使框架71沿水平方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)源，例如使用伺服馬達(dá)。為了將伺服馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成直線運(yùn)動(dòng)并傳遞至框架71，在伺服馬達(dá)和框架71之間設(shè)置了滾珠絲杠、皮帶、或齒條齒輪等。另一方面，作為使框架71沿上下方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)源，使用伺服馬達(dá)、液壓缸(例如氣壓缸、油壓缸)等。(板狀體)板狀體100通過(guò)在具有兩個(gè)磨邊裝置10的制造生產(chǎn)線上流動(dòng)，對(duì)四邊102 108進(jìn)行磨邊。進(jìn)行磨邊的順序沒(méi)有限制，既可以在對(duì)長(zhǎng)邊進(jìn)行磨邊之后對(duì)短邊進(jìn)行磨邊，也可以以相反的順序進(jìn)行。板狀體100只要是一般的板狀體即可，可以為玻璃板(包括夾層玻璃板)、金屬板、陶瓷板、樹(shù)脂板、半導(dǎo)體板、復(fù)合材料板等。(工作臺(tái))如圖1所示，工作臺(tái)20具有吸附板狀體100的吸附面22。吸附面22可以為工作臺(tái)20的上表面。吸附面22由三個(gè)以上(在本實(shí)施方式中為三個(gè))的吸附區(qū)域221 223構(gòu)成，在各吸附區(qū)域221 223至少各設(shè)有一個(gè)開(kāi)口部24 (在本實(shí)施方式中為兩個(gè))。此外，在本實(shí)施方式中，吸附面22物理上分成三個(gè)吸附區(qū)域221 223，相鄰的吸附區(qū)域分離，但本發(fā)明并不限定于此。即，吸附面22可以概念性地分成三個(gè)以上的吸附區(qū)域，相鄰的吸附區(qū)域也可以接觸。開(kāi)口部24具有凹狀的形狀，在開(kāi)口部24的內(nèi)底面設(shè)有吸氣孔26及供氣孔28。吸氣孔26及供氣孔28在每個(gè)開(kāi)口部24至少各設(shè)有一個(gè)。
多個(gè)開(kāi)口部24既可以為同一形狀也可以為不同的形狀。(砂輪)如圖2所示，砂輪30為對(duì)在工作臺(tái)20的吸附面22吸附的板狀體100的周緣部進(jìn)行磨削的部件。例如，砂輪30設(shè)有兩個(gè)，各自的磨削對(duì)象為矩形形狀的板狀體100的彼此相對(duì)的兩邊102、104中的任一邊。砂輪30構(gòu)成為能夠以與作為磨削對(duì)象的一邊102、104接觸、分離的方式，或者以沿著作為磨削對(duì)象的一邊102、104移動(dòng)的方式，相對(duì)于工作臺(tái)20進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。砂輪30例如形成為大致圓板狀，砂輪30的外周面作為磨削面。砂輪30在與板狀體100的周緣部接觸時(shí)，由電動(dòng)馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)而繞自身的中心軸旋轉(zhuǎn)，從而對(duì)板狀體100的周緣部進(jìn)行磨削。(減壓裝置)如圖1所示，減壓裝置40為對(duì)多個(gè)開(kāi)口部24內(nèi)進(jìn)行減壓的裝置。例如，減壓裝置40由真空泵等吸氣源42、多個(gè)開(kāi)閉閥44、及計(jì)算機(jī)等控制裝置46構(gòu)成。開(kāi)閉閥44例如由電磁閥等構(gòu)成。開(kāi)閉閥44在連接吸氣源42和多個(gè)吸氣孔26的連接路徑的中途(例如比連接路徑的分支點(diǎn)更靠吸氣孔26側(cè))設(shè)有多個(gè)，開(kāi)閉連接路徑。控制裝置46控制吸氣源42的輸出，控制每個(gè)開(kāi)閉閥44的開(kāi)閉。在控制裝置46的控制下，吸氣源42進(jìn)行動(dòng)作，并且各開(kāi)閉閥44打開(kāi)時(shí)，對(duì)與吸氣源42連通的開(kāi)口部24內(nèi)進(jìn)行減壓。開(kāi)口部24內(nèi)的氣壓比大氣壓低時(shí)，板狀體100被按壓并吸附于工作臺(tái)20。在解除吸附時(shí)，在控制裝置46的控制下，各開(kāi)閉閥44關(guān)閉，停止各開(kāi)口部24內(nèi)的減壓。與此呼應(yīng)，吸氣源42停止動(dòng)作。然后，為了使各開(kāi)口部24內(nèi)的氣壓返回至大氣壓，在控制裝置46的控制下，將與各開(kāi)口部24連接的漏泄閥向大氣開(kāi)放后，吸附被解除。減壓裝置40從距吸附面22的中央近的吸附區(qū)域222朝向距吸附面22的中央遠(yuǎn)的吸附區(qū)域221、223，依次在每個(gè)吸附區(qū)域221 223開(kāi)始各開(kāi)口部24內(nèi)的減壓，從而進(jìn)行吸附。設(shè)置于一個(gè)吸附區(qū)域的多個(gè)(在本實(shí)施方式中為兩個(gè))開(kāi)口部24內(nèi)的減壓大致同時(shí)進(jìn)行。如圖3所示，例如，減壓裝置40按照沿左右方向并排的三個(gè)吸附區(qū)域221 223中的中央的吸附區(qū)域222、左右兩端的吸附區(qū)域221、223的順序開(kāi)始各開(kāi)口部24內(nèi)的減壓。中央的吸附區(qū)域222包括吸附面22的中央?；蛘?，減壓裝置40也可以按照中央的吸附區(qū)域222、左端的吸附區(qū)域221 (或者右端的吸附區(qū)域223)、右端的吸附區(qū)域223 (或者左端的吸附區(qū)域221)的順序開(kāi)始各開(kāi)口部24內(nèi)的減壓。這些操作通過(guò)將打開(kāi)多個(gè)開(kāi)閉閥44的時(shí)刻錯(cuò)開(kāi)而實(shí)施。如此，從距吸附面22的中央近的吸附區(qū)域222朝向距吸附面22的中央遠(yuǎn)的吸附區(qū)域221、223，依次在每個(gè)吸附區(qū)域221 223開(kāi)始開(kāi)口部24內(nèi)的減壓，從而進(jìn)行吸附。這樣，板狀體100的自由端部最后被吸附，所以能夠釋放到此為止在板狀體100上累積的變形的大部分。并且，板狀體100的中央部最先被吸附，所以能夠縮短直至釋放變形為止移動(dòng)的距離，從而能夠抑制變形的累積。由此，能夠提高此后進(jìn)行的磨削的精度。由于板狀體100越是大面積化、薄板化，板狀體100越容易變形，所以該效果顯著。近年來(lái)，不斷進(jìn)行液晶顯示(IXD)面板、等離子顯示面板(PDP)、有機(jī)EL顯示(OLED)面板等顯示面板的大面積化、薄型化，從而進(jìn)行構(gòu)成顯示面板的玻璃基板的大面積化、薄板化。因此，有可能對(duì)具有1800mm以上的長(zhǎng)度、1500mm以上的寬度的玻璃基板進(jìn)行磨邊，也有可能對(duì)具有3300mm以上的長(zhǎng)度、2800mm以上的寬度的玻璃基板進(jìn)行磨邊。并且，有可能對(duì)具有2.8mm以下的板厚的玻璃基板進(jìn)行磨邊。板狀體100越是大面積化，本實(shí)施方式的磨邊裝置10越能達(dá)到顯著的效果，所以適合具有1800mm以上的長(zhǎng)度、1500mm以上的寬度的玻璃基板的磨邊，特別適合具有3300mm以上的長(zhǎng)度、2800mm以上的寬度的玻璃基板的磨邊。并且，板狀體100越是薄板化，磨邊裝置10越能達(dá)到顯著的效果，所以適合具有2.8mm以下的板厚的玻璃基板的磨邊，更適合
0.7mm以下,特別適合0.5mm以下。此外,從操作性和生產(chǎn)率的角度來(lái)看,玻璃基板的板厚優(yōu)選0.1mm以上。(供氣裝置)如圖1所示，供氣裝置50為向多個(gè)開(kāi)口部24內(nèi)供給壓縮氣體的裝置。例如，供氣裝置50由壓氣機(jī)或儲(chǔ)氣瓶等壓縮氣體源52、多個(gè)開(kāi)閉閥54、及控制裝置46構(gòu)成。此外，在本實(shí)施方式中，減壓裝置40和供氣裝置50共有控制裝置46。開(kāi)閉閥54在連接壓縮氣體源52和多個(gè)供氣孔28的連接路徑的中途(例如比連接路徑的分支點(diǎn)更靠供氣孔28側(cè))設(shè)有多個(gè)，開(kāi)閉連接路徑。開(kāi)閉閥54例如由電磁閥等構(gòu)成。控制裝置46控制壓縮氣體源52的輸出，控制每個(gè)開(kāi)閉閥54的開(kāi)閉。在控制裝置46的控制下，各開(kāi)閉閥54打開(kāi)時(shí)，向與壓縮氣體源52連通的開(kāi)口部24內(nèi)供給壓縮氣體，通過(guò)壓縮氣體的風(fēng)壓，能夠減輕工作臺(tái)20和板狀體100的接觸壓力(參照?qǐng)D4)。由此，能夠在吸附前容易地進(jìn)行工作臺(tái)20和板狀體100的對(duì)位。此外，在使用壓氣機(jī)等作為壓縮氣體源52的情況下，打開(kāi)各開(kāi)閉閥54時(shí)，使壓縮氣體源52進(jìn)行動(dòng)作。從該狀態(tài)開(kāi)始，關(guān)閉各開(kāi)閉閥54時(shí)，不向開(kāi)口部24內(nèi)供給壓縮氣體，所以開(kāi)口部24內(nèi)的壓力返回至大氣壓，板狀體100與工作臺(tái)20接觸。此外，在使用壓氣機(jī)等作為壓縮氣體源52的情況下，關(guān)閉各開(kāi)閉閥54時(shí)，使壓縮氣體源52停止動(dòng)作。(對(duì)位裝置)如圖2所示，對(duì)位裝置60為在吸附前使工作臺(tái)20和板狀體100對(duì)位的裝置。在對(duì)位裝置60進(jìn)行對(duì)位期間，供氣裝置50繼續(xù)向各開(kāi)口部24內(nèi)供給壓縮氣體。由此，板狀體100處于從工作臺(tái)20浮起的狀態(tài)，所以能夠容易地進(jìn)行對(duì)位。對(duì)位裝置60具有四對(duì)能夠與板狀體100的四邊102 108中的任一邊接觸的接觸體62 68。各對(duì)接觸體62 68由兩個(gè)接觸體構(gòu)成。各接觸體分別形成為例如圓板狀，具有能夠與板狀體100的四邊102 108中的任一邊接觸的外周面。各對(duì)接觸體62 68在兩個(gè)部位(例如兩點(diǎn))與任一邊接觸。通過(guò)在兩個(gè)部位接觸，能夠降低板狀體100的自由度。此外，也可以在構(gòu)成各對(duì)接觸體62 68的兩個(gè)接觸體之間配置一個(gè)以上同樣的結(jié)構(gòu)的接觸體。各對(duì)接觸體62 68構(gòu)成為能夠以與任一邊接觸、分離的方式，相對(duì)于工作臺(tái)20進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。使各對(duì)接觸體62 68移動(dòng)的移動(dòng)裝置為一般的結(jié)構(gòu)即可。例如，使各對(duì)接觸體62、66移動(dòng)的移動(dòng)裝置由伺服馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)源、將驅(qū)動(dòng)源的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成直線運(yùn)動(dòng)并傳遞至各對(duì)接觸體62、66的滾珠絲杠、沿規(guī)定方向引導(dǎo)各對(duì)接觸體62、66的引導(dǎo)部件等構(gòu)成。引導(dǎo)部件固定于支承工作臺(tái)20的臺(tái)座。各對(duì)接觸體62、66相對(duì)于工作臺(tái)20能夠在期望的位置停止。并且，使各對(duì)接觸體64、68移動(dòng)的移動(dòng)裝置由氣壓缸或油壓缸等流體壓力缸構(gòu)成。液壓缸的一端與各對(duì)接觸體64、68連接，液壓缸的另一端與支承工作臺(tái)20的臺(tái)座連接。各對(duì)接觸體64、68各自能夠相對(duì)于工作臺(tái)20進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)。本實(shí)施方式的對(duì)位裝置60在兩對(duì)接觸體66、68與作為非磨削對(duì)象的兩邊106、108接觸并夾住板狀體100之后，剩余的兩對(duì)接觸體62、64與作為磨削對(duì)象的兩邊102、104接觸并夾住板狀體100，從而進(jìn)行對(duì)位。如此，首先，若使作為非磨削對(duì)象的兩邊106、108對(duì)位，則板狀體100的剩余的自由度變少，所以能夠提高作為磨削對(duì)象的兩邊102、104的對(duì)位的精度，從而能夠提高此后進(jìn)行的磨削的精度。并且，本實(shí)施方式的對(duì)位裝置60朝向固定于工作臺(tái)20的一對(duì)接觸體62，使另一對(duì)接觸體64沿箭頭A方向靠近(參照?qǐng)D6)，以使剩余的兩對(duì)接觸體62、64與作為磨削對(duì)象的兩邊102、104接觸并夾住板狀體100。使固定的一對(duì)接觸體62移動(dòng)的移動(dòng)裝置如上述一樣由伺服馬達(dá)等構(gòu)成，使進(jìn)行靠近的一對(duì)接觸體64移動(dòng)的移動(dòng)裝置如上述一樣由流體壓力缸等構(gòu)成。如圖6所示，從靠近方向(箭頭A方向)觀察，進(jìn)行靠近的一對(duì)接觸體64和作為磨削對(duì)象的一邊104的兩個(gè)接觸位置201、202分別處于固定的一對(duì)接觸體62和作為磨削對(duì)象的剩余的一邊102的兩個(gè)接觸位置203、204之間。因此，進(jìn)行靠近的一對(duì)接觸體64施加于一邊104的兩個(gè)推壓力能夠限制對(duì)板狀體100施加轉(zhuǎn)矩，從而能夠提高此后進(jìn)行的磨削的精度。上述兩個(gè)接觸位置201、202相對(duì)于一邊104的中央對(duì)稱(chēng)地配置。同樣，上述兩個(gè)接觸位置203、204相對(duì)于剩余的一邊102的中央對(duì)稱(chēng)地配置。由此，能夠進(jìn)一步抑制在板狀體100上產(chǎn)生轉(zhuǎn)矩。在該情況下，若將上述兩個(gè)接觸位置201、202的間隔設(shè)為L(zhǎng)I(參照?qǐng)D6)[單位mm]、將上述兩個(gè)接觸位置203、204的間隔設(shè)為L(zhǎng)2(參照?qǐng)D6)[單位mm]，則期望滿(mǎn)足2/3 ( LI/L2 < I的關(guān)系式。通過(guò)使L1/L2小于I，在對(duì)位時(shí)，能夠限制在板狀體100上產(chǎn)生轉(zhuǎn)矩。另一方面，使L1/L2小于2/3時(shí)，對(duì)接觸體64的兩個(gè)推壓力Fl、F2集中地作用于板狀體100，所以板狀體100變形成大致V字狀。對(duì)位裝置60使另一對(duì)接觸體68向固定于工作臺(tái)20的一對(duì)接觸體66靠近，以使兩對(duì)接觸體66、68與作為非磨削對(duì)象的兩邊106、108接觸并夾住板狀體100。使固定的一對(duì)接觸體66移動(dòng)的移動(dòng)裝置如上述一樣由伺服馬達(dá)等構(gòu)成，使進(jìn)行靠近的一對(duì)接觸體68移動(dòng)的移動(dòng)裝置如上述一樣由流體壓力缸等構(gòu)成。兩對(duì)接觸體66、68和作為非磨削對(duì)象的各邊106、108的接觸位置可以不滿(mǎn)足上述關(guān)系式。例如，在各邊106、108上的兩個(gè)接觸位置相對(duì)于各邊106、108的中央對(duì)稱(chēng)地配置的情況下，將一邊106上的兩個(gè)接觸位置的間隔設(shè)為L(zhǎng)3 (參照?qǐng)D6)[單位mm]、將剩余的一邊108上的兩個(gè)接觸位置的間隔設(shè)為L(zhǎng)4 (參照?qǐng)D6)[單位mm]時(shí)，滿(mǎn)足L3/L4 = I的關(guān)系式即可。(磨邊方法)
圖5 圖7是本發(fā)明的一實(shí)施方式的磨邊方法的說(shuō)明圖。以下，除了根據(jù)圖5 圖7之外，還根據(jù)圖3 圖4對(duì)使用了上述結(jié)構(gòu)的磨邊裝置10的磨邊方法進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式的磨邊方法依次具有使工作臺(tái)20和板狀體100對(duì)位的對(duì)位工序、使板狀體100吸附于工作臺(tái)20的吸附工序、及對(duì)板狀體100的周緣部進(jìn)行磨削的磨削工序。在對(duì)位工序中，首先，如圖4所示，供氣裝置50向多個(gè)開(kāi)口部24內(nèi)供給壓縮氣體，利用壓縮氣體的風(fēng)壓減輕工作臺(tái)20和板狀體100的接觸壓力。隨后，對(duì)位裝置60使用四對(duì)能夠與板狀體100的四邊102 108中的任一邊接觸的接觸體62 68來(lái)使工作臺(tái)20和板狀體100對(duì)位。在對(duì)位裝置60進(jìn)行對(duì)位期間，供氣裝置50繼續(xù)向各開(kāi)口部24內(nèi)供給壓縮氣體。由此，能夠容易地進(jìn)行對(duì)位。在本實(shí)施方式的對(duì)位工序中，如圖5所示，在兩對(duì)接觸體66、68與作為非磨削對(duì)象的兩邊106、108接觸并夾住板狀體100之后，如圖6所示，剩余的兩對(duì)接觸體62、64與作為磨削對(duì)象的兩邊102、104接觸并夾住板狀體100，從而進(jìn)行對(duì)位。更詳細(xì)而言，首先，如圖5所示，使一對(duì)移動(dòng)體66在相對(duì)于工作臺(tái)20已對(duì)位的基礎(chǔ)上進(jìn)行固定。隨后，使另一對(duì)移動(dòng)體68向固定的一對(duì)移動(dòng)體66靠近,從而兩對(duì)接觸體66,68與作為非磨削對(duì)象的兩邊106、108接觸并夾住板狀體100。夾住板狀體100的力能夠由使對(duì)接觸體66移動(dòng)的移動(dòng)裝置的液壓缸的輸出進(jìn)行調(diào)整。然后，同樣地，如圖6所示，使一對(duì)移動(dòng)體62在相對(duì)于工作臺(tái)20已對(duì)位的基礎(chǔ)上進(jìn)行固定。隨后，使另一對(duì)移動(dòng)體64向固定的一對(duì)移動(dòng)體62靠近，從而剩余的兩對(duì)接觸體62,64與作為磨削對(duì)象的兩邊102、104接觸并夾住板狀體100。夾住板狀體100的力能夠由使對(duì)接觸體64移動(dòng)的移動(dòng)裝置的液壓缸的輸出進(jìn)行調(diào)整。如此，首先，若使作為非磨削對(duì)象的兩邊106、108對(duì)位，則板狀體100的剩余的自由度變少，所以能夠提高作為磨削對(duì)象的兩邊102、104的對(duì)位的精度，從而能夠提高此后進(jìn)行的磨削的精度。并且，在本實(shí)施方式的對(duì)位工序中，如上述一樣，如圖6所示，朝向固定于工作臺(tái)20的一對(duì)接觸體62，使另一對(duì)接觸體64靠近，以使剩余的兩對(duì)接觸體62、64與作為磨削對(duì)象的兩邊102、104接觸并夾住板狀體100。從靠近方向(箭頭A方向)觀察，進(jìn)行靠近的一對(duì)接觸體64和作為磨削對(duì)象的一邊104的兩個(gè)接觸位置201、202分別處于固定的一對(duì)接觸體62和作為磨削對(duì)象的剩余的一邊102的兩個(gè)接觸位置203、204之間。因此，進(jìn)行靠近的一對(duì)接觸體64施加于一邊104的兩個(gè)推壓力能夠限制對(duì)板狀體100施加轉(zhuǎn)矩，從而能夠提高此后進(jìn)行的磨削的精度。如此，使工作臺(tái)20和板狀體100對(duì)位。對(duì)位工序后，供氣裝置50停止壓縮氣體的供給，使工作臺(tái)20和板狀體100接觸。該操作在吸附工序開(kāi)始前實(shí)施。在吸附工序中，如圖3所示，減壓裝置40對(duì)在工作臺(tái)20的吸附面22設(shè)置的開(kāi)口部24內(nèi)進(jìn)行減壓而進(jìn)行吸附。在本實(shí)施方式中，從距吸附面22的中央近的吸附區(qū)域222朝向距吸附面22的中央遠(yuǎn)的吸附區(qū)域221、223，依次在每個(gè)吸附區(qū)域221 223開(kāi)始各開(kāi)口部24內(nèi)的減壓。例如，減壓裝置40按照?qǐng)D3中沿左右方向并排的三個(gè)吸附區(qū)域221 223中的中央的吸附區(qū)域222、左右兩端的吸附區(qū)域221、223的順序開(kāi)始各開(kāi)口部24內(nèi)的減壓。
如此，若從距吸附面22的中央近的吸附區(qū)域222朝向距吸附面22的中央遠(yuǎn)的吸附區(qū)域221、223，依次在每個(gè)吸附區(qū)域221 223進(jìn)行開(kāi)口部24內(nèi)的減壓，則板狀體100的自由端部最后被吸附，所以能夠釋放到此為止在板狀體100上累積的變形的大部分。并且，板狀體100的中央部最先被吸附，所以能夠縮短直至釋放變形為止移動(dòng)的距離，從而能夠抑制變形的累積。由此，能夠獲得板狀體位置的再現(xiàn)性，并能夠提高此后進(jìn)行的磨削的精度。由于板狀體100越是大面積化、薄板化，板狀體100越容易變形，所以該效果顯著。吸附工序之后，對(duì)位裝置60使各對(duì)接觸體62 68從板狀體100分離。此外，該操作也可以在吸附工序之前進(jìn)行?？傊灰谀ハ鞴ば蛑斑M(jìn)行即可。在磨削工序中，如圖7所示，砂輪30對(duì)在工作臺(tái)20的吸附面22吸附的板狀體100的周緣部進(jìn)行磨削。例如，砂輪30設(shè)有兩個(gè)，分別對(duì)矩形形狀的板狀體100的彼此相對(duì)的兩邊102、104中的任一邊進(jìn)行磨削。更詳細(xì)而言，使一個(gè)砂輪30在使其外周面與作為磨削對(duì)象的一邊102接觸的狀態(tài)下，沿一邊102移動(dòng)的同時(shí)旋轉(zhuǎn)。同樣，使另一個(gè)砂輪30在使其外周面與作為磨削對(duì)象的剩余的一邊104接觸的狀態(tài)下，沿剩余的一邊104移動(dòng)的同時(shí)旋轉(zhuǎn)。如此，對(duì)板狀體100的彼此相對(duì)的兩邊102、104進(jìn)行磨削、磨邊。磨邊既可以是R磨邊，也可以是C磨邊，并不限制磨邊的種類(lèi)。磨邊后，使砂輪30從板狀體100分離，停止砂輪30的旋轉(zhuǎn)。然后，減壓裝置40使開(kāi)口部24內(nèi)的氣壓返回至大氣壓時(shí)，板狀體100向工作臺(tái)20的吸附被解除。板狀體100在彼此相對(duì)的兩邊102、104被磨邊之后，被移送至與磨邊裝置10相鄰的另一磨邊裝置，并對(duì)剩余的兩邊106、108進(jìn)行磨邊,從而變成產(chǎn)品。以上，對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施 方式進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不限制于上述實(shí)施方式，能夠不超出本發(fā)明的范圍而對(duì)上述實(shí)施方式施加各種變形及替換。例如，上述實(shí)施方式的磨邊裝置10為只對(duì)矩形形狀的板狀體100的彼此相對(duì)的兩邊102、104進(jìn)行磨邊的裝置,但也可以為在對(duì)兩邊102、104進(jìn)行磨邊之后使工作臺(tái)20旋轉(zhuǎn)90°而進(jìn)一步對(duì)剩余的兩邊106、108進(jìn)行磨邊的裝置。詳細(xì)地并且參照特定的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說(shuō)明，但能夠不超出本發(fā)明的范圍和宗旨而施加各種修改或變更對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)是顯而易見(jiàn)的。本申請(qǐng)基于2010年11月I日提出的日本專(zhuān)利申請(qǐng)2010-245584，并將其內(nèi)容作為參照引用于此。標(biāo)號(hào)說(shuō)明10磨邊裝置20工作臺(tái)22吸附面221 223吸附區(qū)域24開(kāi)口部30砂輪40減壓裝置50供氣裝置60對(duì)位裝置62 68 對(duì)接觸體
70移載機(jī)100板狀體102、104作為磨削對(duì)象的邊106、1 08作為非磨削對(duì)象的邊
權(quán)利要求
1.一種磨邊裝置，具有吸附板狀體的工作臺(tái)和對(duì)吸附于該工作臺(tái)的吸附面的板狀體的周緣部進(jìn)行磨削的砂輪，其中， 所述吸附面由3個(gè)以上的吸附區(qū)域構(gòu)成，在各吸附區(qū)域至少各設(shè)置有一個(gè)開(kāi)口部，所述磨邊裝置具有減壓裝置，該減壓裝置從距所述吸附面的中央近的吸附區(qū)域朝向距所述吸附面的中央遠(yuǎn)的吸附區(qū)域，依次對(duì)每個(gè)吸附區(qū)域開(kāi)始各開(kāi)口部?jī)?nèi)的減壓，從而進(jìn)行吸附。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨邊裝置，其中， 所述砂輪的磨削對(duì)象為矩形形狀的所述板狀體的彼此相對(duì)的兩邊， 所述磨邊裝置還具有在吸附前使所述工作臺(tái)和所述板狀體對(duì)位的對(duì)位裝置， 所述對(duì)位裝置具有四對(duì)能夠與所述板狀體的四邊中的任一邊接觸的接觸體，在兩對(duì)所述接觸體與作為非磨削對(duì)象的兩邊接觸而夾住所述板狀體之后，剩余的兩對(duì)所述接觸體與作為磨削對(duì)象的兩邊接觸而夾住所述板狀體，從而進(jìn)行對(duì)位。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磨邊裝置，其中， 所述對(duì)位裝置使另一對(duì)接觸體朝向固定于所述工作臺(tái)的一對(duì)接觸體靠近，以使剩余的兩對(duì)所述接觸體與作為磨削對(duì)象的兩邊接觸而夾住所述板狀體， 從靠近方向觀察，進(jìn)行靠近的一對(duì)所述接觸體和作為磨削對(duì)象的一邊的兩個(gè)接觸位置分別處于固定的一對(duì)所述接觸體和作為磨削對(duì)象的剩余的一邊的兩個(gè)接觸位置之間。
4.一種磨邊方法，包括使板狀體吸附于工作臺(tái)的吸附工序和對(duì)吸附于所述工作臺(tái)的吸附面的板狀體的周緣部進(jìn)行磨削的磨削工序，其中， 所述吸附面由3個(gè)以上的吸附區(qū)域構(gòu)成，在各吸附區(qū)域至少各設(shè)置有一個(gè)開(kāi)口部， 在所述吸附工序中，從距所述吸附面的中央近的吸附區(qū)域朝向距所述吸附面的中央遠(yuǎn)的吸附區(qū)域，依次對(duì)每個(gè)吸附區(qū)域開(kāi)始各開(kāi)口部?jī)?nèi)的減壓，從而進(jìn)行吸附。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的磨邊方法，其中， 在所述磨削工序中，對(duì)矩形形狀的所述板狀體的彼此相對(duì)的兩邊進(jìn)行磨削， 所述磨邊方法還具有對(duì)位工序，該對(duì)位工序是在所述吸附工序之前使用四對(duì)能夠與所述板狀體的四邊中的任一邊接觸的接觸體來(lái)使所述工作臺(tái)和所述板狀體對(duì)位的工序， 在所述對(duì)位工序中，在兩對(duì)所述接觸體與作為非磨削對(duì)象的兩邊接觸而夾住所述板狀體之后，剩余的兩對(duì)所述接觸體與作為磨削對(duì)象的兩邊接觸而夾住所述板狀體，從而進(jìn)行對(duì)位。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的磨邊方法，其中， 在所述對(duì)位工序中，使另一對(duì)接觸體朝向固定于所述工作臺(tái)的一對(duì)接觸體靠近，以使所述剩余的兩對(duì)接觸體與作為磨削對(duì)象的兩邊接觸而夾住所述板狀體， 從靠近方向觀察，進(jìn)行靠近的一對(duì)所述接觸體和作為磨削對(duì)象的一邊的兩個(gè)接觸位置分別處于固定的一對(duì)所述接觸體和作為磨削對(duì)象的剩余的一邊的兩個(gè)接觸位置之間。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種磨邊裝置，其具有吸附板狀體的工作臺(tái)和對(duì)在該工作臺(tái)的吸附面吸附的板狀體的周緣部進(jìn)行磨削的砂輪，在該磨邊裝置中，所述吸附面由3個(gè)以上的吸附區(qū)域構(gòu)成，在各吸附區(qū)域至少各設(shè)有一個(gè)開(kāi)口部，所述磨邊裝置具有減壓裝置，該減壓裝置從距所述吸附面的中央近的吸附區(qū)域朝向距所述吸附面的中央遠(yuǎn)的吸附區(qū)域，依次在每個(gè)吸附區(qū)域開(kāi)始各開(kāi)口部?jī)?nèi)的減壓，從而進(jìn)行吸附。
文檔編號(hào)B24B9/10GK103201072SQ20118005284
公開(kāi)日2013年7月10日 申請(qǐng)日期2011年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月1日
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