專利名稱：玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)及其方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)及其方法，更具體地涉及能夠穩(wěn)定輸送大型玻璃基板并精密研磨玻璃基板邊緣的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)及其方法。
背景技術(shù)：
通常，液晶顯示裝置用的玻璃基板的加工過程是，在從熔化爐中將熔化的玻璃水供給熔融成型機(jī)，通過溫度調(diào)節(jié)將經(jīng)過熔化成型器均勻流動(dòng)的玻璃制造成玻璃基板后，按初級(jí)規(guī)格切斷后，在其表面上涂敷保護(hù)膜，搬運(yùn)到玻璃基板加工線上，進(jìn)行加工。在玻璃基板加工線上，再次將玻璃基板切斷成符合液晶顯示裝置的規(guī)格的尺寸，研磨切斷時(shí)形成的銳利的玻璃基板的4個(gè)邊，在4個(gè)角上分別進(jìn)行倒角加工和方位表示(Orientation Mark)后，用于制造薄膜晶體管(Thin FilmTransistor)。
以往技術(shù)的液晶顯示裝置用的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)，具有通過操作者手動(dòng)作業(yè)搬入已搭載的玻璃基板的栓柱型輸送機(jī)(PegConveyor)、傳送由栓柱型輸送機(jī)搬入的玻璃基板的供給用輥式輸送機(jī)、與供給用輥式輸送機(jī)連接并傳送玻璃基板的第1夾送帶式輸送機(jī)、研磨由第1夾送帶式輸送機(jī)傳送來的玻璃基板2個(gè)邊的第1研磨裝置。此外，還具有將由第1研磨裝置研磨了的玻璃基板旋轉(zhuǎn)90度的旋轉(zhuǎn)裝置、從旋轉(zhuǎn)裝置接受玻璃基板后傳送的第2夾送帶式輸送機(jī)、研磨由第2夾送帶式輸送機(jī)傳送來的玻璃基板其余2個(gè)邊的第2研磨裝置、進(jìn)行倒角和方角表示加工的倒角裝置、搬出玻璃基板的排出用輥式輸送機(jī)。
在如此構(gòu)成的以往技術(shù)的液晶顯示裝置用的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)中，由于第1及第2研磨裝置對(duì)利用第1及第2夾送帶式輸送機(jī)上下夾緊傳送方向的兩側(cè)端而傳送來的玻璃基板的4個(gè)邊進(jìn)行研磨，因此出現(xiàn)玻璃基板的傳送誤差，頻繁發(fā)生倒角不良。不僅如此，由于玻璃基板的直線性及垂角度的維持困難，所以不能夠滿足質(zhì)量要求，存在大大降低生產(chǎn)率的問題。特別是，在利用第1及第2夾送帶式輸送機(jī)傳送大型玻璃基板的情況下，由于在玻璃基板的中央，發(fā)生因重量造成的應(yīng)變變形，因此不適合大型玻璃基板的傳送。因此，當(dāng)務(wù)之急，是開發(fā)能夠穩(wěn)定供給最近急速大型化的玻璃基板的、能夠精密研磨的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)。此外，以往技術(shù)的液晶顯示裝置用的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)的構(gòu)成復(fù)雜，并且配置成一列的總長(zhǎng)非常長(zhǎng)，存在需要大的設(shè)置空間的問題。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明是為解決如此的以往的問題而提出的，目的是提供一種能夠穩(wěn)定地輸送大型玻璃基板并精密研磨玻璃基板邊緣的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)及其方法。
為達(dá)到上述的目的，本發(fā)明的一種玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)，包括供給輸送裝置，搬入被切斷成大致四角形的規(guī)定尺寸的玻璃基板；系統(tǒng)主體，與上述供給輸送裝置串聯(lián)配置，在頂端部和后端部分別提供玻璃基板的搬入位置和搬出位置、第1研磨位置和第2研磨位置，在上述第1研磨位置和第2研磨位置之間，提供轉(zhuǎn)動(dòng)玻璃基板的轉(zhuǎn)動(dòng)位置；第1搬運(yùn)裝置，在上述搬入位置和轉(zhuǎn)動(dòng)位置之間運(yùn)動(dòng)；第2搬運(yùn)裝置，在上述轉(zhuǎn)動(dòng)位置和搬出位置之間運(yùn)動(dòng)；第1轉(zhuǎn)送單元，向上述第1搬運(yùn)裝置傳送上述供給輸送裝置上的玻璃基板；第1研磨裝置，在上述第1研磨位置研磨由上述第1搬運(yùn)裝置搬運(yùn)的玻璃基板的側(cè)面邊緣；旋轉(zhuǎn)裝置，在上述旋轉(zhuǎn)位置將上述第1搬運(yùn)裝置上的玻璃基板旋轉(zhuǎn)大致90度，放置在上述第2搬運(yùn)裝置上；第2研磨裝置，在上述第2研磨位置研磨由上述第2搬運(yùn)裝置搬運(yùn)的玻璃基板的側(cè)面邊緣。
此外，本發(fā)明的研磨玻璃基板的邊緣的方法，包括搬入并供給玻璃基板的步驟；調(diào)整被供給的玻璃基板的第1調(diào)整步驟；搬運(yùn)由上述第1調(diào)整步驟調(diào)整過的玻璃基板的第1搬運(yùn)步驟；研磨通過上述第1搬運(yùn)步驟搬運(yùn)的玻璃基板的側(cè)面邊緣的第1研磨步驟；將經(jīng)過上述第1研磨步驟的玻璃基板旋轉(zhuǎn)大致90度的旋轉(zhuǎn)步驟；搬運(yùn)在上述旋轉(zhuǎn)步驟大致90度旋轉(zhuǎn)的玻璃基板的第2搬運(yùn)步驟；研磨通過上述第2搬運(yùn)步驟搬運(yùn)的玻璃基板的側(cè)面邊緣的第2研磨步驟。
如果根據(jù)本發(fā)明，液晶顯示裝置用的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)及其方法，除了能夠穩(wěn)定且準(zhǔn)確進(jìn)行玻璃基板的傳送和研磨、能夠制造出高質(zhì)量的玻璃基板之外，還能夠得到提高生產(chǎn)率的效果。此外，能夠與玻璃基板的尺寸對(duì)應(yīng)，在廣范圍內(nèi)使用，不僅能夠研磨大型玻璃基板，還具有結(jié)構(gòu)及配置簡(jiǎn)單、縮小設(shè)置空間的效果。


圖1a及圖1b是表示利用本發(fā)明的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)研磨的玻璃基板的主視圖及剖視圖。
圖2是表示本發(fā)明的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)研磨的主視圖。
圖3是表示從本發(fā)明的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)中卸除第1及第2研磨裝置和旋轉(zhuǎn)裝置后的俯視圖。
圖4是表示本發(fā)明的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)中的供給輸送裝置及第1轉(zhuǎn)送單元的主視圖。
圖5是表示第1轉(zhuǎn)送單元的夾緊部件的俯視圖。
圖6是圖4的主視圖。
圖7是供給輸送裝置的俯視圖。
圖8是本發(fā)明的供給輸送裝置的制動(dòng)器的剖視圖。
圖9是表示本發(fā)明的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)中的系統(tǒng)主體和第1及第2搬運(yùn)裝置、第1及第2研磨裝置、以及旋轉(zhuǎn)裝置的配置的主視圖。
圖10是表示本發(fā)明的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)中的系統(tǒng)主體的俯視圖。
圖11是圖13的主視圖。
圖12是表示本發(fā)明的第1搬運(yùn)裝置的俯視圖。
圖13是表示本發(fā)明的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)中的系統(tǒng)主體和第1搬運(yùn)裝置、第1定心裝置、第1研磨裝置的配置的主視圖。
圖14是表示第1研磨裝置的橫斷傳送臺(tái)的主視圖。
圖15是圖14的俯視圖。
圖16示表示第1研磨裝置的第1及第2研磨單元的主視圖。
圖17是圖16的俯視圖。
圖18是局部放大表示第1研磨裝置中的冷卻單元和校正組件的工作的剖視圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施例。
圖1a及圖1b～圖18，是表示用于說明本發(fā)明的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)及其方法的圖。
首先，參照?qǐng)D1a及圖1b說明，在利用本發(fā)明的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)研磨的玻璃基板10上，具有2個(gè)短邊11和2個(gè)長(zhǎng)邊12。另外，在研磨過的玻璃基板10的角部，形成3個(gè)倒角部13和1個(gè)方位表示部14。此外，在利用本發(fā)明的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)研磨的玻璃基板10的上面，涂敷保護(hù)用薄膜15。如此的玻璃基板10，能夠用作例如液晶顯示裝置。
如果參照?qǐng)D2、圖3、圖7及圖8，本發(fā)明的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)，具有搬入玻璃基板10的供給輸送裝置20。在供給輸送裝置20上設(shè)置寬度較窄、長(zhǎng)度較長(zhǎng)的框架21及傳送玻璃基板10的帶式輸送裝置60。帶式輸送裝置60由配置在驅(qū)動(dòng)軸61中央的中心帶式輸送裝置62和配置在該中心帶式輸送裝置62兩側(cè)的第1側(cè)帶式輸送裝置63和第2側(cè)帶式輸送裝置64構(gòu)成。
在供給輸送裝置20的玻璃基板傳送方向的后端部，設(shè)置有調(diào)整由帶式輸送裝置60傳送來的玻璃基板10的預(yù)調(diào)整裝置。預(yù)調(diào)整裝置具有在玻璃基板10的傳送方向的前方側(cè)配置的一對(duì)第1制動(dòng)器71、在玻璃基板10的傳送方向的一側(cè)配置的一對(duì)第2制動(dòng)器72、在玻璃基板10的傳送方向的另一側(cè)配置的推壓構(gòu)件73。由供給輸送裝置20傳送來的玻璃基板10被第1制動(dòng)器71停止，通過推壓構(gòu)件73抵抗著第2制動(dòng)器72推壓玻璃基板10，調(diào)整玻璃基板10。如此，通過在用后述的第1轉(zhuǎn)送單元1100將玻璃基板10傳送到第1搬運(yùn)裝置200上之前預(yù)調(diào)整玻璃基板10，在將玻璃基板10放置在第1搬運(yùn)裝置上時(shí)，能夠防止因玻璃基板的錯(cuò)誤對(duì)準(zhǔn)而損傷的可能性，此外，能夠更容易進(jìn)行在第1搬運(yùn)裝置上的玻璃基板10的調(diào)整作業(yè)。如圖8所示，第1制動(dòng)器71、第2制動(dòng)器72及推壓構(gòu)件73的接觸玻璃基板10的部分，最好是具有斷面形狀為在上方被錐形化的形狀。從而，在利用第1轉(zhuǎn)送單元1100的夾緊部件1120提起玻璃基板的時(shí)候，能夠防止與第1制動(dòng)器71、第2制動(dòng)器72及推壓構(gòu)件73接觸。
在供給輸送裝置20上由預(yù)調(diào)整裝置調(diào)整的玻璃基板10，被第1轉(zhuǎn)送單元1100傳送到位于后述的系統(tǒng)主體150的搬入位置的第1搬運(yùn)裝置200上。
如果參照?qǐng)D2及圖4～圖6，第1轉(zhuǎn)送單元1100具有附在垂直的2個(gè)柱1101上端的縱向傳送臺(tái)1110，在縱向傳送臺(tái)1110上設(shè)置沿著通過傳送電機(jī)1111的驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)的傳送螺旋軸1112直線運(yùn)動(dòng)的滑架1113。在滑架1113的一側(cè)安裝著升降氣缸1114，在升降氣缸1114上可動(dòng)作地連結(jié)著夾緊玻璃基板10的夾緊部件1120。夾緊部件1120的夾緊用板1121的上面中央被固定在升降氣缸1114的活塞桿1114a上，在夾緊用板1121的四周延長(zhǎng)形成具有槽1122a的一對(duì)支架1122。另外，在支架1122的槽1122a上，分別安裝著可移動(dòng)的真空墊片1123。在縱向的傳送臺(tái)1110的頂端和后端，分別安裝著限制滑架1113運(yùn)動(dòng)的第1制動(dòng)器1130a和第2制動(dòng)器1130b。
如果參照?qǐng)D2及圖3以及圖9～圖11，在供給輸送裝置20的下游側(cè)串聯(lián)排列著系統(tǒng)主體150。以系統(tǒng)主體150的上表面中央為中心，垂直排列著4個(gè)柱151，在柱151的上端設(shè)置有安裝板152。在系統(tǒng)主體150的頂端部(上游側(cè))分別提供玻璃基板10的搬入位置和第1研磨位置，在后端部(下游側(cè))分別提供搬出位置和第2研磨位置。另外，在系統(tǒng)主體150的第1研磨位置和第2研磨位置的之間，提供使玻璃基板10旋轉(zhuǎn)90度的旋轉(zhuǎn)位置。
在系統(tǒng)主體150的上面，沿玻璃基板10的傳送方向并列附設(shè)著一對(duì)導(dǎo)軌190，在導(dǎo)軌190上設(shè)置有在系統(tǒng)主體150的搬入位置和旋轉(zhuǎn)位置之間運(yùn)動(dòng)的第1搬運(yùn)裝置200。第1搬運(yùn)裝置200具有沿著導(dǎo)軌190傳送的底板210和工作臺(tái)220。工作臺(tái)220包括沿著玻璃基板10的傳送方向相互并列固定在底板210的上表面中央的第1固定臺(tái)架221和第2固定臺(tái)架222，以及在第1固定臺(tái)架221及第2固定臺(tái)架222的兩側(cè)以能夠調(diào)節(jié)橫向間隔的方式并列配置的第1活動(dòng)臺(tái)架223和第2活動(dòng)臺(tái)架224。在第1固定臺(tái)架221及第2固定臺(tái)架222和第1活動(dòng)臺(tái)架223及第2活動(dòng)臺(tái)架224上，形成多個(gè)空氣孔225及水孔233，通過空氣孔225有選擇地噴射或者吸入空氣，通過水孔233噴射水。即，在進(jìn)行已放置在工作臺(tái)220上的玻璃基板10的調(diào)整作業(yè)時(shí)，為了容易進(jìn)行調(diào)整作業(yè)，通過空氣孔225噴射空氣、通過水孔233噴射水，如此能夠?qū)⒉ＡЩ?0從工作臺(tái)220僅浮動(dòng)規(guī)定距離。從而，也能夠容易地調(diào)整尺寸大的大型玻璃基板。另外，為了研磨玻璃基板10的邊緣，在第1搬運(yùn)裝置200移動(dòng)以通過第1研磨裝置的時(shí)候，通過空氣孔225，吸引力作用，玻璃基板10能夠被吸附在工作臺(tái)220上。從而，將玻璃基板10固定在工作臺(tái)220上。此外，在第1固定臺(tái)架221及第2固定臺(tái)架222和第1活動(dòng)臺(tái)架223及第2活動(dòng)臺(tái)架224的上面，附設(shè)著用于防止玻璃基板10的損傷、并輔助真空吸附的海綿墊226。
第1搬運(yùn)裝置200還具有配置在第1活動(dòng)臺(tái)架223及第2活動(dòng)臺(tái)架224的下面的兩端上、輔助第1活動(dòng)臺(tái)架223及第2活動(dòng)臺(tái)架224的直線運(yùn)動(dòng)的導(dǎo)向部件240。導(dǎo)向部件240包括在底板210的上面固定的導(dǎo)軌241和沿著該導(dǎo)軌241直線運(yùn)動(dòng)且固定在第1活動(dòng)臺(tái)架223及第2活動(dòng)臺(tái)架224的下面的滑子242。第1搬運(yùn)裝置200的第1活動(dòng)臺(tái)架223及第2活動(dòng)臺(tái)架224，由夾緊部件250限制移動(dòng)。夾緊部件250包括固定在第1活動(dòng)臺(tái)架223及第2活動(dòng)臺(tái)架224的外側(cè)的固定部件251，被橫向固定在與該固定部件251相對(duì)應(yīng)的位置的底板210的上面、并形成有槽252a的導(dǎo)向部件252，沿著導(dǎo)向部件252的槽252a移動(dòng)并以防止從槽252b脫離的方式安裝的鎖緊螺母253，貫通固定部件251并連結(jié)在鎖緊螺母253上的夾緊把手254。在固定部件251的附近位置，安裝能夠測(cè)定第1活動(dòng)臺(tái)架223及第2活動(dòng)臺(tái)架224的位置的定尺255。在圖中，表示4個(gè)導(dǎo)向部件240和4個(gè)夾緊部件250分別設(shè)在底板210的角部，但這些設(shè)置個(gè)數(shù)及位置可以根據(jù)需要適當(dāng)變更。
第1搬運(yùn)裝置200通過第1傳送裝置260沿著導(dǎo)軌190、在系統(tǒng)主體150的搬入位置和旋轉(zhuǎn)位置之間運(yùn)動(dòng)。第1傳送裝置260從系統(tǒng)主體150的頂端部到中央部、沿著玻璃基板10的傳送方向同導(dǎo)軌190并列配置的傳送螺旋軸261，以及沿著該傳送螺旋軸261運(yùn)動(dòng)、被固定在底板210的下面的傳送螺母263。
如圖10～圖12所示，在底板210的后端部設(shè)有從玻璃基板10去除異物的噴射部件270，噴射部件270具有在底板210的橫向排列的、噴射水的多個(gè)噴嘴271。在系統(tǒng)主體150的搬入位置和旋轉(zhuǎn)位置，分別安裝著限制第1搬運(yùn)裝置200的傳送的第1制動(dòng)器280a及第2制動(dòng)器280b、和感知第1搬運(yùn)裝置200的位置并控制傳送電機(jī)262的驅(qū)動(dòng)的第1傳感器281a及第2傳感器281b。
如圖2、圖9及圖13所示，本發(fā)明的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)中，在系統(tǒng)主體150的第1研磨位置上具有第1研磨裝置500，該第1研磨裝置500執(zhí)行由第1搬運(yùn)裝置200傳送來的玻璃基板10的傳送方向的兩側(cè)邊部例如2個(gè)短邊11的研磨工序。
如圖9、圖13～圖17所示，第1研磨裝置500具有在安裝板152的頂端以在橫斷方向設(shè)置的橫斷傳送臺(tái)501，在橫斷傳送臺(tái)501的前面上下方并列設(shè)置著導(dǎo)軌502。在橫斷傳送臺(tái)501的導(dǎo)軌502上，以規(guī)定的間隔分隔設(shè)置有第1研磨單元510和第2研磨單元550。第1研磨單元510和第2研磨單元550分別包括傳送電機(jī)511、551，通過傳送電機(jī)511、551驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)的傳送螺旋軸512、522，具有沿著傳送螺旋軸512、522運(yùn)動(dòng)的傳送螺母513a、553a的滑架513、553。在滑架513、553的一側(cè)，垂直安裝著導(dǎo)軌514、554，在導(dǎo)軌514、554上安裝著直線運(yùn)動(dòng)的滑塊515、555?；瑝K515、555通過螺栓515a、555a的連結(jié)限制滑架513、553的移動(dòng)?；?13、553由接近螺旋軸512、522的兩端安裝的第1制動(dòng)器516a、556a和第2制動(dòng)器516b、556b限制其運(yùn)動(dòng)，在第1制動(dòng)器517a和第2制動(dòng)器557a的附近位置，分別安裝著感知滑架513、553的位置并控制傳送電機(jī)511、551的驅(qū)動(dòng)的第1傳感器517a、557a和第2傳感器517b、557b。
在滑塊515、555的一側(cè)設(shè)有主軸電機(jī)518、558，在主軸電機(jī)518、558上可工作地連結(jié)有旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的第1研磨輪520及第2研磨輪560。在第1研磨輪520及第2研磨輪560的外周，沿著圓周方向、按相同間隔形成研磨玻璃基板10的5個(gè)研磨槽521、561。第1研磨輪520及第2研磨輪560由金剛石制成，通過主軸電機(jī)518、558的驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)，研磨進(jìn)入研磨槽521、561中的1個(gè)槽中的玻璃基板10的短邊11。然后，第1研磨輪520及第2研磨輪560的外側(cè)由蓋522、562覆蓋。
第1研磨單元510及第2研磨單元550的滑塊515、555，通過升降調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)530、570，沿著導(dǎo)軌514、554上下直線運(yùn)動(dòng)，從而微調(diào)第1研磨輪520及第2研磨輪560對(duì)玻璃基板10的研磨位置。升降調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)530、570包括微測(cè)量頭531、571，通過該微測(cè)量頭531、571的調(diào)節(jié)而轉(zhuǎn)動(dòng)的調(diào)節(jié)螺旋軸532、572，固定在滑塊515、555的一側(cè)并沿著調(diào)節(jié)螺旋軸532、572運(yùn)動(dòng)的傳送螺母533、573。如果操作者調(diào)節(jié)升降調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)530、570的微測(cè)量頭531、571使調(diào)節(jié)螺旋軸532、572轉(zhuǎn)動(dòng)，則傳送螺母533、573運(yùn)動(dòng)，沿著導(dǎo)軌514、554升降滑塊515、555，通過與此并行的第1研磨輪520及第2研磨輪560的升降，微調(diào)研磨槽521、561對(duì)玻璃基板10的位置。結(jié)果，第1研磨輪520及第2研磨輪560的壽命延長(zhǎng)。利用度盤指示器534、574測(cè)定由微測(cè)量頭531、571的調(diào)節(jié)決定的第1研磨輪520及第2研磨輪560的研磨位置。
如圖2、圖16及圖17所示，在覆蓋第1研磨單元510及第2研磨單元550的第1研磨輪520及第2研磨輪560的蓋520、562的一側(cè)，設(shè)置冷卻第1研磨輪520及第2研磨輪560的冷卻單元540、580。冷卻單元540、580的噴嘴541、581以從上方大致45度的角度對(duì)第1研磨輪520及第2研磨輪560的研磨槽521、561噴射冷卻水。由此，通過經(jīng)冷卻單元540、580的噴嘴541、581的冷卻水的噴射，能夠防止第1研磨輪520及第2研磨輪560的劣化及玻璃基板10的燒損。另外，在靠近第1研磨輪520及第2研磨輪560一側(cè)的位置設(shè)置修整機(jī)構(gòu)545、585的噴嘴546、586，用于周期性地向研磨槽521、561噴射壓縮空氣。通過修整機(jī)構(gòu)545、585的噴嘴546、586噴射的壓縮空氣，消除玻璃屑造成的研磨槽521、561的堵塞或不暢。
如圖3所示，在第1研磨裝置500的上游側(cè)，設(shè)置第1角切削用裝置500a。該角切削用裝置5000a分別與通過第1搬運(yùn)裝置200傳送的玻璃基板10的頂端及后端的角部接觸，用于在玻璃基板10的角部形成3個(gè)倒角部13及方位表示部14，由于其結(jié)構(gòu)與研磨裝置500類似，因此對(duì)其結(jié)構(gòu)的說明省略，關(guān)于其運(yùn)轉(zhuǎn)情況，見后述。
此外，優(yōu)選在第1研磨裝置500的下游側(cè)設(shè)置邊緣拋光裝置500b，以便更光滑地研磨由第1研磨裝置500研磨過的邊緣。由于邊緣拋光裝置500b的結(jié)構(gòu)也與第1研磨裝置500的結(jié)構(gòu)相同，因此對(duì)其結(jié)構(gòu)的說明省略。但是，邊緣拋光裝置500b采用精度比研磨裝置的研磨輪高的研磨輪。
如果參照?qǐng)D2及圖3，本發(fā)明的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)具有旋轉(zhuǎn)裝置600，其配設(shè)在系統(tǒng)主體150的旋轉(zhuǎn)位置，用于使經(jīng)過第1研磨裝置500的研磨工序的玻璃基板10旋轉(zhuǎn)90度。
如果參照?qǐng)D2及圖3，在系統(tǒng)主體150的導(dǎo)軌190上，設(shè)置在旋轉(zhuǎn)位置和搬出位置的之間運(yùn)動(dòng)的第2搬運(yùn)裝置700。由于第2搬運(yùn)裝置700的結(jié)構(gòu)及作用與第1搬運(yùn)裝置200相同，因此對(duì)結(jié)構(gòu)及作用與第1搬運(yùn)裝置200相同的第2搬運(yùn)裝置700的詳細(xì)說明省略。
如果參照?qǐng)D2及圖3，本發(fā)明的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)在系統(tǒng)主體150的第2研磨位置具有第2研磨裝置1000，用于進(jìn)行由第2搬運(yùn)裝置800傳送來的玻璃基板10的傳送方向的兩側(cè)端例如2個(gè)長(zhǎng)邊12的研磨工序。由于第2研磨裝置1000的結(jié)構(gòu)及作用與第1研磨裝置500相同，因此對(duì)結(jié)構(gòu)及作用與第1研磨裝置500相同的第2研磨裝置1000的詳細(xì)說明省略。
此外，優(yōu)選在第2研磨裝置1000的下游側(cè)設(shè)置邊緣拋光裝置500b，以便更光滑地研磨由第2研磨裝置1000研磨過的邊緣。
另外，如果參照?qǐng)D3，設(shè)置判斷玻璃基板10的研磨結(jié)束后例如在系統(tǒng)主體150的搬出位置的4個(gè)角部是否有玻璃基板10的側(cè)面邊緣加工的異常的LVDT(linear variable differential transformer)及/或監(jiān)控裝置750。LVDT通過測(cè)定玻璃基板10的側(cè)面4個(gè)角部的位置來判斷是否良好地研磨了玻璃基板10的側(cè)面邊緣，監(jiān)控裝置通過觀測(cè)玻璃基板10的4個(gè)角來判斷玻璃基板10的4個(gè)角的加工狀態(tài)。
如果參照?qǐng)D2及圖3，本發(fā)明的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)具有第2輸送裝置1100，其配置在系統(tǒng)主體150的下游側(cè)，用于從系統(tǒng)主體150的搬出位置搬出經(jīng)過了第2研磨裝置1000的研磨工序的玻璃基板10。由于第2輸送裝置1100的結(jié)構(gòu)及作用與第1轉(zhuǎn)送單元1100相同，因此附加相同的附圖標(biāo)記，并省略對(duì)其的說明。
以下，說明采用本發(fā)明的液晶顯示裝置用的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)及其研磨方法的實(shí)施。
如果從供給輸送裝置20將玻璃基板10傳送過來后，利用預(yù)調(diào)整裝置調(diào)整玻璃基板10，驅(qū)動(dòng)第1轉(zhuǎn)送單元1100的升降氣缸1114使活塞桿1114a前進(jìn)，夾緊板1121下降使真空墊片1123與玻璃基板10的上表面接觸。通過夾緊板1121的真空墊片1123，真空吸附玻璃基板10的上表面。如果在此狀態(tài)下，驅(qū)動(dòng)升降氣缸1114，則活塞桿1114a后退，夾緊板1121上升。然后，如果驅(qū)動(dòng)傳送電機(jī)111使傳送螺旋軸1112轉(zhuǎn)動(dòng)，滑架1113沿著縱向的傳送臺(tái)1110向后端傳送?；?113的傳送被安裝在縱向的傳送臺(tái)1110后端的第2制動(dòng)器1130b擋住而停止。在滑架1113停止后，通過驅(qū)動(dòng)升降氣缸1114活塞桿1114a前進(jìn)，夾緊板1121下降，直到玻璃基板10抵接在第1搬運(yùn)裝置200的工作臺(tái)220上。接著，通過去除夾緊板1121的真空墊片1123的真空吸引力，將玻璃基板10傳遞到第1搬運(yùn)裝置200的工作臺(tái)220上。然后，通過升降氣缸1114的驅(qū)動(dòng)，夾緊板1121上升。
如果參照?qǐng)D12，在將玻璃基板10搭載在第1搬運(yùn)裝置200的工作臺(tái)220上后，利用第1定心裝置300進(jìn)行調(diào)整。此時(shí)，通過空氣孔225及水孔233分別噴射空氣和水，玻璃基板10成為從工作臺(tái)220稍微浮動(dòng)的狀態(tài)。
再參照?qǐng)D12，如果通過定心裝置300的動(dòng)作玻璃基板10被調(diào)整，則通過分別形成在第1搬運(yùn)裝置200的第1固定臺(tái)架221及第2固定臺(tái)架222和第1活動(dòng)臺(tái)架223及第2活動(dòng)臺(tái)夾224上的吸氣孔225吸入空氣，玻璃基板10被真空吸附在海綿墊226上。
如圖10及圖11所示，如果驅(qū)動(dòng)第1傳送裝置260的傳送電機(jī)262使傳送螺旋軸261旋轉(zhuǎn)，則傳送螺母262沿著傳送螺旋軸261運(yùn)動(dòng)，將第1搬運(yùn)裝置200從系統(tǒng)主體150的搬入位置移送到第1研磨位置。
參照?qǐng)D13～圖18，當(dāng)?shù)?搬運(yùn)裝置200到達(dá)系統(tǒng)主體150的第1研磨位置時(shí)，玻璃基板10的傳送方向的頂端的角部就與角切削用裝置500a的研磨輪(未圖示)接觸，角切削用裝置500a、第1研磨單元及第2研磨單元(未圖示)通過傳送電機(jī)的驅(qū)動(dòng)分別向玻璃基板10的兩側(cè)移動(dòng)，從而在玻璃基板頂端的角部形成倒角部13。然后，玻璃基板10的兩側(cè)端部分別與通過第1研磨裝置500的主軸電機(jī)518、558的驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)的第1研磨輪520及第2研磨輪560的研磨槽521、561接觸。此外，如果角切削用裝置500a的研磨輪接近玻璃基板10的傳送方向的后端，則研磨輪通過傳送電機(jī)的驅(qū)動(dòng)朝橫向的傳送臺(tái)501的中央傳送。從而，也在玻璃基板的傳送方向的后端的角部形成倒角部13。因此，能夠利用角切削用裝置500a的研磨輪在玻璃基板10的傳送方向的角部形成倒角部13，通過第1研磨輪及第2研磨輪的研磨，能夠分別研磨例如2個(gè)短邊11。冷卻單元540、580的噴嘴541、581向第1研磨單元510及第2研磨單元550的研磨槽521、561上噴射冷卻水，來防止第1研磨輪520及第2研磨輪560的劣化及玻璃基板10的燒損。修整機(jī)構(gòu)545、585的噴嘴546、586，向第1研磨單元510及第2研磨單元550的研磨槽521、561周期性地噴射壓縮空氣，消除玻璃屑造成的研磨槽521、561的堵塞或不暢。另外，設(shè)在第1搬運(yùn)裝置200的后端的噴射部件270的噴嘴271，向玻璃基板10噴射水，以去除研磨產(chǎn)生的玻璃粉。
在如此的第1角切削用輪的研磨工作中，相對(duì)于搭載在第1搬運(yùn)裝置200上傳送的玻璃基板10的傳送速度，將一對(duì)角切削用輪的移送速度調(diào)節(jié)成互不相同，則如圖1a及1b所示，在玻璃基板10的傳送方向的頂端的角部形成倒角部13和方角顯示部14。玻璃基板10的方角顯示部14由包角輪中的移送速度相對(duì)慢的一方形成。
再參照?qǐng)D10及圖11，當(dāng)?shù)?搬運(yùn)裝置200通過系統(tǒng)主體150的第1研磨位置后到達(dá)旋轉(zhuǎn)位置，則第1搬運(yùn)裝置200的底板210就被第2制動(dòng)器280b擋住，通過感知第1搬運(yùn)裝置200位置的第2傳感器281b的控制，傳送電機(jī)262的驅(qū)動(dòng)停止。
如圖2及圖3所示，第1搬運(yùn)裝置200的傳送在系統(tǒng)主體150的旋轉(zhuǎn)位置停止后，玻璃基板10通過旋轉(zhuǎn)裝置600旋轉(zhuǎn)90度，從而使原來長(zhǎng)邊12朝傳送方向的玻璃基板10的短邊11朝傳送方向。
如果再參照?qǐng)D10及圖11，在通過旋轉(zhuǎn)裝置600的驅(qū)動(dòng)使玻璃基板10升高的過程中，第1搬運(yùn)裝置200從系統(tǒng)主體150的旋轉(zhuǎn)位置返回到搬入位置。在第1搬運(yùn)裝置200返回后，利用第2傳送裝置760的傳送電機(jī)762的驅(qū)動(dòng)將第2搬運(yùn)裝置700從系統(tǒng)主體150的搬出位置向旋轉(zhuǎn)位置傳送。然后，如果利用旋轉(zhuǎn)裝置600使玻璃基板10放置在第2搬運(yùn)裝置700上，則將第2搬運(yùn)裝置700從系統(tǒng)主體150的旋轉(zhuǎn)位置向第2研磨位置傳送。被傳送的玻璃基板10分別與第2研磨裝置1000的第1研磨輪及第2研磨輪的研磨槽接觸。第2研磨裝置1000的第1研磨輪及第2研磨輪，通過與第1研磨裝置500的第1研磨單元510及第2研磨單元550同樣的動(dòng)作，研磨玻璃基板10的2個(gè)長(zhǎng)邊12。
如果采用本發(fā)明，在玻璃基板10的研磨結(jié)束后，例如通過利用在系統(tǒng)主體150的搬出位置的4角部設(shè)置的LVDT測(cè)定玻璃基板10的尺寸，判斷有無加工異常。LVDT通過測(cè)定玻璃基板10的4個(gè)角部的位置，判斷玻璃基板10的側(cè)面邊緣是否被良好地研磨。
如圖2及圖3所示，在第2研磨裝置1000被傳送到系統(tǒng)主體150的搬出位置后，由第2輸送裝置1100搬送到搬出裝置1200上。
以上的內(nèi)容只不過是例示本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的內(nèi)容，本發(fā)明在權(quán)利要求書中所公開的本發(fā)明的范疇內(nèi)，能夠進(jìn)行多種變更及修正。
權(quán)利要求
1.一種玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)，其特征在于，包括供給輸送裝置，搬入被切斷成大致四角形的規(guī)定尺寸的玻璃基板；系統(tǒng)主體，與上述供給輸送裝置串聯(lián)配置，在頂端部和后端部分別提供玻璃基板的搬入位置和搬出位置、第1研磨位置和第2研磨位置，在上述第1研磨位置和第2研磨位置之間，提供轉(zhuǎn)動(dòng)玻璃基板的轉(zhuǎn)動(dòng)位置；第1搬運(yùn)裝置，在上述搬入位置和轉(zhuǎn)動(dòng)位置之間運(yùn)動(dòng)；第2搬運(yùn)裝置，在上述轉(zhuǎn)動(dòng)位置和搬出位置之間運(yùn)動(dòng)；第1轉(zhuǎn)送單元，向上述第1搬運(yùn)裝置傳送上述供給輸送裝置上的玻璃基板；第1研磨裝置，在上述第1研磨位置研磨由上述第1搬運(yùn)裝置搬運(yùn)的玻璃基板的側(cè)面邊緣；旋轉(zhuǎn)裝置，在上述轉(zhuǎn)動(dòng)位置將上述第1搬運(yùn)裝置上的玻璃基板旋轉(zhuǎn)大致90度，放置在上述第2搬運(yùn)裝置上；第2研磨裝置，在上述第2研磨位置研磨由上述第2搬運(yùn)裝置搬運(yùn)的玻璃基板的側(cè)面邊緣。
2.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)，其特征在于，還具有將用上述第2研磨裝置研磨完的玻璃基板從上述第2搬運(yùn)裝置傳遞到排出裝置上的第2轉(zhuǎn)送單元。
3.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)，其特征在于，上述第1轉(zhuǎn)送單元真空吸附上述供給輸送裝置上的玻璃基板，并傳送到上述第1搬運(yùn)裝置上。
4.如權(quán)利要求2所述的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)，其特征在于，上述第2轉(zhuǎn)送單元真空吸附上述第2搬運(yùn)裝置上的玻璃基板，并傳遞到上述傳送輸送裝置上。
5.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)，其特征在于，還具有用于在上述第1研磨位置切削由上述第1搬運(yùn)裝置搬運(yùn)的玻璃基板的角部的角切削用裝置。
6.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)，其特征在于，上述供給輸送裝置具有在將玻璃基板傳送到上述第1搬運(yùn)裝置上之前調(diào)整玻璃基板的預(yù)調(diào)整裝置。
7.如權(quán)利要求6所述的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)，其特征在于，上述預(yù)調(diào)整裝置具有在上述供給輸送裝置的玻璃基板傳送方向的后端部及一側(cè)部設(shè)置的制動(dòng)器，和設(shè)在另一側(cè)部的推壓構(gòu)件。
8.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)，其特征在于，還具有用于測(cè)定已研磨的玻璃基板尺寸的LVDT。
9.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)，其特征在于，還具有用于確認(rèn)已研磨的玻璃基板的倒角部及方位表示部的監(jiān)控裝置。
10.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)，其特征在于上述第1及第2搬運(yùn)裝置分別具有在調(diào)整玻璃基板時(shí)使放置在其上面的玻璃基板浮動(dòng)的水噴射機(jī)構(gòu)。
11.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)，其特征在于上述第1及第2研磨裝置分別具有橫向的傳送臺(tái)；第1及第2研磨單元，按規(guī)定間隔分離地設(shè)置在上述橫向的傳送臺(tái)上，分別具有沿著通過傳送電機(jī)的驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)的傳送螺旋軸直線運(yùn)動(dòng)的滑架、和設(shè)在上述滑架的一側(cè)且通過主軸電機(jī)的驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)的第1及第2研磨輪；以及升降調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，使上述第1及第2研磨輪升降。
12.一種玻璃基板邊緣研磨方法，用于研磨玻璃基板的邊緣，其特征在于，包括搬入并供給玻璃基板的步驟；調(diào)整被供給的玻璃基板的第1調(diào)整步驟；搬運(yùn)由上述第1調(diào)整步驟調(diào)整過的玻璃基板的第1搬運(yùn)步驟；研磨通過上述第1搬運(yùn)步驟搬運(yùn)的玻璃基板的側(cè)面邊緣的第1研磨步驟；將經(jīng)過上述第1研磨步驟的玻璃基板旋轉(zhuǎn)大致90度的旋轉(zhuǎn)步驟；搬運(yùn)在上述旋轉(zhuǎn)步驟大致90度旋轉(zhuǎn)的玻璃基板的第2搬運(yùn)步驟；研磨通過上述第2搬運(yùn)步驟搬運(yùn)的玻璃基板的側(cè)面邊緣的第2研磨步驟。
13.如權(quán)利要求12所述的玻璃基板邊緣研磨方法，其特征在于，還具有在供給上述玻璃基板之前預(yù)先調(diào)整玻璃基板的預(yù)調(diào)整步驟。
14.如權(quán)利要求12所述的玻璃基板邊緣研磨方法，其特征在于上述玻璃基板的供給是通過真空吸附玻璃基板進(jìn)行的。
15.如權(quán)利要求12所述的玻璃基板邊緣研磨方法，其特征在于，還具有在上述玻璃基板的第2研磨步驟后測(cè)定被研磨的玻璃基板的尺寸的尺寸測(cè)定步驟。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)。本發(fā)明的玻璃基板邊緣研磨系統(tǒng)，具有用于研磨由第1及第2搬運(yùn)裝置搬運(yùn)的玻璃基板的側(cè)面邊緣的第1及第2研磨裝置，以及從供給輸送裝置向第1搬運(yùn)裝置上傳送玻璃基板的第1轉(zhuǎn)送單元。此外，具有在將玻璃基板傳送到第1搬運(yùn)裝置上之前預(yù)先調(diào)整玻璃基板的預(yù)調(diào)整裝置。另外，還設(shè)有在第1研磨裝置的上游側(cè)切削玻璃基板的角部的角切削用裝置。
文檔編號(hào)B24B9/08GK1626310SQ20041010011
公開日2005年6月15日 申請(qǐng)日期2004年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月9日
發(fā)明者李昌夏, 金澤天, 金圣撤, 全良根, 朱恩秀 申請(qǐng)人:三星康寧精密琉璃株式會(huì)社