專利名稱：一種石英管鎖套的保護(hù)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種石英管鎖套的保護(hù)裝置。
背景技術(shù)：
PECVD，即等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積，是太陽能電池生產(chǎn)中一個(gè)必不可少的工序。而PECVD工序具體是指通過等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積在硅片表面形成一層起到減反射和鈍化效果的氮化硅薄膜。在太陽能電池生產(chǎn)過程中，需要使用到石英管，而且石英管的兩端通過鎖套固定在生產(chǎn)設(shè)備的內(nèi)部。其中，鎖套上均勻分布有六個(gè)圓孔，便于扳手鎖緊鎖套，使其穩(wěn)定固定在生產(chǎn)設(shè)備的內(nèi)部。在太陽能電池生產(chǎn)過程中，受生產(chǎn)工藝的要求，氮化硅會時(shí)刻產(chǎn)生，若鎖套沒有任何保護(hù)裝置，直接裸露在設(shè)備內(nèi)部，會導(dǎo)致大量氮化硅附著在鎖套上，從而堵塞鎖套上的鎖孔，造成設(shè)備維護(hù)時(shí)專用維護(hù)工具的磨損，而且使得不能準(zhǔn)確地取出鎖套?，F(xiàn)有技術(shù)中起先經(jīng)常采用電鉆鋼銼打磨或氫氟酸清洗的方法來處理鎖套表面的氮化硅，但是這種方法會給鎖套造成嚴(yán)重的損壞。后來，采用在鎖套外圍安裝一種半月形保護(hù)擋板，這種保護(hù)擋板上面有兩個(gè)橢圓形圓孔，通過懸掛在特氣管路的兩個(gè)固定螺絲上進(jìn)行緊固。雖然這種方法在一定程度上解決了鎖孔堵塞的問題，但是，由于這種半月形的保護(hù)擋板只能遮擋住鎖套的上半部分，而生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的氮化硅會從下面裸露的部分進(jìn)入上半部分，最終仍導(dǎo)致整個(gè)鎖套堵塞，而且由于擋板本身較薄容易變形，從而導(dǎo)致卡點(diǎn)錯(cuò)位無法安裝，而且由于卡點(diǎn)是安裝在特氣管路上的，更換卡點(diǎn)時(shí)需要拆卸特氣管路，操作起來很復(fù)雜，而且需要很長時(shí)間。

實(shí)用新型內(nèi)容為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種石英管鎖套的保護(hù)裝置，該保護(hù)裝置能夠完全將鎖套遮擋住，有效地阻擋了氮化硅對鎖套側(cè)面的附著，避免了鎖套被堵塞的現(xiàn)象，而且該保護(hù)裝置的固定方式操作簡單，便于安裝，從而減少了維護(hù)時(shí)間。為解決上述問題，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了如下技術(shù)方案一種石英管鎖套的保護(hù)裝置，該保護(hù)裝置包括空心圓柱形側(cè)壁以及與所述側(cè)壁相連的圓環(huán)形頂蓋；其中，所述側(cè)壁與所述頂蓋為一整體結(jié)構(gòu)，且所述側(cè)壁上具有貫穿所述側(cè)壁的固位孔。優(yōu)選的，所述側(cè)壁內(nèi)半徑為34. 5mm ;所述頂蓋的內(nèi)半徑為28mm ;所述頂蓋的外半徑為37. 5mm ;其中，所述頂蓋的外半徑包括側(cè)壁的厚度，所述側(cè)壁的厚度為3mm。優(yōu)選的，所述保護(hù)裝置整體的高度為25. 5_，其中包括頂蓋的高度，所述頂蓋的高度為4. 5_。優(yōu)選的，所述固位孔為空心圓柱形。優(yōu)選的，所述固位孔的內(nèi)側(cè)壁表面具有螺紋，且所述保護(hù)裝置通過螺母固定在所述鎖套上。優(yōu)選的,所述固位孔的內(nèi)徑為5mm。優(yōu)選的，所述固位孔距離所述側(cè)壁底端5mm。優(yōu)選的，所述保護(hù)裝置的材質(zhì)為不銹鋼。與現(xiàn)有技術(shù)相比，上述技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的石英管鎖套的保護(hù)裝置，采用空心圓柱形側(cè)壁和圓環(huán)形頂蓋可將石英管鎖套包裹起來，且鎖套的側(cè)壁被所述空心圓柱形側(cè)壁完全包覆，因此能夠有效地阻擋氮化硅對鎖套側(cè)面的附著，避免了鎖孔被堵塞的現(xiàn)象。而且該保護(hù)裝置側(cè)壁上設(shè)有貫穿所述側(cè)壁的固位孔，在安裝時(shí)只要將所述保護(hù)裝置套在石英管上，在鎖死鎖套后利用所述側(cè)壁上的固位孔將所述保護(hù)裝置固定在所述鎖套上，操作簡單，便于安裝，從而減少了維護(hù)時(shí)間。

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)的俯視圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。圖I 3中示出了 頂蓋I、側(cè)壁2以及固位孔3。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實(shí)用新型，但是本實(shí)用新型還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實(shí)用新型內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本實(shí)用新型不受下面公開的具體實(shí)施例的限制。其次，本實(shí)用新型結(jié)合示意圖進(jìn)行詳細(xì)描述，在詳述本實(shí)用新型實(shí)施例時(shí)，為便于說明，表示器件結(jié)構(gòu)的剖面圖會不依一般比例作局部放大，而且所述示意圖只是示例，其在此不應(yīng)限制本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。此外，在實(shí)際制作中應(yīng)包含長度、寬度及深度的三維空間尺寸。正如背景技術(shù)部分所述，現(xiàn)有技術(shù)中采用在鎖套外圍安裝一種半月形保護(hù)擋板，來阻擋氮化硅對鎖套側(cè)面的附著，雖然這種方法在一定程度上解決了鎖孔堵塞的問題，但是，由于這種半月形的保護(hù)擋板只能遮擋住鎖套的上半部分，而生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的氮化硅會從下面裸露的部分進(jìn)入上半部分，最終仍導(dǎo)致整個(gè)鎖套堵塞，而且該半月形保護(hù)擋板的安裝較為復(fù)雜，需要很長時(shí)間，從而延長了設(shè)備的維護(hù)時(shí)間。[0025]有鑒于此，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種石英管鎖套的保護(hù)裝置，
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型實(shí)施例中所提供的保護(hù)裝置進(jìn)行詳細(xì)的描述參考圖1，圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，該保護(hù)裝置包括空心圓柱形側(cè)壁2以及與所述側(cè)壁2相連的圓環(huán)形頂蓋I ;其中，所述側(cè)壁2與所述頂蓋I為一整體結(jié)構(gòu)，且所述側(cè)壁2上具有貫穿所述側(cè)壁2的固位孔3。由于鎖套包含內(nèi)徑不同的兩個(gè)環(huán)面，因此，本實(shí)用新型實(shí)施例中所提供的保護(hù)裝置的頂蓋I的內(nèi)半徑與所述側(cè)壁2的內(nèi)半徑也不相同。如圖2所示，本實(shí)施例中所述圓環(huán)形頂蓋I的內(nèi)半徑b為28mm,所述圓環(huán)形頂蓋I的外半徑a為37. 5mm ;而所述空心圓柱形側(cè)壁2的內(nèi)半徑c為34. 5mm,既能使保護(hù)裝置在鎖套上來回移動，又能很好的阻擋氮化硅附著在鎖套側(cè)面(鎖套上內(nèi)徑較大的環(huán)面)上；所述空心圓柱形側(cè)壁2的外半徑也為37. 5mm, BP所述側(cè)壁2的外半徑與所述頂蓋I的外半徑為同一半徑。其中，所述空心圓柱形側(cè)壁2內(nèi)、外半徑間的距離為所述側(cè)壁2的厚度，所述側(cè)壁2的厚度為3_，從而使得所述保護(hù)裝置在拆卸時(shí)，經(jīng)過多次敲打后不易變形。參考圖3，圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。從圖3可以看出，所述保護(hù)裝置整體的高度為25. 5_，而所述保護(hù)裝置整體的高度d包括所述頂蓋I的高度與所述側(cè)壁2的高度兩部分，其中，所述頂蓋I的高度e為4. 5mm，有效地阻擋了氮化硅對鎖套側(cè)面(鎖套上內(nèi)徑較小的環(huán)面)的附著，則所述側(cè)壁2的高度為21_。本實(shí)用新型實(shí)施例中所提供的保護(hù)裝置上的固位孔3位于所述側(cè)壁2上，且貫穿所述側(cè)壁2。如圖3所示，所述固位孔3為空心圓柱形，其內(nèi)半徑f為2. 5mm，所述固位孔3與所述側(cè)壁2底端間的距離h為5mm。而且，所述固位孔3的內(nèi)側(cè)壁表面具有螺紋，在安裝時(shí)，只要將所述保護(hù)裝置套在石英管上，在鎖死鎖套后，將所述固位孔3與所述鎖套上的某一個(gè)鎖孔對齊，然后利用螺母將所述保護(hù)裝置固定在所述鎖套上，操作簡單，便于安裝，從而減少了設(shè)備的維護(hù)時(shí)間。本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的保護(hù)裝置，采用空心圓柱形側(cè)壁和圓環(huán)形頂蓋可將石英管鎖套包裹起來，且鎖套的側(cè)壁被所述空心圓柱形側(cè)壁完全包覆，因此能夠完全將鎖套遮擋住，有效地阻擋了氮化硅對鎖套側(cè)面的附著，解決了現(xiàn)有技術(shù)中氮化硅從下面裸露的部分進(jìn)入上半部分，最終仍導(dǎo)致鎖孔被堵塞的現(xiàn)象。并且，本實(shí)用新型實(shí)施例中所提供的保護(hù)裝置的材質(zhì)為不銹鋼，表面光滑不易附著氮化硅，避免了在維護(hù)時(shí)由于鎖套堵塞，不易拆卸而造成的人員傷害，同時(shí)延長了石英管鎖套的使用壽命。此外，本公司使用的是R0TH&RAU公司為我公司定制的SINA 2XXL設(shè)備，這種設(shè)備包含兩個(gè)工藝腔室，即PCl和PC2，故這種設(shè)備的所需要的石英管相較于其他型號的設(shè)備要多出5根，從而使得鎖套的需求量要多出10個(gè)。由于鎖套的使用量大大增加，從而使得維護(hù)的時(shí)間相較于以前增加了 2個(gè)小時(shí)。因此，利用本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的保護(hù)裝置，可以在進(jìn)行設(shè)備維護(hù)時(shí)，大大縮短設(shè)備的維護(hù)時(shí)間。本說明書中各個(gè)部分采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)部分重點(diǎn)說明的都是與其他部分的不同之處，各個(gè)部分之間相同相似部分互相參見即可。對所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會被限制于本文所示的實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬 的范圍。
權(quán)利要求1.一種石英管鎖套的保護(hù)裝置，其特征在于，該保護(hù)裝置包括 空心圓柱形側(cè)壁以及與所述側(cè)壁相連的圓環(huán)形頂蓋； 其中，所述側(cè)壁與所述頂蓋為一整體結(jié)構(gòu)，且所述側(cè)壁上具有貫穿所述側(cè)壁的固位孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于，所述側(cè)壁內(nèi)半徑為34.5mm;所述頂蓋的內(nèi)半徑為28mm ;所述頂蓋的外半徑為37. 5mm ； 其中，所述頂蓋的外半徑包括側(cè)壁的厚度，所述側(cè)壁的厚度為3mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于，所述保護(hù)裝置整體的高度為25.5_，其中包括頂蓋的高度，所述頂蓋的高度為4. 5mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于，所述固位孔為空心圓柱形。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述固位孔的內(nèi)側(cè)壁表面具有螺紋，且所述保護(hù)裝置通過螺母固定在所述鎖套上。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述固位孔的內(nèi)徑為5mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述固位孔距離所述側(cè)壁底端5_。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述保護(hù)裝置的材質(zhì)為不銹鋼。
專利摘要本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種石英管鎖套的保護(hù)裝置，該保護(hù)裝置包括空心圓柱形側(cè)壁以及與所述側(cè)壁相連的圓環(huán)形頂蓋；其中，所述側(cè)壁與所述頂蓋為一整體結(jié)構(gòu)，且所述側(cè)壁上具有貫穿所述側(cè)壁的固位孔。本實(shí)用新型所提供的保護(hù)裝置，采用空心圓柱形側(cè)壁和圓環(huán)形頂蓋可將石英管鎖套包裹起來，且鎖套的側(cè)壁被所述空心圓柱形側(cè)壁完全包覆，因此能夠完全將鎖套遮擋住，有效地阻擋了氮化硅對鎖套側(cè)面的附著，避免了鎖孔被堵塞的現(xiàn)象。而且該保護(hù)裝置側(cè)壁上設(shè)有貫穿所述側(cè)壁的固位孔，在安裝時(shí)只要將所述保護(hù)裝置套在石英管上，在鎖死鎖套后利用所述側(cè)壁上的固位孔將所述保護(hù)裝置固定在所述鎖套上，操作簡單，便于安裝，從而減少了維護(hù)時(shí)間。
文檔編號C23C16/44GK202373620SQ20112057448
公開日2012年8月8日 申請日期2011年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月31日
發(fā)明者張杜超, 張自成 申請人:英利能源(中國)有限公司