專利名稱：一種硅片的加工夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種夾具，特別涉及一種硅片的加工夾具，屬于硅片加工的技術(shù) 領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在硅片加工過程中，將硅棒加工成硅片后，硅片上會產(chǎn)生不規(guī)則的形狀，為了不影 響后續(xù)加工的質(zhì)量，要將該不規(guī)則邊去除。傳統(tǒng)的去除不規(guī)則邊的工序是將硅片用膠粘合在一起，再將不規(guī)則邊研磨掉。但 是將硅片粘合在一起存在以下缺點(diǎn)1、尺寸研磨工序結(jié)束后，進(jìn)行表面研磨工序時(shí)，要先將粘合在一起的硅片通過溶 解或清洗的方法分開，從而，增加了硅片的損壞率。2、由于硅片是通常膠粘合在一起的，雖然，通過清洗會將膠液去除，但仍會有殘余 的化合物留存，從而，影響硅片表面的平整度，給下道工序增加難度。為了解決上述技術(shù)問題，近來，出現(xiàn)了一種夾具，該夾具包括定位夾，定位夾內(nèi)設(shè) 有夾緊板及鎖緊螺桿，鎖緊螺桿一端插入定位夾內(nèi)，并頂在夾緊板上，使用時(shí)，將硅片排列 整齊的放在空位夾內(nèi)，調(diào)節(jié)鎖緊螺桿，使夾緊板將硅片夾緊，該夾具解決了上述技術(shù)問題， 但該夾具是通過鎖緊螺桿推動夾緊板，實(shí)現(xiàn)硅片夾緊的，使用時(shí)，硅片與夾緊板之間沒有任 何緩沖，研磨過程中，容易使硅片產(chǎn)生損壞；且由于研磨過程中，產(chǎn)生震動而使硅片松動。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種結(jié)構(gòu)簡單的硅片的加工夾具，該夾具 可避免研磨過程中，硅片的損壞。為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型一種硅片的加工夾具，包括定位夾，夾緊板， 夾緊裝置，其中，所述夾緊裝置為氣缸裝置。上述一種硅片的加工夾具，其中，所述氣缸裝置包括推桿、缸體，所述推桿一端可 活動的設(shè)置在缸體內(nèi)，另一端與所述夾緊板固定連接；所述推桿的外周面與所述缸體的內(nèi) 周面密封配合。本實(shí)用新型可實(shí)現(xiàn)以下有益效果1、由于所述夾緊裝置為氣缸裝置，夾緊板夾緊硅片后，研磨過程中硅片因震動松 動時(shí)，氣缸的推桿會在氣體的推動下，自動調(diào)節(jié)，避免硅片松開，且本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單。2、由于所述氣缸裝置包括推桿、缸體，所述推桿一端可活動的設(shè)置在缸體內(nèi)，另一 端與所述夾緊板固定連接；所述推桿的外周面與所述缸體的內(nèi)周面密封配合，從而，方便了 使用，且節(jié)約了空間。
圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型一種硅片的加工夾具，包括定位夾1，夾緊板 2，夾緊裝置3，定位夾1為整體構(gòu)件，該整體構(gòu)件設(shè)空腔5，所述夾緊裝置3為氣缸裝置。由 于所述夾緊裝置為氣缸裝置，夾緊板2夾緊硅片后，研磨過程中硅片因震動松動時(shí)，氣缸的 推桿31會在氣體的推動下，自動調(diào)節(jié)，避免硅片4松開，且本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單。所述氣缸 裝置包括推桿31、缸體32，所述推桿31 —端可活動的設(shè)置在缸體32內(nèi)，另一端與所述夾緊 板2固定連接；所述推桿31的外周面與所述缸體32內(nèi)周面密封配合。這里本實(shí)用新型的描述和應(yīng)用是說明性的，并非想將本實(shí)用新型的范圍限制在上 述實(shí)施例中，因此，本實(shí)用新型不受本實(shí)施例的限制，任何采用等效替換取得的技術(shù)方案均 在本實(shí)用新型保護(hù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種硅片的加工夾具，包括定位夾，夾緊板，夾緊裝置，其特征在于，所述夾緊裝置為 氣缸裝置。
2.如權(quán)利要求1所述一種硅片的加工夾具，其特征于在，所述氣缸裝置包括推桿、缸 體，所述推桿一端可活動的設(shè)置在缸體內(nèi)，另一端與所述夾緊板固定連接；所述推桿的外周 面與所述缸體的內(nèi)周面密封配合。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種硅片的加工夾具，包括定位夾，夾緊板，夾緊裝置，其中，所述夾緊裝置為氣缸裝置，所述氣缸裝置包括推桿、缸體，所述推桿一端可活動的設(shè)置在缸體內(nèi)，另一端與所述夾緊板固定連接；所述推桿的外周面與所述缸體的內(nèi)周面密封配合，由于所述夾緊裝置為氣缸裝置，夾緊板夾緊硅片后，研磨過程中硅片因震動松動時(shí)，氣缸的推桿會在氣體的推動下，自動調(diào)節(jié)，避免硅片松開，且本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單。
文檔編號B24B37/04GK201856163SQ201020581660
公開日2011年6月8日 申請日期2010年10月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月28日
發(fā)明者聶金根 申請人:鎮(zhèn)江市港南電子有限公司