專利名稱：蒸發(fā)源和具有該蒸發(fā)源的沉積設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
所描述的技術(shù)總體上涉及用于制造平板顯示器的蒸發(fā)源和具有該蒸發(fā)源的沉積 設(shè)備。
背景技術(shù)：
由于平板顯示器的輕的重量和薄的輪廓，它們已經(jīng)替代了陰極射線管顯示器。這 樣的顯示器的典型示例包括液晶顯示器(LCD)和有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(OLED)。OLED通 常具有較好的亮度和視角的特性，并且不需要背光，從而可以將它們實(shí)現(xiàn)為超薄顯示器。這些OLED利用通過陰極和陽極注入到有機(jī)薄膜中的電子和空穴復(fù)合而形成激子 的現(xiàn)象來顯示圖像，因此通過激子的去激作用而釋放的能量來發(fā)射具有特定波長的光。通常，通過光刻方法或沉積方法在由例如玻璃、不銹鋼或合成樹脂形成的基板上 選擇性地形成陰極、陽極和有機(jī)薄膜來制造OLED顯示器。在沉積方法中，沉積材料蒸發(fā)或 升華、在真空下沉積并被選擇性地蝕刻?？蛇x擇地，使用按預(yù)定的圖案具有多個(gè)縫隙的掩模 組件來選擇性地沉積沉積材料。光刻方法通常需要將光致抗蝕劑施加到預(yù)定區(qū)域，然后對(duì)施加的光致抗蝕劑執(zhí)行 濕蝕刻或者干蝕刻。在去除或蝕刻光致抗蝕劑的過程中，濕氣會(huì)滲透。對(duì)于在濕氣存在時(shí) 發(fā)生降解的材料(例如，有機(jī)薄膜)而言，沉積是用來形成薄膜的主要方法。

發(fā)明內(nèi)容
一個(gè)發(fā)明方面在于一種用于制造平板顯示器的沉積噴嘴具有使陰影效應(yīng)最小化 的結(jié)構(gòu)的蒸發(fā)源和的具有該蒸發(fā)源的沉積設(shè)備，實(shí)現(xiàn)了平板顯示器的層的基本均勻的沉 積。另一方面在于一種蒸發(fā)源，該蒸發(fā)源包括熔罐，在其一側(cè)是敞開的并儲(chǔ)存沉積材 料；噴嘴部分，位于熔罐的敞開側(cè)上并具有多個(gè)噴嘴，每個(gè)噴嘴在噴嘴的內(nèi)壁的預(yù)定區(qū)域上 傾斜；加熱器，加熱熔罐；外殼，容納熔罐、噴嘴部分和加熱器。噴嘴部分具有小于60°的最 大噴射角。另一方面在于一種沉積設(shè)備，該沉積設(shè)備包括處理室；蒸發(fā)源，位于處理室的一 側(cè)上并包括在噴嘴的內(nèi)壁的預(yù)定區(qū)域上傾斜的至少一個(gè)噴嘴；基板固定器，設(shè)置成與蒸發(fā) 源相對(duì)；掩模組件，設(shè)置在基板固定器和蒸發(fā)源之間并具有多個(gè)縫隙，每個(gè)縫隙具有以第一 傾斜角向掩模組件的表面傾斜的側(cè)壁。另一方面在于一種用于制造平板顯示器的蒸發(fā)源，該蒸發(fā)源包括熔罐，在其一側(cè) 是敞開的并被構(gòu)造為儲(chǔ)存沉積材料；噴嘴部分，位于熔罐的敞開側(cè)上并包括多個(gè)噴嘴，其 中，每個(gè)噴嘴具有被構(gòu)造為噴射穿過噴嘴的沉積材料的側(cè)壁，所述側(cè)壁具有傾斜部分；加熱 器，被構(gòu)造為加熱熔罐；外殼，被構(gòu)造為容納熔罐、噴嘴部分和加熱器，其中，噴嘴部分具有 小于大約60°的最大噴射角。在上述源中，熔罐沿一個(gè)方向延伸并包括劃分熔罐的內(nèi)部空間的至少一個(gè)分隔件。在上述源中，至少一個(gè)分隔件包括形成在分隔件的上部的槽。 在上述源中，側(cè)壁具有比傾斜部分更靠近熔罐的非傾斜部分，其中，傾斜部分具有
滿足下式的高度(h)
權(quán)利要求
1.一種蒸發(fā)源，用于制造平板顯示器，所述蒸發(fā)源包括熔罐，在其一側(cè)是敞開的并被構(gòu)造為儲(chǔ)存沉積材料；噴嘴部分，位于熔罐的敞開側(cè)上并包括多個(gè)噴嘴，其中，每個(gè)噴嘴具有被構(gòu)造為噴射穿 過噴嘴的沉積材料的側(cè)壁，側(cè)壁具有傾斜部分；加熱器，被構(gòu)造為加熱熔罐；外殼，被構(gòu)造為容納熔罐、噴嘴部分和加熱器，其中，噴嘴部分具有小于60°的最大噴射角。
2.如權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源，其中，所述熔罐沿一個(gè)方向延伸并包括劃分熔罐的內(nèi) 部空間的至少一個(gè)分隔件。
3.如權(quán)利要求2所述的蒸發(fā)源，其中，所述至少一個(gè)分隔件包括形成在分隔件的上部 的槽。
4.如權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源，其中，側(cè)壁具有比所述傾斜部分更靠近熔罐的非傾斜 部分，其中，傾斜部分具有滿足下式的高度h :ηtan(90-—)tan^h=-j-Rtan(90-y)-tan^其中，θ是噴嘴部分的最大噴射角，R是噴嘴的寬度。
5.如權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源，其中，側(cè)壁具有比傾斜部分更靠近熔罐的非傾斜部分， 其中，傾斜部分具有頂部和比頂部更靠近熔罐的底部，傾斜部分逐漸地傾斜，使得頂部的內(nèi) 部寬度大于底部的內(nèi)部寬度，傾斜部分的底部的厚度t滿足下式1 ~atan(90-y)—tan<9其中，θ是噴嘴部分的最大噴射角，R是噴嘴的寬度，厚度t與側(cè)壁的非傾斜部分的厚 度相同。
6.如權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源，其中，側(cè)壁具有比傾斜部分更靠近熔罐的非傾斜部分，其中，傾斜部分具有滿足下式的高度h和厚度t :h θ y = tan(90-y)其中，θ是噴嘴部分的最大噴射角，傾斜部分具有頂部和比頂部更靠近熔罐的底部，傾 斜部分逐漸地傾斜使得頂部的內(nèi)部寬度大于底部的內(nèi)部寬度，t是傾斜部分的底部的厚度， 該厚度與側(cè)壁的非傾斜部分的厚度相同。
7.如權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源，其中，儲(chǔ)存在所述熔罐中的沉積材料包括有機(jī)材料。
8.如權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源，其中，所述熔罐的數(shù)量大于1。
9.如權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源，其中，所述側(cè)壁具有比傾斜部分更靠近熔罐的非傾斜 部分，非傾斜部分的高度高于傾斜部分的高度。
10.一種沉積設(shè)備，用于制造平板顯示器，所述沉積設(shè)備包括 蒸發(fā)源，被構(gòu)造為容納和噴射沉積材料；掩模組件，具有多個(gè)縫隙并被構(gòu)造為通過縫隙將沉積材料沉積到基板上，其中，每個(gè)縫隙具有以第一傾斜角向掩模組件的表面傾斜的側(cè)壁；基板固定器，被構(gòu)造為固定基板并定位成相對(duì)于掩模組件與蒸發(fā)源相對(duì)； 處理室，被構(gòu)造為容納蒸發(fā)源、基板固定器和掩模組件， 其中，蒸發(fā)源具有小于第一傾斜角的最大噴射角。
11.如權(quán)利要求10所述的沉積設(shè)備，其中，蒸發(fā)源的最大噴射角小于60°。
12.如權(quán)利要求10所述的沉積設(shè)備，其中，所述蒸發(fā)源包括 熔罐，在其一側(cè)是敞開的并被構(gòu)造為儲(chǔ)存沉積材料；噴嘴部分，位于熔罐的敞開側(cè)上并具有多個(gè)噴嘴，其中，每個(gè)噴嘴具有被構(gòu)造為通過噴 射穿過噴嘴的沉積材料的側(cè)壁，所述側(cè)壁具有i)傾斜部分和ii)非傾斜部分，非傾斜部分 比傾斜部分更靠近熔罐；加熱器，被構(gòu)造為加熱熔罐；外殼，被構(gòu)造為容納熔罐、噴嘴部分和加熱器。
13.如權(quán)利要求12所述的沉積設(shè)備，其中，傾斜部分具有滿足下式的高度h β
14.如權(quán)利要求12所述的沉積設(shè)備，其中，傾斜部分具有頂部和比頂部更靠近熔罐的 底部，其中，傾斜部分逐漸地傾斜，使得頂部的內(nèi)部寬度大于底部的內(nèi)部寬度，傾斜部分的 底部的厚度t滿足下式
15.如權(quán)利要求12所述的沉積設(shè)備，其中，傾斜部分具有滿足下式的高度h和厚度t
16.如權(quán)利要求10所述的沉積設(shè)備，其中，所述沉積設(shè)備還包括被構(gòu)造為按預(yù)定的方 向互換蒸發(fā)源的傳送單元。
17.一種蒸發(fā)源，用于制造平板顯示器，所述蒸發(fā)源包括容器，被構(gòu)造為儲(chǔ)存沉積材料；噴嘴，與容器流體連通，其中，噴嘴具有被構(gòu)造為將沉積材料噴射到要被沉積的基板 上的側(cè)壁，側(cè)壁具有傾斜部分，傾斜部分具有頂部和比頂部更靠近容器的底部，傾斜部分的 頂部相對(duì)于底部形成傾斜角，使得頂部的內(nèi)部寬度大于底部的內(nèi)部寬度，所述傾斜角大于 60°且小于90° ；外殼，被構(gòu)造為容納容器和噴嘴。
18.如權(quán)利要求17所述的蒸發(fā)源，其中，噴嘴具有小于60°的最大噴射角。
19.如權(quán)利要求17所述的蒸發(fā)源，其中，側(cè)壁包括比傾斜部分更靠近容器的非傾斜部 分，其中，傾斜部分的底部的厚度t滿足下式
20.如權(quán)利要求17所述的蒸發(fā)源，其中，側(cè)壁包括比傾斜部分更靠近容器的非傾斜部 分，其中，傾斜部分具有滿足下式的高度h和厚度t
全文摘要
本發(fā)明公開了一種蒸發(fā)源。在一個(gè)實(shí)施例中，蒸發(fā)源包括i)熔罐，在其一側(cè)是敞開的并被構(gòu)造為儲(chǔ)存沉積材料；ii)噴嘴部分，位于熔罐的敞開側(cè)上并包括多個(gè)噴嘴，其中，每個(gè)噴嘴具有被構(gòu)造為噴射穿過噴嘴的沉積材料的側(cè)壁，側(cè)壁具有傾斜部分。蒸發(fā)源還包括i)加熱器，被構(gòu)造為加熱熔罐；ii)外殼，被構(gòu)造為容納熔罐、噴嘴部分和加熱器，其中，噴嘴部分具有小于大約60°的最大噴射角。
文檔編號(hào)C23C14/04GK102102176SQ201010601150
公開日2011年6月22日 申請(qǐng)日期2010年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月22日
發(fā)明者盧喆來, 崔丞鎬, 明承鎬, 鄭石源 申請(qǐng)人:三星移動(dòng)顯示器株式會(huì)社