專利名稱：鍍膜修正板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及鍍膜裝置，尤其涉及一種鍍膜修正板。
背景技術(shù)：
由于利用薄膜制程技術(shù)所生產(chǎn)的半導(dǎo)體產(chǎn)品和精密機(jī)械產(chǎn)品具有較高的品質(zhì)及較好的性能，因此，薄膜制程技術(shù)被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)及精密機(jī)械，并獲得了迅速的發(fā)展。
一般地，鍍膜方法主要包括離子鍍膜法、射頻磁控濺鍍、真空蒸發(fā)法、化學(xué)氣相沉積法等。Ichiki， M.等人在2003年5月發(fā)表于2003 Symposium on Design, Test, Integrationand Packaging of MEMS/MOEMS的論文Thin film formation-a fabrication on non-planarsurface by spray coating method中介紹了通過噴涂在非平面形成薄膜的方法。
對(duì)待鍍膜產(chǎn)品的鍍膜過程可通過鍍膜機(jī)實(shí)現(xiàn)。鍍膜倉(cāng)是鍍膜機(jī)中對(duì)待鍍膜產(chǎn)品進(jìn)行鍍膜的最重要機(jī)構(gòu)。鍍膜倉(cāng)包括支撐架、電子槍及修正板。所述支撐架用于承載多個(gè)待鍍膜產(chǎn)品。所述電子槍用于發(fā)射電子束。所述修正板安裝于支撐架，用于調(diào)整待鍍膜產(chǎn)品的鍍膜厚度以及鍍膜區(qū)域，其對(duì)于不同的待鍍膜產(chǎn)品和鍍膜條件具有不同的形狀和結(jié)構(gòu)?，F(xiàn)有技術(shù)中，由于修正板具有固定的形狀和結(jié)構(gòu)，因此， 一旦改變了鍍膜倉(cāng)中的待鍍膜產(chǎn)品，就需要另行制造、安裝修正板，如此不但提高了生產(chǎn)成本，而且降低了生產(chǎn)效率，不利于工業(yè)生產(chǎn)的進(jìn)行。
因此，有必要提供一種可根據(jù)待鍍膜產(chǎn)品及鍍膜條件調(diào)整形狀的鍍膜修正板。

發(fā)明內(nèi)容
以下將以實(shí)施例說明 一種可調(diào)整形狀的鍍膜修正板。
一種鍍膜修正板，包括至少一個(gè)修正片，所述修正片至少包括第一擋片及第二擋片，所述第一擋片和第二擋片的形狀、尺寸相配合，所述第一擋片具有滑槽，用于使第二擋片設(shè)于滑槽中相對(duì)于第一擋片滑動(dòng)，從而改變鍍膜修正板的形狀。
本技術(shù)方案的鍍膜修正板包括可以相互滑動(dòng)的第一擋片和第二擋片，可以根據(jù)待鍍物品的鍍膜要求使得第一擋片和第二擋片相互滑動(dòng)從而調(diào)整、改變鍍膜修正板的形狀和對(duì)待鍍物品的遮擋面積，因此，本技術(shù)方案的鍍膜修正板可在不同待鍍物品的不同鍍膜要求下使用。


圖l是本技術(shù)方案第一實(shí)施例提供的鍍膜修正板的分解圖。
4圖2是本技術(shù)方案第一實(shí)施例提供的鍍膜修正板具有較小遮蔽面積時(shí)的示意圖。圖3是本技術(shù)方案第一實(shí)施例提供的鍍膜修正板具有較大遮蔽面積時(shí)的示意圖。圖4是本技術(shù)方案第一實(shí)施例提供的鍍膜修正板設(shè)置了止滑件的示意圖。圖5是本技術(shù)方案第二實(shí)施例提供的鍍膜修正板的分解圖。
圖6是本技術(shù)方案第二實(shí)施例提供的鍍膜修正板具有較小遮蔽面積時(shí)的示意圖。圖7是本技術(shù)方案第二實(shí)施例提供的鍍膜修正板具有較大遮蔽面積時(shí)的示意圖。圖8是本技術(shù)方案第二實(shí)施例提供的修正片與固定件之間具有一定安裝角度的示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本技術(shù)方案提供的鍍膜修正板作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。請(qǐng)參閱圖l，本技術(shù)方案第一實(shí)施例提供的鍍膜修正板10包括一個(gè)修正片100，所述修正片100包括第一擋片110及第二擋片120。所述第一擋片110和第二擋片120可相互滑動(dòng)，從而改變鍍膜修正板10的形狀。
所述第一擋片110及第二擋片120的形狀、尺寸相互配合。第一擋片110和第二擋片120可以為方形、橢圓形、扇葉形或其他不規(guī)則形狀。本實(shí)施例中，第一擋片110為沿軸線AA'左右對(duì)稱的扇葉形片體，其具有第一側(cè)邊1101、第二側(cè)邊1102、第三側(cè)邊1103及第四側(cè)邊1104。第一側(cè)邊1101和第二側(cè)邊1102平行相對(duì)，均為直線形邊。第三側(cè)邊1103和第四側(cè)邊1104相對(duì)，均為向外凸出的曲線形邊。所述第二擋片120的形狀與第一擋片110沿軸線AA'分割而成的一半的形狀相近。第二擋片120包括與第一側(cè)邊1101對(duì)應(yīng)的第五側(cè)邊1201、與第二側(cè)邊1102對(duì)應(yīng)的第六側(cè)邊1202、與中心軸AA'平行的第七側(cè)邊1203以及與第四側(cè)邊1104對(duì)應(yīng)的第八側(cè)邊1204。并且，第五側(cè)邊1201的長(zhǎng)度小于第一側(cè)邊1101的長(zhǎng)度，第六側(cè)邊1202的長(zhǎng)度小于第二側(cè)邊1102的長(zhǎng)度，第七側(cè)邊1203的長(zhǎng)度應(yīng)當(dāng)與第一側(cè)邊1101和第二側(cè)邊1102之間的距離相近。
所述第一擋片110和第二擋片120通過設(shè)置于第一擋片110的兩個(gè)滑槽1110實(shí)現(xiàn)相互滑動(dòng)。具體地，第一側(cè)邊1101、第二側(cè)邊1102分別在第一擋片110的同一側(cè)向外延伸有與第一擋片lIO垂直的第一擋板I 11 ，第一擋板l 11向靠近第一擋片lIO—側(cè)延伸有與第一擋板I 1 l垂直的第二擋板112。從而，第一擋板lll、第二擋板112與第一擋片110構(gòu)成了U形滑槽1110。 U形滑槽1110的寬度即第二擋板112與第一擋片110之間的距離大于第二擋片120的厚度，以使得第二擋片120可滑入滑槽1110。
由于第二擋片120的形狀、尺寸均與第一擋片110相配合，從而，第二擋片120的第五側(cè)邊1201和第六側(cè)邊1202可分別收容于兩個(gè)滑槽1110內(nèi)，并相對(duì)于第一擋片110滑動(dòng)。當(dāng)?shù)诙跗?20滑動(dòng)至靠近軸線AA'時(shí)，第二擋片120與第一擋片110的部分重疊，修正片100的形狀 與第一擋片110的形狀大致相同，鍍膜修正板10的面積較小，從而對(duì)待鍍物品具有較小的遮 蔽面積，如圖2所示；當(dāng)?shù)诙跗?20滑動(dòng)至遠(yuǎn)離軸線AA'時(shí)，第二擋片120與第一擋片110的 重疊面積較小，從而使得修正片100具有較大面積，對(duì)待鍍物品也具有較大的遮蔽面積，如 圖3所示。
所述第一擋片IIO、第二擋片120之間的滑動(dòng)配合可以為過盈配合、過渡配合或間隙配合 。當(dāng)?shù)谝粨跗琁IO、第二擋片120之間的滑動(dòng)配合為過盈配合或過渡配合，第一擋片110和第 二擋片120之間具有較大的阻力，不能自由滑動(dòng)而需要在較大外力作用下才能滑動(dòng)；當(dāng)?shù)谝?擋片IIO、第二擋片120之間的滑動(dòng)配合為間隙配合時(shí)，第一擋片110和第二擋片120之間可以 自由滑動(dòng)，為避免第一擋片110和第二擋片120之間的過度滑動(dòng)，可于第一擋片110或第二擋 片120上設(shè)置止滑件，如圖4所示。
本實(shí)施例中，所述止滑件可以為設(shè)置于第八側(cè)邊1204的第三擋板121，所述第三擋板 121與第二擋片120垂直，并沿遠(yuǎn)離第二擋片120的至少一個(gè)表面的方向延伸。從而，當(dāng)?shù)诙?擋片120相對(duì)于第一擋片110向靠近軸線AA'方向滑動(dòng)時(shí)，第三擋板121可阻止第二擋片120過 度滑入滑槽1110內(nèi)。優(yōu)選的，為具有更好的止滑性能，所述第三擋板121在垂直于第二擋片 120方向上的寬度與第二擋片120厚度的加和大于滑槽1110的寬度，g卩，大于第二擋板112與 第一擋片110之間的距離。當(dāng)然，所述第三擋板121也可以僅設(shè)置于部分的第八側(cè)邊1204，例 如僅設(shè)置于第八側(cè)邊1204與第二擋片112相對(duì)的位置，所述第三擋板121還可以設(shè)置于第二擋 片120的其他部位。
所述止滑件還可以為設(shè)置于第二擋片120的兩個(gè)第一突起122和設(shè)置于第一擋片110的兩 個(gè)第二突起113。所述第一突起122可分別設(shè)置于第五側(cè)邊1201與第七側(cè)邊1203相交的端點(diǎn)區(qū) 域以及第六側(cè)邊1202與第七側(cè)邊1203相交的端點(diǎn)區(qū)域。所述第一突起122向第二擋板112方向 延伸。所述第二突起113可分別設(shè)置于兩個(gè)第二擋板112靠近第四側(cè)邊1104的區(qū)域，其向第一 擋片110方向延伸。所述第一突起122、第二突起113的高度的加和應(yīng)當(dāng)大于滑槽1110的寬度 與第二擋片120的厚度的減值，從而，當(dāng)?shù)诙跗?20相對(duì)于第一擋片110向遠(yuǎn)離軸線AA'方 向滑動(dòng)時(shí)，第一突起122和第二突起113卡合而阻止第二擋片120自滑槽1110滑脫。當(dāng)然，所 述第一突起122、第二突起113完全可以為其它形狀，設(shè)置于其它位置，僅需其可阻止第二擋 片120自第一擋片110的滑槽1110滑出即可。
當(dāng)然，所述止滑件還可以為其它形狀、結(jié)構(gòu)，設(shè)置于其它位置，僅需其可阻止第一擋片 11 O和第二擋片120之間的過度滑動(dòng)即可。安裝所述修正片100時(shí)，可先將第一突起122、第二突起113分別設(shè)置于第一擋片110和第 二擋片120，再將第二擋片120的第八側(cè)邊1204靠近第一擋片110的第三側(cè)邊1103，并將第二 擋片120的第五側(cè)邊1201、第六側(cè)邊1202分別收容入兩個(gè)滑槽1110，直至第二擋片120的第八 側(cè)邊1204滑出滑槽1110后，再將第三擋板121設(shè)置于第八側(cè)邊1204。當(dāng)然，也可以先設(shè)置第 三擋板121和第二突起113，再設(shè)置第一突起122;另外也可以為其它方法。
另外，所述鍍膜修正板10還可以包括另一第二擋片120， g卩，鍍膜修正板10由一個(gè)具有 滑槽1110的第一擋片110以及兩個(gè)相對(duì)設(shè)于滑槽1110中的第二擋片120構(gòu)成，兩個(gè)第二擋片 120的相對(duì)滑動(dòng)可以使得鍍膜修正板l O具有更大的形狀變化范圍。
所述鍍膜修正板10可通過螺栓、螺釘、焊接、粘膠或其他方式固定于鍍膜機(jī)的支撐架上 ，從而調(diào)整待鍍膜產(chǎn)品的鍍膜厚度和鍍膜區(qū)域。
本技術(shù)方案的鍍膜修正板10可以根據(jù)待鍍物品的鍍膜要求使得第一擋片110和第二擋片 120相互滑動(dòng)從而改變鍍膜修正板10的形狀和對(duì)待鍍物品的遮擋面積，從而可在多種待鍍物 品的不同鍍膜要求下使用。并且，由于鍍膜修正板10設(shè)置了止滑件可避免第二擋片120過度 滑入滑槽1110或從滑槽1110滑出，因此，本技術(shù)方案的鍍膜修正板10具有較好的滑動(dòng)性能。
請(qǐng)參閱圖5，本技術(shù)方案第二實(shí)施例提供的鍍膜修正板20包括一個(gè)桿狀的固定件21以及 四個(gè)固定于固定件21的修正片200。其中，兩個(gè)修正片200固定于固定件21的一側(cè)，且相對(duì)于 與固定件21長(zhǎng)度方向垂直的中線BB'對(duì)稱分布。另兩個(gè)修正片200固定于固定件21的另一側(cè) ，也相對(duì)于中線BB'對(duì)稱分布。
每一修正片200均包括第一擋片210、第二擋片220及第三擋片230。所述第一擋片210、 第二擋片220及第三擋片230可相互滑動(dòng)，從而改變每一修正片200的形狀。四個(gè)修正片200相 互配合，即可進(jìn)一步改變鍍膜修正板20的形狀和對(duì)待鍍物品的遮蔽面積。
本實(shí)施例中，所述第一擋片210為一中空片體，其具有一內(nèi)部空腔以作為第一滑槽2100 。所述第一滑槽2100的尺寸與第二擋片220的尺寸相配合，以使第二擋片220可恰好滑入第一 滑槽2100。所述第二擋片220也為一中空片體，也具有一內(nèi)部空腔以作為第二滑槽2200，所 述第二滑槽2200的尺寸與第三擋片230的尺寸相配合，以使得第三擋片230可恰好滑入第二滑 槽2200內(nèi)。
從而，當(dāng)?shù)谌龘跗?30滑入第二滑槽2200、第二擋片220滑入第一滑槽2100時(shí)，修正片 200的形狀與第一擋片210的形狀大致相同，鍍膜修正板20的面積較小，對(duì)待鍍物品也具有較 小的遮蔽面積，如圖6所示。當(dāng)?shù)谌龘跗?30大部分從第二滑槽2200滑出、第二擋片220大部 分從第一滑槽2100滑出時(shí)，鍍膜修正板20的面積較大，對(duì)待鍍物品也具有較大的遮蔽面積，如圖7所示。
當(dāng)然，所述第一擋片210、第二擋片220及第三擋片230上可以設(shè)置一個(gè)或多個(gè)止滑件， 以阻止第一擋片210、第二擋片220及第三擋片230之間的過度滑動(dòng)。
優(yōu)選的，所述第一擋片210在靠近固定件21—側(cè)向外延伸出一垂直于第一擋片210的固定 板211，用于將第一擋片210固定安裝于固定件21。所述固定板211可以螺栓、螺釘、粘膠、 焊接或其他方式固定安裝于固定件21。優(yōu)選的，所述固定板211可通過螺栓212安裝于固定件 21，不但便于安裝拆卸，而且可以方便調(diào)整鍍膜修正板200與固定件21長(zhǎng)度方向之間的安裝 角度，以進(jìn)一步改變鍍膜修正板20的形狀，如圖8所示。
另外，每一修正片200除可包括第一擋板210、第二擋板220及第三擋板230外，還可包括 更多個(gè)擋板，僅需多個(gè)擋板之間可相互滑動(dòng)從而改變修正板200的形狀即可。并且，鍍膜修 正板20的固定件21上除可固定如本實(shí)施例所示的四個(gè)修正片200外，還可固定二個(gè)、六個(gè)或 更多個(gè)修正片，僅需使得多個(gè)修正片組合而成的形狀符合待鍍膜產(chǎn)品的鍍膜要求即可。
本技術(shù)方案的鍍膜修正板包括可以相互滑動(dòng)的第一擋片和第二擋片，可以根據(jù)待鍍物品 的鍍膜要求使得第一擋片和第二擋片相互滑動(dòng)從而改變鍍膜修正板的形狀和對(duì)待鍍物品的遮 擋面積，因此，本技術(shù)方案的鍍膜修正板可在多種待鍍物品的不同鍍膜要求下使用。
可以理解的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思做出其它 各種相應(yīng)的改變與變形，而所有這些改變與變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
權(quán)利要求1一種鍍膜修正板，其特征在于，其包括至少一個(gè)修正片，所述修正片至少包括第一擋片及第二擋片，所述第一擋片和第二擋片的形狀、尺寸相配合，所述第一擋片具有滑槽，用于使第二擋片設(shè)于所述滑槽中相對(duì)于第一擋片滑動(dòng)，從而改變鍍膜修正板的形狀。
2.如權(quán)利要求l所述的鍍膜修正板，其特征在于，所述第一擋片為中空片體，具有一內(nèi)部空腔以作為滑槽。
3.如權(quán)利要求l所述的鍍膜修正板，其特征在于，所述第一擋片具有相對(duì)的第一側(cè)邊和第二側(cè)邊，所述第一側(cè)邊和第二側(cè)邊在第一擋片的同一側(cè)向外延伸有與第一擋片垂直的第一擋板，所述第一擋板向靠近第一擋片的一側(cè)延伸有與第一擋板垂直的第二擋板，所述第一擋板、第二擋板與第一擋片構(gòu)成U形滑槽。
4.如權(quán)利要求l所述的鍍膜修正板，其特征在于，所述第一擋片和第二擋片之間的滑動(dòng)配合為過盈配合或過渡配合。
5.如權(quán)利要求l所述的鍍膜修正板，第二擋片之間的滑動(dòng)配合為間隙配合，所述第一擋片或第二擋片和第二擋片之間的過度滑動(dòng)。
6.如權(quán)利要求5所述的鍍膜修正板，置于第二擋片的第三擋板，所述第三擋板與第二擋片垂直，面向外延伸。
7.如權(quán)利要求5所述的鍍膜修正板，其特征在于，所述止滑件為設(shè)置于第二擋板的第一突起以及設(shè)置于滑槽的第二突起，所述第一突起和第二突起卡合從而阻止第一擋片和第二擋片之間的過度滑動(dòng)。
8.如權(quán)利要求l所述的鍍膜修正板，其特征在于，所述鍍膜修正板包括一個(gè)第一擋片和兩個(gè)第二擋片，所述兩個(gè)第二擋片相對(duì)設(shè)置，并在第一擋片的滑槽中相對(duì)滑動(dòng)。其特征在于，所述第一擋片和:擋片設(shè)置有止滑件，以避免第-其特征在于，所述止滑件為設(shè)并沿遠(yuǎn)離第二擋片的至少一個(gè)，
9.如權(quán)利要求l所述的鍍膜修正板，其特征在于，所述鍍膜修正板還包括一個(gè)固定件，所述固定件用于固定修正片。
10.如權(quán)利要求8所述的鍍膜修正板，其特征在于，所述鍍膜修正板包括多個(gè)修正片，所述多個(gè)修正片對(duì)稱分布于固定件兩側(cè)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種鍍膜修正板，其包括至少一個(gè)修正片，所述修正片至少包括第一擋片及第二擋片，所述第一擋片和第二擋片的形狀、尺寸相配合，所述第一擋片具有滑槽，用于使第二擋片在滑槽中相對(duì)于第一擋片滑動(dòng)，從而調(diào)整鍍膜修正板的形狀。
文檔編號(hào)C23C14/50GK101457349SQ20071020294
公開日2009年6月17日 申請(qǐng)日期2007年12月10日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月10日
發(fā)明者王仲培 申請(qǐng)人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司