專利名稱：拋光液供給控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種拋光設(shè)備的拋光液供給控制裝置，特別涉及透明導(dǎo)電玻璃基板的拋光設(shè)備的拋光液供給控制裝置，以及對(duì)使用此拋光液供給控制裝置的透明導(dǎo)電玻璃基板上透明導(dǎo)電膜的拋光過程拋光液流量供給的控制。
背景技術(shù)：
在玻璃基板上形成的通明導(dǎo)電膜通常用作LCD、PDP、OLED等平板顯示器的陽(yáng)極。而通明導(dǎo)電膜中多使用透過率高、電阻低的材料，此類材料中，普遍采用的是氧化銦(In2O3)中添加了錫(Sn)的氧化銦錫(Indium Tin Oxide簡(jiǎn)稱為ITO)。根據(jù)不同顯示器件的要求，有的需要在鍍ITO之前對(duì)玻璃基板進(jìn)行拋光，有的對(duì)鍍ITO后的膜面進(jìn)行拋光，后者有別于前者前者拋光對(duì)象是基板玻璃，要求提高玻璃的平整度，拋磨量要幾十到幾百納米；而后者拋光對(duì)象是ITO膜層，不能拋掉太多，目的是為了降低膜層的粗糙度，拋磨量?jī)H為幾個(gè)到幾十個(gè)納米。前者在拋光液的供給上并不是特別嚴(yán)格；而后者在拋光過程中，對(duì)拋光粉的粒徑，拋光液的濃度、溫度、流量應(yīng)有嚴(yán)格的控制，微小的差別可能造成大的差異，難以控制量產(chǎn)所需的均勻性和重復(fù)性，有必要選擇一定的拋光液供給裝置。
當(dāng)前的拋光機(jī)雖然本身附有拋光液供給裝置，也可對(duì)流量進(jìn)行一定的控制，但僅能做到定性控制，很難做到定量控制，更難對(duì)整個(gè)拋光工藝進(jìn)行監(jiān)控，無(wú)法滿足軟拋光重復(fù)性和均勻性的要求，無(wú)法滿足量產(chǎn)的需求。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠精確地控制非循環(huán)使用的拋光液流量的拋光液供給控制裝置。
為達(dá)到上述目的本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案拋光液供給控制裝置，其在攪拌器上設(shè)置容器，容器經(jīng)供液管與流量泵相連接，所述流量泵為設(shè)有流量控制功能的流量控制泵。
本實(shí)用新型所述流量控制泵為蠕動(dòng)泵。
本實(shí)用新型所述攪拌器為磁力攪拌器。
本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，能在滿足拋光質(zhì)量的前提下，為最大限度地降低拋光液的消耗提供了可靠的控制條件，降低拋光成本。用一次性使用的拋光液拋透明導(dǎo)電玻璃上的透明導(dǎo)電膜，將所述導(dǎo)電膜表面粗糙度控制在Ra≤1nm。


圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
如圖1所示，本實(shí)用新型的拋光液供給控制裝置，由磁力攪拌器1、流量控制泵2、容器3和供液管4構(gòu)成，磁力攪拌器1上設(shè)置有容器3，容器3經(jīng)供液管4與流量泵2相連接，該流量泵2為設(shè)有流量控制機(jī)構(gòu)的流量控制泵。在本實(shí)施例中，容器3為塑料桶，供液管4為橡皮管，流量控制泵為蠕動(dòng)泵。
本實(shí)用新型的磁力攪拌器1外殼底部設(shè)有一排兩個(gè)開關(guān)，右開關(guān)為電源開關(guān)6，左為磁旋子轉(zhuǎn)動(dòng)開關(guān)7；磁力攪拌器1外殼中間設(shè)置有一排轉(zhuǎn)動(dòng)按鈕，左邊按鈕為磁轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)按鈕9，右邊按鈕為拋光液加熱時(shí)溫度調(diào)節(jié)按鈕10；兩按鈕中間設(shè)有一溫度指示刻度盤11，可加熱至70℃。
本實(shí)用新型在蠕動(dòng)泵泵蓋上設(shè)置有壓力控制桿12(豎直部分)，并在壓力控制桿12內(nèi)設(shè)置彈簧，所述供液管4夾設(shè)于壓力控制桿12和彈簧中間，通過轉(zhuǎn)動(dòng)壓力控制桿12上的旋鈕，可以調(diào)節(jié)對(duì)壓在壓力控制桿下面的橡皮管4的壓力，配合壓力控制桿12右邊的三個(gè)流量控制按鈕13，可以在01至99毫升/分鐘之間任意調(diào)節(jié)橡皮管內(nèi)的流量，從而可以對(duì)拋光液供給量進(jìn)行定量控制。
本實(shí)用新型與拋光機(jī)配合使用，很好的完成了對(duì)拋光過程的拋光液定量供給及實(shí)時(shí)監(jiān)控。
本實(shí)用新型的磁力攪拌器1由交流電源直接供電，轉(zhuǎn)速可調(diào)，能夠保證拋光粉拋光液的充分混合，同時(shí)還可對(duì)其進(jìn)行最高溫度至70℃的加熱，滿足拋光過程中對(duì)不同拋光工藝的拋光液的溫度要求。
權(quán)利要求1.一種拋光液供給控制裝置，其在攪拌器(1)上設(shè)置容器(3)，容器(3)經(jīng)供液管(4)與流量泵(2)相連接，其特征在于所述流量泵(2)為設(shè)有流量控制功能的流量控制泵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液供給控制裝置，其特征在于所述流量控制泵為蠕動(dòng)泵。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液供給控制裝置，其特征在于所述攪拌器為磁力攪拌器。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種拋光設(shè)備的拋光液供給控制裝置，特別涉及透明導(dǎo)電玻璃基板的拋光設(shè)備的拋光液供給控制裝置，以及對(duì)使用此拋光液供給控制裝置的透明導(dǎo)電玻璃基板上透明導(dǎo)電膜的拋光過程拋光液流量供給的控制。本實(shí)用新型的拋光液供給控制裝置，其在攪拌器上設(shè)置容器，容器經(jīng)供液管與流量泵相連接，所述流量泵為設(shè)有流量控制功能的流量控制泵，流量控制泵為蠕動(dòng)泵。本實(shí)用新型所述攪拌器為磁力攪拌器。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，能在滿足拋光質(zhì)量的前提下，為最大限度地降低拋光液的消耗提供了可靠的控制條件，降低拋光成本。用一次性使用的拋光液拋透明導(dǎo)電玻璃上的透明導(dǎo)電膜，將所述導(dǎo)電膜表面粗糙度控制在Ra≤1nm。
文檔編號(hào)B24B57/02GK2756388SQ20042009455
公開日2006年2月8日 申請(qǐng)日期2004年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月29日
發(fā)明者金弼 申請(qǐng)人:深圳南玻顯示器件科技有限公司