技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種二維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包括二維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)本體、伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、壓電陶瓷微位移器驅(qū)動(dòng)電源、激光干涉光電接收器、濾波放大器、信號(hào)處理板及計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)。本實(shí)用新型采用宏/微兩級(jí)共運(yùn)動(dòng)平面的結(jié)構(gòu)形式，宏驅(qū)動(dòng)X、Y方向的導(dǎo)軌在一個(gè)運(yùn)動(dòng)平面上，X、Y方向宏/微運(yùn)動(dòng)均采用一套激光干涉位移測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)位移的實(shí)時(shí)計(jì)量。壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)和激光干涉位移計(jì)量信號(hào)處理系統(tǒng)由信號(hào)采集及處理控制系統(tǒng)完成。其定位精度取決于壓電陶瓷微位移驅(qū)動(dòng)器的分辨率和激光干涉位移檢測(cè)裝置的分辨率，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)定位精度。本實(shí)用新型通過微驅(qū)動(dòng)對(duì)宏驅(qū)動(dòng)的補(bǔ)償運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)高精度定位的，具有結(jié)構(gòu)緊湊、定位精度高、磨損小、通用性強(qiáng)等特點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：王淑珍;黃桂琴;馬利民;楊高杰;黃廣霞
受保護(hù)的技術(shù)使用者：洛陽(yáng)理工學(xué)院
文檔號(hào)碼：201720194427
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.02
技術(shù)公布日：2017.10.13