專利名稱：：使用取代的酚穩(wěn)定劑改良nbde的加工穩(wěn)定性的制作方法使用取代的酚穩(wěn)定劑改良NBDE的加工穩(wěn)定性相關(guān)申請(qǐng)的交叉參考本公開(kāi)涉及用一種或多種穩(wěn)定劑化合物穩(wěn)定的環(huán)烯烴衍生物以減少或清除此類組合物蒸發(fā)后形成的殘留物，和用此類組合物形成介電膜的方法。0003]半導(dǎo)體工業(yè)需要多種類型薄和厚的膜制備半導(dǎo)體器件，其中許多以硅為基礎(chǔ)。這些膜的元素組成通常是硅和碳與氧、氫和氟的各種組合的一些組合。相關(guān)專利是美國(guó)專利號(hào)6，914,335,Andideh等和美國(guó)專利號(hào)6,846，515,Vrtis等。常用過(guò)程是化學(xué)氣相沉積(CVD),該過(guò)程有多種變化。高容量半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)裝備和流過(guò)裝備的化學(xué)物的純度和穩(wěn)定性具有嚴(yán)格要求。即使痕量的一些污染物也可降低沉積膜的性質(zhì)。期望被輸送通過(guò)化學(xué)線路和蒸發(fā)器設(shè)備的化學(xué)物干凈地轉(zhuǎn)運(yùn)和蒸發(fā)，長(zhǎng)期使用時(shí)留下很少或不留下殘留物。在計(jì)劃或非計(jì)劃維修期(如清除出被聚合殘留物弄臟或阻塞的化學(xué)線路或蒸發(fā)器設(shè)備)之間裝備運(yùn)行越久，工具越多產(chǎn)，成本-效益越高。半導(dǎo)體生產(chǎn)用戶對(duì)清潔和維修時(shí)必須關(guān)閉的沉積工具不感興趣。因此，需要裝備連續(xù)、長(zhǎng)期運(yùn)行。蒸發(fā)器設(shè)備可包括幾種類型的蒸發(fā)裝置，包括但不限于加熱蒸發(fā)器(見(jiàn)美國(guó)專利號(hào)6,604，492、5,882,416、5,835,678及其中文獻(xiàn))、起泡安瓿(bubblerampoule)(見(jiàn)美國(guó)專利號(hào)4,979,545、5,279，338、5,551,309、5,607,002、5,992,830及其中文獻(xiàn))、快速蒸發(fā)器(見(jiàn)美國(guó)專利號(hào)5,536,323及其中文獻(xiàn))和噴霧裝置(見(jiàn)美國(guó)專利號(hào)5,451,260、5，372,754、6,383,555及其中文獻(xiàn))。00091常常難以達(dá)到這些純度和穩(wěn)定性要求。許多材料可能不同程度地氧化、聚合或重排。即使少量此類副產(chǎn)物也可能不利于許多半導(dǎo)體應(yīng)用。圖1是2,5-降水片二烯(NBDE)靜態(tài)的、在室溫下降解的機(jī)制示意圖，使長(zhǎng)度為"n"的低聚物接近一種降解/低聚理論，該理論并非限制性但為本發(fā)明人的理論，得到非揮發(fā)、可溶性殘留物。圖5是在動(dòng)態(tài)流動(dòng)試驗(yàn)時(shí)暴露于新鮮蒸餾、未被穩(wěn)定的NBDE之后的照片，左側(cè)為注射器口，右側(cè)為注射器面板，仍顯示不可接受的固體殘留物。0018圖6是在動(dòng)態(tài)流動(dòng)試驗(yàn)時(shí)，暴露于僅用200ppm4-曱氧基苯酚穩(wěn)定的新鮮蒸餾的NBDE之后的照片，左側(cè)為注射器口，右側(cè)為注射器面板，仍顯示不可接受的固體殘留物。這表示現(xiàn)有技術(shù)。00191圖7是在動(dòng)態(tài)流動(dòng)試驗(yàn)時(shí)，暴露于用1000ppm4-曱M苯酚穩(wěn)定的新鮮蒸餾的NBDE之后的照片，左側(cè)為注射器口，右側(cè)為注射器面板，令人驚奇地顯示沒(méi)有固體殘留物。這表示在注射器中蒸發(fā)的嚴(yán)格動(dòng)態(tài)條件下本發(fā)明在穩(wěn)定劑濃度方面的意外結(jié)果。發(fā)明詳述12環(huán)烯烴是化學(xué)氣相沉積的重要材料，用于形成半導(dǎo)體工業(yè)中的低k介電膜，需要添加劑以被穩(wěn)定。00241用于半導(dǎo)體工業(yè)的化學(xué)物(包括添加劑)通常只限于沸點(diǎn)低于300。C的種類，以確保它們充分揮發(fā)，避免蓄積在注射器中。本公開(kāi)的組合物表現(xiàn)提高的動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性。除了靜態(tài)結(jié)果之外，我們的實(shí)驗(yàn)室測(cè)試顯示在85。c、通過(guò)注射器的DLI時(shí)，NBDE單體降解的速率大于0.5%重量。如公開(kāi)于Teff等的美國(guó)專利申請(qǐng)20070057235，200ppm4MP在遞送前體通過(guò)加熱的蒸發(fā)器和蒸汽線路時(shí)，在85。C的注射器溫度下，不足以提供動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性。00371在本公開(kāi)的一個(gè)實(shí)施方案中，環(huán)烯烴組合物包含a)—種或多種取代或未被取代的環(huán)烯烴，和b)穩(wěn)定劑化合物，其中穩(wěn)定劑化合物是沸點(diǎn)低于265。C的酚類化合物，且濃度大于200ppm，其中R至rS可以各自獨(dú)立;UI,oh,d-C8直鏈、支鏈或環(huán)狀烷基，d-Cs直鏈、支鏈或環(huán)狀烷氧基或者取代或未被取代的芳基，具有式R!,R2,R3,R4，R5(C6)0H三甲氧基硅烷、[2-(3-環(huán)己烯基)乙基]三乙M硅烷、叔丁基環(huán)己烯、對(duì)薄荷-l-烯、水芹烯和萜品油烯。辛-2,5,7-三烯、(雙環(huán)庚烯基)乙基三曱氧基硅烷、六曱基杜瓦苯、雙環(huán)[4.3.0]壬-3,7-二烯、1,4,5,8-四氬萘、2,3-二甲基-l,4,5,8-四氫萘、雙環(huán)[4.3.0]壬-3,7-二烯、雙環(huán)[4丄l]辛-3-烯、雙環(huán)[4.2.0]辛-3-烯、雙環(huán)[4.2.0]辛-2,4-二烯、5-(雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯基)三乙氧基硅烷、雙環(huán)[4.2.0]辛-2,7陽(yáng)二烯、雙環(huán)[4.3.0]壬-3,6-二烯、5-乙烯基-2-降冰片烯和5-亞乙基-2-降冰片烯。辛畫3,7-二烯、1,4-二氫-1,4-甲撐萘和[4.2.2]螺槳烷-2,4,7,9-四烯([4.2.2]propella畫2，4,7,9畫tetraene)。在上述3類優(yōu)選環(huán)烯烴中各自的R實(shí)例包括但不限于甲基、乙基、丙基、異丙基、異丙烯基、丁基、苯基、甲基苯基、三甲基甲硅烷基、環(huán)己基、甲氧基、乙氡基、丙氡基、異丙氧基、異丙烯氧基、丁M、苯M、曱基苯氧基、三曱基甲硅烷M或環(huán)己M^優(yōu)選R實(shí)例包括甲基、異丙基和異丙烯基。用于半導(dǎo)體應(yīng)用時(shí)，最優(yōu)選R是曱基、異丙基和異丙烯基。優(yōu)選環(huán)烯烴包括二戊烯、水芽烯、二環(huán)戊二烯、a-萜品烯、Y-薛品烯、檸檬烯、a蒗烯、3-蒈烯、碎品油烯、降冰片烯、降水片二烯、5-乙烯基-2-降冰片烯和5-亞乙基-2-降冰片烯。最優(yōu)選環(huán)烯烴是二環(huán)戊二烯、a-萜品烯，降冰片烯、降水片二烯、5-乙烯基-2-降冰片烯和5-亞乙基-2-降水片烯。10044]本公開(kāi)的合適酚類穩(wěn)定劑由式(I)描述，前提是沸點(diǎn)低于265。C,J^至RS可以各自獨(dú)立;UH，OH,d-Cs直鏈、支鏈或環(huán)狀烷基，d-Cs直鏈、支鏈或環(huán)狀烷氧基或者取代或未被取代的芳基。R"至R5的合適實(shí)例包括但不限于H、OH、曱基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基、叔丁基、環(huán)己基、甲HJ^、乙氧基、丙氣基、異丙氧基、丁氧基、叔丁氧基、環(huán)己氧基、苯基或曱基苯基。在式(I)中優(yōu)選W至R5實(shí)例包括H、OH、甲基、乙基、甲氧基、乙氧基和叔丁基。最優(yōu)選實(shí)例是H和甲氧基。但是，為了在純化、貯存和運(yùn)輸過(guò)程中維持純度和穩(wěn)定，必須在嚴(yán)格控制的條件下處理本公開(kāi)的環(huán)烯烴和組合物。這些可包括在蒸餾之前將穩(wěn)定劑加入產(chǎn)物接收器內(nèi)，以便產(chǎn)物一旦進(jìn)入產(chǎn)物接收器即可被穩(wěn)定，在干燥、惰性氣氛下進(jìn)行蒸餾，使用前嚴(yán)格清潔和干燥容器，用閉合式填充技.術(shù)防止產(chǎn)物暴露于空氣，在潔凈室中填充以避免灰塵和痕量金屬污染物(可充當(dāng)聚合作用催化劑)，謹(jǐn)慎選擇容器防止暴露于空氣或其它不相容性材料，用含有極低水平氧和水的惰性氣體完成最終的凈化步驟(purgestep)將包裝化學(xué)物的氧和水含量降到最低。0052]通常在不銹鋼容器內(nèi)包裝、運(yùn)輸和貯存半導(dǎo)體工業(yè)的許多化學(xué)前體和前體組合物，使產(chǎn)品質(zhì)量保持最長(zhǎng)時(shí)間。然后將產(chǎn)品容器與化學(xué)遞送裝備連接，該裝備通過(guò)精確控制的設(shè)備(以保持產(chǎn)品純度和一致性以及過(guò)程純度和一致性)將化學(xué)物運(yùn)輸至加工裝備(這里稱為膜沉積工具)。0053]本公開(kāi)的組合物可用于需要環(huán)烯烴的任何合適的化學(xué)氣相沉積過(guò)程。優(yōu)選過(guò)程是用^^硅化合物沉積低介電常數(shù)膜的那些化學(xué)氣相沉積過(guò)程。合適的過(guò)程實(shí)例包括但不限于描述于通過(guò)引用結(jié)合到本文中的美國(guó)專利號(hào)6，815,373、6,596,627、6,756,323、6,541,398、6,479,110、6,846,515和6,583,048的那些過(guò)程。10054本公開(kāi)還涉及用環(huán)烯烴組合物在晶片上形成摻碳氧化硅層的過(guò)程。該過(guò)程包括下列步驟a)提供在容器內(nèi)的環(huán)烯烴組合物，在容器內(nèi)的含硅化合物，膜沉積工具，在所述膜沉積工具內(nèi)的膜沉積室，連接容器與所述膜沉積工具內(nèi)的膜沉積室的設(shè)備，將環(huán)烯烴組合物和含硅化合物吹掃通過(guò)連接設(shè)備、進(jìn)入膜沉積室內(nèi)的栽氣流，和膜沉積工具的膜沉積室內(nèi)的襯底；b)將環(huán)烯烴組合物和含硅化合物的蒸汽引入栽氣流內(nèi)；c)將環(huán)烯烴組合物和^^硅化合物的蒸汽轉(zhuǎn)運(yùn)入膜沉積室內(nèi)；和d)用一個(gè)或多個(gè)能量設(shè)備在襯底上形成摻碳氧化硅膜，其中所述環(huán)烯烴組合物包含1)一種或多種取代或未被取代的環(huán)烯烴，和2)包含至少一種式(I)化合物的穩(wěn)定劑組合物，其中穩(wěn)定劑組合物的濃度大于200ppm，其中I^至RS可以各自獨(dú)立AH，OH,C廣Cs直鏈、支鏈或環(huán)狀烷基，d-Cs直鏈、支鏈或環(huán)狀烷氧基或者取代或未被取代的芳基，前提是穩(wěn)定劑組合物的成分具有低于265。C的沸點(diǎn)。3)適合本公開(kāi)的環(huán)烯烴與上文描述相同。硅烷、曱基二[(三氟曱基)苯基]硅烷、曱基三[(三氟曱基)苯基]硅烷、曱基(五氟苯MO硅烷、甲基二(五氟苯氧基)硅烷、二曱基二(五氟苯氧基)硅烷、曱基[(三氟曱基)苯l^]硅烷、甲基二[(三氟曱基)苯氧基]硅烷、二甲基二[(三氟曱基)苯H^]硅烷、曱基(十一氟環(huán)己基)硅烷、曱基二(十一氟環(huán)己基)硅烷、曱基三(十一氟環(huán)己基)硅烷、二甲基二(十一氟環(huán)己基)硅烷、三曱基(十一環(huán)己基)硅烷、甲基[(三氟曱基)環(huán)己基]硅烷、甲基二[(三氟曱基)環(huán)己基]硅烷、曱基三[(三氟甲基)環(huán)己基]硅烷、二甲基二[(三氟曱基)環(huán)己基]硅烷、三甲基[(三氟曱基)環(huán)己基]硅烷、曱基(十一氟環(huán)己MO硅烷、曱基二(十一氟環(huán)己MO硅烷、曱基三(十一氟環(huán)己氧基)硅烷、二曱基二(十一氟環(huán)己MO硅烷、曱基[(三氟曱基)環(huán)己氧基]硅烷、曱基二[(三氟甲基)環(huán)己M^]硅烷、曱基三[(三氟曱基)環(huán)己氧基]硅烷、二甲基二[(三氟曱基)環(huán)己M^]硅烷、六曱基二硅氧烷、八曱基三硅氧烷、八(三氟甲基)三硅氧烷、三甲基三硅氧烷、二乙基三曱基三硅氧烷、三甲基環(huán)三硅氧烷、四曱基環(huán)四硅氧烷、五曱基環(huán)五硅氧烷、四乙基環(huán)四硅氧烷、五乙基環(huán)五硅氧烷、六曱基環(huán)三硅氧烷、八甲基環(huán)四硅氧烷、十甲基環(huán)五硅氧烷、乙烯基曱基二乙氧基硅烷、乙烯基甲基二甲M硅烷、三甲基曱硅烷基乙炔、二(三曱基甲硅烷基)乙炔、六(三氟甲基)二硅氧烷、八(三氟曱基)三硅氧烷、三(三氟甲基)三硅氧烷、三(三氟曱基)環(huán)三硅氧烷、四(三氟曱基)環(huán)四硅氧烷、八(三氟甲基)環(huán)四硅氧烷及其混合物。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，不同沉積工具，化學(xué)蒸汽過(guò)程線路(5)與沉積過(guò)程室(4)之間的連接可以不同，取決于加工要求。例如，設(shè)計(jì)可包括影響混合、加熱、冷卻或系統(tǒng)內(nèi)氣體分布的各種裝置。這些可包括具有混合氣體的擋板的裝置，加熱氣體的加熱區(qū)，冷卻氣體的冷卻區(qū)，讓壓力平衡的室，或者在晶片表面上分布?xì)怏w的花灑頭。由于市場(chǎng)上購(gòu)買到的設(shè)計(jì)的復(fù)雜性及其多樣性都以工藝的實(shí)際需要為基礎(chǔ)，所以這里只描述一般情況下的選擇。00621在我們的一般實(shí)施例中，由流過(guò)蒸發(fā)器設(shè)備的氣流將前體蒸汽通過(guò)化學(xué)蒸汽過(guò)程線路轉(zhuǎn)運(yùn)至沉積室的襯底。通常將流速約每分鐘5標(biāo)準(zhǔn)立方厘米(sccm)至約10，000sccm的氣流加熱，以促使前體蒸發(fā)，幫助前體保持氣相。所用氣體可以是惰性氣體，如氮?dú)?、氦氣或氬氣，?duì)其的選擇僅為充當(dāng)將前體蒸汽轉(zhuǎn)運(yùn)至村底的方式，或者可以是活性氣體，如氧氣、臭氧、氨氣、氧化亞氮、二氧化碳、一氧化碳、SiFx、硅烷、四氟化硅、肼等以促進(jìn)沉積過(guò)程。如實(shí)施例1描述快速蒸餾NBDE樣品以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將約150-200g蒸餾NBDE裝入如實(shí)施例l所述清潔、稱皮重的起泡器內(nèi)。將起泡器置入烘箱內(nèi)，在80。C靜置7天。本研究選擇80。C的溫度有2種原因(1)在80。C7天意欲才莫擬如果讓樣品在環(huán)境溫度下老化1年將發(fā)生的降解量，假定降解速率遵循溫度每上升10。C即倍增的筒單Arrhenius型行為；和(2)80。C是在混合缽和/或化學(xué)氣相沉積硬件中的沉積室之前，用于蒸發(fā)前體的加熱歧管的常用溫度。7天后從80。C烘箱中取出石英起泡器。^^泡器保持在35。C,同時(shí)用3SLPMHe吹掃6小時(shí)。此時(shí)起泡器溫度上升至80。C，將起泡器抽真空2.0小時(shí)以獲得穩(wěn)定重量。在抽真空步驟后記錄起泡器的最終重量以確定非揮發(fā)性殘留物的重量。將本實(shí)驗(yàn)重復(fù)總計(jì)6次，因?yàn)閷⑵溆米髟u(píng)估各種穩(wěn)定劑的"對(duì)照"。這些實(shí)驗(yàn)的平均非揮發(fā)性殘留物是4.33wt.%。表l概括實(shí)驗(yàn)結(jié)果。實(shí)施例4未被穩(wěn)定、加速老化的NBDE的流動(dòng)試驗(yàn)00711新鮮蒸餾100克NBDE。然后將液體在8(TC加熱1周(加速老化)以模擬在室溫下l年?；趯?shí)施例3的結(jié)果計(jì)，預(yù)計(jì)非揮發(fā)性低聚物濃度為約4wt%,機(jī)制如圖l顯示。在惰性氣氛下將液體轉(zhuǎn)運(yùn)至AirProductsChemguard液體容納系統(tǒng)內(nèi)。用具有HoribaSTEC2410蒸汽注射器的應(yīng)用材料Precision5000平臺(tái)(appliedmaterialPrecision5000platform)進(jìn)行動(dòng)態(tài)流動(dòng)試驗(yàn)。將注射器溫度設(shè)定為7(TC。用壓力為30psi的氦氣將液體推向蒸汽注射器。用另外200sccm氦氣作為穿過(guò)注射器面的惰性載體。將下游室壓設(shè)定為8托。液體流速為1000mg/min。完成流動(dòng)試驗(yàn)后，檢查注射器的殘留物。發(fā)現(xiàn)注射器面上和出口內(nèi)均有明顯的固體物質(zhì)，如圖4顯示。相比之下，新的注射器面板和出口顯示于圖3，其中沒(méi)有殘留物存在。測(cè)定積聚的殘留物>2^1%。這比靜態(tài)試驗(yàn)的預(yù)測(cè)略低，可能是由于在蒸汽線路和遞送系統(tǒng)中丟失一些粉狀殘留物。實(shí)施例5未4皮穩(wěn)定、新鮮蒸餾的NBDE的流動(dòng)試驗(yàn)0072新鮮蒸餾100克NBDE。預(yù)計(jì)非揮發(fā)性低聚物濃度為O。在惰性氣氛下將液體轉(zhuǎn)運(yùn)至AirProductsChemguard液體容納系統(tǒng)內(nèi)。用具有HoribaSTEC2410蒸汽注射器的應(yīng)用材料Precision5000平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)流動(dòng)試驗(yàn)。將注射器溫度設(shè)定為80。C。用壓力為30psi的氦氣將液體推向蒸汽注射器。用另外400sccm氦氣作為穿過(guò)注射器面的惰性栽體。將下游室壓設(shè)定為IO托。液體流速為1800mg/min。流動(dòng)周期為啟動(dòng)3分鐘，停止2分鐘，以才莫擬生產(chǎn)條件。因?yàn)樵谡舭l(fā)之前沒(méi)有非揮發(fā)性殘留物，所以預(yù)計(jì)形成的任何殘留物是在注射器原位產(chǎn)生，符合圖2顯示的機(jī)制。完成流動(dòng)試驗(yàn)后，檢查注射器的殘留物。發(fā)現(xiàn)注射器面上和出口內(nèi)均有明顯的固體物質(zhì)，如圖5顯示。發(fā)現(xiàn)積聚物重量〉0.5wt。/。。這大于靜態(tài)試驗(yàn)的0.05%的預(yù)測(cè)值，提示在通過(guò)蒸發(fā)器系統(tǒng)遞送和使用時(shí)由于動(dòng)態(tài)機(jī)制而形成另外的殘留物。實(shí)施例6在9(TC注射器溫度用200ppm4MP穩(wěn)定的NBDE的流動(dòng)試驗(yàn)[0073新鮮蒸餾100克NBDE，加入200ppm4MP。預(yù)計(jì)在蒸餾后非揮發(fā)性低聚物濃度為O。在惰性氣氛下將液體轉(zhuǎn)運(yùn)至AirProductsChemguard液體容納系統(tǒng)內(nèi)。用具有HoribaSTEC2410蒸汽注射器的應(yīng)用材料Precision5000平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)流動(dòng)試驗(yàn)。將注射器溫度設(shè)定為90°C。用壓力為30psi的氦氣將液體推向蒸汽注射器。用另外400sccm氦氣作為穿過(guò)注射器面的惰性載體。將下游室壓設(shè)定為IO托。液體流速為1800mg/min。流動(dòng)周期為啟動(dòng)3分鐘，停止2分鐘，以模擬生產(chǎn)條件。完成流動(dòng)試驗(yàn)后，檢查注射器的殘留物。發(fā)現(xiàn)注射器面板上有少量殘留物，注射器口上有殘留物涂層，如圖6顯示。結(jié)果概括于表l。估計(jì)殘留物重量>0.5wt%。因此200ppm水平可能不足以維持動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性。實(shí)施例7在9(TC注射器溫度用1000ppm4MP穩(wěn)定的NBDE的流動(dòng)試驗(yàn)[00741新鮮蒸餾100克NBDE，加入IOOOppm4MP。預(yù)計(jì)在蒸餾后非揮發(fā)性低聚物濃度為O。在惰性氣氛下將液體轉(zhuǎn)運(yùn)至AirProductsChemguard液體容納系統(tǒng)內(nèi)。用具有HoribaSTEC2410蒸汽注射器的應(yīng)用材料Precision5000平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)流動(dòng)試驗(yàn)。將注射器溫度設(shè)定為90。C。用壓力為30psi的氦氣將液體推向蒸汽注射器。用另外400sccm氦氣作為穿過(guò)注射器面的惰性載體。將下游室壓設(shè)定為IO托。液體流速為1800mg/min。流動(dòng)周期為啟動(dòng)3分鐘，停止2分鐘，以模擬生產(chǎn)條件。完成流動(dòng)試驗(yàn)后，檢查注射器的殘留物。發(fā)現(xiàn)注射器非常千凈，估計(jì)積聚物<0.1wt%,如圖7顯示。結(jié)果概括于表l。雖然在靜態(tài)條件下200與1000ppm4MP之間沒(méi)有明顯差異，但用模擬動(dòng)態(tài)條件的流動(dòng)試驗(yàn)可發(fā)現(xiàn)存在的影響。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table>權(quán)利要求1.一種穩(wěn)定的環(huán)烯烴組合物，所述組合物包含一種或多種環(huán)烯烴，和至少一種式(I)穩(wěn)定劑化合物，式(I)R1，R2，R3，R4，R5(C6)OH其中R1至R5可以各自獨(dú)立是H，OH，C1-C8直鏈、支鏈或環(huán)狀烷基，C1-C8直鏈、支鏈或環(huán)狀烷氧基或者取代或未被取代的芳基；且其中所述穩(wěn)定劑化合物的量為200ppm以上-20,000ppm，其中所述穩(wěn)定劑化合物具有低于265℃的沸點(diǎn)。2.權(quán)利要求l的組合物，其中所述穩(wěn)定劑化合物是至少一種選自下列的化合物苯酚、4-曱基苯酚、3-曱基苯酚、2-曱基苯酚、4-乙基苯酚、4-丙基苯酚、4-異丙基苯酚、4-丁基苯酚、4-仲丁基苯酚、4-異丁基苯酚、4-叔丁基苯酚、4-曱氧基苯酚、3-曱氧基苯酚、2-曱氧基苯酚、4-乙氧基苯酚、2-(l-甲基丁基)苯酚、2-叔丁基-6-甲基苯酚、1,2-二羥基苯及其混合物。3.權(quán)利要求2的組合物，其中所述穩(wěn)定劑化合物是4-曱氧基苯酚。4.權(quán)利要求l的組合物，其中穩(wěn)定劑化合物的量為500ppm-約10,000ppm。5.權(quán)利要求l的組合物，其中穩(wěn)定劑化合物的量為1000ppm-5000ppm。6.權(quán)利要求l的組合物，其中穩(wěn)定劑化合物的量為3000ppm-5000ppm。7.權(quán)利要求l的組合物，其中所述環(huán)烯烴具有通式CnH^2x-yRy，其中n是整數(shù)4-18，x是整數(shù)且其中l(wèi)^xSn/2,y是整數(shù)且其中0Sy<2n-2x，R是至少一種選自下列的成分d-C18直鏈、支鏈、不飽和或環(huán)狀烷基，d-ds直鏈、支鏈、不飽和或環(huán)狀烷氧基，取代或未^皮取代的芳基，或者含纟皮取代硅的取代基。8.權(quán)利要求l的組合物，其中所述環(huán)烯烽具有通式CnH2n^+2^Ry,其中n是整數(shù)5-18，x是整數(shù)且其中x^n/2，y是整數(shù)且其中0SyS2n-(2x+2),R是至少一種選自下列的成分C廣ds直鏈、支鏈、不飽和或環(huán)狀烷基，d-ds直鏈、支鏈、不飽和或環(huán)狀烷氧基，取代或未^皮取代的芳基，或者含纟皮取代硅的取代基。9.權(quán)利要求l的組合物，其中所述環(huán)烯烴具有通式CnH2n《2x+2)^Ry,其中n是整數(shù)7-18，x是整數(shù)且其中x^n/2,y是整數(shù)且其中0^y<2n-(2x+4),R是至少一種選自下列的成分C廣C!8直鏈、支鏈、不飽和或環(huán)狀烷基，d-Qs直鏈、支鏈、不飽和或環(huán)狀烷氧基，取代或未^皮取代的芳基，或者含被取代硅的取代基。10.權(quán)利要求l的組合物，其中所述環(huán)烯烴是至少一種選自下列的化合物二戊烯、水芽烯、二環(huán)戊二烯、a-萜品烯、，萜品烯、檸檬烯、a蒎烯、3-蒈烯、萜品油烯、降冰片烯、降水片二烯、5-乙烯基-2-降冰片烯和5-亞乙基-2-降冰片烯。11.權(quán)利要求l的組合物，其中所述環(huán)烯烴是至少一種選自下列的化合物二戊烯、水芽烯、二環(huán)戊二烯、a-萜品烯、，萜品烯、檸檬烯、a蒎烯、3-蒈烯、萜品油烯、降冰片烯、降冰片二烯、5-乙烯基-2-降冰片烯和5-亞乙基-2-降冰片烯，其中所述穩(wěn)定劑化合物是4-曱M12.權(quán)利要求l的組合物，其中使用兩種或多種式(I)的穩(wěn)定劑化合物，式(I)!^,R2,R3,R4，R5(C6)0H其中W至RS可以各自獨(dú)立是H，OH，d-Cg直鏈、支鏈或環(huán)狀烷基，d-Cs直鏈、支鏈或環(huán)狀烷氧基或者取代或未被取代的芳基；且其中至少一種穩(wěn)定劑化合物的量為200ppm以上-20,000ppm。13.權(quán)利要求l的組合物，所述組合物具有選自硝?；?、取代的硝酰基類、二苯曱酮、取代的,二苯曱酮及其混合物的第二種穩(wěn)定劑化合物。14.權(quán)利要求l的組合物，其中將組合物包舍在具有至少一種選自氦氣、氮?dú)狻⒛蕷?、氬氣、氪氣、氙氣、二氧化碳及其混合物的氣體的包裝內(nèi)。15.—種穩(wěn)定環(huán)烯烴的方法，包括將至少一種式(I)的穩(wěn)定劑化合物加入所述環(huán)烯烴內(nèi)，式(I)R',R2,R3，R4,R5(C6)0H其中Ri至RS可以各自獨(dú)立是H，OH,C廣Cs直鏈、支鏈或環(huán)狀烷基，d-Cs直鏈、支鏈或環(huán)狀烷氧基或者取代或未被取代的芳基，其中穩(wěn)定劑化合物的量為200ppm以上-20,000ppm,其中所述穩(wěn)定劑化合物具有低于265°C的沸點(diǎn)。16.權(quán)利要求15的方法，其中所述穩(wěn)定劑化合物是至少一種選自下列的化合物苯酚、4-曱基苯酚、3-曱基苯酚、2-曱基苯酚、4-乙基苯酚、4-丙基苯酚、4-異丙基苯酚、4-丁基苯酚、4-仲丁基苯酚、4-異丁基苯酚、4-叔丁基苯酚、4-曱氧基苯酚、3-甲氧基苯酚、2-曱氧基苯酚、4-乙氧基苯酚、2-(l-甲基丁基)苯酚、2-叔丁基-6-甲基苯酚、1,2-二羥基苯及其混合物。17.權(quán)利要求16的方法，其中穩(wěn)定劑化合物是4-甲氧基苯酚。18.權(quán)利要求15的方法，其中所述環(huán)烯烴具有通式CnH^2x-yRy，其中n是整數(shù)4-18，x是整數(shù)且其中l(wèi)SxSn/2，y是整數(shù)且其中05y￡2n-2x,R是至少一種選自下列的成分C廣ds直鏈、支鏈、不飽和或環(huán)狀烷基，d-ds直鏈、支鏈、不飽和或環(huán)狀烷氧基，取代或未被取代的芳基，或者含被取代硅的取代基。19.權(quán)利要求15的方法，其中所述環(huán)烯烴具有通式CnH2n《2x+2VyRy,其中n是整數(shù)5-18，x是整數(shù)且其中x^n/2，y是整數(shù)且其中0Sy《n-(2x+2)，R是至少一種選自下列的成分Q-ds直鏈、支鏈、不飽和或環(huán)狀烷基，Crds直鏈、支鏈、不飽和或環(huán)狀烷氧基，取代或未被取代的芳基，或者含被取代硅的取代基。20.權(quán)利要求15的方法，其中所述環(huán)烯烴具有通式CnH2m2x+2VyRy，其中n是整數(shù)7-18，x是整數(shù)且其中xSn/2,y是整數(shù)且其中0^y^2n-(2x+4)，R是至少一種選自下列的成分C廣ds直鏈、支鏈、不飽和或環(huán)狀烷基，Crds直鏈、支鏈、不飽和或環(huán)狀烷氡基，取代或未^L取代的芳基，或者含被取代硅的取代基。21.權(quán)利要求15的方法，其中所述環(huán)烯烴是至少一種選自下列的化合物二戊烯、水芹烯、二環(huán)戊二烯、a-萜品烯、，萜品烯、檸檬烯、a蒎烯、3-蒈烯、萜品油烯、降水片烯、降水片二烯、5-乙烯基-2-降水片烯、5-亞乙基-2-降水片烯及其混合物。22.權(quán)利要求15的方法，其中所述環(huán)烯烴是至少一種選自下列的化合物二戊烯、水芽烯、二環(huán)戊二烯、a-萜品烯、？萜品烯、檸檬烯、a蒎烯、3-蒈烯、萜品油烯、降冰片烯、降水片二烯、5-乙烯基-2-降水片烯和5-亞乙基-2-降水片烯，其中所述穩(wěn)定劑化合物是4-甲lL^苯酚。23.權(quán)利要求15的方法，其中穩(wěn)定劑化合物的范圍是500-10,000ppm。24.權(quán)利要求15的方法，其中穩(wěn)定劑化合物的范圍是1000-5000ppm。25.權(quán)利要求15的方法，其中穩(wěn)定劑化合物的范圍是3000-5000ppm。26.—種在襯底上形成摻碳氧化硅層的方法，所述方法包括下列步驟提供環(huán)烯烴組合物、含硅化合物和村底；和在襯底上形成摻碳氧化硅層，其中所述環(huán)烯烴組合物包含一種或多種環(huán)烯烴；和至少一種式(I)的穩(wěn)定劑化合物式(I)R、R2,R3,R4,R5(C6)0H其中W至RS可以各自獨(dú)立是H，OH,CrCs直鏈、支鏈或環(huán)狀烷基，d-Cs直鏈、支鏈或環(huán)狀烷氡基或者取代或未被取代的芳基，且其中穩(wěn)定劑化合物的濃度為200ppm以上-20,000ppm，且其中所述穩(wěn)定劑化合物具有低于265°C的沸點(diǎn)。27.權(quán)利要求26的方法，還包括下列步驟提供在第一個(gè)容器內(nèi)的所述環(huán)烯烴組合物，在第二個(gè)容器內(nèi)的所述含硅化合物，膜沉積工具，在所述膜沉積工具內(nèi)的膜沉積室，將所述環(huán)烯烴組合物和所述含硅化合物吹掃通過(guò)連接設(shè)備、進(jìn)入膜沉積室內(nèi)的載氣流，其中所述襯底位于所述膜沉積工具的所述膜沉積室內(nèi)；使所述第一個(gè)和第二個(gè)容器與所述膜沉積工具中的所述膜沉積室連接；將所述環(huán)烯烴組合物和所述含硅化合物的蒸汽引入所述載氣流內(nèi)；和膜沉積室內(nèi)。28.權(quán)利要求27的方法，其中所述環(huán)烯烴具有通式CnH2n-(2x+2》yRy,其中n是整數(shù)4-18，x是整數(shù)且其中l(wèi)^xSn/2,y是整數(shù)且其中0Sy<2n-2x，R是至少一種選自下列的成分d-C化直鏈、支鏈、不飽和或環(huán)狀烷基，Crds直鏈、支鏈、不飽和或環(huán)狀烷氡基，取代或未被取代的芳基，或者含被取代硅的取代基。29.權(quán)利要求27的方法，其中所述環(huán)烯烴具有通式CnH2n-(2x+2yyRy，其中n是整數(shù)5-18,x是整數(shù)且其中x^n/2,y是整數(shù)且其中0SyS2n-(2x+2)，R是至少一種選自下列的成分d-ds直鏈、支鏈、不飽和或環(huán)狀烷基，d-ds直鏈、支鏈、不飽和或環(huán)狀烷氧基，取代或未被取代的芳基，或者含被取代硅的取代基。30.權(quán)利要求27的方法，其中所述環(huán)烯經(jīng)具有通式CnH2n-(2x+2hRy，其中n是整數(shù)7-18,x是整數(shù)且其中x^n/2，y是整數(shù)且其中0Sy$2n-(2x+4)，R是至少一種選自下列的成分C廣C!8直鏈、支鏈、不飽和或環(huán)狀烷基，d-ds直鏈、支鏈、不飽和或環(huán)狀烷氡基，取代或未被取代的芳基，或者含被取代硅的取代基。31.權(quán)利要求27的方法，其中所述環(huán)烯烴是至少一種選自下列的化合物二戊烯、水芽烯、二環(huán)戊二烯、a-萜品烯、y-萜品烯、檸檬烯、a蒗烯、3-昏烯、萜品油烯、降冰片烯、降水片二烯、5-乙烯基-2-降冰片烯、5-亞乙基-2-降冰片烯及其混合物。32.權(quán)利要求27的方法，其中所述穩(wěn)定劑化合物是至少一種選自下列的化合物苯酚、4-甲基苯酚、3-甲基苯酚、2-曱基苯酚、4-乙基苯酚、4-丙基苯酚、4-異丙基苯酚、4-丁基苯酚、4-仲丁基苯酚、4-異丁基苯酚、4-叔丁基苯酚、4-曱氧基苯酚、3-甲氧基苯酚、2-甲氧基苯酚、4-乙氧基苯酚、2-(l-甲基丁基)苯酚、2-叔丁基-6-曱基苯酚、1,2-二羥基苯、2,4-二叔丁基苯酚、2,6-二叔丁基-4-曱基苯酚(BHT)、1,3-二羥基苯、氫醌、2-(芐氧基)苯酚、3,4,5-三甲氧基苯酚、3-乙^&-4-甲基苯酚、4-千氧基苯酚、4-卡基-2,6-二叔丁基苯酚、2-(2-丁烯基)苯酚、4-丙氧基苯酚、4-丁氧基苯酚、2-(4-甲基芐基)苯酚、2,4，6-三芐氧基苯酚、2,4-二環(huán)己基-5-甲基苯酚、6-叔丁基-l,2-二羥基苯及其混合物。33.權(quán)利要求32的方法，其中所述穩(wěn)定劑化合物是4-曱氧基苯酚。34.權(quán)利要求27的方法，其中所述環(huán)烯烴是至少一種選自下列的化合物二戊烯、水芽烯、二環(huán)戊二烯、a-萜品烯、Y-萜品烯、4寧檬烯、a蒎烯、3-蒈烯、萜品油烯、降冰片烯、降水片二烯、5-乙烯基-2-降冰片烯和5-亞乙基-2-降冰片烯，其中所述穩(wěn)定劑化合物是4-曱氧基苯酚。35.權(quán)利要求34的組合物，其中穩(wěn)定劑化合物的范圍是500-10,000ppm。36.權(quán)利要求34的組合物，其中穩(wěn)定劑化合物的范圍是1000-5000ppm。37.權(quán)利要求34的組合物，其中穩(wěn)定劑化合物的范圍是3000-5000ppm。全文摘要本發(fā)明涉及使用取代的酚穩(wěn)定劑改良NBDE的加工穩(wěn)定性。一種穩(wěn)定的環(huán)烯烴組合物，所述組合物包含一種或多種環(huán)烯烴，和至少一種具有式(I)的穩(wěn)定劑化合物，式(I)R¹，R²，R³，R⁴，R⁵(C₆)OH，其中R¹至R⁵可以各自獨(dú)立是H，OH，C₁-C₈直鏈、支鏈或環(huán)狀烷基，C₁-C₈直鏈、支鏈或環(huán)狀烷氧基或者取代或未被取代的芳基，其中穩(wěn)定劑化合物的量為200ppm以上-20,000ppm，具有低于265℃的沸點(diǎn)。一種用穩(wěn)定的烯烴組合物和含硅化合物在襯底上形成摻碳氧化硅層的方法。文檔編號(hào)C23C16/30GK101591772SQ20091014884公開(kāi)日2009年12月2日申請(qǐng)日期2009年5月27日優(yōu)先權(quán)日2008年5月28日發(fā)明者D·西納托雷,M·K·哈斯,M·L·奧尼爾,S·G·梅厄加申請(qǐng)人:氣體產(chǎn)品與化學(xué)公司