一種化學液供給裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明屬于半導體行業(yè)晶片濕法處理領(lǐng)域，具體地說是一種化學液供給裝置，包括供液桶、補液桶、電磁閥、藥液閥、溢流閥及液位傳感器，其中供液桶與補液桶之間連通的管路上設有藥液閥，所述藥液閥通過電磁閥與壓縮空氣源相連；所述供液桶及補液桶分別連通一個供氣源、并通過電磁閥控制供氣，供液桶與補液桶內(nèi)均安裝有檢測液位的液位傳感器，供液桶連通有控制向外排氣的溢流閥；所述供液桶內(nèi)的化學液向機臺供液，補液桶內(nèi)的化學液對供液桶進行補給。本發(fā)明利用供液桶和補液桶的方式，并且雙桶采用了不同的壓力差進行化學液的驅(qū)動；同時配合溢流閥的壓力控制，實現(xiàn)了供液桶在任何時候都可以保證機臺所使用化學液的無間斷正常供給，無需人工干預。
【專利說明】一種化學液供給裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導體行業(yè)晶片濕法處理領(lǐng)域，具體地說是一種化學液供給裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，半導體行業(yè)中晶片濕法處理工藝經(jīng)常需要使用化學液對晶圓進行處理，而化學液在使用中會被逐漸的消耗掉。在給化學液桶進行補給時則會影響正常生產(chǎn)的進行。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]為了解決化學液補給時影響設備正常生產(chǎn)的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種化學液供給裝置。該供給裝置采用雙化學液桶的設計，并且實現(xiàn)雙桶的自動切換與供給，即在供液桶中的化學液減少到預定量時，系統(tǒng)會自動將補液桶中的化學液補給到供液桶中。
[0004]本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的:
[0005]本發(fā)明包括供液桶、補液桶、電磁閥、藥液閥、溢流閥及液位傳感器，其中供液桶與補液桶之間連通的管路上設有藥液閥，所述藥液閥通過電磁閥與壓縮空氣源相連；所述供液桶及補液桶分別連通一個供氣源、并通過電磁閥控制供氣，供液桶與補液桶內(nèi)均安裝有檢測液位的液位傳感器，供液桶連通有控制向外排氣的溢流閥；所述供液桶內(nèi)的化學液向機臺供液，補液桶內(nèi)的化學液對供液桶進行補給。
[0006]其中:所述補液桶連通有泄壓的手動斷通閥；所述供液桶及補液桶內(nèi)裝有相同的化學液，初始狀態(tài)的供液桶及補液桶內(nèi)的化學液均為滿桶；所述供液桶及補液桶內(nèi)的液位傳感器均為上下兩個，分別檢測桶內(nèi)化學液的高液位及低液位；與補液桶連通的供氣源所供給的氣體壓力大于與供液桶連通的供氣源所供給的氣體壓力；所述供液桶的排氣壓力通過溢流閥控制，該溢流閥設定的壓力大于與供液桶連通的供氣源所供給的氣體壓力，且小于與補液桶連通的供氣源所供給的氣體壓力；所述電磁閥為兩位兩通電磁閥，藥液閥為兩位兩通藥液閥。
[0007]本發(fā)明的優(yōu)點與積極效果為:
[0008]1.本發(fā)明利用供液桶和補液桶的方式，并且雙桶采用了不同的壓力差進行化學液的驅(qū)動；同時配合溢流閥的壓力控制，實現(xiàn)了供液桶在任何時候都可以保證機臺所使用化學液的無間斷正常供給，無需人工干預。
[0009]2.本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單緊湊，占地面積小。
[0010]3.本發(fā)明可以自動控制補液桶向供液桶補液，保證設備的無間斷運行。
[0011]4.本發(fā)明耗氣量小，能耗低。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理圖；
[0013]其中:I為第一兩位兩通電磁閥,2為第二兩位兩通電磁閥,3為第三兩位兩通電磁閥，4為兩位兩通藥液閥,5為手動通斷閥,6為補液桶,7供液桶,8為液位傳感器,9為溢流閥，10為第一供氣源，11為第二供氣源，12為壓縮空氣源，13為第一管路，14為第二管路，15為第三管路，16為第四管路，17為第五管路，18為第六管路，19為第七管路，20為第八管路。
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步詳述。
[0015]如圖1所示,本發(fā)明包括供液桶7、補液桶6、電磁閥、藥液閥、溢流閥9及液位傳感器8，其中供液桶7及補液桶6均由不銹鋼材料制成，供液桶7及補液桶6內(nèi)裝有相同的化學液，初始狀態(tài)的供液桶7及補液桶6內(nèi)的化學液均為滿桶；供液桶7與補液桶6之間通過第五管路17相連通，并在第五管路上設有兩位兩通藥液閥4，第五管路17的一端伸至補液桶6靠近桶底的位置，另一端插入供液桶7內(nèi)、靠近供液桶7的頂部；兩位兩通藥液閥4通過管路與壓縮空氣源12相連。
[0016]供液桶7內(nèi)分別連通有第一管路13、第二管路14及第三管路15，其中第一管路13與第二供氣源11相連通，并在第一管路13上設有第三兩位兩通電磁閥3，第一管路13插入供液桶7內(nèi)的一端靠近供液桶7的頂部；第二管路14上設有溢流閥9，供液桶7的排氣壓力通過溢流閥9控制，第二管路14插入供液桶7內(nèi)的一端靠近供液桶7的頂部；第三管路15與機臺連通，第三管路15插入供液桶7內(nèi)的一端靠近供液桶7的底部。
[0017]補液桶6內(nèi)分別連通有第六管路18、第七管路19、第八管路20，其中第六管路18與第一供氣源10相連通，并在第六管路18上設有第二兩位兩通電磁閥2，第六管路18插入補液桶6內(nèi)的一端靠近補液桶6的頂部；第七管路19上設有泄壓的手動斷通閥5，第七管路19插入補液桶6內(nèi)的一端靠近補液桶6的頂部；第八管路20可用于向補液桶6內(nèi)進行工廠補液或手動加液。
[0018]供液桶7與補液桶6內(nèi)均安裝有檢測液位的液位傳感器8，每個桶內(nèi)的液位傳感器8均為上下兩個，分別檢測桶內(nèi)化學液的高液位及低液位。本發(fā)明的第一、二、三兩位兩通電磁閥1、2、3及兩位兩通藥液閥4、手動斷通閥5、溢流閥9及兩個桶內(nèi)的液位傳感器8分別與控制系統(tǒng)相連，控制系統(tǒng)為現(xiàn)有技術(shù)。
[0019]本實施例的第一供氣源10及第二供氣源11分別向補液桶6及供液桶7內(nèi)供給氮氣，與補液桶6連通的第一供氣源10所供給的氣體壓力大于與供液桶7連通的第二供氣源11所供給的氣體壓力，溢流閥9設定的壓力要大于第二供氣源11供給供液桶7的氣體壓力，且小于第一供氣源10供給補液桶6的氣體壓力。
[0020]本實施例的化學液可為兩酮或異丙醇(IPA)。
[0021]本發(fā)明的工作原理為:
[0022]補液桶6和供液桶7中裝著同種化學液，初始狀態(tài)時兩桶均為滿桶，兩位兩通藥液閥4處于關(guān)閉狀態(tài)；第二供氣源11通過第三兩位兩通電磁閥3向供液桶7內(nèi)注入氮氣，形成指定壓力后供液桶7即可以開始經(jīng)第三管路15給機臺供液。供液桶7上的溢流閥9的設定壓力高于第二供氣源11向供液桶7供給的氮氣壓力，當供液桶7中的化學液隨著使用的消耗減少到預定程度后，供液桶7內(nèi)的下位液位傳感器8感知到該位置并發(fā)出信號，控制系統(tǒng)接到信號后第三兩位兩通電磁閥3關(guān)閉，第一兩位兩通電磁閥I打開，壓縮空氣源12驅(qū)動兩位兩通藥液閥4打開；因為第一供氣源10向補液桶6供給的氮氣壓力要高于供液桶7中溢流閥9的設定壓力，所以補液桶6中的化學液會通過兩位兩通藥液閥4壓入到供液桶7中；隨著供液桶7內(nèi)化學液液面的上升，供液桶7中的部分氮氣會從溢流閥9中被排出；當供液桶7內(nèi)化學液液面上升到指定高度(即上位液位傳感器處)時，液位傳感器8將感知到該位置并發(fā)出信號，此時第一兩位兩通電磁閥I關(guān)閉，第三兩位兩通電磁閥3打開，同時兩位兩通藥液閥4恢復關(guān)閉狀態(tài)，補液停止。當補液桶6中的化學液不足時，補液桶6內(nèi)的液位傳感器8會發(fā)出報警信息，此時可以打開手動通斷閥5泄壓后重新向補液桶6內(nèi)加注化學液。
[0023]本發(fā)明利用供液桶7和補液桶6的方式，并且雙桶采用了不同的壓力差進行化學液的驅(qū)動；同時配合溢流閥的壓力控制，實現(xiàn)了供液桶7在任何時候都可以保證機臺所使用化學液的無間斷正常供給。
【權(quán)利要求】
1.一種化學液供給裝置，其特征在于:包括供液桶(7)、補液桶(6)、電磁閥、藥液閥、溢流閥(9)及液位傳感器(8)，其中供液桶(7)與補液桶(6)之間連通的管路上設有藥液閥，所述藥液閥通過電磁閥與壓縮空氣源相連；所述供液桶(7)及補液桶(6)分別連通一個供氣源、并通過電磁閥控制供氣，供液桶(7)與補液桶(6)內(nèi)均安裝有檢測液位的液位傳感器(8)，供液桶(7)連通有控制向外排氣的溢流閥(9);所述供液桶(7)內(nèi)的化學液向機臺供液，補液桶(6)內(nèi)的化學液對供液桶(7)進行補給。
2.按權(quán)利要求1所述的化學液供給裝置，其特征在于:所述補液桶(6)連通有泄壓的手動斷通閥(5)。
3.按權(quán)利要求1或2所述的化學液供給裝置，其特征在于:所述供液桶(7)及補液桶(6)內(nèi)裝有相同的化學液，初始狀態(tài)的供液桶(7)及補液桶(6)內(nèi)的化學液均為滿桶。
4.按權(quán)利要求1或2所述的化學液供給裝置，其特征在于:所述供液桶(7)及補液桶(6)內(nèi)的液位傳感器(8)均為上下兩個，分別檢測桶內(nèi)化學液的高液位及低液位。
5.按權(quán)利要求1或2所述的化學液供給裝置，其特征在于:與補液桶(6)連通的供氣源所供給的氣體壓力大于與供液桶(7)連通的供氣源所供給的氣體壓力。
6.按權(quán)利要求1或2所述的化學液供給裝置，其特征在于:所述供液桶(7)的排氣壓力通過溢流閥(9)控制，該溢流閥(9)設定的壓力大于與供液桶(7)連通的供氣源所供給的氣體壓力，且小于與補液桶(6)連通的供氣源所供給的氣體壓力。
7.按權(quán)利要求1或2所述的化學液供給裝置，其特征在于:所述電磁閥為兩位兩通電磁閥，藥液閥為兩位兩通藥液閥(4 )。
【文檔編號】H01L21/02GK103811297SQ201210460722
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2012年11月15日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月15日
【發(fā)明者】谷德君, 盧繼奎, 張浩淵 申請人:沈陽芯源微電子設備有限公司