專利名稱：減振支撐機構(gòu)及具有該機構(gòu)的升降裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種支撐機構(gòu)，尤其涉及一種具有緩沖功能的用于對平板類器件 進行支撐的減振支撐機構(gòu)及具有該減振支撐機構(gòu)的升降裝置。
背景技術(shù)：
平板顯示器(FPD，F(xiàn)lat Panel Display)因具有薄輕、功耗小、輻射低等優(yōu)點，將成 為顯示器中的主流產(chǎn)品，平板顯示器主要包括液晶顯示IXD(LiquidCrystal Display)、等 離子顯示PDP (Plasma Display Panel)、有機電致發(fā)光顯示OLED (Organic Light Emitting Display)以及表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)身寸 Il 示 SED (Surface-conduction Electron-emitter Display)等幾大技術(shù)類型；各種類型顯示器件的生產(chǎn)都需要利用玻璃等作為基板進行 真空鍍膜，將多層薄膜相繼沉積在玻璃基板上，以O(shè)LED為例，OLED的制作大都采用以 ITO (indium tin oxide)玻璃或石英制成的基板，利用蒸鍍設(shè)備在玻璃基板上相繼沉積多 層薄膜，其工藝一般為在玻璃基板上形成一透明陽極，在陽極上依次沉積空穴注入層、空穴 傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層和電子注入層，最后是金屬陰極層；可見基板在OLED制程中起 著舉足輕重的作用，在OLED眾多制作工序及后續(xù)工藝中，基板需要經(jīng)過諸多工藝步驟，因 此，在這些制成中，對基板需要進行多次支撐和升降，而OLED的基板多由非常薄且易碎的 玻璃或石英制成，為了保證OLED的質(zhì)量和精度，加工過程中對基板處理的自動化要求越來 越高的同時，對用于基板的支撐、升降的支撐機構(gòu)也要求有較高的精度。現(xiàn)有的用于對基板進行支撐和升降的支撐機構(gòu)，一種不具有緩沖減振功能，支撐 機構(gòu)直接抵觸基板，在對基板進行支撐和升降過程中，硬性機械接觸容易導(dǎo)致被支撐和/ 或被升降的基板破損，降低產(chǎn)品的良品率；另一種支撐機構(gòu)具有氣壓減振功能或液壓減振 功能，這類支撐機構(gòu)在安裝時會將支撐機構(gòu)以及氣缸或液壓缸等動力源引入真空蒸鍍設(shè)備 內(nèi)，這樣不可避免的給真空環(huán)境帶來了來自設(shè)備本身的污染，降低真空設(shè)備的清潔度，影響 蒸鍍效果；同時，氣缸或液壓缸等引入真空設(shè)備，使支撐機構(gòu)的結(jié)構(gòu)復(fù)雜、安裝困難，制造成 本高，而支撐機構(gòu)位于真空設(shè)備內(nèi)，維修困難。因此，急需一種具有緩沖減震功能、保證蒸鍍設(shè)備高清潔度，且結(jié)構(gòu)簡單、維護方 便的減振支撐機構(gòu)。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種具有緩沖減震功能、保證蒸鍍設(shè)備高清潔度，且 結(jié)構(gòu)簡單、維護方便的減振支撐機構(gòu)。本實用新型的另一目的在于提供一種具有減振支撐機構(gòu)的升降裝置，該升降裝置 能維持蒸鍍設(shè)備的高清潔度，且結(jié)構(gòu)簡單、維護方便。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案為提供一種減振支撐機構(gòu)，包括安裝 板、承載板、連接件及限位件，所述連接件及所述限位件相互平行地連接于所述安裝板與所 述承載板之間，其中，所述連接件包括連接柱及彈性元件，所述連接柱的上端與所述承載板
3活動連接，所述連接柱的下端與所述安裝板活動連接，所述彈性元件呈壓縮狀的套設(shè)于所 述連接柱外，且所述彈性元件的上端與所述承載板抵觸，所述彈性元件的下端與所述安裝 板抵觸，所述限位件的下端與所述安裝板連接，所述限位件的上端沿所述承載板方向延伸， 所述限位件的上端還設(shè)置有柔軟的緩沖墊。較佳地，所述減振支撐機構(gòu)還包括螺母，所述連接柱的下端依次穿過所述承載板 及所述安裝板與所述螺母螺紋連接，所述連接柱的上端與所述承載板相抵觸；當安裝板受 力的作用沿連接柱向上運動或承載板受力的作用向下運動時，套設(shè)于連接柱外的彈性元件 被進一步壓縮，彈性元件產(chǎn)生的彈力對承載板施加于被承載物件上的力起到緩沖作用，防 止承載板承載物件時產(chǎn)生較大的振動，進而避免承載與被承載物件之間的硬性接觸使被抵 觸物件受到損壞。較佳地，所述限位件的下端與所述安裝板螺紋連接，所述限位件的上端具有內(nèi)凹 形成的安裝槽，所述緩沖墊固定于所述安裝槽內(nèi)且凸出所述安裝槽；當安裝板向上運動或 承載板向下運動時，限位件限制安裝板向上運動或承載板向下運動的位移并能進一步起緩 沖作用，避免硬性機械接觸；同時，緩沖墊固定于所述安裝槽內(nèi)，當緩沖墊承受安裝板與承 載板之間的壓力時，可減小其橫向變形，增強其緩沖能力，增長使用壽命。本實用新型提供的升降裝置固定安裝于真空腔體外且其一端密封的伸入真空腔 體內(nèi)，所述升降裝置包括驅(qū)動機構(gòu)、減振支撐機構(gòu)及至少三組頂桿機構(gòu)，所述減振支撐機構(gòu) 的上端與所述真空腔體的底板固定連接，下端與所述驅(qū)動機構(gòu)連接，所述頂桿機構(gòu)的下端 與所述減振支撐機構(gòu)的下端固定連接，所述頂桿機構(gòu)的上端伸入所述真空腔體內(nèi)且與所述 真空腔體密封地樞接；所述驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述減振支撐機構(gòu)及所述頂桿機構(gòu)做往復(fù)運動， 其中，所述減振支撐機構(gòu)包括安裝板、連接件及限位件，所述連接件及所述限位件相互平行 地連接于所述真空腔體的底板與所述安裝板之間，所述安裝板與所述驅(qū)動機構(gòu)連接；所述 連接件包括連接柱及彈性元件，所述連接柱的上端與所述真空腔體的底板固定連接，所述 連接柱的下端與所述安裝板活動連接，所述彈性元件呈壓縮狀的套設(shè)于所述連接柱外，且 所述彈性元件的上端與所述真空腔體的底板抵觸，所述彈性元件的下端與所述安裝板抵 觸，所述限位件的下端與所述安裝板連接，所述限位件的上端沿所述真空腔體的底板方向 延伸，所述限位件的上端還設(shè)置有柔軟的緩沖墊；所述頂桿機構(gòu)的上端伸入所述真空腔體 內(nèi)且與所述真空腔體密封地樞接，下端與所述安裝板固定連接。較佳地，所述連接柱的上端穿過所述安裝板與所述真空腔體的底板螺紋連接，所 述連接柱的下端與所述安裝板相抵觸；當安裝板受到驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動時，安裝板沿連接柱向 上運動，帶動頂桿機構(gòu)向上運動，彈性元件被進一步壓縮，彈性元件產(chǎn)生的彈力對頂桿機構(gòu) 施加在被抵觸物件上的力起到緩沖作用，防止頂桿機構(gòu)抵觸物件時產(chǎn)生較大的振動，進而 避免頂桿機構(gòu)與被抵觸物件之間的硬性接觸使被抵觸物件受到損壞。較佳地，所述限位件的下端與所述安裝板螺紋連接，所述限位件的上端具有內(nèi)凹 形成的安裝槽，所述緩沖墊固定于所述安裝槽內(nèi)且凸出所述安裝槽；當安裝板向上運動時， 限位件限制安裝板向上運動的位移并能進一步起緩沖作用，避免硬性機械接觸；同時，緩沖 墊固定于所述安裝槽內(nèi)，當緩沖墊承受安裝板與真空腔體底板之間的壓力時，可減小其橫 向變形，增強其緩沖能力，增長使用壽命。較佳地，所述頂桿機構(gòu)具有連接板及從所述連接板上凸伸出的頂桿，所述連接板與所述安裝板固定連接，所述頂桿伸入所述真空腔體內(nèi)且與所述真空腔體密封地樞接；頂 桿機構(gòu)的連接板與安裝板固定連接，通過一個驅(qū)動機構(gòu)就可帶動頂柱機構(gòu)及減振支撐機構(gòu) 運動，不需要多個驅(qū)動機構(gòu)，使驅(qū)動難度降低，進而提高基板的處理效率；而頂桿機構(gòu)的與 真空腔體密封地樞接，避免動力源給真空環(huán)境造成污染，影響產(chǎn)品工藝效果，提高真空環(huán)境 的清潔度，保證產(chǎn)品的良品率。較佳地，所述升降裝置還包括波紋管，所述波紋管的上端與所述真空腔體的底部 密封連接，與所述波紋管密封連接的真空腔體處開設(shè)有通道孔，所述頂桿的上端自由的穿 過所述通道孔，所述頂桿的下端套于所述波紋管內(nèi)，所述波紋管的下端與所述連接板密封 連接；頂桿下端及連接板位于真空腔體外，使減振支撐機構(gòu)及驅(qū)動機構(gòu)安裝于真空腔體外， 因此，避免動力源給真空環(huán)境造成污染，影響產(chǎn)品工藝效果，提高真空環(huán)境的清潔度，保證 產(chǎn)品的良品率；同時，波紋管的上端與真空腔體的底部密封連接，下端與連接板密封連接， 波紋管將減振支撐機構(gòu)及驅(qū)動機構(gòu)與真空腔體密封隔離，實現(xiàn)真空腔體的靜密封，保證其 高清潔度。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本實用新型減振支撐機構(gòu)，包括安裝板、承載板、連接件及 限位件，所述連接件及所述限位件相互平行地連接于所述安裝板與所述承載板之間，其中， 所述連接件包括連接柱及彈性元件，所述連接柱的上端與所述承載板活動連接，所述連接 柱的下端與所述安裝板活動連接，所述彈性元件的上端與所述承載板抵觸，所述彈性元件 的下端與所述安裝板抵觸，所述限位件的下端與所述安裝板連接，所述限位件的上端沿所 述承載板方向延伸，所述限位件的上端還設(shè)置有柔軟的緩沖墊；當安裝板受力的作用沿連 接柱向上運動或承載板受力的作用向下運動時，彈性元件被進一步壓縮，彈性元件產(chǎn)生的 彈力對承載板施加于被承載物件上的力起到緩沖作用，防止承載板承載物件時產(chǎn)生較大的 振動，進而避免承載板與被承載物件之間的硬性接觸使被抵承載件受到損壞；安裝板向上 運動或承載板向下運動過程中，限位件限制安裝板或承載板運動的位移并能進一步起緩沖 作用，避免硬性機械接觸，防止被承載物件受到損壞；同時，該減振支撐機構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，組裝 快捷，維修方便，使生產(chǎn)成本大大降低；而該減振支撐機構(gòu)在使用時可與被支撐物件隔開， 避免動力源污染被支撐物件，從而保證被支撐物件的清潔度，提高產(chǎn)品的質(zhì)量。由于本實用 新型升降裝置具有上述減振支撐機構(gòu)，因此，本實用新型升降裝置也具有上述優(yōu)點。

圖1是本實用新型減振支撐機構(gòu)的截面結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1中A部分的放大圖。圖3是圖1中B部分的放大圖。圖4是本實用新型升降裝置的截面結(jié)構(gòu)示意圖。圖5是本實用新型升降裝置的使用狀態(tài)的截面結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
現(xiàn)在參考附圖描述本實用新型的實施例，附圖中類似的元件標號代表類似的元 件。如圖1-圖3所示，本實用新型減振支撐機構(gòu)30，包括安裝板32、承載板31、連接件34及限位件33，連接件34及限位件33相互平行地連接于安裝板32與承載板31之間， 其中，連接件34包括連接柱341及彈性元件342，連接柱341的上端與承載板31活動連接， 連接柱341的下端與安裝板32活動連接，彈性元件342呈壓縮狀的套設(shè)于連接柱341夕卜， 且彈性元件342的上端與承載板31抵觸，彈性元件342的下端與安裝板32相抵觸，限位件 33的下端與安裝板32連接，限位件33的上端沿承載板31的方向延伸，限位件33的上端 還設(shè)置有柔軟的緩沖墊332。具體地，連接柱在本實用新型中優(yōu)選為螺栓341，彈性元件在 本實用新型中優(yōu)選為彈簧342，安裝板32上設(shè)置有安裝孔321及安裝孔322，承載板31上 設(shè)置有螺紋安裝孔311，螺栓341的下端依次貫穿螺紋安裝孔311及安裝孔321并與螺母 344螺紋連接，連接柱341的上端與承載板31的上表面相抵觸且低于承載板31的上表面， 在螺栓341上套設(shè)有兩約束環(huán)343a、343b，彈簧342呈壓縮狀的套設(shè)在連接柱341外，且彈 簧342的上端與約束環(huán)343a相抵觸，彈簧342的下端與約束環(huán)343b相抵觸，因此，在彈簧 342彈力的作用下，約束環(huán)343a與承載板31抵觸，約束環(huán)343b與安裝板32相抵觸，彈簧 342呈壓縮狀的被固定于安裝板32與承載板31之間；限位件33的下端貫穿安裝板32上 的安裝孔322并通過螺母333a、333b與所述安裝板32螺紋連接，通過調(diào)節(jié)螺母333a及螺 母333b，可調(diào)節(jié)限位件33的高度，進而調(diào)節(jié)安裝板32或承載板31移動的位移，限位件33 的上端沿承載板31的方向延伸，限位件33的上端具有內(nèi)凹形成的安裝槽331，所述緩沖墊 332通過螺釘固定于所述安裝槽內(nèi)331且凸出所述安裝槽331 ；當安裝板32受到力的作用 沿連接柱341向上運動或承載板31受力的作用沿連接柱341向下運動時，彈簧342被進一 步壓縮，彈簧342產(chǎn)生的彈力對承載板31施加于被承載物件上的力起到緩沖作用，防止承 載板31承載物件時產(chǎn)生較大的振動，進而避免承載板31與被承載物件之間的硬性接觸使 被承載的物件受到損壞；另外，限位件33限制安裝板32向上運動或承載板31向下運動的 位移并能進一步起緩沖作用，避免硬性機械接觸；緩沖墊332固定于所述安裝槽331內(nèi)，當 緩沖墊332承受安裝板32的壓力時，可減小其橫向變形，增強其緩沖能力，增長使用壽命。 如圖1-圖4所示，本實用新型升降裝置100固定安裝于真空腔體20外且其一端 密封的伸入真空腔體20內(nèi)，其包括驅(qū)動機構(gòu)10、減振支撐機構(gòu)30及四組頂桿機構(gòu)40，減振 支撐機構(gòu)30的上端與真空腔體的底板22固定連接，下端與驅(qū)動機構(gòu)10連接，頂桿機構(gòu)40 的下端均與減振支撐機構(gòu)30的下端固定連接，上端伸入真空腔體20內(nèi)且與真空腔體20密 封地樞接；驅(qū)動機構(gòu)10優(yōu)選為氣缸組件；減振支撐機構(gòu)30包括安裝板32、連接件34及限 位件33，安裝板32下端與氣缸組件10連接，上端通過連接件34與真空腔體的底板22固 定連接，連接件34包括連接柱341及彈性元件342，連接柱341的上端與真空腔體的底板 22固定連接，連接柱341的下端與安裝板32活動連接，彈性元件342呈壓縮狀的套設(shè)于連 接柱341外，且彈性元件342的上端與真空腔體的底板22抵觸，彈性元件342的下端與安 裝板32抵觸；限位件33設(shè)置于真空腔體的底板22與安裝板32之間且與連接件34相互平 行，所述限位件33的下端與安裝板32連接，所述限位件33的上端沿真空腔體的底板22的 方向延伸，限位件33的上端還設(shè)置有柔軟的緩沖墊332 ；頂桿機構(gòu)20的下端對稱的連接于 減振支撐機構(gòu)30的安裝板32上，上端伸入真空腔體20內(nèi)且與真空腔體20密封地樞接；具 體地，連接柱在本實用新型中優(yōu)選為螺栓341，彈性元件在本實用新型中優(yōu)選為彈簧342， 安裝板32上設(shè)置有安裝孔321及安裝孔322，螺栓341的上端貫穿安裝板32上的安裝孔 321與真空腔體的底板22螺紋連接，連接柱的下端與安裝板32相抵觸，在螺栓341上套設(shè)
6有兩約束環(huán)343a、343b，彈簧342呈壓縮狀的套設(shè)在連接柱341外，彈簧342的上端與約束 環(huán)343a相抵觸，彈簧342的下端與約束環(huán)343b相抵觸，因此，在彈簧342彈力的作用下，約 束環(huán)343a與真空腔體的底板22抵觸，約束環(huán)343b與安裝板32相抵觸，彈簧342呈壓縮狀 的被固定于安裝板32與真空腔體的底板22之間；限位件33的下端貫穿安裝板32上的安 裝孔322并通過螺母333a、333b與所述安裝板32連接，限位件33的上端沿真空腔體的底板 22方向延伸，限位件33的上端具有內(nèi)凹形成的安裝槽331，所述緩沖墊332通過螺釘固定 于所述安裝槽內(nèi)331且凸出所述安裝槽331 ；頂桿機構(gòu)40具有連接板401及從所述連接板 401上凸伸出的頂桿402，連接板401與安裝板32固定連接，頂桿402伸入真空腔體20內(nèi) 且與所述真空腔體20密封地樞接；具體地，真空腔體的底板22上開設(shè)有通道孔，頂桿402 的上端自由的穿過通道孔伸入真空腔體20內(nèi)，頂桿402的下端位于真空腔體20外使連接 板401與安裝板32固定連接，波紋管403套設(shè)于頂桿402的下端，波紋管403 —端通過法 蘭404固定于真空腔體的底板22的通道孔處，使通道孔密封于波紋管403內(nèi)，另一端通過 法蘭404固定于頂桿機構(gòu)40的連接板401上，實現(xiàn)頂桿機構(gòu)40與真空腔體20的密封。頂 柱機構(gòu)40的連接板401與減振支撐機構(gòu)30的安裝板32連接，安裝板32與氣缸組件10連 接，通過氣缸組件10驅(qū)動安裝板32，安裝板32帶動頂柱機構(gòu)40向上運動的同時，減振支撐 機構(gòu)30的彈簧342產(chǎn)生的彈力對頂桿機構(gòu)40施加在被抵觸物件上的力起到緩沖作用，防 止頂桿機構(gòu)40抵觸物件時產(chǎn)生較大的振動，進而避免頂桿機構(gòu)40與被抵觸物件之間的硬 性接觸使被抵觸物件受到損壞，而限位件33可限制安裝板32向上運動的位移并能進一步 起緩沖作用，避免硬性機械接觸而損壞被支撐物。結(jié)合圖4、圖5，對本實用新型升降裝置100的原理進行詳細說明。初始狀態(tài)時，被 支撐物放置于頂桿402上，氣缸組件10由下向上運動時，驅(qū)動安裝板32向上運動，安裝板 32帶動連接于其上的頂桿機構(gòu)40向上運動，頂桿402向上運動的同時，波紋管403被壓縮， 同時套設(shè)于連接柱341外的彈簧342也被進一步的壓縮，彈簧342產(chǎn)生的彈力對頂桿402 施加在被抵觸物件上的力起到緩沖作用，防止頂桿402抵觸物件時產(chǎn)生較大的振動，進而 避免頂桿402與被抵觸物件之間的硬性接觸使被抵觸物件受到損壞；限位件33可限制安裝 板32向上運動的位移并能進一步起緩沖作用，進一步避免硬性機械接觸，防止被抵觸物件 受到損壞；當被抵觸物件被調(diào)節(jié)到位或被運送走后，氣缸組件10向下運動，壓縮彈簧342及 波紋管403被釋放復(fù)位，恢復(fù)初始位置；限位件33的緩沖墊332固定于安裝槽331內(nèi)，當緩 沖墊332承受安裝板32的壓力時，可減小其橫向變形，增強其緩沖能力，增長其使用壽命； 限位件33的下端貫穿安裝板32上的安裝孔322并通過螺母與安裝板32連接，可根據(jù)氣缸 組件10的沖程及實際應(yīng)用調(diào)節(jié)限位件33上螺母的位置，調(diào)節(jié)限位件33的高度，進而調(diào)節(jié) 限制安裝板32運動的位移；波紋管403的上端與真空腔體的底部22密封連接，下端與連接 板401密封連接，波紋管403將減振減振支撐機構(gòu)30及驅(qū)動機構(gòu)10與真空腔體20密封隔 離，避免動力源給真空環(huán)境造成污染，實現(xiàn)真空腔體20的靜密封，保證其高清潔度。本實用新型升降裝置100的減振支撐機構(gòu)30包括安裝板32、連接件34及限位件 33，安裝板32下端與氣缸組件10連接，上端通過連接件34與真空腔體的底板22固定連 接，連接件34包括連接柱341及彈性元件342，連接柱341的上端與真空腔體的底板22固 定連接，連接柱341的下端與安裝板32活動連接，彈性元件342呈壓縮狀的套設(shè)于連接柱 341外，且彈性元件342的上端與真空腔體的底板22相抵觸，彈性元件342的下端與安裝板32相抵觸，限位件33的下端與安裝板32連接，限位件33的上端沿真空腔體的底板22方 向延伸，限位件33的上端還設(shè)置有柔軟的緩沖墊332，頂桿機構(gòu)40的下端對稱的連接于減 振支撐機構(gòu)30的安裝板32上，上端伸入真空腔體20內(nèi)且與真空腔體20密封地樞接；當安 裝板32沿連接柱341向上運動時，彈性元件342被進一步壓縮，彈性元件342產(chǎn)生的彈力 對頂桿機構(gòu)40施加于被承載物件上的力起到緩沖作用，防止頂桿機構(gòu)40承載物件時產(chǎn)生 較大的振動，進而避免頂桿機構(gòu)40與被承載物件之間的硬性接觸使被抵觸物件受到損壞； 安裝板32向上運動過程中，限位件33限制安裝板32向上運動的位移并能進一步起緩沖作 用，避免硬性機械接觸，防止被被承載物件受到損壞；升降裝置100結(jié)構(gòu)簡單，組裝快捷，生 產(chǎn)成本大大降低；頂桿機構(gòu)42通過減振支撐機構(gòu)30安裝于真空腔體20外，且頂桿機構(gòu)40 與真空腔體20中間通過波紋管403密封連接，將減振支撐機構(gòu)30及驅(qū)動機構(gòu)10與真空腔 體20密封隔離，避免動力源給真空環(huán)境造成污染，實現(xiàn)真空腔體20的靜密封，保證其高清 潔度，提高產(chǎn)品的質(zhì)量，頂桿機構(gòu)40及減振支撐機構(gòu)30安裝于真空腔體20外，便于維修， 維護方便。本實用新型升降裝置100不限于對基板的支撐及升降，還可根據(jù)實際需要，用于 相類似的物體的支撐及升降。本實用新型頂柱設(shè)備的驅(qū)動機構(gòu)10及其原理等均為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所熟 知，在此不再做詳細的說明。以上所揭露的僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，當然不能以此來限定本實用新 型之權(quán)利范圍，因此依本實用新型申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本實用新型所涵蓋 的范圍。
權(quán)利要求一種減振支撐機構(gòu)，包括安裝板、承載板、連接件及限位件，所述連接件及所述限位件相互平行地連接于所述安裝板與所述承載板之間，其特征在于所述連接件包括連接柱及彈性元件，所述連接柱的上端與所述承載板活動連接，所述連接柱的下端與所述安裝板活動連接，所述彈性元件呈壓縮狀的套設(shè)于所述連接柱外，且所述彈性元件的上端與所述承載板抵觸，所述彈性元件的下端與所述安裝板抵觸，所述限位件的下端與所述安裝板連接，所述限位件的上端沿所述承載板方向延伸，所述限位件的上端還設(shè)置有柔軟的緩沖墊。
2.如權(quán)利要求1所述的減振支撐機構(gòu)，其特征在于還包括螺母，所述連接柱的下端依 次穿過所述承載板及所述安裝板與所述螺母螺紋連接，所述連接柱的上端與所述承載板相 抵觸。
3.如權(quán)利要求1所述的減振支撐機構(gòu)，其特征在于所述限位件的下端與所述安裝板 螺紋連接，所述限位件的上端具有內(nèi)凹形成的安裝槽，所述緩沖墊固定于所述安裝槽內(nèi)且 凸出所述安裝槽。
4.一種升降裝置，固定安裝于真空腔體外且其一端密封的伸入真空腔體內(nèi)，所述升降 裝置包括驅(qū)動機構(gòu)、減振支撐機構(gòu)及至少三組頂桿機構(gòu)，所述減振支撐機構(gòu)的上端與所述 真空腔體的底板固定連接，下端與所述驅(qū)動機構(gòu)連接，所述頂桿機構(gòu)的下端與所述減振支 撐機構(gòu)的下端固定連接，所述頂桿機構(gòu)的上端伸入所述真空腔體內(nèi)且與所述真空腔體密封 地樞接，所述驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述減振支撐機構(gòu)及所述頂桿機構(gòu)做往復(fù)運動，其特征在于所 述減振支撐機構(gòu)包括安裝板、連接件及限位件，所述連接件及所述限位件相互平行地連接 于所述真空腔體的底板與所述安裝板之間，所述安裝板與所述驅(qū)動機構(gòu)連接；所述連接件 包括連接柱及彈性元件，所述連接柱的上端與所述真空腔體的底板固定連接，所述連接柱 的下端與所述安裝板活動連接，所述彈性元件呈壓縮狀的套設(shè)于所述連接柱外，且所述彈 性元件的上端與所述真空腔體的底板抵觸，所述彈性元件的下端與所述安裝板抵觸，所述 限位件的下端與所述安裝板連接，所述限位件的上端沿所述真空腔體的底板方向延伸，所 述限位件的上端還設(shè)置有柔軟的緩沖墊；所述頂桿機構(gòu)的上端伸入所述真空腔體內(nèi)且與所 述真空腔體密封地樞接，下端與所述安裝板固定連接。
5.如權(quán)利要求4所述升降裝置，其特征在于所述連接柱的上端穿過所述安裝板與所 述真空腔體的底板螺紋連接，所述連接柱的下端與所述安裝板相抵觸。
6.如權(quán)利要求4所述的升降裝置，其特征在于所述限位件的下端與所述安裝板螺紋 連接，所述限位件的上端具有內(nèi)凹形成的安裝槽，所述緩沖墊固定于所述安裝槽內(nèi)且凸出 所述安裝槽。
7.如權(quán)利要4所述的升降裝置，其特征在于所述頂桿機構(gòu)具有連接板及從所述連接 板上凸伸出的頂桿，所述連接板與所述安裝板固定連接，所述頂桿伸入所述真空腔體內(nèi)且 與所述真空腔體密封地樞接。
8.如權(quán)利要7所述的升降裝置，其特征在于所述升降裝置還包括波紋管，所述波紋管 的上端與所述真空腔體的底板密封連接，與所述波紋管密封連接的真空腔體的底板處開設(shè) 有通道孔，所述頂桿的上端自由的穿過所述通道孔，所述頂桿的下端套于所述波紋管內(nèi)，所 述波紋管的下端與所述連接板密封連接。
專利摘要本實用新型公開了一種減振支撐機構(gòu)，其包括安裝板、承載板、連接件及限位件，連接件及限位件相互平行地連接于安裝板與承載板之間，連接件包括連接柱及彈性元件，連接柱的上端與承載板活動連接，連接柱的下端與安裝板活動連接，彈性元件呈壓縮狀的套設(shè)于連接柱外，且彈性元件的上端與承載板抵觸，彈性元件的下端與安裝板抵觸，限位件的下端與安裝板連接，限位件的上端沿承載板方向延伸，限位件的上端還設(shè)置有柔軟的緩沖墊；本實用新型減振支撐機構(gòu)具有緩沖減震功能，能避免承載板與被承載物的硬性機械接觸，防止被承載物受到損壞，且結(jié)構(gòu)簡單、維護方便。另，本實用新型還公開了具有本該減振支撐機構(gòu)的升降裝置。
文檔編號C23C14/50GK201634755SQ20092027420
公開日2010年11月17日 申請日期2009年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月1日
發(fā)明者劉惠森, 張永紅, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良 申請人:東莞宏威數(shù)碼機械有限公司