專利名稱：用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射機(jī)及濺射方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種低成本濺射機(jī)及濺射方法，尤指一種用于薄膜太陽能電池制 造的低成本濺射機(jī)及濺射方法。
背景技術(shù)：
薄膜太陽能電池，顧名思義，乃是在塑膠、玻璃或是金屬基板上形成可產(chǎn)生光電效 應(yīng)的薄膜，厚度僅需幾μ m，因此在同一受光面積的下可比硅晶片太陽能電池大幅減少原料 的用量。薄膜太陽能電池并非是新概念的產(chǎn)品，實(shí)際上，以往人造衛(wèi)星早已普遍采用砷化鎵 (GaAs)所制造的高轉(zhuǎn)換效率薄膜太陽能電池板(以單晶硅作為基板，轉(zhuǎn)換效能在30%以 上)來進(jìn)行發(fā)電。薄膜太陽能電池可在價(jià)格低廉的玻璃、塑膠或不銹鋼基板上大量制作，以 生產(chǎn)出大面積的太陽能電池，而其工藝可以直接導(dǎo)入已經(jīng)相當(dāng)成熟的TFT-IXD工藝，此為 其優(yōu)點(diǎn)。已知的濺射技術(shù)乃是在一腔體的濺射空間中，利用一載具輸送多個(gè)基板，并且使 靶材上的材料濺射于基板的表面上，讓基板的表面形成一鍍膜。然而，此已知技術(shù)中的靶材 是固定在一特定位置，而靶材自身會旋轉(zhuǎn)，再利用載具承載并輸送基板，而使基板相對于靶 材移動，以便于靶材上的材料濺射于基板的表面上。但是，由于載具承載并且輸送多個(gè)基板供靶材濺射，故需要有非常冗長的輸送行 程，而這也導(dǎo)致了濺射機(jī)具需要有相常龐大的體積，同時(shí)也造成了生產(chǎn)成本居高不下的問 題。因此，如何提供一較小體積的濺射機(jī)并且可以降低生產(chǎn)成本實(shí)為一重要課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明有鑒于此，提出了一種用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射機(jī)及濺射方 法，其解決濺射機(jī)的龐大體積及高生產(chǎn)成本等問題。本發(fā)明的目的在于提供一種用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射機(jī)及濺射方 法，靶材除了可以自身旋轉(zhuǎn)外，靶材尚可與基板產(chǎn)生相對移動，例如基板在固定不動的情 況下，靶材在基板上水平移動而與基板產(chǎn)生相對位移，以此種方式使靶材在基板形成一鍍 膜，由于靶材的移動行程并不長，故載具輸送基板的行程也可縮短，而這將會有助于減少濺 射機(jī)的體積，并且可以降低生產(chǎn)成本。達(dá)到上述目的的用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射機(jī)，包括一腔體，具有一 濺射空間；一載具，設(shè)于腔體的濺射空間內(nèi)；一基板，被承載于載具上，載具用以輸送基板； 至少一傳動裝置，設(shè)于載具的側(cè)邊，并且位于腔體的濺射空間內(nèi)；以及一靶材，連接傳動裝 置；靶材與傳動裝置產(chǎn)生相對移動，致使靶材可在基板表面上水平移動。較佳地，該傳動裝置與該靶材的連接方式是以齒輪嚙合的方式連接。較佳地，該傳動裝置與該靶材的連接處分別設(shè)有內(nèi)齒輪與外齒輪。達(dá)到上述目的的用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射方法，包括令一載具設(shè)于 一具有濺射空間的腔體內(nèi)；令一基板被承載于載具上，使載具用以輸送基板；令至少一傳動裝置設(shè)于載具的側(cè)邊，并位于腔體的濺射空間內(nèi)；以及令一靶材連接傳動裝置，靶材與傳 動裝置產(chǎn)生相對移動，致使靶材可在基板表面上水平移動。較佳地，該傳動裝置與該靶材的連接方式是以齒輪嚙合的方式連接。較佳地，該傳動裝置與該靶材的連接處分別設(shè)有內(nèi)齒輪與外齒輪。本發(fā)明用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射機(jī)的優(yōu)點(diǎn)在于利用上述的低成本 濺射機(jī)及濺射方法，可有效率地于基板表面上形成鍍膜，而此種濺射機(jī)并不需要體積龐大 及冗長行程的載具以輸送基板供靶材濺射，這有助于濺射機(jī)的體積小型化以及降低生產(chǎn)成 本。


圖1是顯示本發(fā)明用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射機(jī)的俯視圖；圖2是顯示本發(fā)明用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射機(jī)的側(cè)視圖；圖3是顯示本發(fā)明用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射方法的流程圖。附圖標(biāo)號1-一用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射機(jī)2-—腔體3-—濺射空間4-—載具5-—基板6-—傳動裝置7-—靶材8-—外齒輪9-—內(nèi)齒輪
具體實(shí)施例方式雖然本發(fā)明將參閱含有本發(fā)明較佳實(shí)施例的附圖予以充分描述，但在此描述的前 應(yīng)了解本領(lǐng)域技術(shù)人員可修改本文中所描述的發(fā)明，同時(shí)獲取本發(fā)明的功效。因此，須了解 以上的描述對本領(lǐng)域技術(shù)人員而言為一廣泛的揭示，且其內(nèi)容不在于限制本發(fā)明。請參閱圖1及圖2，是分別顯示本發(fā)明用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射機(jī)1 的俯視圖及側(cè)視圖。在此一較佳實(shí)施例中，本發(fā)明用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射 機(jī)1包括一腔體2，具有一濺射空間3 ；—載具4，設(shè)于該腔體2的濺射空間3內(nèi)；一基板5， 被承載于該載具4上，該載具4用以輸送該基板5 ；至少一傳動裝置6，沿著一濺射路徑設(shè)于 該載具4的側(cè)邊，并且位于該腔體2的濺射空間3內(nèi)；以及一靶材7，連接該傳動裝置6。其中，該靶材7的兩端分別各設(shè)有一外齒輪8，而與該靶材7相連接的傳動裝置6 則設(shè)有內(nèi)齒輪9，使該靶材7的外齒輪8與該傳動裝置6的內(nèi)齒輪9相互嚙合。利用該外 齒輪8與該內(nèi)齒輪9的齒輪傳動原理，使該靶材7與該傳動裝置6產(chǎn)生相對移動，例如該 靶材7可依圖1中a雙箭頭符號所指的方向往復(fù)來回移動。如此，該靶材7便可在該基板 5的表面上水平移動。請繼續(xù)參閱圖1，該腔體2的濺射空間3中的等離子體受到電場作用被激發(fā)，而對該靶材7進(jìn)行離子轟擊，將該靶材7的表面以原子或原子團(tuán)的型式發(fā)射出來，并附著在該基 板5的表面上以形成一鍍膜。當(dāng)欲濺射的基板5設(shè)置于該靶材7的移動行程內(nèi)(圖1中的 A點(diǎn)至B點(diǎn)即為該靶材7的移動行程)，并且在固定不動的情況下，由于該靶材7除了可以 自身旋轉(zhuǎn)外，該靶材7又可依a雙箭頭符號所指的方向移動，以便該靶材7能將材料濺射于 該基板5的表面上，而完成濺射工作。請結(jié)合圖1、圖2參閱圖3，是顯示本發(fā)明用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射 方法的流程圖。本發(fā)明用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射方法包括下列步驟令該載具4設(shè)于該腔體2內(nèi)，其中該腔體2具有該濺射空間3，使該載具4位于該 濺射空間3內(nèi)；令該基板5被承載于該載具4上，其中該載具4用以輸送該基板5 ；令至少一傳動裝置6設(shè)于該載具4的側(cè)邊，并位于該腔體2的濺射空間3內(nèi)，其中 該傳動裝置6具有該內(nèi)齒輪9 ；以及令該靶材7連接該傳動裝置6，該靶材7的兩端分別各設(shè)有一外齒輪8，使該靶材 7的外齒輪8與該傳動裝置6的內(nèi)齒輪9相互嚙合。利用該外齒輪8與該內(nèi)齒輪9的齒輪 傳動原理，使該靶材7與該傳動裝置6產(chǎn)生相對移動。的后，使該靶材7在該基板5的表面 上旋轉(zhuǎn)并水平移動，且使得該靶材7上的材料濺射于該基板5的表面上，以完成濺射工作。本發(fā)明用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射機(jī)的優(yōu)點(diǎn)在于利用上述的低成本 濺射機(jī)及濺射方法，可有效率地于基板表面上形成鍍膜，而此種濺射機(jī)并不需要體積龐大 及冗長行程的載具以輸送基板供靶材濺射，這有助于濺射機(jī)的體積小型化以及降低生產(chǎn)成 本。在詳細(xì)說明本發(fā)明的較佳實(shí)施例的后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可清楚的了解，在不脫離 前述權(quán)利要求書范圍與精神下可進(jìn)行各種變化與改變，且本發(fā)明也不受限于說明書中所舉 實(shí)施例的實(shí)施方式。
權(quán)利要求
一種用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射機(jī)，其特征在于，所述用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射機(jī)包括一腔體，具有一濺射空間；一載具，設(shè)于所述腔體的濺射空間內(nèi)；一基板，被承載于所述載具上，所述載具用以輸送所述基板；至少一傳動裝置，設(shè)于所述載具的側(cè)邊，并且位于所述腔體的濺射空間內(nèi)；以及一靶材，連接所述傳動裝置；所述靶材與所述傳動裝置產(chǎn)生相對移動，致使所述靶材可在所述基板表面上水平移動。
2.如權(quán)利要求1所述的用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射機(jī)，其特征在于，所述 傳動裝置與所述靶材的連接方式是以齒輪嚙合的方式連接。
3.如權(quán)利要求2所述的用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射機(jī)，其特征在于，所述 傳動裝置與所述靶材的連接處分別設(shè)有內(nèi)齒輪與外齒輪。
4.一種用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射方法，其特征在于，所述方法包括 令一載具設(shè)于一具有濺射空間的腔體內(nèi)；令一基板被承載于所述載具上，使所述載具用以輸送所述基板； 令至少一傳動裝置設(shè)于所述載具的側(cè)邊，并位于所述腔體的濺射空間內(nèi)；以及 令一靶材連接所述傳動裝置，所述靶材與所述傳動裝置產(chǎn)生相對移動，致使所述靶材 可在所述基板表面上水平移動。
5.如權(quán)利要求4所述的用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射方法，其特征在于，所 述傳動裝置與所述靶材的連接方式是以齒輪嚙合的方式連接。
6.如權(quán)利要求5所述的用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射方法，其特征在于，所 述傳動裝置與所述靶材的連接處分別設(shè)有內(nèi)齒輪與外齒輪。
全文摘要
本發(fā)明實(shí)施例提供了一種用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射機(jī)及濺射方法，所述濺射機(jī)包括一腔體，具有一濺射空間；一載具，設(shè)于腔體的濺射空間內(nèi)；一基板，被承載于載具上，載具用以輸送基板；至少一傳動裝置，設(shè)于載具的側(cè)邊，并且位于腔體的濺射空間內(nèi)；以及一靶材，連接傳動裝置；靶材與傳動裝置產(chǎn)生相對移動，致使靶材可在基板表面上水平移動。本發(fā)明用于薄膜太陽能電池制造的低成本濺射機(jī)的優(yōu)點(diǎn)在于利用上述的低成本濺射機(jī)及濺射方法，可有效率地于基板表面上形成鍍膜，而此種濺射機(jī)并不需要體積龐大及冗長行程的載具以輸送基板供靶材濺射，這有助于濺射機(jī)的體積小型化以及降低生產(chǎn)成本。
文檔編號C23C14/34GK101931024SQ20091014935
公開日2010年12月29日 申請日期2009年6月18日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月18日
發(fā)明者張一熙, 李冠頡, 李家嫻 申請人:亞洲太陽科技有限公司