專利名稱：硅片工藝設(shè)備用閥門的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種硅片工藝設(shè)備用閥門，還可用于各種具有行程移動(dòng)的機(jī)床上，屬于閥門技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
如圖1、2所示，為原閥門設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖及出力桿伸出本體結(jié)構(gòu)示意圖，筒狀本體1中置有可以在其內(nèi)左右位移的動(dòng)力滑塊11，動(dòng)力滑塊11前端設(shè)有出力桿12，出力桿12凸出于本體1之外，本體1上面的前后兩端分別設(shè)有提供氣體推動(dòng)動(dòng)力滑塊11移動(dòng)的出入氣端13，動(dòng)力滑塊11帶動(dòng)出力桿12向外、向內(nèi)作運(yùn)動(dòng)，靠本體1前后兩端出入氣端13的出氣或進(jìn)氣來控制。如圖3所示，為原工藝設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖，本體1的出力桿12與機(jī)臺(tái)A上的滑動(dòng)件A1固定，借靠出力桿12位移而作同步位移，滑動(dòng)件A1上可將加工件A3固定，以供機(jī)臺(tái)A上方的刀具A2作切削研磨，由于本體1長度與傳動(dòng)行程成正比，當(dāng)加工件A3加長，相對(duì)的本體1和出力桿12需跟著加長，需占據(jù)廠房的大量空間，而且工件A3越長，出力桿12推送穩(wěn)定性越差。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是發(fā)明一種不加長機(jī)臺(tái)長度，工作穩(wěn)定的硅片工藝設(shè)備用閥門。
為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是提供一種硅片工藝設(shè)備用閥門，其特征在于，由本體、壓力環(huán)、桿體、出入氣端組成，本體內(nèi)設(shè)有壓力環(huán)，桿體設(shè)于壓力環(huán)兩側(cè)的中央，并凸出于本體，桿體內(nèi)部設(shè)有供氣體出入且與本體相通的獨(dú)立氣道，在桿體的兩外端設(shè)有出入氣端，本體可在兩外端出入氣端之間作往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
本實(shí)用新型采用桿體的兩外端設(shè)有出入氣端，桿體內(nèi)部設(shè)有供氣體出入且與本體相通的獨(dú)立氣道，借氣道的進(jìn)出氣來推送本體作往復(fù)運(yùn)動(dòng)，并傳送動(dòng)力。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是不加長機(jī)臺(tái)長度，工作穩(wěn)定，組裝容易，節(jié)約成本。


圖1為原閥門結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為出力桿伸出本體結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為原工藝設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實(shí)用新型位移至一側(cè)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型位移至另一側(cè)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本實(shí)用新型工藝設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
實(shí)施例1如圖4、5所示，為本實(shí)用新型位移至一側(cè)的結(jié)構(gòu)示意圖和位移至另一側(cè)的結(jié)構(gòu)示意圖，所述的氣缸設(shè)備由本體10、壓力環(huán)101、桿體102、出入氣端103組成，本體10內(nèi)設(shè)有壓力環(huán)101，桿體102設(shè)于壓力環(huán)101兩側(cè)的中央，并凸出于本體10，桿體102內(nèi)部設(shè)有供氣體出入且與本體10相通的獨(dú)立氣道1021，在桿體102的兩外端設(shè)有出入氣端103，本體10可在兩外端出入氣端103之間作往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
使用時(shí)，由于桿體102兩外端氣道處設(shè)有出入氣端103，當(dāng)將本體10往右位移，右側(cè)的出入氣端103進(jìn)氣，此時(shí)氣體會(huì)經(jīng)凸出于本體10右側(cè)桿體102的氣道1021而流至位于本體10內(nèi)同側(cè)壓力環(huán)101一側(cè)，使氣體充滿本體10相鄰側(cè)所形成的空間，由于充入的空氣越來越多，壓力漸大，氣體推動(dòng)壓力環(huán)102，且壓力環(huán)102使本體10向右位移，壓力環(huán)102左側(cè)的空氣則會(huì)流進(jìn)桿體102左側(cè)的氣道1021，經(jīng)由左側(cè)凸出于本體10的出入氣端103排出，此時(shí)，左側(cè)的出入氣端103為出氣。
當(dāng)將本體10往左位移，僅需將出入氣端103進(jìn)出氣交換，左側(cè)的出入氣端103進(jìn)氣，此時(shí)氣體會(huì)經(jīng)凸出于本體10左側(cè)桿體102的氣道1021而流至位于本體10內(nèi)同側(cè)壓力環(huán)101一側(cè)，使氣體充滿本體10相鄰側(cè)所形成的空間，由于充入的空氣越來越多，壓力漸大，氣體推動(dòng)壓力環(huán)102，且壓力環(huán)102使本體10向左位移，壓力環(huán)102右側(cè)的空氣則會(huì)流進(jìn)桿體102右側(cè)的氣道1021，經(jīng)由右側(cè)凸出于本體10的出入氣端103排出，此時(shí)，右側(cè)的出入氣端103為出氣，如此來控制往復(fù)運(yùn)動(dòng)，本體10外部設(shè)有傳動(dòng)元件104，傳動(dòng)元件104呈齒條狀，可聯(lián)動(dòng)齒輪2作圓周運(yùn)動(dòng)。而所述的出入氣端103內(nèi)可進(jìn)出氣體或液體。
實(shí)施例2如圖6所示，為本實(shí)用新型工藝設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖，本體10外部設(shè)有以供固定加工件一起作往復(fù)運(yùn)動(dòng)的固定塊105，固定塊105上設(shè)有滑動(dòng)塊A1，滑動(dòng)塊A1上方設(shè)有加工件A3，以供機(jī)臺(tái)A上方的刀具A2作切削研磨。
權(quán)利要求1.一種硅片工藝設(shè)備用閥門，其特征在于，由本體(10)、壓力環(huán)(101)、桿體(102)、出入氣端(103)組成，本體(10)內(nèi)設(shè)有壓力環(huán)(101)，桿體(102)設(shè)于壓力環(huán)(101)兩側(cè)的中央，并凸出于本體(10)，桿體(102)內(nèi)部設(shè)有供氣體出入且與本體(10)相通的獨(dú)立氣道(1021)，在桿體(102)的兩外端設(shè)有出入氣端(103)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片工藝設(shè)備用閥門，其特征在于，所述的本體(10)外部設(shè)有以供齒輪(2)作圓周運(yùn)動(dòng)的傳動(dòng)元件(104)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片工藝設(shè)備用閥門，其特征在于，所述的本體(10)外部設(shè)有以供固定加工件一起作往復(fù)運(yùn)動(dòng)的固定塊(105)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片工藝設(shè)備用閥門，其特征在于，所述的出入氣端(103)內(nèi)可進(jìn)出氣體或液體。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種硅片工藝設(shè)備用閥門，其特征在于，由本體、壓力環(huán)、桿體、出入氣端組成，本體內(nèi)設(shè)有壓力環(huán)，桿體設(shè)于壓力環(huán)兩側(cè)的中央，并凸出于本體，桿體內(nèi)部設(shè)有供氣體出入且與本體相通的獨(dú)立氣道，在桿體的兩外端設(shè)有出入氣端，本體可在兩外端出入氣端之間作往復(fù)運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是不加長機(jī)臺(tái)長度，工作穩(wěn)定，組裝容易，節(jié)約成本。
文檔編號(hào)B24B47/08GK2764985SQ20042011479
公開日2006年3月15日 申請(qǐng)日期2004年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月27日
發(fā)明者吳明田 申請(qǐng)人:日揚(yáng)電子科技(上海)有限公司