專利名稱：用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明關(guān)于一種用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，尤指一種可置換反應(yīng)腔內(nèi)陶瓷檔
板的化學(xué)氣相沉積工藝機(jī)臺。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體或是液晶面板產(chǎn)業(yè)中常使用化學(xué)氣相沉積(Chemical V即orD印osition， CVD)工藝技術(shù)來成長純度高的薄膜。傳統(tǒng)的CVD工藝是將晶片或玻璃 (基底)暴露在一種或多種不同的前驅(qū)物下，在基底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或/及化學(xué)分解來產(chǎn) 生欲沉積的薄膜。 請參閱圖1以及圖2，圖1為現(xiàn)有化學(xué)氣相沉積工藝機(jī)臺10的示意圖，圖2繪示圖 1中的陶瓷檔板15、固定溝槽16和固定導(dǎo)塊18?；瘜W(xué)氣相沉積工藝機(jī)臺10在反應(yīng)腔12的 擴(kuò)散器(Diffuser) 14的周邊設(shè)有陶瓷檔板15，陶瓷檔板15的一側(cè)設(shè)有固定溝槽16，固定 溝槽16嵌合在化學(xué)氣相沉積工藝機(jī)臺10外圍的固定導(dǎo)塊18上。陶瓷檔板15的材質(zhì)為陶 瓷(Ceramic)料材，其功用為阻隔等離子體(Plasma)及絕緣導(dǎo)電。但當(dāng)擴(kuò)散器14熱膨脹 或是安裝不佳時(shí)，容易導(dǎo)致陶瓷檔板15的固定溝槽16被擠壓而崩裂。崩裂的碎屑不僅影 響產(chǎn)品良率，當(dāng)較大的碎塊掉落反應(yīng)腔12內(nèi)時(shí)，甚至?xí)斐刹Ａб蚬蝹覀鴪?bào)廢、反應(yīng) 腔12因等離子體不正常集中放電而擊穿玻璃或破壞陽極膜等問題，耗費(fèi)大量成本。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是開發(fā)出一種用于化學(xué)氣相沉積工藝機(jī)臺，使用不易崩裂且 可于化學(xué)氣相沉積工藝機(jī)臺上替換固定溝槽的陶瓷檔板，以解決先前技術(shù)的問題。
本發(fā)明提出一種用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，其包含邊框、導(dǎo)塊、第一固定件和 第二固定件。該導(dǎo)塊突出于該邊框的一邊上，且向該邊框的中心方向延伸。該第一固定件 朝向該邊框的一側(cè)開設(shè)一凹口，該第一固定件由一第一材質(zhì)構(gòu)成。該第二固定件朝向該第 一固定件的一側(cè)以可拆卸的方式嵌合于該凹口，朝向該導(dǎo)塊的一側(cè)包含一溝槽，該導(dǎo)塊以 可拆卸的方式嵌合于該溝槽，該第二固定件由一第二材質(zhì)構(gòu)成。該第二固定件朝向該第一 固定件的一側(cè)的外形順應(yīng)該凹口的輪廓。 本發(fā)明的另一目的是提供一種用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，其包含邊框、導(dǎo)塊、 第一固定件和第二固定件。該導(dǎo)塊突出于該邊框的一邊上，且向該邊框的中心方向延伸。該 第一固定件朝向該邊框的一側(cè)開設(shè)一凹口，該凹口包含至少一緩沖區(qū)。該第二固定件朝向 該第一固定件的一側(cè)以可拆卸的方式嵌合于該凹口，朝向該導(dǎo)塊的一側(cè)包含一溝槽，該導(dǎo) 塊以可拆卸的方式嵌合于該溝槽。 根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，該第一固定件的材質(zhì)為陶瓷，該第二固定件為鋁合金材 質(zhì)，并鍍上一陶瓷陽極膜。 根據(jù)本發(fā)明，該第二固定件另包含多個(gè)第二鎖固孔，該多個(gè)第二鎖固孔開設(shè)在對 應(yīng)于該溝槽的區(qū)域上且貫穿該第二固定件。該第一固定件另包含多個(gè)第一鎖固孔，該多個(gè)第一鎖固孔開設(shè)在對應(yīng)于該凹口的區(qū)域上。該機(jī)臺利用鎖固件穿過第二鎖固孔，并鎖固于 對應(yīng)的第一鎖固孔上，使得第二固定件可固定在第一 固定件上。 根據(jù)本發(fā)明，該第二固定件另包含多個(gè)保護(hù)孔，設(shè)置于該溝槽的兩旁，用來于該機(jī) 臺在加熱環(huán)境下，該第二固定件具有熱膨脹空間。 相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的效果是顯著的本發(fā)明的化學(xué)氣沉積工藝機(jī)臺將傳 統(tǒng)一體成形的陶瓷檔板分成第一固定件和第二固定件組成，其中第一固定件仍采用陶瓷 材質(zhì)，而第二固定件則利用鍛造鋁合金材料涂布陶瓷陽極膜制成，之后再將第一固定件及 第二固定件相互嵌合，再以螺絲固定。因?yàn)樘沾膳c陶瓷陽極膜(結(jié)晶相a-A1203)完全 相同且硬度相當(dāng)，不會因?yàn)楸舜瞬牧衔镄约皺C(jī)械性質(zhì)差異過大，造成陽極膜被擠壓剝離 (Peeling)，而使第二固定件的金屬基材裸露在等離子體反應(yīng)(Plasma)作用過程中，產(chǎn)生 電弧集中放電現(xiàn)象(Arcing)，此外，由于第二固定件以鍛造鋁合金為基材，因金屬材料具有 塑性變形的能力，于工藝使用過程中，可避免崩裂情況的發(fā)生。


圖1為現(xiàn)有化學(xué)氣相沉積工藝機(jī)臺的示意圖。圖2為圖1中的固定溝槽和固定導(dǎo)塊的示意圖。
圖3為本發(fā)明的化學(xué)氣相沉積工藝機(jī)臺的示意圖。
圖4為圖3中的固定組件和導(dǎo)塊的示意圖。圖5為組裝前的固定組件的第一固定件和第二二固定件的示意圖。圖6A為圖5中組裝后的固定組件的第一固定件和第二固定件的示意圖。
圖6B為組裝后的固定組件的第一固定件和第二固定件的示意圖。圖7為圖5的第二固定件朝箭頭A所示方向的側(cè)視圖。
圖8為圖5的第二固定件朝箭頭B所示方向的側(cè)視圖。
圖9為圖5的第二固定件的俯視圖。元件符號說明10、30. 化學(xué)氣相沉積工藝機(jī)臺 12……反應(yīng)腔14"...-擴(kuò)散器16….-固定溝槽18"...-固定導(dǎo)塊32....-擴(kuò)散器42"...-邊框44.....導(dǎo)塊46.....-固定組件50.…-第一固定件52.....'凹口 54……第一鎖固孔56.....-緩沖區(qū) 60……第二固定件62.....'溝槽 64...…第二鎖固孔66.....-保護(hù)孔 68……凸緣70.....'鎖固件 15……陶瓷檔板65、65，……嵌合區(qū)442"..-扣合部 444-…-抵持部641.…-第一螺孔 642-…-第二螺孔
具體實(shí)施例方式
為讓本發(fā)明的上述內(nèi)容能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說 明如下 以下各實(shí)施例的說明是參考附加的圖式，用以例示本發(fā)明可用以實(shí)施的特定實(shí)施 例。本發(fā)明所提到的方向用語，例如"上"、"下"、"前"、"后"、"左"、"右"、"頂"、"底"、"水平"、 "垂直"等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本發(fā)明，而 非用以限制本發(fā)明。 請參閱圖3以及圖4，圖3為本發(fā)明的化學(xué)氣相沉積工藝機(jī)臺30的示意圖，圖4為 圖3中的固定組件46和導(dǎo)塊44的示意圖。本發(fā)明的化學(xué)氣相沉積工藝機(jī)臺30包含擴(kuò)散 器(diffuser) 32、邊框42、多個(gè)導(dǎo)塊44與多個(gè)固定組件46，其中擴(kuò)散器32用于控制流向基 材電鍍表面的電解質(zhì)的流動模式。而每一固定組件46由第一固定件50和第二固定件60 嵌合組成。第一固定件50為陶瓷材質(zhì)。多個(gè)導(dǎo)塊44分別突出于邊框42的每一邊上，且包 含一扣合部442和一抵持部444?？酆喜?42向邊框42的中心方向延伸，抵持部444設(shè)于 扣合部442之上，且外型大致呈一 L字型。當(dāng)導(dǎo)塊44嵌合于固定組件46時(shí)，導(dǎo)塊44的扣 合部442插入第二固定件60，而呈L字型的抵持部444則抵持第二固定件60的外緣。
請參閱圖5和圖6A，圖5為組裝前的固定組件46的第一固定件50和第二固定件 60的示意圖，圖6A繪示了圖5組裝后的固定組件46的第一固定件50和第二固定件60。第 一固定件50朝向邊框42的一側(cè)開設(shè)一凹口 52，第一固定件50由陶瓷材質(zhì)構(gòu)成。第一固定 件50包含多個(gè)第一鎖固孔54，第一鎖固孔54開設(shè)在對應(yīng)于凹口 52的區(qū)域上，凹口 52包含 一個(gè)以上大致呈弧形的緩沖區(qū)56。 請一并參閱圖4、5、6A和6B。第二固定件60朝向第一固定件50的一側(cè)的外形順 應(yīng)凹口 52的輪廓，以可拆卸的方式嵌合于凹口 52，換言之，第二固定件60對應(yīng)于第一固定 件50的緩沖區(qū)56處設(shè)置嵌合區(qū)65，嵌合區(qū)65順應(yīng)緩沖區(qū)56的輪廓，以適當(dāng)?shù)貙⒌诙潭?件60和第一固定件50組裝在一起。請注意，在另一實(shí)施例中，如圖6B所示，第二固定件60 的嵌合區(qū)65'也可呈多邊型，較佳地多邊型的頂角需大于90度，當(dāng)多邊型的嵌合區(qū)65'的 邊數(shù)越多，則其輪廓和效果越近似于弧形的嵌合區(qū)65。同時(shí)，嵌合區(qū)65'與緩沖區(qū)56的輪 廓必需相互順應(yīng)，所以緩沖區(qū)56也可呈與嵌合區(qū)65'相同輪廓的多邊型。由于凹口 52上 并無任何的銳角設(shè)計(jì)，所以在組裝時(shí)，可以避免因施力不當(dāng)造成第一固定件50和第二固定 件60因觸碰摩擦而有碎屑掉落而影響化學(xué)氣相沉積工藝機(jī)臺30生產(chǎn)的產(chǎn)品良率，在工藝 中也不會產(chǎn)生應(yīng)力集中，而造成破裂的問題。此外，第二固定件60朝向?qū)K44的一側(cè)包含 一溝槽62。當(dāng)導(dǎo)塊44嵌合于固定組件46時(shí)，導(dǎo)塊44的扣合部442插入第二固定件60的 溝槽62，呈L字型的抵持部444則抵持第二固定件60的外緣，使得導(dǎo)塊44以可拆卸的方式 嵌合于溝槽62 (如圖4所示)。第二固定件60以可拆卸的方式嵌合于凹口 52，再以多個(gè)鎖 固件70鎖固第一固定件50和第二固定件60。在本實(shí)施例中，第二固定件60由金屬構(gòu)成， 并鍍上一層約50ym厚的陶瓷陽極膜。較佳地，第二固定件60由鋁合金構(gòu)成，并于整個(gè)構(gòu) 件上鍍上陶瓷陽極膜。由于第一固定件50的陶瓷和第二固定件60的陶瓷陽極膜(結(jié)晶相 a -A1203)完全相同且硬度相當(dāng)，不會因?yàn)楸舜瞬牧衔镄约皺C(jī)械性質(zhì)差異過大，造成陽極膜 被擠壓剝離(Peeling)，而使第二固定件60的基材金屬裸露在等離子體反應(yīng)(Plasma)作用 過程中，產(chǎn)生電弧集中放電現(xiàn)象(Arcing)，且由于鍛造鋁合金屬的材料具有塑性變形的能力，于工藝使用過程中，絕對不會造成崩裂的發(fā)生。 請一并參閱圖7至圖9，圖7為圖5中的第二固定件60朝箭頭A所示方向的側(cè)視 圖，圖8為圖5中的第二固定件60朝箭頭B所示方向的側(cè)視圖。圖9為圖5中的第二固定 件60的俯視圖。第二固定件60包含多個(gè)第二鎖固孔64、多個(gè)保護(hù)孔66和兩個(gè)凸緣68。兩 個(gè)凸緣68分別設(shè)置于第二固定件60的兩側(cè)，當(dāng)欲將第二固定件60鎖固在第一固定件50 時(shí)，兩個(gè)凸緣68用來使第二固定件60暫時(shí)卡持于第一固定件50上以防止第二固定件60 脫離第一固定件50，換言之，當(dāng)?shù)诙潭?0組靠于第一固定件50上時(shí)，兩個(gè)凸緣68分 別抵靠于第一固定件50的底部，使第二固定件60可暫時(shí)定位于第一固定件50上。第二鎖 固孔64開設(shè)在對應(yīng)于溝槽62的區(qū)域上且貫穿第二固定件60。第二鎖固孔64包含一第一 螺孔641以及一第二螺孔642，第一螺孔641的內(nèi)徑小于第二螺孔642的內(nèi)徑，而第一螺孔 641的內(nèi)徑大致上與第一固定件50的第一鎖固孔54的內(nèi)徑相同。每一鎖固件70穿過其中 的一第二鎖固孔64，鎖固于其中的一第一鎖固孔54上，使得第二固定件60固定在第一固 定件50上。鎖固件70可為螺絲或是其它類似的固定件，而且螺絲的螺帽半徑大于第一螺 孔641的內(nèi)徑，但小于第二螺孔642的內(nèi)徑。除此之外，當(dāng)化學(xué)氣相沉積工藝機(jī)臺30在加 熱環(huán)境下，金屬材質(zhì)的第二固定件60會因受熱而膨脹，所以設(shè)置于溝槽62兩旁的多個(gè)保護(hù) 孔66，可提供第二固定件60熱膨脹空間。 相較于傳統(tǒng)化學(xué)氣相沉積工藝機(jī)臺的擴(kuò)散器四邊的陶瓷檔板中所設(shè)置的固定溝 槽容易崩裂的缺點(diǎn)，本發(fā)明的化學(xué)氣相沉積工藝機(jī)臺30的固定組件46使用可拆換的第一 個(gè)固定件50以及第二固定件60，其中第一固定件50仍采用陶瓷材質(zhì)，而與導(dǎo)塊44相嵌合 的第二固定件60的本體采用鍛造鋁合金材料，并在整個(gè)構(gòu)件鍍上陶瓷陽極膜。如此一來， 通過金屬具有塑性變形的特點(diǎn)，可以避免傳統(tǒng)擴(kuò)散器四周的陶瓷檔板的固定溝槽易崩裂的 問題。而且一但發(fā)現(xiàn)與導(dǎo)塊44相嵌合的第二固定件60有磨損現(xiàn)象時(shí)，可直接拆卸更換新 的第二固定件60，而毋需大費(fèi)周章的購買另一陶瓷檔板，這不僅減少成本而且可重復(fù)再生 利用的第二固定件60不易產(chǎn)生廢料的特性，更符合綠色環(huán)保的要求。而且本發(fā)明更可確保 反應(yīng)腔12內(nèi)構(gòu)件的安全性，更不需擔(dān)心傳統(tǒng)固定溝槽被擠壓而崩裂產(chǎn)生的碎屑掉落反應(yīng) 腔12內(nèi)，影響產(chǎn)品良率等困擾。 雖然本發(fā)明已用較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟知此技 術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種更動與修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍 當(dāng)以權(quán)利要求的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
一種用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，其特征在于，包含一邊框；一第一固定件，朝向該邊框的一側(cè)開設(shè)一凹口，該第一固定件由一第一材質(zhì)構(gòu)成；一第二固定件，其以朝向該第一固定件的一側(cè)嵌合于該凹口，而另一側(cè)包含一溝槽，該第二固定件由一第二材質(zhì)構(gòu)成；以及一導(dǎo)塊，突出于該邊框的一邊上，并向該邊框的中心方向延伸，且該導(dǎo)塊嵌合于該溝槽內(nèi)。
2. 如權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，其特征在于，該第一材質(zhì)為陶瓷，該第二材質(zhì)為鋁合金，并鍍上一陶瓷陽極膜。
3. 如權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，其特征在于，包括多個(gè)鎖固件，且該第二固定件另包含多個(gè)第二鎖固孔，該多個(gè)第二鎖固孔開設(shè)在對應(yīng)于該溝槽的區(qū)域上且貫穿該第二固定件；而該第一固定件另包含多個(gè)第一鎖固孔，該多個(gè)第一鎖固孔開設(shè)在對應(yīng)于該凹口的區(qū)域上，使得每一鎖固件分別穿過其中的一第二鎖固孔，鎖固于其中的一第一鎖固孔上，使得該第二固定件固定在該第一固定件上。
4. 如權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，其特征在于，該第二固定件另包含二凸緣，其分別形成于該第二固定件的兩側(cè)，當(dāng)該第二固定件組裝于該第一固定件時(shí)，該二凸緣分別抵靠于該第一固定件的底部，使該第二固定件定位于該第一固定件上。
5. 如權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，其特征在于，該第二固定件另包含多個(gè)保護(hù)孔，設(shè)置于該溝槽的兩旁，用來于該機(jī)臺在加熱環(huán)境下，該第二固定件具有熱膨脹空間。
6. 如權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，其特征在于，該第二固定件朝向該第一固定件的一側(cè)的外形順應(yīng)該凹口的輪廓。
7. —種用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，其特征在于，包含一邊框；一導(dǎo)塊，突出于該邊框的一邊上，且向該邊框的中心方向延伸；一第一固定件，朝向該邊框的一側(cè)開設(shè)一凹口 ，該凹口包含一個(gè)以上緩沖區(qū)；以及一第二固定件，其朝向該第一固定件的一側(cè)以可拆卸的方式嵌合于該凹口，朝向該導(dǎo)塊的一側(cè)包含一溝槽，該導(dǎo)塊以可拆卸的方式嵌合于該溝槽，該第二固定件以可拆卸的方式嵌合于該凹口。
8. 如權(quán)利要求7所述的用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，其特征在于，該第一固定件由陶瓷構(gòu)成。
9. 如權(quán)利要求7所述的用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，其特征在于，該第二固定件由鋁合金構(gòu)成，并鍍上一陶瓷陽極膜。
10. 如權(quán)利要求7所述的用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，其特征在于，包括多個(gè)鎖固件，且該第二固定件另包含多個(gè)第二鎖固孔，該多個(gè)第二鎖固孔開設(shè)在對應(yīng)于該溝槽的區(qū)域上且貫穿該第二固定件；而該第一固定件另包含多個(gè)第一鎖固孔，該多個(gè)第一鎖固孔開設(shè)在對應(yīng)于該凹口的區(qū)域上，使得每一鎖固件分別穿過其中的一第二鎖固孔，鎖固于其中的一第一鎖固孔上，使得該第二固定件固定在該第一固定件上。
11. 如權(quán)利要求7所述的用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，其特征在于，該第二固定件另包含二凸緣，其分別形成于該第二固定件的兩側(cè)，當(dāng)該第二固定件組裝于該第一固定件時(shí)， 該二凸緣分別抵靠于該第一固定件的底部，使該第二固定件定位于該第一固定件上。
12. 如權(quán)利要求7所述的用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，其特征在于，該第二固定件另 包含多個(gè)保護(hù)孔，設(shè)置于該溝槽的兩旁，用來于該機(jī)臺在加熱環(huán)境下，該第二固定件具有熱 膨脹空間。
13. 如權(quán)利要求7所述的用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，其特征在于，該緩沖區(qū)呈弧形。
14. 如權(quán)利要求7所述的用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，其特征在于，該緩沖區(qū)為頂角 大于90度的多邊形。
全文摘要
一種用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，其包含邊框、導(dǎo)塊、第一固定件和第二固定件。導(dǎo)塊突出于邊框的一邊上，且向邊框的中心方向延伸。第一固定件朝向邊框的一側(cè)開設(shè)凹口，第一固定件由陶瓷構(gòu)成。第二固定件朝向第一固定件的一側(cè)以可拆卸的方式嵌合于凹口，朝向?qū)K的一側(cè)包含溝槽，導(dǎo)塊以可拆卸的方式嵌合于溝槽，第二固定件由鋁合金并鍍上陶瓷陽極膜構(gòu)成。本發(fā)明提供的用于化學(xué)氣相沉積工藝的機(jī)臺，使用不易崩裂且可于化學(xué)氣相沉積工藝機(jī)臺上替換固定溝槽的陶瓷。
文檔編號C23C16/44GK101696493SQ20091021140
公開日2010年4月21日 申請日期2009年11月6日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月6日
發(fā)明者呂家榛, 林世明, 范綱維, 賴立書 申請人:友達(dá)光電股份有限公司;