1.一種二維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：包括二維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)本體、伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、壓電陶瓷微位移器驅(qū)動(dòng)電源、激光干涉光電接收器、濾波放大器、信號(hào)處理板及計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)；
所述二維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)本體包括宏運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)、微運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)和激光干涉位移計(jì)量系統(tǒng)；
所述宏運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括運(yùn)動(dòng)平臺(tái)底座（14）、宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)（3）、X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)；
所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括X向絲杠（23）及固設(shè)在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)底座（14）上的X向伺服電機(jī)（27），X向絲杠（23）的一端與X向伺服電機(jī)（27）的輸出端連接，X向絲杠（23）上通過螺紋連接有X向螺母（25），X向絲杠（23）的兩端分別通過X向軸承（26）及X向軸承座（28）固設(shè)在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)底座（14）上端；還包括兩個(gè)用于固設(shè)在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)底座（14）上端的X向?qū)к壷Ъ埽?9），以及固定設(shè)置在X向?qū)к壷Ъ埽?9）上端的X向?qū)к墸?），與X向?qū)к墸?）滑動(dòng)配合設(shè)置的X向滑塊連接宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)（3）；還包括X向運(yùn)動(dòng)連接塊（29），X向運(yùn)動(dòng)連接塊（29）的一端和X向螺母（25）連接，另一端和宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)（3）固定連接；
所述Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括Y向運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)（21）、Y向絲杠（17）及固設(shè)在宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)（3）一側(cè)的Y向伺服電機(jī)（1），Y向絲杠（17）的一端與Y向伺服電機(jī)（1）的輸出端連接，Y向絲杠（17）上通過螺紋連接有Y向螺母（16），Y向螺母（16）與Y向運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)（21）固定連接；Y向絲杠（17）的兩端通過Y向軸承及Y向軸承座（18）固設(shè)在宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)（3）上；還包括兩個(gè)Y向?qū)к壐保?2），Y向?qū)к壐保?2）包括Y向?qū)к壓蚘向滑塊，Y向滑塊與Y向運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)（21）連接，Y向?qū)к壟c宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)（3）連接；
所述微運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括固設(shè)在Y向運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)（21）上端的支座（15）和設(shè)置在支座（15）上端的為柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)的微定位平臺(tái)（4），微定位平臺(tái)（4）包括與支座（15）固定連接的外平臺(tái)和能夠在外平臺(tái)內(nèi)沿X向或Y向作微運(yùn)動(dòng)的內(nèi)平臺(tái)，微定位平臺(tái)（4）上還設(shè)有X向壓電陶瓷（6）和Y向壓電陶瓷（5），X向壓電陶瓷（6）在壓電陶瓷微位移器驅(qū)動(dòng)電源的驅(qū)動(dòng)下能夠帶動(dòng)內(nèi)平臺(tái)作X向微運(yùn)動(dòng)， Y向壓電陶瓷（5）在壓電陶瓷微位移器驅(qū)動(dòng)電源的驅(qū)動(dòng)下能夠帶動(dòng)內(nèi)平臺(tái)作Y向微運(yùn)動(dòng)，壓電陶瓷微位移器驅(qū)動(dòng)電源由計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)控制；
所述激光干涉位移計(jì)量系統(tǒng)包括測(cè)量光路反射鏡（9），測(cè)量光路反射鏡（9）由X向反射鏡（901）和Y向反射鏡（902）組成，X向反射鏡（901）設(shè)置在一個(gè)X向放置塊上，X向放置塊通過一個(gè)連接桿與內(nèi)平臺(tái)固定連接，Y向反射鏡（902）固設(shè)在一個(gè)Y向放置板上，Y向放置板的另一端與內(nèi)平臺(tái)固定連接；激光干涉位移計(jì)量系統(tǒng)還包括用于測(cè)量宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)（3）位移的X向激光位移測(cè)量系統(tǒng)（8）和用于測(cè)量Y向運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)（21）位移的Y向激光位移測(cè)量系統(tǒng)（10）；
X向激光位移測(cè)量系統(tǒng)（8）發(fā)出的測(cè)量光入射到X向反射鏡（901）上后返回至X向激光位移測(cè)量系統(tǒng)（8），X向激光位移測(cè)量系統(tǒng)（8）內(nèi)部產(chǎn)生干涉條紋，X向反射鏡（901）跟隨內(nèi)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)，使X向激光位移測(cè)量系統(tǒng)（8）內(nèi)部產(chǎn)生干涉條紋變化量，激光干涉光電接收器接收干涉條紋變化量并轉(zhuǎn)換成電脈沖信號(hào)后傳輸至濾波放大器，濾波放大器放大電脈沖信號(hào)后輸送至信號(hào)處理板，信號(hào)處理板將接收的電脈沖信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)后傳輸至計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)，計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)進(jìn)行計(jì)數(shù)、辨向和細(xì)分后得到X向位移信號(hào)；
Y向激光位移測(cè)量系統(tǒng)（10）的結(jié)構(gòu)與X向激光位移測(cè)量系統(tǒng)（8）的結(jié)構(gòu)相同，計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)得到Y(jié)向位移信號(hào)；
計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)根據(jù)得到的X向位移信號(hào)和Y向位移信號(hào)，通過控制伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)X向伺服電機(jī)（27）轉(zhuǎn)動(dòng)以控制內(nèi)平臺(tái)做X向的宏運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)Y向伺服電機(jī)（1）轉(zhuǎn)動(dòng)以控制內(nèi)平臺(tái)做Y向的宏運(yùn)動(dòng)；計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)通過控制壓電陶瓷微位移器驅(qū)動(dòng)電源驅(qū)動(dòng)X向壓電陶瓷（6）運(yùn)動(dòng)以帶動(dòng)內(nèi)平臺(tái)作X向的微運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)Y向壓電陶瓷（5）運(yùn)動(dòng)以帶動(dòng)內(nèi)平臺(tái)作Y向的微運(yùn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述X向激光位移測(cè)量系統(tǒng)（8）和Y向激光位移測(cè)量系統(tǒng)（10）分別包括激光器（801）、光學(xué)隔離器、分光鏡（804）、測(cè)量光路反射鏡（9）、參考光路反射鏡（806）和干涉信號(hào)放大鏡（807），光學(xué)隔離器包括偏振片（802）和1/4波片（803），偏振片（802）和1/4波片（803）之間的光軸夾角為45°，激光器（801）發(fā)出的激光經(jīng)分光鏡（804）被分為兩束，分別經(jīng)參考光路反射鏡（806）和測(cè)量光路反射鏡（9）反射后沿原路返回，并在分光點(diǎn)處重新相遇，發(fā)生干涉，干涉產(chǎn)生的干涉條紋經(jīng)干涉信號(hào)放大鏡（807）放大后由激光干涉光電接收器接收，激光干涉光電接收器將接收的干涉條紋變化量轉(zhuǎn)換成電脈沖信號(hào)，電脈沖信號(hào)傳輸至濾波放大器，濾波放大器放大電脈沖信號(hào)后輸送至信號(hào)處理板，信號(hào)處理板將接收的電脈沖信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)后傳輸至計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)，計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)進(jìn)行計(jì)數(shù)、辨向和細(xì)分后得到位移信號(hào)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述壓電陶瓷微位移器驅(qū)動(dòng)電源固定設(shè)置在微定位平臺(tái)（4）上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述X向激光位移測(cè)量系統(tǒng)（8）通過支架（7）固設(shè)在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)底座（14）上端，Y向激光位移測(cè)量系統(tǒng)（10）固設(shè)在宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)（3）上端。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述Y向絲杠（17）的另一端連接有手輪機(jī)構(gòu)（12）；該二維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)還包括一個(gè)Y向豎板（13），Y向豎板（13）固定在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)底座（14）上，手輪機(jī)構(gòu)（12）穿過Y向豎板（13）上開設(shè)的孔后與Y向絲杠（17）連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述X向螺母（25）和Y向螺母（16）上分別連接X向萬(wàn)向連軸節(jié)和Y向萬(wàn)向連軸節(jié)，X向萬(wàn)向連軸節(jié)與X向運(yùn)動(dòng)連接塊（29）的一端連接，Y向萬(wàn)向連軸節(jié)與Y向運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)（21）固定連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述X向激光位移測(cè)量系統(tǒng)（8）固設(shè)在所述支架（7）上端，支架（7）包括兩個(gè)豎板和一個(gè)固設(shè)在兩個(gè)豎板上端的橫板，兩個(gè)豎板的下端固設(shè)在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)底座（14）的上端面上，X向激光位移測(cè)量系統(tǒng)（8）放置在橫板上端。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述X向伺服電機(jī)（27）固設(shè)在一個(gè)X向電機(jī)固定板（24）上，X向電機(jī)固定板（24）的下部固設(shè)在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)底座（14）的一側(cè)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述Y向電機(jī)固定板（20）的上端固設(shè)在宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)（3）的一側(cè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：Y向激光位移測(cè)量系統(tǒng)（10）通過一個(gè)Y向固定板（11）固設(shè)在宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)（3）上端。