專利名稱：帶有磁鐵的等離子體的連續(xù)蒸鍍裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及蒸鍍裝置，尤其是通過在電極后面交替配置N極磁鐵和S極磁鐵，通過產生的電磁場增加電離能力，增強聚合效率的等離子體的連續(xù)蒸鍍裝置。
利用等離子體在金屬材料表面上蒸鍍高分子材料的一般方法為在工藝間內部配置兩個電極，使材料位于兩個電極之間。將材料連結在電源供應裝置上，在電極接地的狀態(tài)下，利用真空泵將工藝間內部維持真空狀態(tài)，同時，利用電源供應裝置對電極進行供電，通過放電產生等離子體。等離子體破壞氣體的分子鍵，在材料的表面上蒸鍍高分子膜。但是，等離子體蒸鍍需要將一定大小的材料放入工藝間內，安裝好后，調整工藝間內的環(huán)境，才能夠進行蒸鍍，所以不能連續(xù)作業(yè)，不適合批量生產。
為了解決上述問題，通常將薄板狀材料纏繞在輪子上，通過開卷機將材料連續(xù)送入工藝間，在工藝間內進行蒸鍍。在工藝間的另一端將蒸鍍后的材料纏繞在卷繞機上，就可以進行連續(xù)作業(yè)。
如

圖1所示，現有技術的等離子體的連續(xù)蒸鍍裝置的結構為工藝間1的內部設置有上部電極2和下部電極3，上部電極2和下部電極3之間保持一定間距；工藝間1的一側設置有開卷機5，開卷機5將帶狀材料4連續(xù)供應給工藝間1；工藝間1的另一側設置有卷繞機6，卷繞機6用于卷繞經過工藝間1的上部電極2和下部電極3之間被蒸鍍的帶狀材料4。
開卷機5位于開卷間7內，卷繞機6位于卷繞間8內，在開卷機5和卷繞機6的周邊設置有引導帶狀材料4的引導輪9。另外，在工藝間1的一側下部設置有反應氣體注入管10，另外一側設置有排氣管11。
具有上述結構的現有技術的利用等離子體的連續(xù)蒸鍍裝置工作過程為首先施加電源，開卷機5旋轉，將帶狀材料4供應到工藝間1的內部；供應到工藝間1內部的帶狀材料4經過上部電極2和下部電極3之間之后被卷繞機6連續(xù)卷繞。
在上述狀態(tài)下，反應氣體通過注入管10供應到工藝間1的內部；同時利用泵通過排氣管11抽出排氣，使工藝間1的內部維持一定壓力。向上部電極2和下部電極3以及帶狀材料4施加直流電源，上部電極2、下部電極3和帶狀材料4之間形成等離子體，使移動的帶狀材料4的表面蒸鍍高分子聚合膜。
但是具有上述結構的利用等離子體的高分子膜連續(xù)蒸鍍裝置中，當材料快速移動時不能得到充分的蒸鍍，影響生產效率。
為了解決上述技術問題，本發(fā)明采用的技術方案是一種帶有磁鐵的等離子體的連續(xù)蒸鍍裝置，包括工藝間、上部電極、下部電機、開卷機、卷繞機和N/S極磁鐵。上部電極作為負極設置在工藝間的內部上側；下部電極也作為負極，與上部電極保持一定間距設置在工藝間的下側；開卷機設置在工藝間的一側，開卷機上卷繞有帶狀材料，帶狀材料用于向上部電極和下部電極之間進行供應；卷繞機設置在工藝間的另外一側，卷繞機用于卷繞經過上部電極和下部電極之間進行等離子體蒸鍍之后的材料；N/S極磁鐵交替設置在上部電極和下部電極的后面，利用產生的磁場提高反應氣體的離子化率。
為了使設置在上部電極2后面的N極磁鐵和S極磁鐵產生的磁場比上部電極產生的電場的范圍大，最好使N極磁鐵121和S極磁鐵122的設置面積A是上部電極102的105％～120％。
為了使設置的N極磁鐵和S極磁鐵在高溫下不失去磁性，N極磁鐵和S極磁鐵具有300～600高斯的強度。
本發(fā)明的有益效果是通過在上部電極和下部電極的后面交替設置N極磁鐵和S極磁鐵形成磁場，提高在上部電極和下部電極產生電子的速度，使電子進行螺旋運動，提高了電子與反應氣體的沖撞概率，提高了反應氣體的離子化率和聚合膜的蒸鍍速度，提高了生產效率。
圖2是本發(fā)明帶有磁鐵的等離子體的連續(xù)蒸鍍裝置的結構圖。
圖3是本發(fā)明主要部分結構的平面圖。
圖4是本發(fā)明電磁力產生的狀態(tài)的坐標圖。
圖中，101工藝間；102上部電極；103下部電極；104帶狀材料；105開卷機；106卷繞機；107開卷間；108卷繞間；109注入管；110排氣管；111導向輪；121N極磁鐵；122S極磁鐵。
在工藝間101的前端設置有開卷間107，在開卷間107內設置有開卷機105，開卷機105向工藝間101內部供應帶狀材料104。在工藝間101的后端設置有卷繞間108，在卷繞間108內設置有卷繞機106，卷繞機106卷繞從工藝間101出來的材料104。作為電性正極的帶狀材料104從開卷機105向工藝間101的內部進行供應，經過上部電極102和下部電極103卷繞在卷繞機106上。
另外，工藝間101的底部一邊設置有氣體注入管109，氣體注入管109向工藝間101內部注入反應氣體；另外一邊設置有排氣管110，排氣管110將反應后的氣體排出；開卷間107的出口部和卷繞間108的入口部設置有引導材料104移動的一雙導向輪111。
上部電極102和下部電極103的后面交替設置有N極磁鐵121和S極磁鐵122，N極磁鐵121和S極磁鐵122在上部電極102和下部電極103之間產生磁場。
如圖3所示，為了使設置在上部電極102后面的N極磁鐵121和S極磁鐵122產生的磁場比上部電極102產生的電場的范圍大，最好使N極磁鐵121和S極磁鐵122的設置面積A是上部電極102的105％～120％，即設置面積A比上部電極102寬。
另外，為了使設置的N極磁鐵121和S極磁鐵122在高溫下不失去磁性，需要具有300到600高斯(G)的強度。
下面對在具有上述結構的帶有磁鐵的等離子體連續(xù)蒸鍍裝置的工作過程進行詳細說明通電，通過電機(圖中未示)的驅動，使開卷機105按照逆時針方向旋轉，使卷繞機106按照順時針方向旋轉。纏繞在開卷機105上的帶狀材料104通過導向輪111的引導，經過設置在工藝間101內部的上部電極102和下部電極103之間，然后連續(xù)纏繞在卷繞機107上。
在上述狀態(tài)下，通過氣體注入管109注入反應氣體，同時利用泵進行抽出，使工藝間101內部維持一定壓力以下的狀態(tài)。在上述狀態(tài)下，直流電源供應裝置向上部電極102、下部電極103和帶狀材料104施加直流電源，則在上部電極102、下部電極103和帶狀材料104之間產生等離子體，反應氣體被激發(fā)，在帶狀材料104的表面蒸鍍形成高分子膜。
另外，在設置上部電極102和下部電極103后面的N極磁鐵121和S極磁鐵122中，產生從N極向S極的磁場，通過法拉第的左手法則，上部電極102和下部電極103上產生的電子沿著磁力線的方向B0加速，增加與反應氣體沖撞的機會。
如圖4所示，以上部電極102和下部電極103的設置方向為基準來觀察X軸和Y軸，磁場內的電子流垂直于磁力線的方向流動，則電子沿著箭頭所示螺旋方向運動，增加了電子與反應氣體沖撞概率，提高了氣體的電離率。
通過氣體的充分離子化，可以調節(jié)放電電壓，也可以調節(jié)等離子體的強度，減少氣體的使用量，在低壓條件下蒸鍍可以得到進行。另外，通過提高離子化率，提高了工藝進行速度和生產效率。
權利要求
1.一種帶有磁鐵的等離子體連續(xù)蒸鍍裝置，包括蒸鍍反應的工藝間(101)；作為負極設置在工藝間內部上側的上部電極(102)；作為負極與上部電極保持間距，設置在工藝間下側的下部電極(103)；設置在工藝間的一側，上邊卷繞有帶狀材料，向上部電極和下部電極之間供應帶狀材料開卷機(105)；設置在工藝間的另外一側，用于卷繞經過上部電極和下部電極之間進行等離子體蒸鍍之后材料的卷繞機(106)；其特征是在上部電極(102)和下部電極(103)的后面，交替設置有利用產生的磁場提高反應氣體的離子化率的N極磁鐵(121)和S極磁鐵(122)。
2.根據權利要求1所述的帶有磁鐵的等離子體連續(xù)蒸鍍裝置，其特征是設置在上部電極后面的N極磁鐵(121)和S極磁鐵(122)的設置面積(A)設計為上部電極面積的105％～120％。
3.根據權利要求1所述的帶有磁鐵的等離子體連續(xù)蒸鍍裝置，其特征是N極磁鐵(121)和S極磁鐵(122)具有300～600高斯的強度。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種帶有磁鐵的等離子體的連續(xù)蒸鍍裝置，包括工藝間、上部電極、下部電機、開卷機、卷繞機和N/S極磁鐵。上部電極作為負極設置在工藝間的內部上側；下部電極也作為負極，與上部電極保持一定間距設置在工藝間的下側；開卷機設置在工藝間的一側，開卷機上卷繞有帶狀材料，帶狀材料用于向上部電極和下部電極之間進行供應；卷繞機設置在工藝間的另外一側，卷繞機用于卷繞經過上部電極和下部電極之間進行等離子體蒸鍍之后的材料；N/S極磁鐵交替設置在上部電極和下部電極的后面，利用產生的磁場提高反應氣體的離子化率。增加了電子與反應氣體之間的沖撞概率，提高了蒸鍍效率。
文檔編號C23C16/50GK1473956SQ0212914
公開日2004年2月11日 申請日期2002年8月19日 優(yōu)先權日2002年8月19日
發(fā)明者吳定根, 曹川壽, 李鉉旭 申請人:樂金電子(天津)電器有限公司