1.氟化氫解析器微波加熱腔體的加工裝置，所述加工裝置為三輥卷板機(jī)，所述卷板機(jī)包括卷板機(jī)機(jī)床，還包括一個(gè)上輥和位于上輥下方的兩個(gè)下輥，兩個(gè)所述下輥并列設(shè)置，其特征是，還包括一圓環(huán)形套筒，所述套筒通過(guò)連接鍵與所述上輥相連，所述套筒的中心軸線與上輥的中心軸線重合，所述套筒外表面具有均勻設(shè)置的多個(gè)凸起，所述凸起的表面為弧形。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氟化氫解析器微波加熱腔體的加工裝置，其特征是，所述凸起由配合使用的半圓頭螺釘和墊圈組成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氟化氫解析器微波加熱腔體的加工裝置，其特征是，所述墊圈包括本體，所述本體具有通孔，其側(cè)面為凹弧面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氟化氫解析器微波加熱腔體的加工裝置，其特征是，所述半圓頭螺釘穿過(guò)所述通孔與套筒螺紋連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氟化氫解析器微波加熱腔體的加工裝置，其特征是，所述連接鍵數(shù)量為兩個(gè)。
6.根據(jù)以上任一權(quán)利要求書(shū)所述的氟化氫解析器微波加熱腔體的加工裝置，其特征是，還包括一具有光滑表面的圓筒。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氟化氫解析器微波加熱腔體的加工方法，其特征是，首先安裝具有光滑表面的圓筒，選取平整的鋼材，打開(kāi)卷板機(jī)機(jī)床，對(duì)鋼材進(jìn)行預(yù)彎加工，使鋼板在卷板機(jī)上往返卷幾次；其次，取下圓筒并安裝套筒，再次打開(kāi)卷板機(jī)，對(duì)鋼板進(jìn)行卷板加工；最后在卷板機(jī)上進(jìn)行腔體矯圓，得到內(nèi)表面為凹弧面的微波腔體。