技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種利用超短脈沖激光的復合加工系統(tǒng)，屬于超快激光與傳統(tǒng)激光加工結(jié)合的精細加工技術(shù)領(lǐng)域。主要由照明光源，分光棱鏡、CCD圖像探測器、飛秒激光器、圓環(huán)衍射光柵、向色鏡一、皮秒激光器、向色鏡二、聚焦透鏡、二維移動臺以及微機控制系統(tǒng)組成。本發(fā)明的優(yōu)勢在于將飛秒激光加工精度高和皮秒激光加工能量密度大，效率高的優(yōu)點結(jié)合了起來，可同時滿足激光加工過程中高效率和高精度的要求，可廣泛的應用于高深徑比的激光打孔，航空航天領(lǐng)域關(guān)鍵零件的精細加工，微納傳感器以及微結(jié)構(gòu)制造等領(lǐng)域。

技術(shù)研發(fā)人員：武騰飛;趙春播;張磊;梁志國;邢帥;夏傳青
受保護的技術(shù)使用者：中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術(shù)研究所
技術(shù)研發(fā)日：2017.07.10
技術(shù)公布日：2017.11.07