專利名稱：防鍍膜影響的外部檢出裝置及濺鍍裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是一種檢出裝置，尤其是一種適用安裝于薄膜沉積裝置的防鍍膜影響的外 部檢出裝置。
背景技術(shù)：
隨著科技的進(jìn)步與發(fā)展，電子產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品日新月異，近年來真空鍍膜技術(shù)已逐漸 取代傳統(tǒng)噴導(dǎo)電漆或電解電鍍的鍍膜方式，而廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體制程、光電和3C產(chǎn)業(yè) 中，成為重要的鍍膜生產(chǎn)技術(shù)。目前業(yè)界所使用的鍍膜設(shè)備大多為連續(xù)式(In-Line)多腔體(multi-chambers) 的作業(yè)流程，與傳統(tǒng)批次式(batch type)或晶圓式(wafertype)生產(chǎn)方式比較，可大幅降 低設(shè)備成本及廠房空間，極具量產(chǎn)經(jīng)濟(jì)價(jià)值及產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)性。以連續(xù)式多腔體的鍍膜設(shè)備為 例，該連續(xù)式多腔體內(nèi)部包含一承載盤(或俗稱臺(tái)車)可于各腔體內(nèi)部前進(jìn)，為了檢測(cè)該承 載盤的行進(jìn)位置，經(jīng)常于該連續(xù)式多腔體設(shè)有一檢測(cè)裝置。請(qǐng)參考圖7A、7B及圖8，其為既有安裝于連續(xù)式多腔體的鍍膜設(shè)備72的一檢出裝 置73的示意圖，該鍍膜設(shè)備72包含復(fù)數(shù)個(gè)成對(duì)的觀窗口 722，成對(duì)的兩個(gè)該觀窗口 722分 別設(shè)于該鍍膜設(shè)備72的外表面。該檢出裝置73包含二成對(duì)的光學(xué)檢測(cè)組件732，兩個(gè)該光 學(xué)檢測(cè)組件732分別固定置于兩個(gè)成對(duì)的觀窗口 722外部，并使兩個(gè)該光學(xué)檢測(cè)組件732 分別作為一光輸出組件及一光接收組件，其中，兩個(gè)成對(duì)的該光學(xué)檢測(cè)組件732依據(jù)其間 的光傳輸路徑是否被一個(gè)可于該鍍膜設(shè)備72行進(jìn)的一承載盤75遮擋而判斷該承載盤75 的位置(如圖7A、7B所示)。在濺鍍過程中，為了避免該觀窗口 722被濺射的材料粒子污染沾附，該檢出裝置 73包含一遮板733固定設(shè)于該鍍膜設(shè)備72的內(nèi)部于該觀窗口 722的對(duì)應(yīng)位置。然而，該遮 板733的阻擋材料粒子的功效不佳，材料粒子仍會(huì)穿過該遮板733的開口而鍍制于該觀窗 口 722的內(nèi)表面，當(dāng)該觀窗口 722的內(nèi)表面沾附過多的材料粒子進(jìn)而影響該光學(xué)檢測(cè)組件 732的光傳輸路徑，而使前述的檢測(cè)功能大受影響，甚至毫無功用；使用者必須經(jīng)常保養(yǎng)、 清除該觀窗口 722上的材料粒子或薄膜，以保前述檢測(cè)的功能，故造成使用不便及維護(hù)成 本增加的問題。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決既有設(shè)于濺鍍?cè)O(shè)備外部的檢出裝置的遮板的阻擋性能不佳的技術(shù)問題， 本發(fā)明以一管體取代該遮板，讓該檢出裝置的光傳輸路徑得到良好的屏蔽保護(hù)，達(dá)到提升 使用便利性及降低維護(hù)成本的目的。配合前述的技術(shù)問題及發(fā)明目的，本發(fā)明提供一種防鍍膜影響的外部檢出裝置， 其包含一訊號(hào)輸出模塊，其包含一發(fā)射器以及一輸出模塊防鍍管，該發(fā)射器產(chǎn)生一輸出 光；該輸出模塊防鍍管為中空且兩端開放的管體，其固定置于該輸出光的傳輸路徑上；及
一訊號(hào)接收模塊，其包含一接收器以及一接收模塊防鍍管，該接收器與該發(fā)射器 相對(duì)；該接收模塊防鍍管為中空且兩端開放的管體，其置于該輸出光的傳輸路徑上并接收 該輸出光。其中，該訊號(hào)輸出模塊及該訊號(hào)接收模塊分別包含一調(diào)整座，兩個(gè)該調(diào)整座分別 對(duì)應(yīng)連接該發(fā)射器及該接收器。其中，該輸出模塊防鍍管及該接收模塊防鍍管的材質(zhì)為一金屬或一鐵氟龍或工程 塑料類。其中，該輸出光為紅外線或雷射光線。本發(fā)明又提供一種濺鍍裝置，其包含復(fù)數(shù)個(gè)連續(xù)接合的腔體，每一腔體包含一底座、一上蓋以及一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，該上蓋蓋 合于該底座的一開放面，該傳動(dòng)結(jié)構(gòu)固定設(shè)于該底座的一內(nèi)表面，其中，該底座包含一個(gè)以 上的玻璃窗口組，每一玻璃窗口組包含二成對(duì)的玻璃窗口，每一玻璃窗口密合固定于該底 座的一側(cè)腔壁并與成對(duì)的另一個(gè)玻璃窗口位置相對(duì)；一個(gè)以上的承載盤，該一個(gè)以上的承載盤于該傳動(dòng)結(jié)構(gòu)傳輸而于各腔體之間移 動(dòng)，該承載盤的移動(dòng)路徑與該玻璃窗口組的位置對(duì)應(yīng)；一個(gè)以上的外部檢出裝置，每一外部檢出裝置包含一訊號(hào)輸出模塊以及一訊號(hào)接 收模塊，其固定結(jié)合于該底座并分別與兩個(gè)成對(duì)的該玻璃窗口的位置對(duì)應(yīng)，其中該訊號(hào)輸出模塊包含一發(fā)射器以及一輸出模塊防鍍管，該發(fā)射器固定設(shè)于該底座 的外表面，其產(chǎn)生一輸出光朝向?qū)?yīng)的該玻璃窗口 ；該輸出模塊防鍍管為中空且兩端開放 的管體，其置于該腔體內(nèi)并遮蔽該玻璃窗口且位置與該輸出光的傳輸路徑同軸；及該訊號(hào)接收模塊包含一接收器以及一接收模塊防鍍管，該接收器固定設(shè)于該底座 的外表面，其與該發(fā)射器相對(duì)并接收該輸出光；該接收模塊防鍍管為中空且兩端開放的管 體，其置于該腔體內(nèi)并遮蔽該玻璃窗口且位置與該輸出光的傳輸路徑同軸。其中，該訊號(hào)輸出模塊及該訊號(hào)接收模塊分別包含一調(diào)整座，兩個(gè)該調(diào)整座分別 對(duì)應(yīng)連接該發(fā)射器及該接收器，且兩個(gè)該調(diào)整座并分別與該腔體表面固定連接。其中，該輸出模塊防鍍管及該接收模塊防鍍管的材質(zhì)為一金屬或一鐵氟龍或工程 塑料類。由于本發(fā)明的該防鍍管可有效遮蔽該玻璃窗口并且提供玻璃窗口外部的發(fā)射器 及接收器的輸出光傳遞路徑，使濺鍍裝置于濺鍍過程中，濺鍍材料粒子可以被遮擋或僅鍍 制于該防鍍管而不會(huì)鍍制于該玻璃窗口表面，因此達(dá)到良好的屏蔽防鍍的技術(shù)效果，故提 升濺鍍?cè)O(shè)備的使用便利性并可降低維護(hù)成本。


圖1為本發(fā)明實(shí)施例的局部立體圖。圖2為本發(fā)明實(shí)施例的局部分解圖。圖3為本發(fā)明實(shí)施例的局部剖面圖。圖4為本發(fā)明實(shí)施例的局部放大分解圖。圖5為本發(fā)明實(shí)施例的局部放大剖面圖。圖6A、6B為本發(fā)明實(shí)施例的使用示意圖。
圖7A、7B為既有的鍍膜設(shè)備的檢出裝置使用示意圖。
圖8為既有的鍍膜設(shè)備的檢出裝置的放大剖面圖。
主要組件符號(hào)說明
10腔體 12底座
122玻璃窗口 1221結(jié)合座
1223玻璃片1225固定蓋
14上蓋15傳動(dòng)結(jié)構(gòu)
16承載盤17靶材
20防鍍膜影響的外部檢出裝置
22訊號(hào)輸出模塊222發(fā)射器
223調(diào)整座224防鍍管
26訊號(hào)接收模塊262接收器
263調(diào)整座264防鍍管
72鍍膜設(shè)備722觀窗口
73檢出裝置732光學(xué)檢測(cè)組件
733遮板75承載盤
具體實(shí)施例方式請(qǐng)參考圖1及圖2，其為本發(fā)明的防鍍膜影響的外部檢出裝置20的實(shí)施例，其與一 濺鍍裝置的腔體10固定結(jié)合，其中，該濺鍍裝置可以依據(jù)需求利用復(fù)數(shù)個(gè)連續(xù)接合的腔體 10組合而成，使該濺鍍裝置可進(jìn)行一連續(xù)式濺鍍工作。該腔體10包含一底座12、一上蓋14以及一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)15，該上蓋14蓋合于該底座 12的一開放面，而該傳動(dòng)結(jié)構(gòu)15則固定設(shè)于該底座12的一內(nèi)表面，該傳動(dòng)結(jié)構(gòu)15傳輸該 濺鍍裝置的一承載盤16于各腔體10之間移動(dòng)、前進(jìn)，達(dá)到前述的連續(xù)式濺鍍工作。該底座12包含一個(gè)以上的玻璃窗口組，每一玻璃窗口組包含兩個(gè)成對(duì)的玻璃窗 口 122，每個(gè)玻璃窗口 122密合固定于該底座12的一側(cè)腔壁并與另一個(gè)玻璃窗口 122位置 相對(duì)。該玻璃窗口 122結(jié)合于該底座12的方式不限定，舉例而言，其可為嵌合于該底座12 且包含可透光區(qū)域的窗口組件，其中該透光區(qū)域可以為一般玻璃或石英玻璃等。請(qǐng)參考圖3 圖5，本實(shí)施例的每一玻璃窗口 122包含一結(jié)合座1221、一玻璃片 1223以及一固定蓋1225，該結(jié)合座1221呈筒狀，其軸心包含一兩端貫通的穿孔；為了讓該 結(jié)合座1221可以密合固定結(jié)合于該底座12，該結(jié)合座1221的外表面可以設(shè)有螺紋面，以 螺鎖方式緊密鎖合于該底座12。該玻璃片1223固定置于該結(jié)合座1221內(nèi)，并以該固定蓋 1225密封蓋合后與該結(jié)合座1221固定結(jié)合，并密封蓋合該結(jié)合座1221的穿孔的一外部端。請(qǐng)參考圖4至圖5，該防鍍膜影響的外部檢出裝置20包含一訊號(hào)輸出模塊22以及 一訊號(hào)接收模塊26，其分別結(jié)合于兩個(gè)成對(duì)的該玻璃窗口 122的對(duì)應(yīng)位置，該訊號(hào)輸出模 塊22包含一發(fā)射器222，該發(fā)射器222固定設(shè)于該底座12外側(cè)表面大氣環(huán)境側(cè)，且可發(fā)射 一輸出光(例如紅外線、雷射光線或其它可以檢出的光線...等)，該發(fā)射器222的輸出光 射向另一個(gè)玻璃窗口 122的該訊號(hào)接收模塊26。該訊號(hào)接收模塊26包含一接收器262，該 接收器262固定于該底座12外側(cè)表面且接收該輸出光，該訊號(hào)接收模塊26依據(jù)其接收器262是否能夠接收該輸出光，判斷該承載盤16于該傳動(dòng)結(jié)構(gòu)15的位置。該訊號(hào)輸出模塊 22與該訊號(hào)接收模塊26分別包含一防鍍管224、264，該兩個(gè)防鍍管224、264的兩端開放且 為中空，且分別密合插設(shè)于兩個(gè)該結(jié)合座1221的穿孔，該防鍍管224、264以適合于真空環(huán) 境的材質(zhì)制成，例如該防鍍管可以是金屬管、鐵氟龍管等，本實(shí)施例的該防鍍管224、264為 具有貫通流道并以金屬(不銹鋼、鋁...等)制成的管體。當(dāng)兩個(gè)該防鍍管224、264分別 安裝于該結(jié)合座1221后，兩個(gè)該防鍍管224、264的流道相對(duì)，使該發(fā)射器222的該輸出光 可經(jīng)過兩個(gè)該防鍍管224、264的流道及至該訊號(hào)接收模塊26的該接收器262。如圖3所示，由于該玻璃片1223朝向該腔體10內(nèi)部的一內(nèi)側(cè)表面套接一個(gè)該防 鍍管224、264，因此，當(dāng)該濺鍍裝置開始執(zhí)行濺鍍工作時(shí)，由一靶材17濺射出來的材料粒子 將不會(huì)鍍于該玻璃片1223的內(nèi)側(cè)表面，由于該防鍍管224、264遮蔽對(duì)應(yīng)的該玻璃片1223 而提供一個(gè)良好的阻擋材料粒子的效果，使材料粒子于該防鍍管224、264多次碰撞后動(dòng)能 減緩而鍍制于該防鍍管224、264上，因此，使該發(fā)射器222及該接收器262之間的該玻璃片 1223不會(huì)于濺鍍過程而污染，影響其間光傳輸及該承載盤16的位置感應(yīng)功能。進(jìn)一步地，為了固定該發(fā)射器222及該接收器262的位置，本實(shí)施例的該訊號(hào)輸出 模塊22及該訊號(hào)接收模塊26分別包含一調(diào)整座223、263，兩個(gè)該調(diào)整座223、263可呈任 意外型并分別固定于該底座12表面而分別位于兩個(gè)成對(duì)的該玻璃窗口 122附近，其中，該 調(diào)整座223、263分別與該發(fā)射器222及該接收器262固定結(jié)合使該發(fā)射器222及該接收器 262可同軸相對(duì)。該濺鍍裝置的每一個(gè)腔體10可以于該承載盤16的移動(dòng)路徑的對(duì)應(yīng)位置，于該底 座12的表面設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)玻璃窗口組及防鍍膜影響的外部檢出裝置20 ；使用時(shí)，請(qǐng)參考圖 6A、6B，當(dāng)某一腔體10的該傳動(dòng)結(jié)構(gòu)15上沒有該承載盤16時(shí)(如圖6A)，該腔體10的防鍍 膜影響的外部檢出裝置20的訊號(hào)輸出模塊22的輸出光沒有被該承載盤16阻擋了光傳遞 路徑而可順利抵達(dá)該訊號(hào)接收模塊26，讓該訊號(hào)接收模塊26可以藉以判斷該腔體10內(nèi)沒 有該承載盤16 ；反之，若該承載盤16已經(jīng)進(jìn)入該腔體10內(nèi)，因此，某一或某些成對(duì)的該訊 號(hào)輸出模塊22及該訊號(hào)接收模塊26之間的輸出光傳遞受到該承載盤16阻擋，使該訊號(hào)接 收模塊26可據(jù)此判斷該承載盤16的位置。
權(quán)利要求
一種防鍍膜影響的外部檢出裝置，其包含一訊號(hào)輸出模塊，其包含一發(fā)射器以及一輸出模塊防鍍管，該發(fā)射器產(chǎn)生一輸出光；該輸出模塊防鍍管為中空且兩端開放的管體，其固定置于該輸出光的傳輸路徑上；及一訊號(hào)接收模塊，其包含一接收器以及一接收模塊防鍍管，該接收器與該發(fā)射器相對(duì)；該接收模塊防鍍管為中空且兩端開放的管體，其置于該輸出光的傳輸路徑上并接收該輸出光。
2.如權(quán)利要求1所述的防鍍膜影響的外部檢出裝置，其特征在于該訊號(hào)輸出模塊及 該訊號(hào)接收模塊分別包含一調(diào)整座，兩個(gè)該調(diào)整座分別對(duì)應(yīng)連接該發(fā)射器及該接收器。
3.如權(quán)利要求1或2所述的防鍍膜影響的外部檢出裝置，其特征在于該輸出模塊防 鍍管及該接收模塊防鍍管的材質(zhì)為一金屬或一鐵氟龍或工程塑料類。
4.如權(quán)利要求3所述的防鍍膜影響的外部檢出裝置，其特征在于該輸出光為紅外線 或雷射光線。
5.一種濺鍍裝置，其包含復(fù)數(shù)個(gè)連續(xù)接合的腔體，每一腔體包含一底座、一上蓋以及一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，該上蓋蓋合于 該底座的一開放面，該傳動(dòng)結(jié)構(gòu)固定設(shè)于該底座的一內(nèi)表面，其中，該底座包含一個(gè)以上的 玻璃窗口組，每一玻璃窗口組包含二成對(duì)的玻璃窗口，每一玻璃窗口密合固定于該底座的 一側(cè)腔壁并與成對(duì)的另一個(gè)玻璃窗口位置相對(duì)；一個(gè)以上的承載盤，該承載盤于該傳動(dòng)結(jié)構(gòu)傳輸而于各腔體之間移動(dòng)，該承載盤的移 動(dòng)路徑與該玻璃窗口組的位置對(duì)應(yīng)；一個(gè)以上的外部檢出裝置，每一外部檢出裝置包含一訊號(hào)輸出模塊以及一訊號(hào)接收模 塊，其固定結(jié)合于該底座并分別與兩個(gè)成對(duì)的該玻璃窗口的位置對(duì)應(yīng)，其中該訊號(hào)輸出模塊包含一發(fā)射器以及一輸出模塊防鍍管，該發(fā)射器固定設(shè)于該底座的外 表面，其產(chǎn)生一輸出光朝向?qū)?yīng)的該玻璃窗口 ；該輸出模塊防鍍管為中空且兩端開放的管 體，其置于該腔體內(nèi)并遮蔽該玻璃窗口且位置與該輸出光的傳輸路徑同軸；及該訊號(hào)接收模塊包含一接收器以及一接收模塊防鍍管，該接收器固定設(shè)于該底座的外 表面，其與該發(fā)射器相對(duì)并接收該輸出光；該接收模塊防鍍管為中空且兩端開放的管體，其 置于該腔體內(nèi)并遮蔽該玻璃窗口且位置與該輸出光的傳輸路徑同軸。
6.如權(quán)利要求5所述的濺鍍裝置，其特征在于該訊號(hào)輸出模塊及該訊號(hào)接收模塊分 別包含一調(diào)整座，兩個(gè)該調(diào)整座分別對(duì)應(yīng)連接該發(fā)射器及該接收器，且兩個(gè)該調(diào)整座并分 別與該腔體表面固定連接。
7.如權(quán)利要求5或6所述的濺鍍裝置，其特征在于該輸出模塊防鍍管及該接收模塊 防鍍管的材質(zhì)為一金屬或一鐵氟龍或工程塑料類。
8.如權(quán)利要求7所述的濺鍍裝置，其特征在于該輸出光為紅外線或雷射光線。
全文摘要
一種防鍍膜影響的外部檢出裝置，其裝設(shè)于一濺鍍裝置腔體的兩個(gè)成對(duì)的玻璃窗口，其包含一發(fā)射器以及一接收器，分別置于該腔體外部且與該玻璃窗口位置對(duì)應(yīng)，該玻璃窗口包含兩個(gè)防鍍管置于該腔體內(nèi)并分別遮蔽兩個(gè)該玻璃窗口，該發(fā)射器發(fā)射一輸出光進(jìn)入該腔體而經(jīng)由兩個(gè)防鍍管及至該接收器；該防鍍管可以在濺鍍裝置于濺鍍制程中，提供對(duì)應(yīng)的玻璃窗口有效的遮蔽，使材料粒子不會(huì)鍍制于該玻璃窗口上，故提升濺鍍裝置的使用便利性并可降低維護(hù)成本。
文檔編號(hào)C23C14/34GK101930084SQ20091014950
公開日2010年12月29日 申請(qǐng)日期2009年6月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月25日
發(fā)明者劉忠炯, 樸威辰, 蔡明展, 賴青華, 魏木元, 黃泰源 申請(qǐng)人:友威科技股份有限公司