專利名稱：Pecvd設(shè)備上料及下料端的輸送臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽電池生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種PECVD設(shè)備上 料及下料端的輸送臺。
背景技術(shù)：
目前我們的電池生產(chǎn)線PECVD部分對石墨條的損耗以及設(shè)備卡框破片的 現(xiàn)象比較嚴(yán)重?？v觀目前PECVD設(shè)備的機(jī)臺的上料端和下料端的輸送臺，如


圖1所示，在總長80cm的輸送臺共有4組2對的輪子負(fù)責(zé)帶動石墨框進(jìn)入反 應(yīng)腔內(nèi)，這樣同側(cè)的輸送主動輪之間的距離就有25cm，距離過大就直接導(dǎo)致 帶動石墨框時(shí)，輪子對石墨條的摩擦力會變大以及運(yùn)行中稍有不平穩(wěn)會直接 引起石墨框在腔體里發(fā)生卡框。石墨框在進(jìn)框體時(shí)因不平穩(wěn)而發(fā)生抖動，直 接會導(dǎo)致石墨條的松動以及損壞，甚至整個(gè)石墨框卡在反應(yīng)腔體內(nèi)，使石墨 框上的硅片產(chǎn)生破片。同時(shí)現(xiàn)在石墨框的價(jià)格不斷上漲。
實(shí)用新型內(nèi)容
為了克服原有設(shè)備容易損壞放置硅片的石墨框的不足，本實(shí)用新型提供 一種使石墨框更加穩(wěn)定地移動進(jìn)入反應(yīng)腔的PECVD設(shè)備上料及下料端的輸送
臺o
本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是 一種PECVD設(shè)備上料
及下料端的輸送臺，具有石墨框輸送主動輪，輸送主動輪之間設(shè)置至少一個(gè) 惰輪，組成惰輪單元。這些惰輪給石墨框更多的支撐點(diǎn)，在增加石墨框運(yùn)行 的平穩(wěn)性外，輪子對石墨條的摩擦也會更小，增加石墨條的使用壽命。
為了避免對PECVD設(shè)備機(jī)臺原有結(jié)構(gòu)的破壞，惰輪單元中的每個(gè)惰輪通過獨(dú)立的支架安裝在輸送臺上。
為了解決因?yàn)槭虻氖珬l底部凹凸不平吃不上力而使石墨框在惰輪 上打滑的現(xiàn)象，惰輪通過彈簧調(diào)節(jié)器安裝支架上，使惰輪和石墨條底部充分 接觸。
為了使惰輪在工作是更加穩(wěn)定，惰輪單元中的相鄰的惰輪支架彼此固定， 成為一個(gè)整體。
本實(shí)用新型的有益效果是，在同一段空間里增加了足夠多的支撐點(diǎn)使得 石墨框在運(yùn)行中更加平穩(wěn)，避免了因?yàn)槭蚨秳佣膲氖珬l，石墨條的 壽命增加，同時(shí)石墨框的卡框現(xiàn)象減少，硅片的破片率下降，在實(shí)際生產(chǎn)中
安裝好惰輪后破片率下降了 0. 16%。以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。
圖1是原來的PECVD設(shè)備上料及下料端的輸送臺的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是本實(shí)用新型的惰輪的安裝結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中l(wèi).石墨框輸送主動輪，2.惰輪，3.支架，4.彈簧調(diào)節(jié)器，5.石墨框。
具體實(shí)施方式
如圖2和3中所示， 一種PECVD設(shè)備上料及下料端的輸送臺，具有石墨 框輸送主動輪1，輸送主動輪1之間設(shè)置至少一個(gè)惰輪2，組成惰輪單元，在 本實(shí)施例中除了靠緊反應(yīng)腔處設(shè)置三個(gè)惰輪2，其他的石墨框輸送主動輪1 之間設(shè)置四個(gè)惰輪2。惰輪單元中的每個(gè)惰輪2通過獨(dú)立的支架3安裝在輸 送臺上，支架3成L型，方便安裝。惰輪2以及支架3都是不銹鋼制成的，不會因?yàn)槭?溫度過高而受影響，惰輪2的高度會和原有的石墨框輸送 主動輪l的高度一致，確保石墨框5在上面的平穩(wěn)。惰輪2通過彈簧調(diào)節(jié)器 4安裝支架3上，使惰輪2和石墨框5底部充分接觸。惰輪單元中的相鄰的 惰輪2的支架3彼此固定，成為一個(gè)整體。
權(quán)利要求1、一種PECVD設(shè)備上料及下料端的輸送臺，具有石墨框輸送主動輪(1)，其特征是所述的輸送主動輪(1)之間設(shè)置至少一個(gè)惰輪(2)，組成惰輪單元。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的PECVD設(shè)備上料及下料端的輸送臺，其特征是 所述的惰輪單元中的每個(gè)惰輪(2)通過獨(dú)立的支架(3)安裝在輸送臺上。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的PECVD設(shè)備上料及下料端的輸送臺，其特征是 所述的惰輪(2)通過彈簧調(diào)節(jié)器(4)安裝支架(3)上。
4、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的PECVD設(shè)備上料及下料端的輸送臺，其特征是-所述的惰輪單元中的相鄰的惰輪(2)的支架(3)彼此固定，成為一個(gè)整體。
專利摘要本實(shí)用新型涉及太陽電池生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種PECVD設(shè)備上料及下料端的輸送臺，具有石墨框輸送主動輪，輸送主動輪之間設(shè)置至少一個(gè)惰輪，組成惰輪單元。這些惰輪給石墨框更多的支撐點(diǎn)，在增加石墨框運(yùn)行的平穩(wěn)性外，輪子對石墨條的摩擦也會更小，增加石墨條的使用壽命。
文檔編號C23C16/44GK201258359SQ20082016020
公開日2009年6月17日 申請日期2008年9月12日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月12日
發(fā)明者寅 沈, 王仁杰 申請人:常州天合光能有限公司