專利名稱：用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種裝載室，特別是指一種可以憑借強(qiáng)化結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度而將結(jié)構(gòu)上的變 形最小化，以避免因壓差所產(chǎn)生的彎曲應(yīng)力的用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室。
背景技術(shù)：
平板顯示器是已廣泛地應(yīng)用于電視產(chǎn)品、電腦螢?zāi)?、或是個(gè)人手提終端機(jī)上。而平 板顯示器可以包括液晶顯示器(liquid crystal display, LCD)、等離子顯示面板(plasma display panel)、以及有機(jī)發(fā)光二極管(organic light emitting diode)。在這些平板顯 示器中，液晶顯示器是將介于固態(tài)與液態(tài)之間的中間物質(zhì)的液晶，注入在兩片薄板的上、下 玻璃基板之間的空間，利用一種光開(kāi)關(guān)現(xiàn)象以顯示數(shù)字或影像，且使用于上、下玻璃基板電 極之間的電壓差改變液晶分子的方向，以產(chǎn)生不同亮度。目前液晶顯示器廣泛地使用于從如電子手表、電子計(jì)算機(jī)、電視機(jī)的電子產(chǎn)品，到 車用產(chǎn)品、里程計(jì)以及飛機(jī)的操作系統(tǒng)等。普遍來(lái)說(shuō)，當(dāng)顯示螢?zāi)坏某叽缧∮?7吋時(shí)，液晶 顯示電視已經(jīng)具有20到30吋的尺寸。然而，近來(lái)比較暢銷的液晶顯示電視的尺寸是40吋 或以上，且電腦螢?zāi)坏某叽缫矎?0吋或以上而繼續(xù)在增加中。于是，液晶顯示器的制造商是發(fā)展較大尺寸基板的制造方法。再者，所謂具有約 2公尺水平以及垂直長(zhǎng)度的第八代玻璃基板量產(chǎn)，已準(zhǔn)備或者是目前正在生產(chǎn)中。液晶顯 示器是經(jīng)由一薄膜電晶體陣列制程(TFT Arrayprocess)、一液晶胞制程(Cell process) 以及一模塊制程(module process)大量制造，其中薄膜電晶體陣列制程包括重復(fù)沉積 (d印osition)、黃光(photolithography)、蝕刻(etching)以及化學(xué)氣相沉積(chemical vapor deposition, CVD)等步驟，液晶胞制程是將上、下玻璃基板附著地相互結(jié)合于一起， 而模塊制程是用來(lái)完成液晶顯示器產(chǎn)品。上述薄膜電晶體陣列制程之一的化學(xué)氣相沉積制程，是在一制程腔室(process chamber)中進(jìn)行，而制程腔室具有化學(xué)氣相沉積制程的一最佳環(huán)境。特別是，在一短時(shí)間內(nèi) 處理多個(gè)基板，則廣泛地使用具有復(fù)數(shù)個(gè)且以一預(yù)定間隔而設(shè)置的制程腔室的一化學(xué)氣相 沉積設(shè)備?；瘜W(xué)氣相沉積設(shè)備具有復(fù)數(shù)個(gè)制程腔室以進(jìn)行一化學(xué)氣相沉積制程，一裝載室 (loadlock chamber)以形成在輸入一基板到一相對(duì)應(yīng)的制程腔室之前，供將一基板輸出到 制程腔室的環(huán)境，以及一傳輸腔室(transfer chamber)以連接每一制程腔室與裝載室，且 具有一機(jī)械手臂以將基板由裝載室傳輸?shù)较鄬?duì)應(yīng)的制程腔室，或是將基板從制程腔室傳輸 到裝載室。一種化學(xué)氣相沉積制程是在制程腔室中進(jìn)行，即基板是在高溫低壓的環(huán)境中。因 此，難以允許基板在大氣壓力下直接地輸入到高溫高壓下的制程腔室中，故在將基板傳輸?shù)较鄬?duì)應(yīng)的制程腔室之前，制程腔室必須形成如其相同的環(huán)境，其是由裝載室所完成。也 即，裝載室容納基板在大致如制程腔室相同的環(huán)境，或是在將基板從外部世界輸入到制程 腔室之前的相同環(huán)境，抑或者是將基板從制程腔室取出到外部世界的相同環(huán)境。近來(lái)，所謂的多裝載室(multi-loadlock chamber)具有復(fù)數(shù)個(gè)單組腔室用來(lái)增加 制程效率以及改善生產(chǎn)率。請(qǐng)參考圖1以及圖2，是表示一現(xiàn)有多裝載室10的橫斷面圖。如圖1所示，多裝載室10具有一個(gè)三單組腔室(unit chamber)的結(jié)構(gòu)，即相互 疊置的第一、第二以及第三單組腔室lla、12a、13a，且包括形成在多裝載室10的一上表面 的一上壁15，形成在多裝載室10的一下表面的一下壁16，第一、第二、第三腔架(chamber frame) 11、12、13垂直地疊置在上壁15與下壁16之間，一第一隔墻17插設(shè)在第一腔架11 與第二腔架12之間，以及一第二隔墻18插置在第二腔架12與第三腔架13之間。供基板 輸出或取出而經(jīng)過(guò)的三個(gè)腔槽10a，是形成在多裝載室10的相對(duì)橫向側(cè)。相較于一裝載室(圖未示)具有一單一腔室，多裝載室10具有一三層堆疊結(jié)構(gòu) (stack structure)有利于改善制程效率與生產(chǎn)率，卻不利于當(dāng)基板的尺寸增加時(shí)，多裝載 室10的總高度是限制在裝設(shè)在傳輸腔室中的機(jī)械手臂的有效Z軸參數(shù)。因此，當(dāng)基板尺寸 增加時(shí)，形成在多裝載室10的上壁15、第一、第二隔墻17、18以及下壁16，具有無(wú)法以一足 夠強(qiáng)度的厚度加以牢固，避免由于單組腔室之間的壓差所產(chǎn)生的彎曲應(yīng)力的問(wèn)題。所以，當(dāng)三單組腔室至少其一維持在真空狀態(tài)時(shí)，在多裝載室10的垂直方向產(chǎn)生 一相對(duì)應(yīng)于大氣壓力的壓力。所產(chǎn)生的壓力如同一彎曲應(yīng)力作用到上壁15、第一以及第二 隔墻17、18以及下壁16，以使上壁15、第一以及第二隔墻17、18、以及下壁16至少其一向內(nèi) 或向下彎曲。舉例來(lái)說(shuō)，如圖2所示，當(dāng)?shù)谝?、第三單組腔室lla、13a維持在大氣壓力狀態(tài)ATM 下，且第二單組腔室12a維持在真空狀態(tài)VAC下時(shí)，由于在第一與第三單組腔室11a、13a以 及第二單組腔室12a之間因壓差所產(chǎn)生的彎曲應(yīng)力，使第一隔墻17向下彎曲，而使第二隔 墻18向上彎曲。此等彎曲現(xiàn)象會(huì)因在第一、第二隔墻17、18以及第一、第二、第三腔架11、 12,13之間的摩擦而在制程上產(chǎn)生不良影響。再者，彎曲應(yīng)力是轉(zhuǎn)換到連接到裝載室10的 一槽閥(slot valve)，以使槽閥的一外蓋(housing，圖未示)可能變形而造成泄漏，這是必 須要考慮進(jìn)去的。另外，在多裝載室10中，第一、第二、第三單組腔室11a、12a、13a的下表面，必須形 成如可能可以?shī)A住基板的機(jī)械手臂，也必須考慮進(jìn)去。因此，可能要考慮一種形成復(fù)數(shù)個(gè)溝 槽的方法，以整體地與每一單組腔室的底面而促進(jìn)機(jī)械手臂的進(jìn)入與取出。然而，在如此情 況下，制造過(guò)程會(huì)變得復(fù)雜且制造成本也因而增加。而且，當(dāng)用來(lái)支撐基板的部位的一部分損壞時(shí)，操作員必須進(jìn)入單組腔室內(nèi)部進(jìn) 行維修損壞的部分。這是非常不方便的工作，而且在維修時(shí)進(jìn)行相對(duì)應(yīng)的拆卸是復(fù)雜的，這 更是必須考慮進(jìn)去的。圖3是表示另一現(xiàn)有用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的多裝載室20的橫斷面圖。圖4是 表示圖3現(xiàn)有裝載室部分外觀的透視圖。請(qǐng)同時(shí)參考圖3以及圖4，裝載室20包括一腔體 21，具有復(fù)數(shù)個(gè)內(nèi)容置空間21s用來(lái)容納復(fù)數(shù)個(gè)基板，以及一托架結(jié)合件27，連結(jié)到腔體21 的外壁。腔體21包括一上壁22、一下壁24、設(shè)置在上壁22與下壁24之間的兩個(gè)隔墻25，以及設(shè)置在上述壁面之間的一側(cè)壁26。托架結(jié)合件27包括一第一結(jié)合件27a，具有相對(duì)應(yīng) 于側(cè)壁26高度的一長(zhǎng)度且螺合到腔體21的側(cè)壁26，以及一第二結(jié)合件27b，是呈一小方板 形且螺合到側(cè)壁26以及隔墻25的一結(jié)合部。因此，可以將復(fù)數(shù)個(gè)基板保留在裝載室20的 內(nèi)容置空間21s，以便改善工作效率。在裝載室20中，分別的內(nèi)容置空間21s可以維持在制程中的不同壓力狀態(tài)下，即 將基板輸入到腔體21的每一內(nèi)容置空間21s，或是將基板從腔體21的每一內(nèi)容置空間21s 取出的過(guò)程。因此，一壓力是從在高壓下的內(nèi)容置空間21s轉(zhuǎn)換到在低壓力的內(nèi)容置空間 21s,以使隔墻25以及連結(jié)到隔墻25的側(cè)壁26可被彎曲。結(jié)果，粒子即可從形成腔體21 的上壁22、下壁24、隔墻25以及側(cè)壁26之間的結(jié)合部所產(chǎn)生，或者是從腔體21以及托架 結(jié)合件27之間的結(jié)合部所產(chǎn)生，于是在制程上即產(chǎn)生不良的影響。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的第一目的是提供一種用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室，可以憑借強(qiáng)化結(jié) 構(gòu)的強(qiáng)度將結(jié)構(gòu)的變形最小化，以防止由于復(fù)數(shù)個(gè)單組腔室之間的壓差所產(chǎn)生的彎曲應(yīng) 力，并避免因槽閥外蓋結(jié)構(gòu)變形而泄漏，其是憑借攔阻可能轉(zhuǎn)換到槽閥以開(kāi)啟/關(guān)閉形成 在腔室的復(fù)數(shù)個(gè)溝槽的彎曲應(yīng)力。本發(fā)明的第二目的是提供一種用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室，可以在允許機(jī)械 手臂輸入到腔室或從腔室取出時(shí)強(qiáng)化隔墻的強(qiáng)度，且可易于制造，以降低制造成本，以及結(jié) 構(gòu)簡(jiǎn)單而易于保養(yǎng)維修，更能依據(jù)處理基板的方式改善生產(chǎn)率。本發(fā)明的第三目的是提供一種用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室，不僅可以堅(jiān)固地 連結(jié)到形成在腔體的各自壁墻，而且相較于現(xiàn)有技術(shù)，甚至是當(dāng)由內(nèi)容置空間之間的壓差 產(chǎn)生彎曲時(shí)，可以顯著地降低于每一壁墻之間的部位，或是在每一壁墻與用來(lái)連結(jié)各自壁 墻的結(jié)合結(jié)構(gòu)之間所產(chǎn)生的粒子數(shù)量，因此改善了制程效率。依據(jù)本發(fā)明所述第一目的，是提供一種用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室，包含一 腔體，具有復(fù)數(shù)個(gè)單組腔室以將一基板容置其中，以及復(fù)數(shù)個(gè)使所述基板輸入或取出的腔 槽，形成在相對(duì)應(yīng)所述單組腔室的一側(cè)面以及另一側(cè)面；以及至少一補(bǔ)強(qiáng)板，連結(jié)到形成有 所述腔槽的所述腔體的一側(cè)面與另一側(cè)面至少其一，強(qiáng)化所述腔體的一強(qiáng)度，以防止因在 所述復(fù)數(shù)個(gè)單組腔室之間的壓差而產(chǎn)生的彎曲應(yīng)力；其中，該至少一補(bǔ)強(qiáng)肋是朝所述腔體 的寬度方向延伸，以強(qiáng)化所述腔體的強(qiáng)度；其中，所述腔體進(jìn)一步包含一形成在所述腔體 上表面的上壁；一形成在所述腔體下表面的下壁；至少一用來(lái)分割所述腔體，以包含所述 復(fù)數(shù)個(gè)單組腔室的隔墻；以及至少一朝所述腔體的長(zhǎng)度方向延伸，而設(shè)置在所述隔墻以及 所述下壁上，以強(qiáng)化所述腔體強(qiáng)度的補(bǔ)強(qiáng)條。依據(jù)本發(fā)明所述第二目的，是提供一種用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室，包含一 腔體，具有復(fù)數(shù)個(gè)憑借分割至少一隔墻的單組腔室以容置一基板，復(fù)數(shù)個(gè)強(qiáng)度強(qiáng)化單元，是 相間隔地設(shè)置且可拆卸地連結(jié)到所述隔墻的一下表面，憑借強(qiáng)化所述隔墻的一強(qiáng)度以避免 彎曲所述隔墻，以及復(fù)數(shù)個(gè)接觸支撐條，可拆卸地連結(jié)到所述強(qiáng)度強(qiáng)化單元，且接觸并的稱 所述基板。依據(jù)本發(fā)明所述的第三目的，是提供一種用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室，包含 一腔體，具有一上壁、一下壁、設(shè)置在所述上壁與所述下壁之間且大致與所述上壁與所述下壁平行的至少一隔墻，以及設(shè)置在越過(guò)所述上壁、所述下壁以及所述隔墻的一側(cè)壁，以及具 有復(fù)數(shù)個(gè)內(nèi)容置空間以將一基板容置其中。與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本發(fā)明 具有的有益效果是1.如上所述，依據(jù)本發(fā)明的概念，憑借設(shè)置連接到腔體每一相對(duì)側(cè)的補(bǔ)強(qiáng)板，強(qiáng)化 腔體的強(qiáng)度而使腔體的變形最小化，以防止由于單組腔室之間的壓差所產(chǎn)生的彎曲應(yīng)力， 或是可憑借限制彎曲應(yīng)力以避免形成在腔體用來(lái)開(kāi)啟/關(guān)閉溝槽的槽閥外蓋的結(jié)構(gòu)變形 的泄漏，此一彎曲壓力是可以轉(zhuǎn)換到槽閥。2.依據(jù)本發(fā)明概念，當(dāng)允許機(jī)械手臂進(jìn)入腔室或是從腔室離開(kāi)時(shí)，可以強(qiáng)化腔體 隔墻的強(qiáng)度。特別是，可容易地制造裝載室以便降低制造成本。再者，由于裝載室的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn) 單而可易于保養(yǎng)以及維修，以便改善基板處理的生產(chǎn)率。3.依據(jù)本發(fā)明的概念，相較于現(xiàn)有技術(shù)，不僅形成腔體的各自的壁墻是堅(jiān)固地連 結(jié)，而且在每一壁墻之間的一部位或是每一壁墻與用來(lái)結(jié)合各自壁墻的一結(jié)合結(jié)構(gòu)之間的 結(jié)合部位所產(chǎn)生粒子顯著地減少，甚至是當(dāng)由于內(nèi)容置空間之間的壓差所產(chǎn)生的彎曲也減 少，因此改善了制程效率。


圖1以及圖2是一現(xiàn)有多裝載室的橫斷面圖；圖3是另一現(xiàn)有用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的多裝載室的橫斷面圖；圖4是圖3現(xiàn)有裝載室部分外觀的透視圖；圖5是本發(fā)明一化學(xué)氣相沉積設(shè)備使用一裝載室的一實(shí)施例的平面圖；圖6是圖5的裝載室的透視圖；圖7是圖6裝載室沿A-A線的橫斷面圖；圖8是圖6裝載室沿B-B線的透視圖；圖9是本發(fā)明另一實(shí)施例的裝載室的一第一單組腔室的平面圖；圖10是圖9的透視圖；圖11是圖10的部分透視圖；圖12是圖11 一主要部分的放大圖；圖13是圖9的部分?jǐn)嗝娣糯笠约胺纸馔敢晥D；圖14是圖13 —對(duì)準(zhǔn)機(jī)的前視圖；圖15是圖14的后視圖；圖16是圖13對(duì)準(zhǔn)機(jī)的平面圖；圖17是圖16的操作狀態(tài)示意圖；圖18是本發(fā)明再一實(shí)施例的裝載室的透視圖；圖19是圖18的部分放大透視圖；圖20是圖18的縱斷面圖，以解釋側(cè)壁相對(duì)于隔墻的結(jié)合狀態(tài)。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明已在韓國(guó)智慧財(cái)產(chǎn)局主張?jiān)?007年11月21日申請(qǐng)韓國(guó)專利申請(qǐng)案案號(hào) 10-2007-0119236、在2007年12月14日申請(qǐng)韓國(guó)專利申請(qǐng)案案號(hào)10-2007-0131150,以及在2008年03月26日申請(qǐng)韓國(guó)專利申請(qǐng)案案號(hào)10-2008-0027927的優(yōu)點(diǎn)，全部結(jié)合揭示如下。所附的圖式是用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例，并引以獲得對(duì)本發(fā)明足夠的了解及其中 的優(yōu)點(diǎn)。在下文中，是參考所附的圖式解釋本發(fā)明的實(shí)施例并詳加描述。而相同的參考元 件編號(hào)是表示相同的元件。下列敘述可供參考，以下所述的一基板可以是指平面顯示器，包括液晶顯示器 (LCD)基板、等離子顯示器面板(PDP)基板以及有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)基板。為了方便解 釋，在目前實(shí)施例所使用的“基板”一詞，是可為上述任一類型的基板。圖5是表示依據(jù)本發(fā)明一化學(xué)氣相沉積設(shè)備使用一裝載室的一實(shí)施例的平面圖。 圖6是表示圖5的裝載室的透視圖。圖7是表示圖6裝載室沿A-A線的橫斷面圖。圖8是 表示圖6裝載室沿B-B線的透視圖。請(qǐng)參考圖5，例如用來(lái)制造一平板顯示器的一化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括復(fù)數(shù)個(gè)用來(lái) 進(jìn)行一化學(xué)氣相沉積制程的制程腔室400，形成在將一基板輸入到相對(duì)應(yīng)的其中一制程腔 室400的前供基板輸入到制程腔室400的一環(huán)境的一裝載室100，以及連接制程腔室400以 及裝載室100的一傳輸腔室500。一機(jī)械手臂510設(shè)置在傳輸腔室500中，用來(lái)將在裝載室 100的基板傳輸?shù)较鄬?duì)應(yīng)的其中一制程腔室400，或是將在相對(duì)應(yīng)其中一制程腔室400的基 板傳輸?shù)窖b載室100?；瘜W(xué)氣相沉積制程是在基板處在高溫低壓的環(huán)境中的制程腔室400中進(jìn)行。由于 難以將在大氣壓力狀態(tài)下的基板直接地輸入到在高溫低壓下的制程腔室400，因此在基板 傳輸?shù)较鄬?duì)應(yīng)的其中一制程腔室400之前，必須憑借裝載室100的作用來(lái)形成與制程腔室 400相同的環(huán)境。詳細(xì)地說(shuō)，當(dāng)憑借一傳輸自控裝置(圖未示)將遭遇化學(xué)氣相沉積制程的外部基 板插入時(shí)，裝載室100即形成與制程腔室400大致相同溫度以及壓力的內(nèi)部環(huán)境。在與制 程腔室400大致相同環(huán)境下的裝載室100內(nèi)的基板，是憑借于傳輸腔室500的機(jī)械手臂510 將基板取出到其中一制程腔室400并進(jìn)行相對(duì)應(yīng)的沉積制程。相反地，當(dāng)已在制程腔室400 中完成化學(xué)氣相沉積制程的基板，是憑借傳輸腔室500的機(jī)械手臂510取出，并傳輸?shù)骄S持 與外部世界大致相同溫度與壓力的裝載室100。最后，再由傳輸自控裝置將基板取出到外部 世界。如上所述，裝載室100提供用來(lái)容置大致與制程腔室400相同狀態(tài)的基板的一腔 室，或者是在將一外部基板輸入到制程腔室400的前或?qū)⒒鍙闹瞥糖皇?00取出到外部 世界的前的外部環(huán)境的一腔室。請(qǐng)同時(shí)參考圖6以及圖7，依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的裝載室100是包括具有三個(gè)單組腔 室11 la、112a、113a以將基板容納其中的一腔體110，兩個(gè)補(bǔ)強(qiáng)板120、130分別地連結(jié)到腔 體110的前表面以及后表面，以強(qiáng)化腔體110的強(qiáng)度，以及復(fù)數(shù)個(gè)補(bǔ)強(qiáng)肋140、150分別地設(shè) 置在腔體110的上表面以及下表面。腔體110包括形成在腔體110上表面的上壁115，形成在腔體110下表面的下壁 116，以垂直的Z軸方向疊置在上壁115與下壁116之間的第一、第二、第三腔架111、112、 113，插置在第一以及第二腔架111、112之間的第一隔墻117，以及插置在第二、第三腔架 112,113之間的第二隔墻118。第一以及第二隔墻117、118是分割腔體110的內(nèi)部，以形成三個(gè)單組腔室llla、112a、113a。每一腔體110的構(gòu)成元件是由鋁質(zhì)材質(zhì)形成，且以復(fù)數(shù)個(gè) 螺栓(圖未示)而相互連結(jié)，以形成腔體110。依據(jù)上述的三層堆疊結(jié)構(gòu)，三個(gè)單組腔室llla、112a、113a是形成在腔體110內(nèi)。 也即，腔體Iio包括由上壁115、第一腔架1111與第一隔墻117所界定的第一單組腔室 Illa,由第一隔墻117、第二腔架112與第二隔墻118所界定的第二單組腔室112a，以及由 第二隔墻118、第三腔架113與下壁116所界定的第三單組腔室113a。如上所述，由于三個(gè)單組腔室111a、112a、113a是疊置而形成，故相較于具有單一 腔室的裝載室，依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的裝載室100是有益于改善制程效率以及生產(chǎn)率。無(wú)論 如何，兩個(gè)或四個(gè)或更多個(gè)單組腔室(圖未示)是可以依據(jù)其他實(shí)施例相互疊置而成裝載 室。將一外部基板輸入到每一單組腔室llla、112a、113a所經(jīng)過(guò)的，或者是將基板從 每一單組腔室11 la、112a、113a取出所經(jīng)過(guò)的三個(gè)腔槽11 lb、112b、113b，是形成在腔體110 的前表面。三個(gè)腔槽lllb、112b、113b是分別地相對(duì)應(yīng)第一、第二、第三單組腔室111a、 112a、113a而形成。雖然其并未繪制在圖6以及圖7，用來(lái)選擇開(kāi)啟/關(guān)閉三個(gè)腔槽111b、 112b、113b的一槽閥(圖未示)，設(shè)置在裝載室100的前側(cè)，以便于基板輸出與取出流程期 間開(kāi)啟三個(gè)腔槽lllb、112b、113b相對(duì)應(yīng)的其中之一，以及在完成基板輸出與取出流程時(shí) 關(guān)閉三個(gè)腔槽111b、112b、113b相對(duì)應(yīng)的其中之一。腔體110的后表面是連接到傳輸腔室500的部位。將基板從制程腔室400傳輸?shù)?每一單組腔室llla、112a、113a的基板所經(jīng)過(guò)的，或者是將基板從每一每一單組腔室111a、 112a、113a取出到制程腔室400所經(jīng)過(guò)的三個(gè)腔槽11 Ic、112c、113c，是分別地相對(duì)應(yīng)第一、 第二、第三單組腔室llla、112a、113a而形成。雖然并未繪制在圖6以及圖7，用來(lái)連接裝 載室100與傳輸腔室500且可選擇地開(kāi)啟/關(guān)閉三個(gè)腔槽111c、112c、113c的一槽閥(圖 未示)，是形成在裝載室100的后側(cè)。也即，基板輸出與取出流程期間開(kāi)啟三個(gè)腔槽111c、 112c、113c相對(duì)應(yīng)的其中之一，以及在完成基板輸出與取出流程時(shí)關(guān)閉三個(gè)腔槽111c、 112c、113c相對(duì)應(yīng)的其中之一。請(qǐng)同時(shí)參考圖6以及圖7，一對(duì)補(bǔ)強(qiáng)板120、130是分別地連結(jié)到腔體110的前表面 以及后表面，強(qiáng)化腔體Iio的強(qiáng)度以防止由于單組腔室llla、112a、113a之間的壓差所產(chǎn)生 的彎曲應(yīng)力。在本實(shí)施例中，雖然補(bǔ)強(qiáng)板120、130是分別地連結(jié)到腔體110的前表面以及 后表面，但補(bǔ)強(qiáng)板也可以僅連結(jié)到腔體110前表面與后表面其中之一，或是復(fù)數(shù)個(gè)補(bǔ)強(qiáng)板 可以重疊地連結(jié)到腔體的任一表面。當(dāng)三個(gè)單組腔室llla、112a、113a至少其中的一維持在如上所述背景下的真空狀 態(tài)時(shí)，會(huì)在一垂直方向(Z軸方向)產(chǎn)生相對(duì)應(yīng)大氣壓力的一壓力，且此壓力是以彎曲應(yīng)力 施加在上壁115、第一隔墻117、第二隔墻118以及下壁116，以使至少一壁墻向上或是向下彎曲。舉例來(lái)說(shuō)，當(dāng)?shù)谝?、第三單組腔室llla、113a維持在大氣壓力，而第二單組腔室 112a維持在真空狀態(tài)時(shí)，由于第一、第三單組腔室llla、113a與第二單組腔室112a之間的 壓差所產(chǎn)生的彎曲應(yīng)力，使第一隔墻117向下彎曲，而第二隔墻118向上彎曲。彎曲現(xiàn)象會(huì) 由于第一、第二隔墻117、118與腔架111、112、113之間的摩擦所產(chǎn)生的粒子，而使制程產(chǎn)生 不良影響。結(jié)果，裝載室100在結(jié)構(gòu)上產(chǎn)生變形，使得阻礙了基板精確的輸入與取出。再者，彎曲應(yīng)力轉(zhuǎn)換至連接到裝載室100的槽閥，使得槽閥的外蓋(圖未示)變形，并產(chǎn)生泄漏。如用來(lái)解決問(wèn)題的解決方法的補(bǔ)強(qiáng)板120、130，是強(qiáng)化腔體110的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度，以防 止由于單組腔室llla、112a、113a之間的壓差所產(chǎn)生的彎曲應(yīng)力，使得腔體110的結(jié)構(gòu)上的 變形最小化，且攔阻轉(zhuǎn)換到槽閥的彎曲應(yīng)力以避免因槽閥外蓋的變形而產(chǎn)生的泄漏。如圖6所示的補(bǔ)強(qiáng)板120、130的大小是上、下、左、右端可以分別地突伸到腔體110 的上、下、左、右表面。相較于將補(bǔ)強(qiáng)板120、130的大小制造成相同或是小于腔體的110的 前表面或是后表面，這就是為什么腔體110的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度可以獲得進(jìn)一步改善的原因。而且， 相對(duì)應(yīng)三個(gè)腔槽lllb、112b、113b或是lllc、112c、113c而設(shè)置的三個(gè)開(kāi)口 121、122、123或 是131、132、133，是形成在補(bǔ)強(qiáng)板120或130上，而不會(huì)妨礙將基板輸入到單組腔室111a、 112a、113a，或是將基板從單組腔室111a、112a、113a取出。依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的補(bǔ)強(qiáng)板120、130，是由具有強(qiáng)化機(jī)械強(qiáng)度的鋼鐵材質(zhì)所制成， 較佳者，是具有強(qiáng)化機(jī)械強(qiáng)度以及抗腐蝕的不銹鋼材質(zhì)，且使用復(fù)數(shù)個(gè)螺栓125、135固定 地連結(jié)到腔體110。除了上述螺栓結(jié)合方法之外，補(bǔ)強(qiáng)板120、130以及腔體110可以不同方 式結(jié)合。然而，經(jīng)常使用的接合方法來(lái)當(dāng)作是補(bǔ)強(qiáng)板結(jié)合方法，并不適合由鋁質(zhì)材質(zhì)所形成 的腔體110以及由不銹鋼材質(zhì)所制成的補(bǔ)強(qiáng)板120、130的結(jié)合方法。請(qǐng)?jiān)谕瑫r(shí)參考圖6以及圖7，沿腔體110寬度X軸方向延伸的補(bǔ)強(qiáng)肋140、150，是 分別地以一預(yù)定間隔設(shè)置在腔體110長(zhǎng)度(Y軸)方向腔體110的上表面以及下表面的三 個(gè)位置。設(shè)置在腔體Iio上表面的三個(gè)補(bǔ)強(qiáng)肋140，以及設(shè)置在腔體110下表面的三個(gè)補(bǔ)強(qiáng) 肋150，是如圖7所示相互對(duì)應(yīng)地設(shè)置。這就是為什么上述補(bǔ)強(qiáng)肋140、150的配置可以進(jìn)一 步改善腔體110的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的原因。然而，補(bǔ)強(qiáng)肋140、150的數(shù)量以及配置并不局限于上 述的實(shí)施例，可以根據(jù)腔體110的形狀以及尺寸進(jìn)行不同的修改。如上所述的補(bǔ)強(qiáng)板120、130，依據(jù)本實(shí)施例的補(bǔ)強(qiáng)肋140、150是由鋼鐵材質(zhì)所制 成，較佳者，是由強(qiáng)化機(jī)械強(qiáng)度以及防腐蝕的不銹鋼材質(zhì)所制成，而且使用復(fù)數(shù)個(gè)螺栓145、 155固定地連結(jié)到腔體110的上表面以及下表面。每一補(bǔ)強(qiáng)肋140、150具有形成在其一側(cè) 端的一凸緣，如圖7所示，是用來(lái)連接腔體110的上表面或是下表面，以促進(jìn)螺栓結(jié)合。憑 借上述補(bǔ)強(qiáng)板120、130，補(bǔ)強(qiáng)肋140、150更進(jìn)一步強(qiáng)化腔體110的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度，以防止由于單 組腔室llla、112a、113a之間的壓差所產(chǎn)生的彎曲應(yīng)力，使得可以將腔體110的結(jié)構(gòu)變形最 小化。請(qǐng)參考圖6，復(fù)數(shù)個(gè)由透明材質(zhì)所形成的景窗119，設(shè)置在腔體110的左側(cè)面以及 右側(cè)面。因此，當(dāng)觀察裝載室100的內(nèi)部時(shí)，制程操作員可以監(jiān)測(cè)裝載室100的進(jìn)行。請(qǐng)參考圖7，依據(jù)本實(shí)施例的裝載室100，更進(jìn)一部包括長(zhǎng)桿形的一補(bǔ)強(qiáng)條160，設(shè) 置在每一上壁116、第一、第二隔墻117、118的上表面，以進(jìn)一步強(qiáng)化腔體110的強(qiáng)度。也即， 六個(gè)朝長(zhǎng)度(Y軸)方向延伸的補(bǔ)強(qiáng)條160，是分別地設(shè)置在上壁116、第一、第二隔墻117、 118的上表面上。此六個(gè)補(bǔ)強(qiáng)條160是朝腔體110寬度(X軸)方向以一預(yù)定間隔設(shè)置，如 圖5所示當(dāng)作機(jī)械手臂510的進(jìn)入路徑。然而，補(bǔ)強(qiáng)肋160的數(shù)量以及配置并不局限于如 上所述，而是可以依據(jù)腔體110的形狀與尺寸作不同地修改。就像如上所述的補(bǔ)強(qiáng)板120、130以及補(bǔ)強(qiáng)肋140、150，依據(jù)本實(shí)施例的補(bǔ)強(qiáng)條160 是由鋼鐵材質(zhì)所制成，較佳者，是由強(qiáng)化機(jī)械強(qiáng)度與防腐蝕的不銹鋼材質(zhì)所制，且用復(fù)數(shù)個(gè) 螺栓(圖未示)固定地連結(jié)到腔體110。補(bǔ)強(qiáng)條160加上如上所述的補(bǔ)強(qiáng)板120、130與補(bǔ)
9強(qiáng)肋140、150，是更進(jìn)一步強(qiáng)化腔體110的強(qiáng)度，以防止由于單組腔室llla、112a、113a之間 的壓差所產(chǎn)生彎曲應(yīng)力，使得可以將腔體110的結(jié)構(gòu)變形最小化。請(qǐng)同時(shí)參考圖7以及圖8，呈長(zhǎng)桿狀的一支撐條165是連結(jié)到每一補(bǔ)強(qiáng)肋160的上 部，并接觸及支撐容置在腔體110內(nèi)的基板的下表面。依據(jù)本實(shí)施例的支撐條165是由一 鋁質(zhì)材質(zhì)所制成，且可拆卸地以滑動(dòng)手段連結(jié)到朝其長(zhǎng)度方向形成在補(bǔ)強(qiáng)條160上表面的 溝槽160a。支撐條165的兩端是固定到每一補(bǔ)強(qiáng)條160。如圖7所示，支撐條165是包括復(fù)數(shù)個(gè)萬(wàn)向滾珠165a，是以一預(yù)定間隔設(shè)置在其長(zhǎng) 度方向，且接觸并支撐容置在腔體Iio中的基板的下表面。萬(wàn)向滾珠165a是提供來(lái)防止刮 痕產(chǎn)生在容置在腔體110中的基板上。在依據(jù)本實(shí)施例的裝載室100中，由于補(bǔ)強(qiáng)板120、130是分別地連結(jié)到腔體110 的前表面與后表面，因此強(qiáng)化了防止由于單組腔室111a，112a，113a之間的壓差所產(chǎn)生的 彎曲應(yīng)力的腔體110的強(qiáng)度，使得可以將腔體110的結(jié)構(gòu)變形最小化。而且，補(bǔ)強(qiáng)板120、 130是避免彎曲應(yīng)力轉(zhuǎn)換到形成在腔體110上且用來(lái)開(kāi)啟/關(guān)閉腔槽lllb、112b、113b的槽 閥，以防止因槽閥外蓋的結(jié)構(gòu)變形所產(chǎn)生的泄漏。再者，由于依據(jù)本實(shí)施例的裝載室100包括連結(jié)到腔體110的補(bǔ)強(qiáng)肋140、150以 及補(bǔ)強(qiáng)條160，可以更進(jìn)一步地強(qiáng)化腔體110的強(qiáng)度，以防止彎曲應(yīng)力。圖9是表示依據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的裝載室的一第一單組腔室的平面圖。圖10 是表示圖9的透視圖。圖11是表示圖10的部分透視圖。圖12是表示圖11 一主要部分的 放大圖。圖13是表示圖9的部分?jǐn)嗝娣糯笠约胺纸馔敢晥D。圖14是表示圖13 —對(duì)準(zhǔn)機(jī) 的前視圖。圖15是表示圖14的后視圖。圖16是表示圖13對(duì)準(zhǔn)機(jī)的平面圖。圖17是表 示圖16的操作狀態(tài)示意圖。依據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的裝載室(圖未示)，進(jìn)一步包括用來(lái)對(duì)準(zhǔn)一基板的對(duì)準(zhǔn) 單元，請(qǐng)同時(shí)參考圖13 17，且將在后進(jìn)行詳述。如圖13 17所示，裝載室包括復(fù)數(shù)個(gè)連接到腔體110 —部位的對(duì)準(zhǔn)機(jī)280，并接 觸且擠壓一基板輸入到如圖7所示的單組腔室llla、112a、113a，以校準(zhǔn)基板，以及一對(duì)準(zhǔn) 參考板265，是鄰近每一對(duì)準(zhǔn)機(jī)280而設(shè)置，以及每一對(duì)準(zhǔn)機(jī)相互作用，且限制校準(zhǔn)基板的 對(duì)準(zhǔn)機(jī)280的轉(zhuǎn)動(dòng)。相較于以一較簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的現(xiàn)有技術(shù)，對(duì)準(zhǔn)機(jī)280以及對(duì)準(zhǔn)參考板265是精確地完 成對(duì)基板的一校準(zhǔn)工作。特別是，相較于現(xiàn)有技術(shù)，由于因?yàn)閷?duì)基板進(jìn)行不精確的校準(zhǔn)工作 所附加的完成的校準(zhǔn)工作會(huì)減少，因此可以改善生產(chǎn)率。對(duì)準(zhǔn)機(jī)280與對(duì)準(zhǔn)參考板265設(shè)置在每一單組腔室111a、112a、113a的結(jié)構(gòu)是可 供參考。為了方便解釋，在后續(xù)的敘述中僅討論對(duì)準(zhǔn)機(jī)280以及對(duì)準(zhǔn)參考板265設(shè)置在第 一單組腔室Illa的結(jié)構(gòu)狀態(tài)。請(qǐng)參考圖9，二對(duì)準(zhǔn)機(jī)280設(shè)置在第一單組腔室Illa的對(duì)角區(qū)域，且完成校準(zhǔn)工作 以將基板輸入到第一單組腔室111a。特別是如圖14以及圖15所示，依據(jù)本實(shí)施例的每一 對(duì)準(zhǔn)機(jī)280是由一單一部件所制成，并可拆卸地連結(jié)到圖13腔架111的穿透部H的區(qū)域。 也即，在本實(shí)施例中，以單一部件制成的每一對(duì)準(zhǔn)機(jī)280是連結(jié)到腔架111的穿透部H的區(qū) 域，以使對(duì)準(zhǔn)機(jī)280的一部分可以面向第一單組腔室Illa的內(nèi)部，以及另一部份可以露出 第一單組腔室Illa外。當(dāng)對(duì)準(zhǔn)機(jī)280如圖14以及圖15所示由一部件所制成，且連接到腔架111的穿透部H的區(qū)域時(shí)，可以容易裝設(shè)對(duì)準(zhǔn)機(jī)280，較容易進(jìn)行保養(yǎng)以及維修。然而，本 發(fā)明的范圍并不以此為限。每一對(duì)準(zhǔn)機(jī)280包括一本體部286、一軸部281、具有一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接到軸部281 的一滾筒支撐部282、復(fù)數(shù)個(gè)連接到滾筒支撐部281而可以相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)的滾筒組件283、復(fù)數(shù) 個(gè)連接到每一滾筒組件283且接觸基板側(cè)表面的接觸滾筒284，以及連接到本體部286且相 對(duì)軸部281以轉(zhuǎn)動(dòng)滾筒支撐部282的一轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部285。本體部286是連結(jié)到如圖13的穿透部H，以從一腔架211外露。而轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部285 是連結(jié)到本體部286。也即，轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部285的一汽缸本體285a設(shè)置在本體部286。軸部281是可轉(zhuǎn)動(dòng)地支撐滾筒支撐部285。軸部281的高度是設(shè)計(jì)成可以憑借接 觸滾筒284接觸并支撐輸入到第一單組腔室Illa的基板的側(cè)表面。一連結(jié)凸緣281a設(shè)置 在軸部281的一下端。滾筒支撐部282是支撐滾筒組件283以及接觸滾筒284，且具有連接到軸部281并 以一預(yù)定角度相對(duì)于軸部281朝向前方以及后方轉(zhuǎn)動(dòng)的一端部。滾筒支撐部282是考慮滾 筒組件283的配置，而制造成如圖所示具有一特殊厚度以及一特殊彎曲形。但本發(fā)明并不 以此為限，且滾筒支撐部282并不一定要形成具有如上述的形狀。滾筒組件283是支撐接觸滾筒284，并連結(jié)到滾筒支撐部282。在本實(shí)施例中，二 滾筒組件283設(shè)置在滾筒支撐部282，而每一滾筒組件283是以相互交叉的方向設(shè)置在滾筒 支撐部282上。此一配置是考慮以一般具有矩形形狀的基板為基礎(chǔ)。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，當(dāng)滾筒組件283固定到滾筒支撐部282時(shí)，在本實(shí)施例中，滾筒 組件283設(shè)置在該滾筒支撐部282，以可以自由地以一預(yù)定角度范圍進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。因此，相較 于現(xiàn)有技術(shù)，可以大大地改善對(duì)基板作校準(zhǔn)工作的影響。滾筒組件283可以由與滾筒支撐 部282有所不同的工程塑膠所制成，但是本發(fā)明的范圍并不以此為限。接觸滾筒284是大致地接觸基板，且有一對(duì)接觸滾筒284是連接到每一滾筒組件 283。雖然接觸滾筒284可以一個(gè)或三個(gè)或更多個(gè)部件連結(jié)到滾筒組件283，但較佳者，兩個(gè) 接觸滾筒284的連結(jié)是較有效率的。接觸滾筒284設(shè)置在可以相對(duì)于滾筒組件283以一預(yù)定角度朝向前方向以及向后 方向自由地轉(zhuǎn)動(dòng)。由于滾筒支撐部282可以相對(duì)于軸部281朝向前方向與向后方向轉(zhuǎn)動(dòng)， 所以滾筒組件283可以相對(duì)于滾筒支撐部282作相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，且接觸滾筒284可以相對(duì)于滾 筒組件283作相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，而相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，在校準(zhǔn)工作中的效率可以顯著地改善。以下敘 述可供參考。較佳地，接觸滾筒284可以由塑膠材質(zhì)所制成，例如橡膠或是硅材等不會(huì)損傷 基板的材質(zhì)。轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部285是連結(jié)到本體部286，且相對(duì)軸部281以轉(zhuǎn)動(dòng)滾筒支撐部282。轉(zhuǎn) 動(dòng)驅(qū)動(dòng)部285可以致造成各式各樣不同的形狀，而在本實(shí)施例中的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部285是一汽 缸，其可以是一液壓缸、一氣壓缸，或是一液壓以及氣壓缸。汽缸285包括設(shè)置在沿腔架111 一區(qū)域上的隔墻117的一表面方向的一汽缸主體 285a,以及可以相對(duì)于汽缸主體285a而延伸或收縮的一汽缸桿285b，其具有可轉(zhuǎn)動(dòng)地連結(jié) 到形成在滾筒支撐部282下表面部位的一突伸部282a的一端部。因此，當(dāng)汽缸桿285b相對(duì)于汽缸主體285a延伸時(shí)，對(duì)準(zhǔn)機(jī)280可以如圖17所示， 朝一向前方向Rl轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)汽缸桿285b相對(duì)于汽缸主體285a收縮時(shí)，對(duì)準(zhǔn)機(jī)280則可以如圖17所示，朝一向后方向R2轉(zhuǎn)動(dòng)。雖然在本實(shí)施例中的滾筒支撐部282是由不銹鋼材質(zhì) 所制成，但本發(fā)明并不以此為限。如上所述，在本實(shí)施例中，由于每一滾筒組件283以一部件連結(jié)兩個(gè)接觸滾筒284 的滾筒組件283，是連結(jié)到滾筒支撐部282而可以相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，對(duì)基板的精確校準(zhǔn)而言，轉(zhuǎn)動(dòng) 必須有所限制，且對(duì)準(zhǔn)參考板265設(shè)置在其中。也即，當(dāng)滾筒組件283轉(zhuǎn)動(dòng)到一角度時(shí)，接 觸滾筒284可以接觸對(duì)準(zhǔn)參考板265，以便可以限制滾筒組件283的轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)對(duì)準(zhǔn)參考板265限制接觸滾筒284的轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，即已決定基板憑借接觸滾筒284 自動(dòng)地移動(dòng)的一最終位置，以便對(duì)準(zhǔn)參考板265可以供一基板進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)參考。本實(shí)施例的 對(duì)準(zhǔn)參考板265大略地呈L型。對(duì)準(zhǔn)參考板265是連結(jié)到將在如后詳述的一強(qiáng)度補(bǔ)強(qiáng)單元260。詳而言的，對(duì)準(zhǔn)參 考板265是連結(jié)到強(qiáng)度補(bǔ)強(qiáng)單元260的一補(bǔ)強(qiáng)條261，特別是連結(jié)到補(bǔ)強(qiáng)條261 —端部區(qū)域 的一第一上表面261a。請(qǐng)?jiān)偻貐⒖紙D9 圖12，本實(shí)施例的裝載室(圖未示)包括復(fù)數(shù)個(gè)強(qiáng)度補(bǔ)強(qiáng)單 元260，可拆卸地連結(jié)到圖7所示的每一隔墻117、118的下表面以避免隔墻117、118彎曲， 并強(qiáng)化隔墻117、118，以及復(fù)數(shù)個(gè)接觸支撐條270，可拆卸地連結(jié)到強(qiáng)度補(bǔ)強(qiáng)單元260以接 觸并支撐基板。以下敘述可供參考。在本實(shí)施例中，“彎曲”一詞是代表包括所有如圖2所示的隔 墻117、118向上以及向下彎曲，以及隔墻117、118某部分的扭曲或變形。強(qiáng)度補(bǔ)強(qiáng)單元260與接觸支撐條270可以允許如圖5所示的機(jī)械手臂510進(jìn)入與 取出，且同時(shí)地強(qiáng)化隔墻117、118的強(qiáng)度。特別是，由于便于制造裝載室而使得制造成本可 以降低。再者，裝載室的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于保養(yǎng)以及維修，而使得針對(duì)處理基版的生產(chǎn)率可以 改善。雖然強(qiáng)度補(bǔ)強(qiáng)單元260與接觸支撐條270設(shè)置在隔墻117、118，而在下列的敘述 中，為方便解釋，則僅討論形成在第一單組腔室Illa底面的隔墻117。如圖9 12所示，每一強(qiáng)度補(bǔ)強(qiáng)單元260包括呈長(zhǎng)桿形的補(bǔ)強(qiáng)條261，形成有設(shè)置 在補(bǔ)強(qiáng)條261與隔墻117之間的一本體以及一空板263。補(bǔ)強(qiáng)條261具有一相對(duì)大于空板263與接觸支撐條270的體積，且大致地避免隔 墻117彎曲。補(bǔ)強(qiáng)條261的橫斷面結(jié)構(gòu)是大致呈臺(tái)階形。因此，補(bǔ)強(qiáng)條261的上表面具有形 成較上階的第一上表面261a，以及形成與第一上表面261a平行且較低于第一上表面261a 的第二上表面261b。補(bǔ)強(qiáng)條261可以由鋁質(zhì)或鋼質(zhì)材質(zhì)所制成?？瞻?63設(shè)置在補(bǔ)強(qiáng)條261與隔墻117之間，且可以由鐵氟龍等不同在補(bǔ)強(qiáng)條261 的材質(zhì)所形成。當(dāng)空板263是由鐵氟龍材質(zhì)所形成時(shí)，會(huì)由于補(bǔ)強(qiáng)條261與隔墻117之間 的摩擦而產(chǎn)生粒子。補(bǔ)強(qiáng)條261與空板263可以螺栓結(jié)合方法連結(jié)到隔墻117的下表面。無(wú)論如何， 由于本發(fā)明的范圍并不以此為限，除了螺栓結(jié)合方法之外，例如一強(qiáng)迫插入的方法也可以 運(yùn)用。由于空板263設(shè)置在補(bǔ)強(qiáng)條261與隔墻117之間，因此空板263的尺寸可以呈一完 整面板結(jié)構(gòu)，是大致相等或是小于補(bǔ)強(qiáng)條261的底面。然而，在本發(fā)明中，空板263是由復(fù) 數(shù)個(gè)朝補(bǔ)強(qiáng)條261長(zhǎng)度方向而切開(kāi)的單板263a所組成。在此例中，復(fù)數(shù)個(gè)供部分單板263a
12上表面插入的單板插入槽262，可以形成在補(bǔ)強(qiáng)條261的上表面。然而，由于本發(fā)明并不以 此為限，因此單板插入槽262并不一定需要形成在補(bǔ)強(qiáng)條261的下表面。不過(guò)，當(dāng)單板插入 槽262形成在補(bǔ)強(qiáng)條261下表面時(shí)，由于可以設(shè)定補(bǔ)強(qiáng)條261與單板263a之間的相對(duì)結(jié)合 位置，因此工作可以較容易進(jìn)行。當(dāng)每一強(qiáng)度補(bǔ)強(qiáng)單元260，包括有補(bǔ)強(qiáng)條261以及空板263，且以一相同間隔連接 于隔墻117的下表面上時(shí)，則裝載室的制造變得易于進(jìn)行，使得制造成本可以降低，且可以 允許機(jī)械手臂510進(jìn)行輸入與取出的操作。雖然機(jī)械手臂510并未詳細(xì)地繪制，由于一般 用于處理基板的機(jī)械手臂510是呈分叉形，因此機(jī)械手臂510可以在強(qiáng)度補(bǔ)強(qiáng)單元260之 間的空間進(jìn)行輸入或取出，以便由于強(qiáng)度補(bǔ)強(qiáng)單元260而自然地容許機(jī)械手臂510的輸入 與取出的操作。接觸支撐條270可以可拆卸地一對(duì)一連結(jié)到強(qiáng)度補(bǔ)強(qiáng)單元260 (本發(fā)明是六個(gè)單 元)。接觸支撐條270可以由鋁質(zhì)材質(zhì)所形成。復(fù)數(shù)個(gè)大致地支撐基板的萬(wàn)向滾珠271設(shè) 置在每一接觸支撐條270的表面上。萬(wàn)向滾珠271設(shè)置在朝接觸支撐條270的長(zhǎng)度方向以 一相同間隔設(shè)置在接觸支撐條270上。當(dāng)萬(wàn)向滾珠271上支撐著基板時(shí)，與基板的接觸區(qū) 域可以降低，以便減少在基板上所產(chǎn)生的刮痕。本發(fā)明在接觸支撐條270的裝設(shè)位置中，接觸支撐條270是連結(jié)到補(bǔ)強(qiáng)條261的 第二上表面261b。如上所述，補(bǔ)強(qiáng)條261的第二上表面261b是形成在較低于第一上表面 261a的位置。然而，當(dāng)接觸支撐條270連結(jié)到補(bǔ)強(qiáng)條261的第二上表面261b時(shí)，接觸支撐 條270的萬(wàn)向滾珠271可以位于較高于第一上表面261a的位置。如重復(fù)地?cái)⑹?，由于接觸支撐條270是大致地支撐基板，因此接觸支撐條270通常 會(huì)與基板產(chǎn)生摩擦。于是，連結(jié)到接觸支撐條270的萬(wàn)向滾珠271需要能容易地進(jìn)行置換。 然而，對(duì)一位工作者而言，直接進(jìn)入到單組腔室llla、112a、113a進(jìn)行置換萬(wàn)向滾珠271是 非常不方便的。因此，當(dāng)接觸支撐條270連結(jié)到可以容易拆卸的強(qiáng)度補(bǔ)強(qiáng)單元260時(shí)，即可 以容易地完成接觸支撐條270的保養(yǎng)以及維修。接觸支撐條270到強(qiáng)度補(bǔ)強(qiáng)單元260的補(bǔ)強(qiáng)條261的可拆卸結(jié)構(gòu)可以是各式各樣 不同的。在本發(fā)明中，設(shè)置有一可拆卸滑動(dòng)結(jié)合部件273，以便接觸支撐條270可以可拆卸 地滑動(dòng)連結(jié)到補(bǔ)強(qiáng)條261?？刹鹦痘瑒?dòng)結(jié)合部件273包括沿接觸支撐條270長(zhǎng)度方向而形成在接觸支撐條 270兩端的一滑動(dòng)槽部273a，以及垂直地從在其端部的補(bǔ)強(qiáng)條261的第二上表面261b突伸 的一對(duì)滑動(dòng)突伸部273b，以便滑動(dòng)突伸部273b是可滑動(dòng)地插入到滑動(dòng)槽部273a。而且，可 拆卸滑動(dòng)部件273更進(jìn)一步包括具有大于滑動(dòng)突伸部273b半徑的一擋塊273c，是連結(jié)到每 一滑動(dòng)突伸部273b的頂端，以避免接觸支撐條270的垂直移動(dòng)。在上述的結(jié)構(gòu)中，當(dāng)要完成接觸支撐條270的保養(yǎng)與維修工作或是萬(wàn)向滾珠的置 換工作時(shí)，首先，必須移除擋塊273c以便接觸支撐條270可以容易地從強(qiáng)度補(bǔ)強(qiáng)單元260 的補(bǔ)強(qiáng)條261分離。當(dāng)接觸支撐條270從補(bǔ)強(qiáng)條261拆除時(shí)，可以在單組腔室llla、112a、 113a外部容易地完成工作。當(dāng)完成了保養(yǎng)與維修工作時(shí)，接觸支撐條270的滑動(dòng)槽部273a是滑動(dòng)地連結(jié)到滑 動(dòng)突伸部273b，然后擋塊273c再連結(jié)到滑動(dòng)突伸部273b。在此狀態(tài)下，由于接觸支撐條 270的向上移動(dòng)受到限制，使得接觸支撐條270可以容易地連結(jié)到強(qiáng)度補(bǔ)強(qiáng)單元260的補(bǔ)強(qiáng)條 261。依據(jù)本發(fā)明的概念，由于在允許機(jī)械手臂510進(jìn)出單組腔室111a、112a、113a時(shí)， 可以強(qiáng)化隔墻117、118的強(qiáng)度，因此裝載室的制造非常容易，進(jìn)而可以降低制造成本。再 者，由于裝載室的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，其保養(yǎng)與維修工作變得簡(jiǎn)單，以便改善基板處理的生產(chǎn)率。請(qǐng)參考圖18 20，依據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的一裝載室300，包括具有復(fù)數(shù)個(gè)內(nèi)容 置空間310s以將復(fù)數(shù)個(gè)機(jī)板容置其中的一腔體310，以及一結(jié)合件340。腔體310包括一 上壁315、一下壁316、設(shè)置在上壁315與下壁316之間且與上壁315以及下壁316平行的 復(fù)數(shù)個(gè)隔墻320，以及垂直設(shè)置在此等壁墻之間的一側(cè)壁330。結(jié)合件340是連結(jié)隔墻320 以及側(cè)壁330。為了方便解釋，在下列的敘述中，一第一隔墻320a是代表設(shè)置在上部的其中一隔 墻320，一第二隔墻320b是代表設(shè)置在下部的另一隔墻320。側(cè)壁330包括復(fù)數(shù)個(gè)設(shè)置在 上壁315與第一隔墻320a之間、在第一隔墻320a與第二隔墻320b之間、下壁316與第二 隔墻320b之間的單組側(cè)壁330a。腔體310包括一入口部311，是用來(lái)將一外部基板輸入到內(nèi)容置空間310s以便基 板可以輸入到內(nèi)容置空間310s，或是用來(lái)將基板從內(nèi)容置空間310s取出到如圖5所示的傳 輸腔室500，以及一出口部(圖未示)，用來(lái)將基板從內(nèi)容置空間310s取出到傳輸腔室500。 而且，腔體310更進(jìn)一步包括一壓力控制部(圖未示)以及一溫度控制部(圖未示)，以大 略地控制內(nèi)容置空間310s的壓力與溫度。特別是，壓力控制部是選擇性地將內(nèi)容置空間 310s的壓力控制到大致與外部大氣壓力相同，或者是控制成大致與如圖5所示的制程腔室 400相同的真空狀態(tài)，以便可以維持基板的信賴性。在本實(shí)施例的腔體310結(jié)構(gòu)中，首先，一對(duì)單組側(cè)壁330a是垂直地連結(jié)到下壁316 的兩側(cè)，且第二隔墻320b是疊置在單組側(cè)壁330a的頂端上。另一對(duì)單組側(cè)壁330a是垂直 地連結(jié)到第二隔墻320b的兩側(cè)，且第一隔墻320a是疊置在單組側(cè)壁330a的頂端上。雖然 在本實(shí)施例中腔體310的內(nèi)容置空間310s為三個(gè)，單本發(fā)明的范圍并不以此為限，若是需 要的話，兩個(gè)或四個(gè)或更多個(gè)的內(nèi)容置空間310s是也可以設(shè)置在腔體310。垂直設(shè)置其下的上壁315以及單組側(cè)壁330a是可以一螺釘(圖未示)作連結(jié)。而 且垂直設(shè)置其上的下壁316與單組側(cè)壁330a可以一螺釘(圖未示)作連結(jié)。設(shè)置在其下的隔墻320以及單組側(cè)壁330a是使用本實(shí)施例的結(jié)合件340 (即螺 釘)作連結(jié)，其是穿透隔墻320的水平面再螺合到單組側(cè)壁330a。上述的結(jié)合結(jié)構(gòu)是與如 圖3以及圖4依據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的裝載室20的結(jié)合結(jié)構(gòu)十分地不同。也即依據(jù)現(xiàn)有技術(shù)，具有 一長(zhǎng)度方向的一托架結(jié)合件27，是連結(jié)到腔體21的外壁并外露以連結(jié)到相對(duì)應(yīng)的壁墻。然 而，此一結(jié)合結(jié)構(gòu)是具有一問(wèn)題，即在結(jié)合部位會(huì)產(chǎn)生大量的粒子。換句話說(shuō)，當(dāng)隔墻25與 側(cè)壁26重復(fù)地彎曲，在腔體21隔墻25與側(cè)壁26之間，或是腔體21托架結(jié)合件27、隔墻 25與側(cè)壁26之間，會(huì)因?yàn)橛汕惑w21內(nèi)容置空間21s之間的壓差而產(chǎn)生摩擦。結(jié)果，會(huì)產(chǎn)生 粒子以致于對(duì)制程產(chǎn)生不良影響。然而，依據(jù)本實(shí)施例，由于螺釘340連結(jié)隔墻320以及側(cè)壁330的單組側(cè)壁330a， 在側(cè)壁330中，顯著地降低于現(xiàn)有技術(shù)中如圖3所示的隔墻25與腔體21的側(cè)壁26之間的 接觸部位，或是托架結(jié)合件27、隔墻26與腔體21的側(cè)壁26之間的接觸部位所產(chǎn)生的磨擦， 以便降低粒子的產(chǎn)生。
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詳而言之，復(fù)數(shù)個(gè)用來(lái)插入且移除螺釘340的插入空間321s，設(shè)置在隔墻320上方 的單組側(cè)壁330a，以使用螺釘340連結(jié)設(shè)置在隔墻320及其下的單組側(cè)壁330a。每一插入 空間321s是在單組側(cè)壁330a外表面向內(nèi)朝內(nèi)容置空間310s形成一凹陷部，且可以在每一 單組側(cè)壁330a加工處理形成一轉(zhuǎn)角部。如圖20放大圖所示，依據(jù)本實(shí)施例的結(jié)合件340 (即螺釘340)包括在結(jié)合時(shí)定位 于隔墻320上部的一頭部341，以及連結(jié)到隔墻320下部與單組側(cè)壁330a上部的一柄部，以 避免在穿透隔墻320的后螺釘340的上部向外突伸，且連接到單組側(cè)壁330a并堅(jiān)固地連結(jié) 所有壁墻。用來(lái)容置螺釘340頭部341的一容置槽323設(shè)置在隔墻320的上部，以避免頭部 341露出隔墻320的上表面。如此的形狀，憑借降低于各自結(jié)構(gòu)元件之間所產(chǎn)生的摩擦，甚 至是降低當(dāng)可能在隔墻320及其他壁墻之間彎曲所產(chǎn)生的摩擦，是可以減少粒子的產(chǎn)生。詳而言之，由于結(jié)合件340是穿透隔墻320的邊緣部，其是在隔墻320產(chǎn)生最小的 如彎曲的變形，然后連結(jié)到單組側(cè)壁330a，甚至是當(dāng)隔墻320或側(cè)壁330由于腔體310知內(nèi) 容置空間310s之間的壓差而彎曲，可以避免在結(jié)合件340與隔墻320之間的結(jié)合部位產(chǎn)生 最少的粒子。如圖18以及圖19所示，用來(lái)監(jiān)測(cè)內(nèi)部容置空間310s的一景窗332，設(shè)置在每一 單組側(cè)壁330a。結(jié)合件340所連結(jié)到的一結(jié)合孔334設(shè)置在裝設(shè)有景窗332的單組側(cè)壁 330a的下表面。當(dāng)穿經(jīng)結(jié)合孔334的結(jié)合件340穿經(jīng)單組側(cè)壁330a與隔墻320的一部位， 然后連結(jié)到設(shè)置在隔墻320下方的單組側(cè)壁330a時(shí)，不僅設(shè)置在隔墻320下方的單組側(cè)壁 330a，而且設(shè)置在隔墻320上方的單組側(cè)壁330a與隔墻320三者是相互連結(jié)。由于景窗332是連結(jié)到單組側(cè)壁330a的一開(kāi)口部，因此可以連結(jié)的結(jié)合件340是 從單組側(cè)壁330a的外表面向內(nèi)地插入一預(yù)定距離，且連結(jié)到單組側(cè)壁330a以及鄰近隔墻 320。而且，由于此等結(jié)合是將結(jié)合部340連結(jié)到隔墻320產(chǎn)生最少?gòu)澢囊贿吘壊?，因?如上所述的理由，可以降低粒子的產(chǎn)生。一粒子防漏部350，用來(lái)避免由于內(nèi)容置空間310s與一 0型環(huán)(圖未示)之間的 壓差而產(chǎn)生粒子，而0型環(huán)(圖未示)是在各自壁墻之間防止外部空氣的侵入，粒子防漏部 350更進(jìn)一不可以設(shè)置在隔墻320與單組側(cè)壁330a之間的一結(jié)合部位、上壁315與單組側(cè) 壁330a之間的一結(jié)合部位，以及下壁316與單組側(cè)壁330a之間的一結(jié)合部位。粒子防漏部350是沿上述結(jié)合部位的周圍方向如圖19、20所示呈一帶狀。如上所 述，由于結(jié)合件340是連結(jié)到相對(duì)產(chǎn)生較少?gòu)澢囊徊课唬虼讼噍^于現(xiàn)有技術(shù)，可以降低 粒子的產(chǎn)生。在本實(shí)施例中，由于更進(jìn)一步設(shè)置粒子防漏部350，甚至是當(dāng)有粒子產(chǎn)生時(shí)，可 以防止粒子往外部逃離以便更進(jìn)一步改善制程效率。粒子防漏部350不是由鐵氟龍材質(zhì)制成就是由聚碳酸酯樹(shù)脂等絕緣材質(zhì)所制成。 特別是，鐵氟龍是具化學(xué)惰性并耐熱，而且呈現(xiàn)優(yōu)良絕緣穩(wěn)定度，以致于適合用于粒子防漏 部350。粒子防漏部350是可以粘合或螺合到上述的結(jié)合部位。0型環(huán)是避免外部空氣侵入到產(chǎn)生在上壁315與單組側(cè)壁330a之間、隔墻320與 單組側(cè)壁330a之間以及下壁316與單組側(cè)壁330a之間的細(xì)小空間。0型環(huán)是可以沿在各 自壁墻之間的接觸面的周為方向設(shè)置。本實(shí)施例的隔墻320包括一突伸部325，是朝每一內(nèi)容置空間310s突伸以維持一 預(yù)定強(qiáng)度。甚至是當(dāng)將一負(fù)載物設(shè)置在由定位于隔墻320上方以及下方的內(nèi)容置空間310s之間的壓差的方向，突伸部325可以將隔墻320的彎曲最小化。再者，可以由于隔墻320的 結(jié)構(gòu)而更進(jìn)一步減少結(jié)合件340所連接到的隔墻320外區(qū)域的彎曲，以便可以確實(shí)地減少 粒子的產(chǎn)生。突伸部325的長(zhǎng)度是約略小于內(nèi)容置空間310s的寬度。也即如圖20所示，一分 離間隙G是形成在突伸部325的側(cè)面與單組側(cè)壁330a的內(nèi)側(cè)面之間。因此，相對(duì)于大氣壓 力的一分布負(fù)載是從定位于隔墻320上方的內(nèi)容置空間310s朝隔墻320作動(dòng)。當(dāng)隔墻320 憑借分布負(fù)載而向下彎曲時(shí)，在突伸部325的側(cè)面與單組側(cè)壁330a的內(nèi)側(cè)面之間的分離間 隙G，是可以避免突伸部325的側(cè)面與單組側(cè)壁330a的內(nèi)側(cè)面的相互接觸，以便防止粒子的 產(chǎn)生。再如上所述用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室的操作中，當(dāng)一基板從外部輸入到腔 體310較上方的內(nèi)容置空間310s，且大致同時(shí)地在制程腔室400完成一預(yù)定制程維持在腔 體310中間的內(nèi)容置空間310s，由于較上方的內(nèi)容置空間310s是維持大致與制程腔室400 相同得真空狀態(tài)，且中間的內(nèi)容置空間310s是維持大致與外部環(huán)境相同的大氣壓力，因此 產(chǎn)生從中間的內(nèi)容置空間310s到較上方的內(nèi)容置空間310s的一分布負(fù)載。于是，隔墻320 稍微地在一方向彎曲。當(dāng)上述過(guò)程重復(fù)時(shí)，隔墻320可以向上或是向下彎曲，以便此一彎曲 或是隔墻320可以不僅影響單組側(cè)壁330a而且影響連接到隔墻320與單組側(cè)壁330a的結(jié) 合件340。結(jié)果，在圖3所示的裝載室20中，粒子是由于腔體21與連結(jié)到腔體21外壁的托 架結(jié)合件27之間的一結(jié)合部位的各自壁墻的彎曲所產(chǎn)生，使得潔凈室受到污染。然而，本 實(shí)施例的結(jié)合件340并為結(jié)合到腔體310的外壁而外露到外部，而是穿透最少?gòu)澢母魤?320的外區(qū)域，然后連結(jié)到鄰近的單組側(cè)壁330a，如此是可以顯著地降低產(chǎn)生粒子的數(shù)量。而且，在本實(shí)施例中，呈帶狀的粒子防漏部350設(shè)置在隔墻320與單組側(cè)壁330a 之間的結(jié)合部位、上壁315與單組側(cè)壁330a之間的結(jié)合部位，以及下壁316與單組側(cè)壁 330a之間的結(jié)合部位，以避免粒子泄漏到外部。因此，可以減少在制程中的錯(cuò)誤。依據(jù)本實(shí)施例，由于各自形成腔體310的壁墻是堅(jiān)固地連結(jié)，且由于內(nèi)容置空間 310s之間的壓差所產(chǎn)生各自壁墻的彎曲，幾乎不會(huì)影響裝載室，而顯著地降低于各自壁墻 的結(jié)合部位所產(chǎn)生的粒子數(shù)量，使得工作空間的環(huán)境可以維持潔凈。如上所述的實(shí)施例中，雖然隔墻是整體地設(shè)置在單組側(cè)壁之間以將腔體分割成復(fù) 數(shù)個(gè)內(nèi)容置空間，但是隔墻可以分開(kāi)地制造成一上壁以及一垂直地疊置的下壁，以在各自 單組側(cè)壁上維持結(jié)合狀態(tài)。如上所述，依據(jù)本發(fā)明的概念，憑借設(shè)置連接到腔體每一相對(duì)側(cè)的補(bǔ)強(qiáng)板，強(qiáng)化腔 體的強(qiáng)度而使腔體的變形最小化，以防止由于單組腔室之間的壓差所產(chǎn)生的彎曲應(yīng)力，或 是可憑借限制彎曲應(yīng)力以避免形成在腔體用來(lái)開(kāi)啟/關(guān)閉溝槽的槽閥外蓋的結(jié)構(gòu)變形的 泄漏，此一彎曲壓力是可以轉(zhuǎn)換到槽閥。依據(jù)本發(fā)明概念，當(dāng)允許機(jī)械手臂進(jìn)入腔室或是從腔室離開(kāi)時(shí)，可以強(qiáng)化腔體隔 墻的強(qiáng)度。特別是，可容易地制造裝載室以便降低制造成本。再者，由于裝載室的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單 而可易于保養(yǎng)以及維修，以便改善基板處理的生產(chǎn)率。依據(jù)本發(fā)明的概念，相較于現(xiàn)有技術(shù)，不僅形成腔體的各自的壁墻是堅(jiān)固地連結(jié)， 而且在每一壁墻之間的一部位或是每一壁墻與用來(lái)結(jié)合各自壁墻的一結(jié)合結(jié)構(gòu)之間的結(jié)
16合部位所產(chǎn)生粒子顯著地減少，甚至是當(dāng)由于內(nèi)容置空間之間的壓差所產(chǎn)生的彎曲也減 少，因此改善了制程效率。 以上說(shuō)明對(duì)本發(fā)明而言只是說(shuō)明性的，而非限制性的，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解， 在不脫離權(quán)利要求所限定的精神和范圍的情況下，可作出許多修改、變化或等效，但都將落 入本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室，其特征在于，包含一腔體，具有一上壁、一下壁、至少一設(shè)置在所述上壁以及所述下壁之間且大致與所述上壁以及所述下壁平行的隔墻，一越過(guò)所述上壁、所述下壁以及所述隔墻的側(cè)壁，復(fù)數(shù)個(gè)將一基板容置在其中的內(nèi)容置空間，以及連結(jié)所述隔墻與所述側(cè)壁的至少一結(jié)合件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室，其特征在于，所述結(jié)合件 是一螺釘，所述螺釘是朝相對(duì)于所述隔墻的一表面的垂直方向插入而連結(jié)到所述側(cè)壁，以 及所述側(cè)壁形成有用來(lái)結(jié)合所述螺釘?shù)囊徊迦肟臻g。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室，其特征在于，所述插入空 間是一凹陷部，所述凹陷部向內(nèi)從所述側(cè)壁的一外表面朝所述內(nèi)容置空間而形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室，其特征在于，所述側(cè)壁包 含復(fù)數(shù)個(gè)相對(duì)于所述隔墻而垂直設(shè)置的單組側(cè)壁，且所述凹陷部憑借加工處理的鄰近所述 隔墻的單組側(cè)壁的一轉(zhuǎn)彎區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室，其特征在于，一朝所述內(nèi) 容置空間方向突伸的突伸部形成在所述隔墻上，以及一分離間隙(s印aration gap)形成在 所述突伸部的側(cè)表面與所述單組側(cè)壁的內(nèi)側(cè)表面之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室，其特征在于，所述螺釘包含一設(shè)置在所述隔墻的頭部；一插設(shè)在所述隔墻以及所述側(cè)壁的柄部(shaft portion)；以及 一形成在所述隔墻，且容置所述頭部而不允許所述頭部暴露在所述隔墻的表面的上的容置部。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室，其特征在于，一避免粒子 由所述上壁、所述下壁以及所述隔墻從外部漏出的粒子防漏部，是連結(jié)到一位于所述上臂 與所述單組側(cè)壁之間的結(jié)合部，一位于所述下壁與所述單組側(cè)壁之間的結(jié)合部，以及一位 于所述隔墻與所述單組側(cè)壁之間的結(jié)合部三者其中之一。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室，其特征在于，所述粒子防 漏部為一帶狀(strap shape)，以所述結(jié)合部的圓周方向連結(jié)，且所述粒子防漏部是由鐵氟 龍以及聚碳酸酯樹(shù)脂等絕緣材質(zhì)其中之一所形成。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室，其特征在于，一景窗 (window)是裝設(shè)在所述側(cè)壁的一開(kāi)口部(opening portion)，以監(jiān)測(cè)所述腔體的內(nèi)側(cè)，以及 使用所述結(jié)合件結(jié)合所述側(cè)壁以及所述格板的一結(jié)合孔，是形成在所述開(kāi)口部的上部以及 下部的至少一區(qū)域。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室，其特征在于，進(jìn)一步包括 一 0型環(huán)，是至少設(shè)置在所述上壁與所述側(cè)壁之間的一部位，所述下壁與所述側(cè)壁之間的 一部位，以及所述側(cè)壁與所述隔墻之間的一部位其中之一。
全文摘要
本發(fā)明是一種用于化學(xué)氣相沉積的裝載室，包含一腔體，具有復(fù)數(shù)個(gè)將一基板容置其中的單組腔室，與復(fù)數(shù)個(gè)使基板輸入與取出所經(jīng)過(guò)的腔槽，形成在相對(duì)于單組腔室的一側(cè)表面以及另一側(cè)表面；以及至少一補(bǔ)強(qiáng)板，至少連接到形成有腔槽的腔體的一側(cè)表面以及另一側(cè)表面，強(qiáng)化腔體的強(qiáng)度以避免因在單組腔室之間的壓差而產(chǎn)生一彎曲應(yīng)力。
文檔編號(hào)C23C16/44GK101967627SQ201010536810
公開(kāi)日2011年2月9日 申請(qǐng)日期2008年11月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月21日
發(fā)明者樸相泰, 李相琝 申請(qǐng)人:Sfa股份有限公司