專利名稱：濺鍍裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種濺鍍裝置。
背景技術(shù)：
濺鍍裝置一般包括一個界定一個鍍膜腔體的外殼、多個用于固定待鍍工件的料桿以及多個用于固定靶材的靶座。該多個料桿通常平行設(shè)置且呈圓圈分布。該多個靶座通常間隔均勻地設(shè)置在該腔體的外圍并且包圍該多個料桿。鍍膜過程中，待鍍工件固定在該料桿上并面向該靶材，以接收靶材濺射出來的粒子，從而被鍍上所需膜層。然而，由于該一個圓周上所能排布的料桿數(shù)量較少，所能固定的待鍍工件的數(shù)量也較少，因此一次鍍膜所能濺鍍的工件數(shù)量有限，鍍膜效率較低。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，有必要提供一種所鍍膜層厚度均勻的濺鍍裝置。一種濺鍍裝置，其包括一個外殼、多個用于固定待鍍工件的料桿組、多個用于固定靶材的第一靶座與第二靶座、一個第一驅(qū)動器以及多個第三驅(qū)動器組。該外殼界定一個腔體。該多個料桿組收容于該腔體內(nèi)，平行設(shè)置并排布成一個第二圓周。每個料桿組包括多個平行設(shè)置并排布成一個第一圓周的料桿，相鄰的兩個料桿組相分離，相鄰的兩個料桿相分離。該多個第一靶座及第二靶座設(shè)置在該腔體中，并且該第一靶座排布在該第二圓周之夕卜，該第二靶座排布在該第二圓周之內(nèi)。每個第三驅(qū)動器組連接至對應(yīng)的一個料桿組，用于驅(qū)動該料桿組中的每個料桿繞其自身的中心軸旋轉(zhuǎn)。該第一驅(qū)動器連接至該多個第三驅(qū)動器組，用于驅(qū)動該多個料桿組繞該第二圓周的中心軸旋轉(zhuǎn)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的濺鍍裝置一個料桿組中的多個料桿排布成一個第一圓周，該多個料桿組再排布成一個第二圓周，此種排布方式相對于現(xiàn)有技術(shù)中將所有料桿排布同一個圓周之上的方式，可在腔體內(nèi)排布更多的料桿，有效提高了用于鍍膜的腔體的空間利用率，進(jìn)而提高了鍍膜效率。


圖1為本發(fā)明較佳實(shí)施方式的濺鍍裝置的俯視圖。圖2為圖1的濺鍍裝置的側(cè)面圖。主要元件符號說明濺鍍裝置10待鍍工件20靶材30外殼100底板102頂板104
側(cè)壁106腔體108第一靶座200a第二靶座2OOb第一凹槽202a第二凹槽202b料桿組300料桿302第一圓周303第二圓周305第一驅(qū)動器400a第二驅(qū)動器400b第三驅(qū)動器400c第一馬達(dá)402第一本體402a第一螺桿402b第一承靠板404第二馬達(dá)406第二本體406a第二螺桿406b第二承靠板408固定槽408a第三馬達(dá)410第三本體410a第三螺桿410b第三承靠板41具體實(shí)施例方式請參考圖1及圖2，本發(fā)明較佳實(shí)施方式的濺鍍裝置10包括一個外殼100、多個第一靶座200a、一個第二靶座200b、多個料桿組300、一個第一驅(qū)動器400a、多個第二驅(qū)動器 400b、以及多個第三驅(qū)動器組400c。外殼100界定一個腔體108。具體地，外殼100包括一個底板102、一個頂板104 及一個側(cè)壁106。底板102與頂板104相對設(shè)置。側(cè)壁106連接底板102及頂板104。底板102通常朝下。底板102、頂板104及側(cè)壁106界定腔體108。腔體108呈圓柱狀，用于界定濺射鍍膜的空間。多個料桿組300收容于腔體108內(nèi)，平行設(shè)置并排布成一個第二圓周305。每個料桿組300包括多個平行設(shè)置并排布成一個第一圓周303的料桿302，相鄰的兩個料桿組300 相分離，相鄰的兩個料桿302相分離。具體地，在本實(shí)施方式中，料桿302沿平行于腔體108 的中心軸的方向設(shè)置。每個料桿組300包括三個大致呈長方體狀的料桿302，料桿302的
4四個側(cè)壁上都開設(shè)有一個用于固定待鍍工件20的料槽302b。三個料桿302彼此間間距相等，并且排布在第一圓周303上。多個料桿組300等距地排布在第二圓周305?？梢岳斫?，每個料桿組300中的多個料桿302排布成第一圓周303是為了在能在腔體108中能排布更多的料桿302。因此，根據(jù)料桿302的尺寸、第一圓周303及第二圓周 305的大小不同，每個料桿組300中的料桿302的個數(shù)可根據(jù)實(shí)際需要設(shè)置。第一靶座200a及第二靶座200b設(shè)置在腔體108中，并且第一靶座200a排布在第二圓周305之外，第二靶座200b排布在該第二圓周305之內(nèi)。具體地，在本實(shí)施方式中，第一靶座200a大致呈長方體狀，其上開設(shè)有一個用于固定靶材30并且面向腔體108的中心軸的第一凹槽20加，多個第一靶座200a間隔均勻地設(shè)置在側(cè)壁106的內(nèi)壁上。第二靶座 200b大致呈圓柱狀，其上開設(shè)有多個用于固定靶材30并且面向第二圓周305的第二凹槽 202b，其固定至頂板104并位于腔體108的中心軸上。第一驅(qū)動器400a用于驅(qū)動多個料桿組300繞第二圓周305的中心軸旋轉(zhuǎn)。第一驅(qū)動器400a包括一個第一馬達(dá)402以及一個第一承靠板404。第一馬達(dá)402包括一個第一本體40 以及一個連接至第一本體40 并由其驅(qū)動的第一螺桿40 。第一承靠板404 大致呈圓形。第一馬達(dá)402固定在腔體108內(nèi)，且設(shè)置在底板102的中心。第一承靠板404 的中心連接至第一螺桿402b并位于腔體108中靠近底板102之處。在本實(shí)施方式中，以俯視濺鍍裝置10的角度來看，第一驅(qū)動器400a驅(qū)動第一承靠板404沿逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。第二驅(qū)動器400b用于驅(qū)動對應(yīng)的一個料桿組300繞第一圓周303的中心旋轉(zhuǎn)。每個第二驅(qū)動器400b包括一個第二馬達(dá)410以及一個第二承靠板412。第二馬達(dá)410包括一個第二本體410a以及一個連接至第二本體410a并由其驅(qū)動的第二螺桿410b。第二本體 410a均勻排布在第一承靠板404邊緣，從而排布成第二圓周305。第二承靠板412大致呈圓形，其中心連接至第二螺桿410b。在本實(shí)施方式中，以俯視濺鍍裝置10的角度來看，第二驅(qū)動器400b驅(qū)動第二承靠板412沿逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。第三驅(qū)動器400c用于驅(qū)動對應(yīng)的一個料桿組300中的三個料桿302繞其自身的中心軸旋轉(zhuǎn)。每組第三驅(qū)動器400c包括三個第三馬達(dá)406以及與該三個第三馬達(dá)406連接的第三承靠板408。第三馬達(dá)406包括一個第三本體406a以及一個連接至第三本體406a 并由其驅(qū)動的第三螺桿406b。同一組中的三個第三本體406a均勻排布在第三承靠板408 邊緣，從而排布成第一圓周303。第三承靠板408大致呈圓柱狀，其一端開設(shè)有一個用于容置料桿302的一端的固定槽408a。第三承靠板408沒有開設(shè)固定槽408a的一端的中心連接至第三螺桿406b。固定槽408a相互之間不接觸。在本實(shí)施方式中，以俯視濺鍍裝置10 的角度來看，第三驅(qū)動器400c驅(qū)動第三承靠板408沿逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。工作過程中，在第一靶座200a及第二靶座200b的第一凹槽20 及第二凹槽20 中放置靶材30，將待鍍工件20設(shè)置在料桿302上，并將料桿302插入對應(yīng)的一個固定槽 408a中。在靶材30上都加載一個負(fù)電壓，在待鍍工件20上都加載一個正電壓，以在靶材 30及待鍍工件20之間形成電場。啟動第一驅(qū)動器400a、第三驅(qū)動器400c以及第二驅(qū)動器 400b，在其驅(qū)動下，多個料桿組300隨著第一承靠板404 —起繞腔體108的中心軸旋轉(zhuǎn)，每個料桿302還隨著第三承靠板408 —起繞自身的中心軸旋轉(zhuǎn)，每個料桿組300還隨著第二承靠板412 —起繞第二螺桿410b旋轉(zhuǎn)。此時(shí)向腔體108中通入反應(yīng)性氣體以及工作氣體 (如氬氣)。在電場的作用下，氬氣電離成氬離子(帶正電荷)和電子，氬離子在電場的作用下加速位于第二圓周305內(nèi)外的靶材30，濺射出大量的靶材30原子，靶材30原子與工作氣體反應(yīng)生成化合物粒子?；衔锪Ｗ訛R射到設(shè)置在每個料桿302之上的待鍍工件20上， 并沉積在待鍍工件20面向靶材30的表面，進(jìn)而形成所需膜層。本發(fā)明的濺鍍裝置10將一個料桿組300中的多個料桿302排布成第一圓周303， 再將多個料桿組300均勻地排布第二圓周305，且相鄰的兩個第一圓周303，相鄰的兩個料桿302相分離，相對于現(xiàn)有技術(shù)中將三個料桿302均排布成第二圓周305的方式，本發(fā)明的腔體108中可以設(shè)置更多個料桿302，也就是說可以放置更多的待鍍工件20。如此，有效地提高了用于鍍膜的腔體108的空間利用率，進(jìn)而提高了鍍膜效率。而在鍍膜過程中，由于驅(qū)動裝置400的驅(qū)動，多個料桿組300繞第二圓周305的中心軸旋轉(zhuǎn)，每個料桿組300繞第一圓周303的中心旋轉(zhuǎn)，每個料桿302還繞其本身的中心軸旋轉(zhuǎn)，因此，避免料桿302之間互相遮擋，待鍍工件20附著靶材粒子的幾率基本相同，膜層厚度基本相同。鍍膜質(zhì)量高。料桿302旋轉(zhuǎn)是為了使料桿302上的待鍍工件20的位置及其自身的朝向不停的變化，以使待鍍工件20所鍍的膜層比較均勻。因此，可以理解，料桿302的旋轉(zhuǎn)方式并不限于本實(shí)施方式中都是沿逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，其也可以是順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，或者是順時(shí)針與沿逆時(shí)針方向混合旋轉(zhuǎn)。由于相鄰的兩個靶材30之間有空缺，因此，多個料桿組300繞第二圓周305的中心軸旋轉(zhuǎn)使得每個料桿組300正面向靶材的幾率基本相等。由于第二圓周305的內(nèi)外都設(shè)置有靶材30，在每個料桿302繞其本身的中心軸旋轉(zhuǎn)的情況下，足以使得每個料桿302每個面上的待鍍工件20正面向靶材30的表面都能被鍍上膜。因此，可以理解，第二驅(qū)動器400b 也可以不必設(shè)置。此時(shí)第三驅(qū)動器組400c直接連接至第一驅(qū)動器400a上。可以理解，驅(qū)動多個料桿組300旋轉(zhuǎn)的方式并不限于本實(shí)施方式。如，第二驅(qū)動器可以包括一個馬達(dá)以及多個齒輪。該多個齒輪相互卡和，排布成一個圓周并且第一個跟最后一個齒輪相離。每個齒輪上都設(shè)置有一個料桿組300。第一個齒輪由馬達(dá)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，從而帶動其他的齒輪旋轉(zhuǎn)。如此，多個料桿組也可繞該圓周的中心軸旋轉(zhuǎn)。同理，第三驅(qū)動器也可以設(shè)置成類似上述馬達(dá)與齒輪配合的方式。本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識到，以上的實(shí)施方式僅是用來說明本發(fā)明， 而并非用作為對本發(fā)明的限定，只要在本發(fā)明的實(shí)質(zhì)精神范圍之內(nèi)，對以上實(shí)施例所作的適當(dāng)改變和變化都落在本發(fā)明要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種濺鍍裝置，其包括一個外殼、多個用于固定待鍍工件的料桿組、多個用于固定靶材的第一靶座與第二靶座、一個第一驅(qū)動器以及多個第三驅(qū)動器組；該外殼界定一個腔體； 該多個料桿組收容于該腔體內(nèi)，平行設(shè)置并排布成一個第二圓周；每個料桿組包括多個平行設(shè)置并排布成一個第一圓周的料桿，相鄰的兩個料桿組相分離，相鄰的兩個料桿相分離； 該多個第一靶座及第二靶座設(shè)置在該腔體中，并且該第一靶座排布在該第二圓周之外，該第二靶座排布在該第二圓周之內(nèi)；每個第三驅(qū)動器組連接至對應(yīng)的一個料桿組，用于驅(qū)動該料桿組中的每個料桿繞其自身的中心軸旋轉(zhuǎn)；該第一驅(qū)動器連接至該多個第三驅(qū)動器組，用于驅(qū)動該多個料桿組繞該第二圓周的中心軸旋轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的濺鍍裝置，其特征在于，該外殼包括一個底板、一個與該頂板相對設(shè)置的頂板以及一個連接該底板以及該頂板的側(cè)壁；該底板、該頂板以及該側(cè)壁界定該腔體。
3.如權(quán)利要求2所述的濺鍍裝置，其特征在于，該第一靶座大致呈長方體狀，其上開設(shè)有一個用于固定靶材并且面向該腔體的中心軸的第一凹槽，該多個第一靶座間隔均勻地設(shè)置在該側(cè)壁的內(nèi)壁上；該第二靶座大致呈圓柱狀，其上開設(shè)有多個用于固定靶材并且面向該第二圓周的第二凹槽，其固定至該頂板并位于該腔體的中心軸上。
4.如權(quán)利要求1所述的濺鍍裝置，其特征在于，該料桿大致呈長方體狀，該料桿的四個側(cè)壁上都開設(shè)有一個用于固定待鍍工件的料槽。
5.如權(quán)利要求1所述的濺鍍裝置，其特征在于，該腔體呈圓柱狀。
6.如權(quán)利要求5所述的濺鍍裝置，其特征在于，每個料桿都沿平行于該腔體的中心軸方向設(shè)置。
7.如權(quán)利要求1所述的濺鍍裝置，其特征在于，該濺鍍裝置還包括多個第二驅(qū)動器，該第二驅(qū)動器用于驅(qū)動對應(yīng)的料桿組繞該第一圓周的中心旋轉(zhuǎn)。
8.如權(quán)利要求7所述的濺鍍裝置，其特征在于，該第一驅(qū)動器包括一個第一馬達(dá)以及一個大致呈圓形的第一承靠板；該第一馬達(dá)包括一個位于該腔體的中心軸上的第一本體以及一個連接至該第一本體并由其驅(qū)動的第一螺桿；該第一承靠板連接至該第一螺桿以由該第一馬達(dá)驅(qū)動而繞該腔體的中心軸旋轉(zhuǎn)。
9.如權(quán)利要求8所述的濺鍍裝置，其特征在于，該第二驅(qū)動器包括一個第二馬達(dá)以及一個大致呈圓形的第二承靠板，該第二馬達(dá)包括一個第二本體以及一個連接至該第二本體并由其驅(qū)動的第二螺桿，該第二本體均勻排布在該第一承靠板邊緣，從而排布成該第二圓周；第二承靠板的中心連接至該第二螺桿。
10.如權(quán)利要求9所述的濺鍍裝置，其特征在于，該第三驅(qū)動器包括多個第三馬達(dá)以及分別與該多個第三馬達(dá)連接的第三承靠板，該第三馬達(dá)包括一個第三本體以及一個連接至該第三本體并由其驅(qū)動的第三螺桿，同一組中的該多個第三本體均勻排布在該第三承靠板邊緣，從而排布成該第一圓周；該第三承靠板一端開設(shè)有一個用于容置該料桿的一端的固定槽，該第三承靠板沒有開設(shè)該固定槽的一端的中心連接至該第三螺桿。
全文摘要
本發(fā)明提供一種濺鍍裝置，其包括一個外殼、多個用于固定待鍍工件的料桿組、多個用于固定靶材的第一靶座與第二靶座、一個第一驅(qū)動器以及多個第三驅(qū)動器組。該外殼界定一個腔體。該多個料桿組收容于該腔體內(nèi)，平行設(shè)置并排布成一個第二圓周。每個料桿組包括多個平行設(shè)置并排布成一個第一圓周的料桿。該多個第一靶座及第二靶座設(shè)置在該腔體中，并且該第二靶座及第一靶座分別排布在該第二圓周之內(nèi)外。每個第三驅(qū)動器組連接至對應(yīng)的一個料桿組，用于驅(qū)動該料桿組中的每個料桿繞其自身的中心軸旋轉(zhuǎn)。該第一驅(qū)動器連接至該多個第三驅(qū)動器組，用于驅(qū)動該多個料桿組繞該第二圓周的中心軸旋轉(zhuǎn)。如此可在腔體內(nèi)排布更多的料桿，進(jìn)而提高了鍍膜效率。
文檔編號C23C14/34GK102560381SQ20101061239
公開日2012年7月11日 申請日期2010年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月29日
發(fā)明者吳佳穎 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司