專(zhuān)利名稱(chēng)：改進(jìn)真空鍍膜機(jī)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于真空鍍膜設(shè)備，特別涉及一種通過(guò)轉(zhuǎn)換鍍膜工件位置實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)鍍膜的加工設(shè)備。
背景技術(shù)：
真空鍍膜是指需要在較高真空度下進(jìn)行鍍膜，具體包括很多種類(lèi)，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種，主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
對(duì)于蒸發(fā)鍍膜，一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)，并且沉降在基片(或稱(chēng)工件)表面，通過(guò)成膜過(guò)程形成薄膜。厚度均勻性和組分均勻性主要取決于工件材料與靶材的晶格匹配程度；工件表面溫度；靶材蒸發(fā)功率和速率；鍍膜真空度；鍍膜時(shí)間和厚度大小。當(dāng)調(diào)整了工件鍍膜溫度和真空度，以及靶材蒸發(fā)條件后，就需要按照工件特定要求，需要通過(guò)合理設(shè)置的傳機(jī)構(gòu)來(lái)連續(xù)轉(zhuǎn)換鍍膜工件位置，才能確保工件鍍膜質(zhì)量，尤其對(duì)于如汽車(chē)輪轂之類(lèi)的大型工件顯得特別重要。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供了一種改進(jìn)真空鍍膜機(jī)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)連續(xù)調(diào)整鍍膜工件位置達(dá)到工件鍍膜均勻度，提高了效率。本發(fā)明為了解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是一種改進(jìn)真空鍍膜傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括第一旋轉(zhuǎn)支架、第二旋轉(zhuǎn)支架以及能驅(qū)動(dòng)該第二旋轉(zhuǎn)支架連帶該第一旋轉(zhuǎn)支架往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)的馬達(dá)，該第一、第二旋轉(zhuǎn)支架位于真空腔室內(nèi)，該真空腔室由底座和安裝于該底座的穹頂罩組成，其中I)該第一旋轉(zhuǎn)支架包括固定于該穹頂罩頂部轉(zhuǎn)動(dòng)軸的第一上內(nèi)環(huán)、位于該第一上內(nèi)環(huán)外圍的第一上外環(huán)、兩端分別連接于該第一上內(nèi)環(huán)和第一上外環(huán)并呈輻射狀分布的多個(gè)輻條以及第一下環(huán)，該第一上外環(huán)與該第一下環(huán)之間通過(guò)多個(gè)并行的第一直立桿連接固定，對(duì)應(yīng)該第一下環(huán)的內(nèi)邊緣，該底座設(shè)有多個(gè)便于該下環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)的滾輪；2)該第二旋轉(zhuǎn)支架包括位于該第一上外環(huán)外圍的第二上環(huán)，以及位于該第一下環(huán)上方的第二下環(huán)，該第二上環(huán)與該第二下環(huán)之間通過(guò)多根并行的第二直立桿連接固定，對(duì)應(yīng)該多根第一直立桿，該第二下環(huán)上分別設(shè)有便于第一直立桿穿過(guò)的多個(gè)弧形孔，并且該第一下環(huán)與該第二下環(huán)之間還分別設(shè)有便于滑動(dòng)的滾輪和滑槽；3)該第一上內(nèi)環(huán)和第一上外環(huán)之間還設(shè)有多個(gè)可固定鍍膜工件的托盤(pán)，該多個(gè)托盤(pán)分別通過(guò)中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)固定于該第一上內(nèi)環(huán)和第一上外環(huán)之間，并且該托盤(pán)上中心轉(zhuǎn)軸對(duì)應(yīng)端與該第二上環(huán)還分別設(shè)有相互嚙合的齒條和齒輪。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，該馬達(dá)通過(guò)緊配于該第二下環(huán)內(nèi)邊緣的驅(qū)動(dòng)滾輪，驅(qū)動(dòng)該第二旋轉(zhuǎn)支架連帶該第一旋轉(zhuǎn)支架往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，該多個(gè)輻條均勻分布于該第一上內(nèi)環(huán)和第一上外環(huán)，該多個(gè)托盤(pán)分別位于該第一上內(nèi)環(huán)、第一上外環(huán)以及相鄰的兩輻條之間。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，該驅(qū)動(dòng)滾輪固定于一個(gè)連接軸的上端，該連接軸中部固定于該底座而下端伸出于該底座，并通過(guò)安裝于該真空腔室外部的該馬達(dá)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，該驅(qū)動(dòng)滾輪為齒輪，該第二下環(huán)內(nèi)邊緣設(shè)有能與該齒輪嚙合的環(huán)形齒條，該馬達(dá)為步進(jìn)馬達(dá)。本發(fā)明的有益技術(shù)效果是所述第一旋轉(zhuǎn)支架可以圍繞該穹頂罩頂部轉(zhuǎn)動(dòng)軸自由轉(zhuǎn)動(dòng)，該第一旋轉(zhuǎn)支架中的多個(gè)托盤(pán)可以圍繞各自中心軸自由翻 轉(zhuǎn)，而所述第二旋轉(zhuǎn)支架通過(guò)該第一下環(huán)與該第二下環(huán)之間設(shè)有便于滑動(dòng)的滾輪和滑槽支撐于該第一旋轉(zhuǎn)支架，同時(shí)該第二旋轉(zhuǎn)支架中的多個(gè)第二直立桿分別穿過(guò)該第一旋轉(zhuǎn)支架中的第一下環(huán)上的弧形孔，這樣當(dāng)?shù)诙绷U從弧形孔一端轉(zhuǎn)動(dòng)弧形孔另一端時(shí)，該第二旋轉(zhuǎn)支架就帶動(dòng)該第一旋轉(zhuǎn)支架開(kāi)始轉(zhuǎn)動(dòng)，而該托盤(pán)上中心轉(zhuǎn)軸對(duì)應(yīng)端與該第二上環(huán)還分別設(shè)有相互嚙合的齒條和齒輪，由此實(shí)現(xiàn)了該第二旋轉(zhuǎn)支架將先于該第一旋轉(zhuǎn)支架的一個(gè)節(jié)拍開(kāi)始轉(zhuǎn)動(dòng)，該一個(gè)節(jié)拍的間隙使得對(duì)應(yīng)托盤(pán)作一次自由翻轉(zhuǎn)，從而固定于托盤(pán)上工件得到充分的鍍膜加工。


圖I為本發(fā)明的軸向剖視圖；圖2為本發(fā)明的A-A剖視圖。對(duì)照以上附圖，作如下補(bǔ)充說(shuō)明I——底座15——齒條2——穹頂罩16——第二下環(huán)4——滾輪17——第二直立桿5——第一下環(huán)18——弧形孔6——第一直立桿21——驅(qū)動(dòng)滾輪9-第一上內(nèi)環(huán)22-馬達(dá)10——第一上外環(huán)24——連接軸11——托盤(pán)25——輻條13-齒輪27-導(dǎo)電槽14——第二上環(huán)28——轉(zhuǎn)動(dòng)軸
具體實(shí)施例方式結(jié)合圖I和圖2，以下作進(jìn)一步描述一種改進(jìn)真空鍍膜傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括第一旋轉(zhuǎn)支架、第二旋轉(zhuǎn)支架以及能驅(qū)動(dòng)該第二旋轉(zhuǎn)支架連帶該第一旋轉(zhuǎn)支架往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)的馬達(dá)22，該第一、第二旋轉(zhuǎn)支架位于真空腔室內(nèi)，該真空腔室由底座I和安裝于該底座的穹頂罩2組成，其中I)該第一旋轉(zhuǎn)支架包括固定于該穹頂罩2頂部轉(zhuǎn)動(dòng)軸28的第一上內(nèi)環(huán)9、位于該第一上內(nèi)環(huán)9外圍的第一上外環(huán)10、兩端分別連接于該第一上內(nèi)環(huán)9和第一上外環(huán)10并呈輻射狀均勻分布的多個(gè)輻條25以及第一下環(huán)5，該第一上外環(huán)10與該第一下環(huán)之間通過(guò)多個(gè)并行的第一直立桿6連接固定，對(duì)應(yīng)該第一下環(huán)的內(nèi)邊緣，該底座設(shè)有多個(gè)便于該第一下環(huán)5轉(zhuǎn)動(dòng)的滾輪4;
2)該第二旋轉(zhuǎn)支架包括位于該第一上外環(huán)10外圍的第二上環(huán)14，以及位于該第一下環(huán)5上方的第二下環(huán)16，該第二上環(huán)14與該第二下環(huán)16之間通過(guò)多根并行的第二直立桿17連接固定,對(duì)應(yīng)該多根第一直立桿6,該第二下環(huán)16上分別設(shè)有便于第一直立桿6穿過(guò)的多個(gè)弧形孔18，并且該第一下環(huán)5與該第二下環(huán)16之間還分別設(shè)有便于滑動(dòng)的滾輪和滑槽；3)該第一上內(nèi)環(huán)9、第一上外環(huán)10以及相鄰的兩輻條25之間還設(shè)有多個(gè)可固定鍍膜工件的托盤(pán)11，該多個(gè)托盤(pán)分別通過(guò)中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)固定于該第一上內(nèi)環(huán)9和第一上外環(huán)10之間，并且該托盤(pán)11上中心轉(zhuǎn)軸對(duì)應(yīng)端與該第二上環(huán)14還分別設(shè)有相互嚙合的齒條15和齒輪13。該馬達(dá)22通過(guò)緊配于該第二下環(huán)16內(nèi)邊緣的驅(qū)動(dòng)滾輪21，驅(qū)動(dòng)該第二旋轉(zhuǎn)支架連帶該第一旋轉(zhuǎn)支架往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)，該驅(qū)動(dòng)滾輪21固定于一個(gè)連接軸24的上端，該連接軸24中部固定于該底座I而下端伸出于該底座，并通過(guò)安裝于該真空腔室外部的該馬達(dá)22驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，為了更精確控制該旋轉(zhuǎn)支架轉(zhuǎn)動(dòng)，該驅(qū)動(dòng)滾輪21為齒輪，該第二下環(huán)16內(nèi)邊緣設(shè)有 能與該齒輪嚙合的環(huán)形齒條，該馬達(dá)22為步進(jìn)馬達(dá)。為了完成真空鍍膜加工，該穹頂罩側(cè)部還必須設(shè)有便于裝卸鍍膜工件的密封門(mén)，此外，該底座上設(shè)有靶材和加熱機(jī)構(gòu)，該加熱機(jī)構(gòu)為可放置該靶材的導(dǎo)電槽27，該導(dǎo)電槽安裝于該底座上固定支架，該導(dǎo)電槽兩側(cè)通過(guò)兩導(dǎo)電棒引出于該真空腔室后，分別與一個(gè)電源變壓器次級(jí)繞組兩端連接，此外所述真空腔室內(nèi)需要抽真空設(shè)備和對(duì)鍍膜工件預(yù)加熱設(shè)備，所有這些是真空鍍膜必須的技術(shù)手段，也是業(yè)內(nèi)人士所公知技術(shù)，不是本發(fā)明的技術(shù)創(chuàng)新，在次不作詳細(xì)描述。
權(quán)利要求
1.一種改進(jìn)真空鍍膜傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括第一旋轉(zhuǎn)支架、第二旋轉(zhuǎn)支架以及能驅(qū)動(dòng)該第二旋轉(zhuǎn)支架連帶該第一旋轉(zhuǎn)支架往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)的馬達(dá)(22)，該第一、第二旋轉(zhuǎn)支架位于真空腔室內(nèi)，該真空腔室由底座(I)和安裝于該底座的穹頂罩(2)組成，其特征在于其中 1)該第一旋轉(zhuǎn)支架包括固定于該穹頂罩(2)頂部轉(zhuǎn)動(dòng)軸(28)的第一上內(nèi)環(huán)(9)、位于該第一上內(nèi)環(huán)(9)外圍的第一上外環(huán)(10)、兩端分別連接于該第一上內(nèi)環(huán)(9)和第一上外環(huán)(10)并呈輻射狀分布的多個(gè)輻條(25)以及第一下環(huán)(5)，該第一上外環(huán)(10)與該第一下環(huán)之間通過(guò)多個(gè)并行的第一直立桿(6)連接固定，對(duì)應(yīng)該第一下環(huán)的內(nèi)邊緣，該底座設(shè)有多個(gè)便于該第一下環(huán)(5)轉(zhuǎn)動(dòng)的滾輪(4)； 2)該第二旋轉(zhuǎn)支架包括位于該第一上外環(huán)(10)外圍的第二上環(huán)(14)以及位于該第一下環(huán)(5)上方的第二下環(huán)(16)，該第二上環(huán)(14)與該第二下環(huán)(16)之間通過(guò)多根并行的第二直立桿(17)連接固定，對(duì)應(yīng)該多根第一直立桿￠)，該第二下環(huán)(16)上分別設(shè)有便于第一直立桿(6)穿過(guò)的多個(gè)弧形孔(18)，并且該第一下環(huán)(5)與該第二下環(huán)(16)之間還分別設(shè)有便于滑動(dòng)的滾輪和滑槽； 3)該第一上內(nèi)環(huán)(9)和第一上外環(huán)(10)之間還設(shè)有多個(gè)可固定鍍膜工件的托盤(pán)(11)，該多個(gè)托盤(pán)分別通過(guò)中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)固定于該第一上內(nèi)環(huán)(9)和第一上外環(huán)(10)之間，并且該托盤(pán)(11)上中心轉(zhuǎn)軸對(duì)應(yīng)端與該第二上環(huán)(14)還分別設(shè)有相互嚙合的齒條(15)和齒輪(13)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的改進(jìn)真空鍍膜傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于該馬達(dá)(22)通過(guò)緊配于該第二下環(huán)(16)內(nèi)邊緣的驅(qū)動(dòng)滾輪(21)，驅(qū)動(dòng)該第二旋轉(zhuǎn)支架連帶該第一旋轉(zhuǎn)支架往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的改進(jìn)真空鍍膜傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于該多個(gè)輻條(25)均勻分布于該第一上內(nèi)環(huán)(9)和第一上外環(huán)(10),該多個(gè)托盤(pán)(11)分別位于該第一上內(nèi)環(huán)(9)、第一上外環(huán)(10)以及相鄰的兩輻條(25)之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的改進(jìn)真空鍍膜機(jī)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于該驅(qū)動(dòng)滾輪(21)固定于一個(gè)連接軸(24)的上端，該連接軸(24)中部固定于該底座(I)而下端伸出于該底座，并通過(guò)安裝于該真空腔室外部的該馬達(dá)(22)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的改進(jìn)真空鍍膜機(jī)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于該驅(qū)動(dòng)滾輪(21)為齒輪，該第二下環(huán)(16)內(nèi)邊緣設(shè)有能與該齒輪嚙合的環(huán)形齒條，該馬達(dá)(22)為步進(jìn)馬達(dá)。
全文摘要
一種改進(jìn)真空鍍膜傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一旋轉(zhuǎn)支架、第二旋轉(zhuǎn)支架以及驅(qū)動(dòng)第二旋轉(zhuǎn)支架連帶第一旋轉(zhuǎn)支架往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)的馬達(dá)，第一、第二旋轉(zhuǎn)支架位于真空腔室內(nèi)，第一旋轉(zhuǎn)支架包括第一上內(nèi)環(huán)、第一上外環(huán)、兩端分別連接于第一上內(nèi)環(huán)和第一上外環(huán)并呈輻射狀分布的多個(gè)輻條以及第一下環(huán)，第一上外環(huán)與第一下環(huán)通過(guò)多個(gè)并行的第一直立桿連接固定，第二旋轉(zhuǎn)支架包括第二上環(huán)和第二下環(huán)，第二上環(huán)與第二下環(huán)間通過(guò)多根第二直立桿連接固定，第二下環(huán)設(shè)有便于對(duì)應(yīng)第一直立桿穿過(guò)的弧形孔，第一上內(nèi)環(huán)和第一上外環(huán)間設(shè)有多個(gè)可固定鍍膜工件的托盤(pán)，托盤(pán)通過(guò)中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)固定于第一上內(nèi)環(huán)和第一上外環(huán)間，托盤(pán)上中心轉(zhuǎn)軸對(duì)應(yīng)端與第二上環(huán)分別設(shè)有相互嚙合的齒條和齒輪。
文檔編號(hào)C23C14/24GK102899618SQ20111021023
公開(kāi)日2013年1月30日 申請(qǐng)日期2011年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月26日
發(fā)明者黃水祥 申請(qǐng)人:御林汽配(昆山)有限公司