專利名稱：電弧靶陰極裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及電弧靶陰極裝置，屬于表面處理設(shè)備，主要用于在靶材表面噴涂薄層。
背景技術(shù)：
在給靶材表面噴涂薄層時(shí)，常采用的是利用電極進(jìn)行噴涂，這就會(huì)在靶材表面產(chǎn)生大量的熱，圖1是現(xiàn)有的電弧靶陰極裝置結(jié)構(gòu)，它包括機(jī)座、位于機(jī)
座內(nèi)直流電磁線圈ll、與直流電磁線圈相連的引弧桿10、位于引弧桿下并固定在機(jī)座上的陰極法蘭4、陰極法蘭上固定有電弧陰極并用在兩者之間裝有絕緣套7、電弧陰極之上是設(shè)有導(dǎo)磁鋼圈1、電弧陰極內(nèi)設(shè)有陰極水冷腔9、由膈板將陰極水冷腔與導(dǎo)磁鋼圈分離。這種電弧靶陰極裝置在使用時(shí)，將靶材放于導(dǎo)磁鋼圈內(nèi)，由于陰極水冷腔與導(dǎo)磁鋼圈之間有膈板，從而形成間接冷卻，冷卻效果不好，常常是工作5-6分種之后就要停止工作，以免陰極法蘭和電弧陰極之間的絕緣套因受熱而損壞，不但影響設(shè)備的完好使用，還會(huì)使絕緣套受熱燒壞的粉沬進(jìn)入到噴涂中影響產(chǎn)品質(zhì)量。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種冷卻效果好，能連續(xù)工作而不會(huì)使靶材溫度過高而使絕緣套受熱燒壞的電弧靶陰極裝置。
本實(shí)用新型的目的是通過如下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的電弧靶陰極裝置，包括機(jī)座，位于機(jī)座內(nèi)直流電磁線圈，與直流電磁線圈相連的引弧桿，位于引弧桿下并固定在機(jī)座上的陰極法蘭，陰極法蘭上固定有電弧陰極并用在兩者之間裝有絕緣套，電弧陰極之上是設(shè)有導(dǎo)磁鋼圈，電弧陰極內(nèi)設(shè)有陰極水冷腔，其特征在于陰極水冷腔與導(dǎo)磁鋼圈直接相通，在電弧陰極與靶材接觸面設(shè)有靶材密為了加大冷卻效果，在陰極法蘭內(nèi)設(shè)置水冷槽。在陰極法蘭與絕緣套之間設(shè)有密封圈。
本實(shí)用新型由于采用了直冷式，冷卻可靠，與現(xiàn)有技術(shù)相比具有工作時(shí)間能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定，可均勻地濺射，還可制作任何材質(zhì)的靶材，包括硬質(zhì)合金。


圖1為現(xiàn)有電弧靶陰極裝置結(jié)構(gòu)示意圖2為本實(shí)用新型電弧靶陰極裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步闡述
參見圖2，本實(shí)用新型的電弧靶陰極裝置，包括機(jī)座，位于機(jī)座內(nèi)直流電磁線圈ll,與直流電磁線圈相連的引弧桿10，位于引弧桿下并固定在機(jī)座上的陰
極法蘭4，陰極法蘭4上固定有電弧陰極8并用在兩者之間裝有絕緣套7，電弧陰極之上是設(shè)有導(dǎo)磁鋼圈l，電弧陰極內(nèi)設(shè)有陰極水冷腔9，陰極水冷腔9與導(dǎo)磁鋼圈1直接相通，在電弧陰極與靶材2接觸面設(shè)有靶材密封圈3;在陰極法蘭4內(nèi)設(shè)置水冷槽5;在陰極法蘭4與絕緣套7之間設(shè)有密封圈6。
以上所述僅為實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不僅以上限制實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包括在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1、電弧靶陰極裝置，包括機(jī)座，位于機(jī)座內(nèi)直流電磁線圈，與直流電磁線圈相連的引弧桿，位于引弧桿下并固定在機(jī)座上的陰極法蘭，陰極法蘭上固定有電弧陰極并用在兩者之間裝有絕緣套，電弧陰極之上是設(shè)有導(dǎo)磁鋼圈，電弧陰極內(nèi)設(shè)有陰極水冷腔，其特征在于陰極水冷腔與導(dǎo)磁鋼圈直接相通，在電弧陰極與靶材接觸面設(shè)有靶材密封圈。
2、 如權(quán)利要求1所述的電弧靶陰極裝置，其特征在于在陰極法蘭內(nèi)設(shè)置水冷槽。
3、 如權(quán)利要求l所述的電弧靶陰極裝置，其特征在于在陰極法蘭與絕緣套之間設(shè)有密封圈。
專利摘要本實(shí)用新型公開電弧靶陰極裝置，包括機(jī)座，位于機(jī)座內(nèi)直流電磁線圈，與直流電磁線圈相連的引弧桿，位于引弧桿下并固定在機(jī)座上的陰極法蘭，陰極法蘭上固定有電弧陰極并用在兩者之間裝有絕緣套，電弧陰極之上是設(shè)有導(dǎo)磁鋼圈，電弧陰極內(nèi)設(shè)有陰極水冷腔，其特征在于陰極水冷腔與導(dǎo)磁鋼圈直接相通，在電弧陰極與靶材接觸面設(shè)有靶材密封圈。本實(shí)用新型由于采用了直冷式，冷卻可靠，與現(xiàn)有技術(shù)相比具有工作時(shí)間能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定，可均勻地濺射，還可制作任何材質(zhì)的靶材，包括硬質(zhì)合金。
文檔編號(hào)C23C14/30GK201424501SQ200920056378
公開日2010年3月17日 申請(qǐng)日期2009年5月12日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月12日
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