專利名稱:化學(xué)機械研磨設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及化學(xué)機械研磨設(shè)備,屬于半導(dǎo)體制造的技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù):
隨著半導(dǎo)體組件線寬縮減及層數(shù)的增加,平坦化制程已是不可或缺,化學(xué)機械研 磨(CMP)是目前平坦化制程的主要技術(shù),其利用研磨墊及研磨液,進行機械研磨移除與化 學(xué)侵蝕的雙重研磨,來移除晶圓表面的物質(zhì),可讓產(chǎn)品表面達到全面性的平坦化,以利后續(xù) 薄膜沉積的進行。 公知化學(xué)機械研磨流程里還包括有過濾單元,是在化學(xué)機械研磨單元之前過濾該 研磨液,將研磨液里所含過大的、沉淀的、或結(jié)塊的研磨顆粒濾除,以保持該研磨液的穩(wěn)定 性與連續(xù)性,避免產(chǎn)品于研磨過程中被刮傷。 如圖1所示,是現(xiàn)有的化學(xué)機械研磨設(shè)備的示意圖,泵(圖中未示出)將研磨液從
研磨液水箱中吸入研磨液出口管道,通過一系列的研磨液過濾單元、研磨單元,多余的研磨
液通過研磨液入口管道1導(dǎo)入研磨液水箱,研磨液入口管道1底部接研磨液分流管道2,在
研磨液分流管道2兩端分別開設(shè)外側(cè)出口 4,且兩個外側(cè)出口的開口方向相反,從而使得研
磨液在研磨液水箱中自動形成循環(huán),避免研磨液的結(jié)晶,提高研磨液的利用率。 使用現(xiàn)有的化學(xué)機械研磨裝置極易造成研磨液分流管道2正下方的位置出現(xiàn)結(jié)
晶和沉淀問題,產(chǎn)生沉淀物3,導(dǎo)致化學(xué)研磨液不必要的濾除而使得資源浪費。
實用新型內(nèi)容本實用新型解決的問題是現(xiàn)有的化學(xué)機械研磨裝置極易造成研磨液入口管道正
下方的位置出現(xiàn)結(jié)晶和沉淀問題,導(dǎo)致化學(xué)研磨液不必要的濾除而使得資源浪費。 為實現(xiàn)上述發(fā)明目的,本實用新型提供了一種化學(xué)機械研磨設(shè)備,包括研磨液水
箱、研磨液入口管道、研磨液分流管道以及研磨液出口管道、研磨液過濾單元和研磨單元;
研磨液入口管道的底端與研磨液分流管道的中部連通并將研磨液分流管道分成第一段和
第二段,所述第一段和第二段均具有根部和頂部;第一段的根部與第二段的根部相連通,第
一段的頂部具有第一外側(cè)出口,第二段的頂部具有第二外側(cè)出口 ;所述研磨液分流管道上
至少還開設(shè)一個內(nèi)側(cè)出口。 優(yōu)選的,所述第一段上開設(shè)有第一內(nèi)側(cè)出口,所述第二段上開設(shè)有第二內(nèi)側(cè)出口。 第一內(nèi)側(cè)出口和第二內(nèi)側(cè)出口的開口方向相反。 第一外側(cè)出口與第二外側(cè)出口的開口方向相反。 可選的,所述研磨單元為一個或多個。
由于采用了上述技術(shù)方案,與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型具有以下優(yōu)點 1、由于第一內(nèi)側(cè)出口和第二內(nèi)側(cè)出口流出的研磨液形成的循環(huán)流動使得研磨液
分流管道下方的研磨液不會產(chǎn)生結(jié)晶和沉淀。 2、防止由于結(jié)晶而導(dǎo)致的過濾單元過濾結(jié)晶的研磨液而造成的不必要生產(chǎn)原料浪費。
圖1為現(xiàn)有化學(xué)機械研磨設(shè)備; 圖2為本實用新型的化學(xué)機械研磨設(shè)備。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式
做詳細的說明。 圖2為本實用新型的化學(xué)機械研磨設(shè)備,應(yīng)用于化學(xué)機械研磨制程,該裝置包括一個研磨液水箱21、一個研磨液入口管道22、研磨液分流管道23,第一外側(cè)出口 24、第二外側(cè)出口 25、第一內(nèi)側(cè)出口 26、第二內(nèi)側(cè)出口 27以及研磨液出口管道28、研磨液過濾單元29和化學(xué)機械研磨單元30。 研磨液入口管道22的底端與研磨液分流管道23的中部連通,并將所述的研磨液分流管道23分為第一段和第二段;所述第一段和第二段均具有根部和頂部;第一段的根部與第二段的根部相連通,第一段的頂部具有第一外側(cè)出口 24,第二段的頂部具有第二外側(cè)出口 25第一外側(cè)出口 24與第二外側(cè)出口 25開口方向相反,使得研磨液分別從第一外側(cè)出口 24和第二外側(cè)出口 25流出時,形成順時針或者逆時針循環(huán)流動。 在研磨液分流管道上開設(shè)若干個內(nèi)側(cè)出口。本實用新型優(yōu)選為2個,即在研磨液分流管道23第一段上開設(shè)第一內(nèi)側(cè)出口 26和第二段上開設(shè)第二內(nèi)側(cè)出口 27,第一內(nèi)側(cè)出口 26和第二內(nèi)側(cè)出口 27的開口方向相反,使得研磨液分別從第一內(nèi)側(cè)出口 26和第二內(nèi)側(cè)出口 27流出時,形成順時針或者逆時針循環(huán)流動。 本實用新型,利用研磨液入口管道21將研磨液注入進研磨液分流管道23中,進入研磨液分流管道23的研磨液分別從第一外側(cè)出口 24、第二外側(cè)出口 25、第一內(nèi)側(cè)出口 26和第二內(nèi)側(cè)出口 27流出,形成順時針或者逆時針循環(huán)流動,使得研磨液在研磨液分流管道23的中心正下方的研磨液不會形成結(jié)晶或沉淀。接著研磨液從研磨液出口管道28流出研磨液水箱21,經(jīng)過研磨液過濾單元29過濾后,流到若干個研磨單元中30中,多余的研磨液再從研磨液入口管道22流入研磨液水箱21。 通過本實用新型使得研磨液能夠較好地流入過濾單元而不會在研磨液分流管道下沉淀和結(jié)晶大量地研磨液雜質(zhì),并且減少了不必要的生產(chǎn)資源浪費。 雖然本實用新型已以較佳實施例披露如上,但本實用新型并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員,在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi),均可作各種更動與修改,因此本實用新型的保護范圍應(yīng)當以權(quán)利要求所限定的范圍為準。
權(quán)利要求一種化學(xué)機械研磨設(shè)備,包括研磨液水箱、研磨液入口管道、研磨液分流管道以及研磨液出口管道、研磨液過濾單元和研磨單元;研磨液入口管道的底端與研磨液分流管道的中部連通并將研磨液分流管道分成第一段和第二段,所述第一段和第二段均具有根部和頂部;第一段的根部與第二段的根部相連通,第一段的頂部具有第一外側(cè)出口,第二段的頂部具有第二外側(cè)出口;其特征在于,所述研磨液分流管道上至少還開設(shè)一個內(nèi)側(cè)出口。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械研磨設(shè)備,其特征在于,所述第一段上開設(shè)有第一內(nèi)側(cè)出口 ,所述第二段上開設(shè)有第二內(nèi)側(cè)出口 。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)機械研磨設(shè)備,其特征在于,第一內(nèi)側(cè)出口和第二內(nèi)側(cè)出口的開口方向相反。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械研磨設(shè)備,其特征在于,第一外側(cè)出口與第二外側(cè)出口的開口方向相反。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械研磨設(shè)備,其特征在于,所述研磨單元為一個或多小
專利摘要本實用新型公開了一種化學(xué)機械研磨設(shè)備,包括研磨液水箱、研磨液入口管道、研磨液分流管道以及研磨液出口管道、研磨液過濾單元和研磨單元;研磨液入口管道的底端與研磨液分流管道的中部連通并將研磨液分流管道分成第一段和第二段,所述第一段和第二段均具有根部和頂部;第一段的根部與第二段的根部相連通,第一段的頂部具有第一外側(cè)出口,第二段的頂部具有第二外側(cè)出口;所述研磨液分流管道上至少還開設(shè)一個內(nèi)側(cè)出口。由內(nèi)側(cè)出口流出的研磨液形成的循環(huán)流動使得研磨液分流管道附近的研磨液不會產(chǎn)生結(jié)晶和沉淀,防止由于結(jié)晶而導(dǎo)致的不必要生產(chǎn)原料浪費。
文檔編號B24B37/04GK201483359SQ200920208850
公開日2010年5月26日 申請日期2009年9月17日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月17日
發(fā)明者李福洪 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司