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一種功率模塊用陶瓷基板覆銅的低溫連接方法與流程

文檔序號(hào):12551683閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種功率模塊用陶瓷基板覆銅的低溫連接方法,包括如下步驟:第一步,對(duì)陶瓷基片和無(wú)氧銅進(jìn)行表面處理,然后用丙酮清洗;第二步,將Ag粉、Cu粉、Sn粉、Ti粉或Ag粉、Cu粉、In粉、Ti粉混合形成金屬粉末,向所述金屬粉末中加入有機(jī)黏結(jié)劑放入球磨罐中進(jìn)行機(jī)械球磨制得活性釬料膏;第三步,按照無(wú)氧銅/活性釬料/陶瓷基板的順序自上而下裝配試樣,在真空釬焊爐中實(shí)現(xiàn)連接。本發(fā)明采用向活性釬料中添加低熔點(diǎn)元素的方式,降低了陶瓷基板與無(wú)氧銅的連接溫度,減小了基板中的殘余應(yīng)力,提高了使用壽命。

技術(shù)研發(fā)人員:宋曉國(guó);付偉;趙一璇;李佳迅;周志強(qiáng);劉多;曹健
受保護(hù)的技術(shù)使用者:哈爾濱工業(yè)大學(xué)(威海)
文檔號(hào)碼:201610888270
技術(shù)研發(fā)日:2016.10.12
技術(shù)公布日:2017.01.11

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