專利名稱：銀合金蝕刻液的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種蝕刻液，尤指一種適用于銀合金的蝕刻液。
而含銀量超過(guò)60％以上的銀合金，雖然阻值未若銀金屬一般低，但是其阻值遠(yuǎn)低于鉻金屬，仍為適當(dāng)?shù)木瑢?dǎo)線材料，然而由于銀合金未具有適當(dāng)?shù)奈g刻液，所以并沒有廣泛應(yīng)用于晶片或面板的黃光制程。
發(fā)明人本著積極發(fā)明的精神，亟思一種可以解決上述問(wèn)題的『銀合金蝕刻液』，幾經(jīng)研究實(shí)驗(yàn)終至完成此項(xiàng)發(fā)明。
為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明銀合金蝕刻液，包含1至60重量份的銨化物；1至60重量份的過(guò)氧化氫；以及0至96重量份的水。
本發(fā)明銀合金的蝕刻方法，包含以下的步驟先提供一具銀合金的基板；以及將一銀合金蝕刻液涂覆于基板的銀合金表面或?qū)⒕咩y合金的基板浸漬于銀合金蝕刻液；其中銀合金蝕刻液包含1至60重量份的銨化物；1至60重量份的過(guò)氧化氫；以及水。
由于本發(fā)明組成新穎，能提供產(chǎn)業(yè)上利用，且確有增進(jìn)功效，故依法申請(qǐng)發(fā)明專利。
具體實(shí)施方式
本發(fā)明的蝕刻液組成物中，較佳為包含1至10重量份的銨化物；1至10重量份的過(guò)氧化氫。本發(fā)明的蝕刻液組成物的銨化物無(wú)限制，銨化物較佳為氫氧化銨或醋酸銨。本發(fā)明的蝕刻液組成物可視需要地更包含1至10重量份的硫酸或有機(jī)酸以獲致較佳的蝕刻速率的控制。有機(jī)酸的種類無(wú)限制，較佳為酚磺酸或醋酸。
為能更了解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，特舉銀合金蝕刻液較佳具體實(shí)施例說(shuō)明如下。
將過(guò)氧化氫，氫氧化銨，以及酚磺酸依照下表所示調(diào)配，并加水至100克配置成下列濃度的蝕刻液。并將溶液對(duì)于表面具有銀合金的矽基板進(jìn)行蝕刻并測(cè)量蝕刻速率，結(jié)果如下表所示。

將過(guò)氧化氫，氫氧化銨，以及酚磺酸依照下表所示調(diào)配，并加水至100克配置成下列濃度的蝕刻液。并將溶液對(duì)于表面具有銀合金的矽基板進(jìn)行蝕刻并測(cè)量蝕刻速率，結(jié)果如下表所示。

由以上的數(shù)據(jù)可知，本發(fā)明的蝕刻液可以有效地對(duì)銀合金進(jìn)行蝕刻，可以借由時(shí)間的控制以及濃度的選擇，控制對(duì)銀合金蝕刻的程度以及速率，其可以結(jié)合黃光制程應(yīng)月于微機(jī)電，晶片或面板基板的制造。
綜上所陳，本發(fā)明無(wú)論就目的、手段及功效，均顯示其異于已有技術(shù)的特徵，為『銀合金蝕刻液』一大突破，懇請(qǐng)貴審查委員明察，早日賜準(zhǔn)專利，并嘉惠社會(huì)，實(shí)感德便。惟應(yīng)注意的是，上述諸多實(shí)施例僅是為了便于說(shuō)明而舉例而已，本發(fā)明所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以申請(qǐng)專利范圍所述為準(zhǔn)，而非僅限于上述實(shí)施例。
權(quán)利要求
1.一種銀合金蝕刻液，其特征在于，包含(A)1至60重量份的銨化物；(B)1至60重量份的過(guò)氧化氫；以及(C)0至96重量份的水。
2.如權(quán)利要求1所述的蝕刻液，其特征在于，其中包含1至10重量份的銨化物；其特征在于，1至10重量份的過(guò)氧化氫。
3.如權(quán)利要求1所述的蝕刻液，其特征在于，其中銨化物為氫氧化銨。
4.如權(quán)利要求1所述的蝕刻液，其特征在于，其中銨化物為醋酸銨。
5.如權(quán)利要求1所述的蝕刻液，其特征在于，其更包含1至10重量份的硫酸。
6.如權(quán)利要求1所述的蝕刻液，其特征在于，其更包含1至10重量份的有機(jī)酸。
7.如權(quán)利要求1所述的蝕刻液，其特征在于，其中有機(jī)酸為酚磺酸或醋酸。
8.一種銀合金的蝕刻方法，其特征在于，包含以下的步驟(A)提供一具銀合金的基板；以及(B)將一銀合金蝕刻液涂覆于基板的銀合金表面或?qū)⒕咩y合金的基板浸漬于銀合金蝕刻液；其中銀合金蝕刻液包含1至60重量份的銨化物；1至60重量份的過(guò)氧化氫；以及水。
9.如權(quán)利要求8所述的蝕刻方法，其特征在于，其中銨化物為氫氧化銨。
10.如權(quán)利要求8所述的蝕刻方法，其特征在于，其中銨化物為醋酸銨。
11.如權(quán)利要求8所述的蝕刻方法，其特征在于，其中蝕刻液更包含1至10重量份的有機(jī)酸。
12.如權(quán)利要求8所述的蝕刻方法，其特征在于，其中有機(jī)酸為酚磺酸或醋酸。
全文摘要
一種銀合金蝕刻液，包含1至60重量份的銨化物；1至60重量份的過(guò)氧化氫；以及0至96重量份的水。本蝕刻液組成物可視需要地更包含1至10重量份的硫酸或有機(jī)酸以獲較佳的蝕刻速率的控制。
文檔編號(hào)C23F1/40GK1465746SQ0212491
公開日2004年1月7日 申請(qǐng)日期2002年6月25日 優(yōu)先權(quán)日2002年6月25日
發(fā)明者李旭峰, 姚信字, 鄒忠哲, 施明忠, 葉添昇, 吳朝欽 申請(qǐng)人:錸寶科技股份有限公司