專利名稱：用于半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜的裝條裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜的裝條裝置，更具體地說，本實(shí)用新型涉及一種用于將半導(dǎo)體激光器芯片條固定并便于進(jìn)行腔面鍍膜的裝條裝置，屬于半導(dǎo)體激光器工藝技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
自二十世紀(jì)六十年代初半導(dǎo)體激光器問世以來，它就以其眾多的優(yōu)越性越來越受到人們的重視。但半導(dǎo)體激光器自然解理的腔面其反射比為30％左右，不是一理想值，而且這種自然解理面在空氣中容易氧化或受到其它的污染，使激光器性能下降。為了解決這些問題，半導(dǎo)體激光器制造工藝中通常都會對其進(jìn)行腔面鍍膜，而且是在出光面鍍增透膜以提高其透射比，在另一面鍍高反射膜以提高其反射比，這樣同時也對腔面起到了保護(hù)作用。由于單個半導(dǎo)體激光器芯片尺寸很小(通常為(100～1000um)×300um×100um)，在其腔面鍍膜工藝中通常采取解理?xiàng)l的形式。如圖1所示，解理?xiàng)l厚度很薄(100um左右)寬度(即腔長)較窄(通常100～1000um)，而長度較長(1～3cm)，因?yàn)槠洳牧媳旧砭秃艽?，極易被折斷。另外，在大批量鍍膜時，為了保證所鍍膜層的均勻性還必須使各激光腔面條處于同一水平面；為了避免作為電極的面不被鍍上膜必須將它們遮擋起來；而且在鍍膜的裝條過程中不能對腔面造成損傷；能夠方便的對兩腔面進(jìn)行鍍膜。為了解決這些問題，在腔面鍍膜工藝中通常需要有一個專用夾具來夾持解理?xiàng)l。目前國內(nèi)外實(shí)驗(yàn)室使用的這種夾具，通常都是自行設(shè)計(jì)，而且很多都保密。目前所能查到的資料—例如專利號為6386533的美國專利所述的夾具，多采用如圖2所示結(jié)構(gòu)，它使用平行的薄板將激光條夾持在中間，其結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，加工比較困難，而且裝條極為麻煩很容易對腔面造成污染或損傷，夾持的薄板還容易對激光條造成機(jī)械損傷。
實(shí)用新型內(nèi)容為了克服上述現(xiàn)有夾具的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，容易加工的夾具，并同時為其設(shè)計(jì)了便于裝條的裝條裝置以使腔面免遭污染和損傷。
用于半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜的夾具，如圖3、4、6所示，其特征在于，由三塊平行凹形板5和一長方形薄板8及起固定和夾緊作用的方框20組成；三塊凹形板5固定疊在一起，長方形薄板8插在疊在一起的三塊凹形板所成的凹槽中，疊在一起的三塊凹形板固定于方框20內(nèi)；三塊凹形板凹形寬度6如下所述，外層兩塊的凹形寬度相同，比所需鍍膜的激光條長度值稍小，而中間凹形板的凹形寬度比所需鍍膜的激光條長度值稍大，中間凹形板的厚度值則比所需鍍膜的激光條的寬度，即激光器腔長值稍大，而其凹形深度7比外層兩塊的凹形深度小。
需要鍍膜的激光條兩端很小一部分搭在凹槽內(nèi)，裝完激光條后在凹槽中插入前面所說的長方形薄板8可使激光條在凹槽中不會動，而且能使激光條腔面1與夾具平面平行，另外因?yàn)槿龎K凹板各面相互平行，從而最終保證鍍膜時激光器腔面處于同一水平面，而且能夠保證在鍍膜過程中鍍完一面后不開真空室通過自動翻轉(zhuǎn)裝置使其翻轉(zhuǎn)后也還保持腔面為水平狀態(tài)，可繼續(xù)對另一面鍍膜而不影響鍍膜質(zhì)量；由于激光條兩端搭在凹槽中，即使在長方形薄板8對激光條的夾緊力很小的情況下，在鍍膜過程中翻轉(zhuǎn)激光條也不會掉出夾具，而先前的夾具要保證這一點(diǎn)則夾持的薄板4必須施加合適的力，而這很難把握，大了容易對激光條3造成機(jī)械損傷，小了則激光條3可能會掉出夾具。
用于半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜的夾具裝條裝置，如圖5所示，其特征在于，由豎直滑動機(jī)構(gòu)和水平滑動機(jī)構(gòu)及底座組成；豎直滑動機(jī)構(gòu)和水平滑動機(jī)構(gòu)其結(jié)構(gòu)相同，均由滑動導(dǎo)軌和調(diào)節(jié)滑動的螺桿及滑塊組成；底座17為一平板，豎直滑動機(jī)構(gòu)的的導(dǎo)軌10固定在底座上，豎直滑動機(jī)構(gòu)中的滑塊12套在導(dǎo)軌上并且與豎直滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿11相連，擰動豎直滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿11可使豎直滑動機(jī)構(gòu)中的滑塊12沿豎直滑動機(jī)構(gòu)的的導(dǎo)軌10滑動；水平滑動機(jī)構(gòu)的導(dǎo)軌13固定于豎直滑動機(jī)構(gòu)中的滑塊12上，水平滑動機(jī)構(gòu)中的滑塊15套在水平滑動機(jī)構(gòu)的導(dǎo)軌13上，并且與穿過豎直滑動機(jī)構(gòu)中的滑塊12上水平通孔的水平滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿14相連，調(diào)節(jié)水平滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿14可使水平滑動機(jī)構(gòu)中的滑塊15沿水平滑動機(jī)構(gòu)的導(dǎo)軌13滑動，另外用于裝激光條時托住激光條3的長條形支撐板16固定于水平滑動機(jī)構(gòu)中的滑塊15上，通過調(diào)節(jié)豎直滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿11可使長條形支撐板16在豎直方向上移動，通過調(diào)節(jié)水平滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿14可使長條形支撐板16在水平方向上移動。
這種裝條裝置能保證激光條很順利很方便的裝入上述夾具，大大減小了可能對激光條造成的損傷及污染。
上述實(shí)用新型的夾具及其配套的裝條裝置具有如下優(yōu)點(diǎn)1、夾具對激光條的夾持方式不會對激光條產(chǎn)生機(jī)械損傷。
2、能夠在夾具簡單的情況下保證鍍膜時所有激光條腔面處于同一水平面，從而保證了各激光條膜層的均勻性及膜只被沉積在腔面上而不會被沉積到作為電極的那兩個面上。
3、裝條和取出簡單方便，不損傷和污染樣品，與鍍膜機(jī)翻轉(zhuǎn)裝置相結(jié)合可實(shí)現(xiàn)一次裝條兩腔面鍍膜。
4、夾具裝條容量大，樣品大小不受限制，適宜于大批量生產(chǎn)應(yīng)用。
5、本夾具及其裝條裝置結(jié)構(gòu)不復(fù)雜，容易加工，夾具的清洗也容易，而且不易損壞，使用壽命長。


圖1是激光條示意圖。
圖2是美國專利(專利號6386533)所示夾具示意圖。
圖3是組成夾具的凹形板示意圖。
圖4是激光條和凹形板的組合示意圖。
圖5是用裝條裝置往夾具里裝激光條的示意圖。
圖6是裝好激光條的夾具示意圖。
圖中1-激光條腔面，2-激光條電極面，3-激光條，4-夾持薄板，5-凹形板，6-凹形板凹形寬度，7-凹形板凹形深度，8-長方形薄板，9-疊在一起的三塊凹形板，10-豎直滑動機(jī)構(gòu)的導(dǎo)軌，11-豎直滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿，12-豎直滑動機(jī)構(gòu)中的滑塊，13-水平滑動機(jī)構(gòu)的導(dǎo)軌，14-水平滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿，15-水平滑動機(jī)構(gòu)中的滑塊，16-長條形支撐板，17-底座，18-固定在底座上的條形板，19-條形板，20-支撐凹形鋼板的方框，21-調(diào)節(jié)長方形薄板與激光條松緊的螺桿。
具體實(shí)施方式
對長度為12mm，寬度(激光器腔長)為750um的激光器條進(jìn)行鍍膜。則在圖4中位于外層的凹形板，其凹形寬度可為10.5mm左右；而位于中間的凹形板的凹形寬度可為12.5mm左右，凹形板的厚度可為760um，中間凹形板的凹形深度可比兩邊凹形板的凹形深度淺5mm，長條形薄板的厚度可為750um。
用于半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜的夾具裝條裝置，底座17為一平板，其上有一固定在底座上的條形板18，還有一條形板19與固定在底座上的條形板18相連，疊在一起的三塊凹形板9夾在此兩條形板中間。
使用時，將三塊凹形板通過螺釘裝配在一起，如圖4中疊在一起的三塊凹形板9所示，并通過固定在底座上的條形板18和條形板19固定于裝架裝置底座17上，如圖5中所示，然后調(diào)節(jié)裝條裝置豎直滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿11和水平滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿14使長條形支撐板16在水平方向正好位于凹形板的凹形中間處，而在豎直方向則位于接近凹形最上部處，然后將激光條用鑷子或真空吸頭夾起(或吸起)放于長條形支撐板16上，使其兩端正好在凹形板側(cè)凹形槽中，而其腔面1方向與凹形板面平行，當(dāng)激光條達(dá)到一定數(shù)目靠近凹形頂部時，調(diào)節(jié)豎直滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿11使長條形支撐板16的高度下降一些，然后再往其上加激光條，當(dāng)激光條達(dá)到頂部時，再豎直滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿11降低長條形支撐板16，直至所需鍍膜的激光條都裝好后，調(diào)節(jié)豎直滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿11將長條形支撐板16降至凹形底部，然后調(diào)節(jié)水平滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿14，將長條形支撐板16從凹形中退出，則最底部激光條與凹形底部接觸，再將圖4中所示的長方形薄板8順著凹形板側(cè)槽插入，并固定于圖6所示的支撐凹形鋼板的方框20上，然后調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)長方形薄板與激光條松緊的螺桿21使圖6中所示的長方形薄板8剛好頂緊激光條3。然后就可將圖6所示的裝有激光條的夾具放入鍍膜機(jī)進(jìn)行鍍膜，而且鍍完一面之后，自動翻面后可繼續(xù)鍍另一面，而不用將激光條取下。鍍完后，調(diào)松調(diào)節(jié)長方形薄板與激光條松緊的螺桿21，很容易將激光條取下。
權(quán)利要求1.用于半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜的夾具裝條裝置，其特征在于，由豎直滑動機(jī)構(gòu)和水平滑動機(jī)構(gòu)及底座組成；其中豎直滑動機(jī)構(gòu)和水平滑動機(jī)構(gòu)其結(jié)構(gòu)相同，均由滑動導(dǎo)軌和調(diào)節(jié)滑動的螺桿及滑塊組成；底座(17)為一平板，豎直滑動機(jī)構(gòu)的的導(dǎo)軌(10)固定在底座上，豎直滑動機(jī)構(gòu)中的滑塊(12)套在導(dǎo)軌上并且與豎直滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿(11)相連，擰動豎直滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿(11)可使豎直滑動機(jī)構(gòu)中的滑塊(12)沿豎直滑動機(jī)構(gòu)的的導(dǎo)軌(10)滑動；水平滑動機(jī)構(gòu)的導(dǎo)軌(13)固定于豎直滑動機(jī)構(gòu)中的滑塊(12)上，水平滑動機(jī)構(gòu)中的滑塊(15)套在水平滑動機(jī)構(gòu)的導(dǎo)軌(13)上，并且與穿過豎直滑動機(jī)構(gòu)中的滑塊(12)上水平通孔的水平滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿(14)相連，調(diào)節(jié)水平滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿(14)可使水平滑動機(jī)構(gòu)中的滑塊(15)沿水平滑動機(jī)構(gòu)的導(dǎo)軌(13)滑動，另外用于裝激光條時托住激光條(3)的長條形支撐板(16)固定于水平滑動機(jī)構(gòu)中的滑塊(15)上，通過調(diào)節(jié)豎直滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿(11)可使長條形支撐板(16)在豎直方向上移動，通過調(diào)節(jié)水平滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿(14)可使長條形支撐板(16)在水平方向上移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜的裝條裝置，其中底座(17)上有一固定在底座上的條形板(18)，還有一條形板(19)與固定在底座上的條形板(18)相連，疊在一起的三塊凹形板(9)夾在此兩條形板中間。
專利摘要用于半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜的裝條裝置，屬于半導(dǎo)體激光器工藝技術(shù)領(lǐng)域。現(xiàn)有的裝條裝置裝條極為麻煩很容易對腔面造成污染或損傷，夾持的薄板還容易對激光條造成機(jī)械損傷。本其裝條裝置，其特征在于，由豎直滑動機(jī)構(gòu)和水平滑動機(jī)構(gòu)及底座組成；豎直滑動機(jī)構(gòu)和水平滑動機(jī)構(gòu)其結(jié)構(gòu)相同，均由滑動導(dǎo)軌和調(diào)節(jié)滑動的螺桿及滑塊組成底座(17)為一平板，豎直滑動機(jī)構(gòu)的的導(dǎo)軌(10)固定在底座上，豎直滑動機(jī)構(gòu)中的滑塊(12)套在導(dǎo)軌上并且與豎直滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿(11)相連，擰動豎直滑動機(jī)構(gòu)中調(diào)節(jié)滑動的螺桿(11)可使豎直滑動機(jī)構(gòu)中的滑塊(12)沿豎直滑動機(jī)構(gòu)的的導(dǎo)軌(10)滑動。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，使腔面免遭污染和損傷。
文檔編號C23C14/22GK2781609SQ200520103259
公開日2006年5月17日 申請日期2004年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月14日
發(fā)明者沈光地, 徐晨, 舒雄文, 鄒德恕, 陳建新, 高國 申請人:北京工業(yè)大學(xué)