本發(fā)明涉及在激光加工中使用的加工噴嘴及激光加工裝置。

背景技術(shù)：

在使用從加工噴嘴射出的激光束進(jìn)行激光加工的激光加工裝置中，存在從加工噴嘴的前端噴出輔助氣體的激光加工裝置。從加工噴嘴噴出的輔助氣體被吹送至被加工物的加工部位。

作為激光加工裝置的加工噴嘴，如專利文獻(xiàn)1所示，存在將內(nèi)側(cè)噴嘴嵌入至外側(cè)噴嘴的內(nèi)側(cè)的二重噴嘴式的加工噴嘴。在二重噴嘴式的加工噴嘴中，使輔助氣體經(jīng)過在內(nèi)側(cè)噴嘴的內(nèi)側(cè)形成的內(nèi)側(cè)流路、和在內(nèi)側(cè)噴嘴與外側(cè)噴嘴之間形成的外側(cè)流路的兩者，從加工噴嘴的前端匯流而進(jìn)行噴出。

專利文獻(xiàn)1：日本特開平11-90672號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

在二重噴嘴式的加工噴嘴中，通過對經(jīng)過內(nèi)側(cè)流路的輔助氣體的流量與經(jīng)過外側(cè)流路的輔助氣體的流量的比率進(jìn)行調(diào)整，由此實(shí)現(xiàn)向通過激光加工在被加工物形成的槽的內(nèi)部和被加工物的表面供給充分且適量的輔助氣體。通過向槽的內(nèi)部及被加工物的表面供給充分且適量的輔助氣體，由此實(shí)現(xiàn)激光加工的加工品質(zhì)的提高。具體地說，通過對經(jīng)過外側(cè)流路的輔助氣體的流量進(jìn)行抑制，由此實(shí)現(xiàn)加工品質(zhì)的提高。

在這里，輔助氣體穿過在內(nèi)側(cè)噴嘴形成的孔而供給至外側(cè)流路。因此，通過使在內(nèi)側(cè)噴嘴形成的孔的大小變小，由此實(shí)現(xiàn)經(jīng)過外側(cè)流路的輔助氣體的流量的抑制。然而，如果為了對流向外側(cè)流路的輔助氣體的流量進(jìn)行抑制，將孔形成得較小，則會(huì)發(fā)生由于孔的加工精度的降低而造成的流量的波動(dòng)、或者為了確保孔的加工精度所需的加工費(fèi)用的增大。

本發(fā)明就是鑒于上述情況而提出的，其目的在于得到一種能夠抑制制造成本、實(shí)現(xiàn)經(jīng)過外側(cè)流路的輔助氣體的流量的抑制、實(shí)現(xiàn)激光加工的加工品質(zhì)的提高的加工噴嘴。

為了解決上述課題、實(shí)現(xiàn)目的，本發(fā)明涉及一種加工噴嘴，其具有形成有流路的外側(cè)噴嘴和嵌入至外側(cè)噴嘴的流路的內(nèi)側(cè)噴嘴，該加工噴嘴的特征在于，在內(nèi)側(cè)噴嘴，形成對與外側(cè)噴嘴之間進(jìn)行封閉的凸緣，在凸緣，形成使流路的相對于凸緣的上游側(cè)和下游側(cè)連通的通路，在流路的相對于凸緣的下游還具有間隙形成部，該間隙形成部在與外側(cè)噴嘴之間、或者與內(nèi)側(cè)噴嘴之間形成間隙。

發(fā)明的效果

本發(fā)明涉及的加工噴嘴取得下述效果，即，能夠抑制制造成本、實(shí)現(xiàn)經(jīng)過外側(cè)流路的輔助氣體的流量的抑制、實(shí)現(xiàn)激光加工的加工品質(zhì)的提高。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1涉及的激光加工裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖。

圖2是實(shí)施方式1涉及的激光加工裝置所具有的加工噴嘴的剖視圖。

圖3是對實(shí)施方式1涉及的激光加工裝置所具有的外側(cè)噴嘴從激光束的入射側(cè)進(jìn)行觀察的俯視圖。

圖4是實(shí)施方式1涉及的激光加工裝置所具有的外側(cè)噴嘴的剖視圖，且為沿圖3所示的a-a線的矢向剖視圖。

圖5是圖4所示的外側(cè)噴嘴的剖面斜視圖。

圖6是對實(shí)施方式1涉及的激光加工裝置所具有的內(nèi)側(cè)噴嘴從激光束的入射側(cè)進(jìn)行觀察的俯視圖。

圖7是實(shí)施方式1涉及的激光加工裝置所具有的內(nèi)側(cè)噴嘴的剖視圖，且為沿圖6所示的b-b線的矢向剖視圖。

圖8是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工裝置所具有的加工噴嘴的變形例的剖視圖。

圖9是表示圖8所示的加工噴嘴所具有的外側(cè)噴嘴的變形例的剖面斜視圖。

圖10是本發(fā)明的實(shí)施方式2涉及的加工噴嘴的剖視圖。

圖11是本發(fā)明的實(shí)施方式3涉及的加工噴嘴的剖視圖。

圖12是本發(fā)明的實(shí)施方式3涉及的加工噴嘴所具有的環(huán)狀部件的俯視圖。

圖13是本發(fā)明的實(shí)施方式3涉及的加工噴嘴所具有的環(huán)狀部件的剖面斜視圖。

圖14是表示實(shí)施方式3涉及的加工噴嘴的變形例的剖視圖。

圖15是本發(fā)明的實(shí)施方式4涉及的加工噴嘴的剖視圖。

圖16是對實(shí)施方式4涉及的加工噴嘴的孔從激光束的入射側(cè)進(jìn)行觀察的俯視圖。

圖17是表示內(nèi)側(cè)噴嘴的凸緣的形狀的變形例的圖。

圖18是表示內(nèi)側(cè)噴嘴的凸緣的形狀的變形例的圖。

具體實(shí)施方式

下面，基于附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的加工噴嘴及激光加工裝置進(jìn)行詳細(xì)說明。此外，本發(fā)明并不限定于這些實(shí)施方式。

實(shí)施方式1.

圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1涉及的激光加工裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖。激光加工裝置100是對在保持臺(tái)103所保持的被加工物101照射激光束102而進(jìn)行激光加工的裝置。激光加工裝置100具有激光振蕩器104、反射鏡105、加工頭1、以及輔助氣體供給源106。

激光振蕩器104輸出激光束102。反射鏡105將從激光振蕩器104輸出的激光束102向加工頭1側(cè)進(jìn)行反射。

加工頭1在內(nèi)部具有加工透鏡6。另外，加工頭1在激光束102的射出側(cè)具有加工噴嘴2。被反射鏡105反射而射入至加工頭1的激光束102由加工透鏡6進(jìn)行聚光。由加工透鏡6聚光后的激光束102從加工噴嘴2射出而照射至被加工物101。

輔助氣體供給源106儲(chǔ)存有向加工頭1進(jìn)行輸送的加工氣體即輔助氣體，將輔助氣體輸送至氣體通路107。輔助氣體例如為氧氣。氣體通路107與在加工頭1形成的供給口7連接。從輔助氣體供給源106輸送來的輔助氣體穿過供給口7而供給至加工頭1的內(nèi)部。供給至加工頭1的內(nèi)部的輔助氣體從加工噴嘴2噴出，吹送至被加工物101的被激光束102照射的位置。通過加工頭1的移動(dòng)或者保持臺(tái)103的移動(dòng)，使激光束102向被加工物101的照射位置進(jìn)行變更，由此進(jìn)行被加工物101的切斷加工。

下面，對進(jìn)行激光束102的射出及輔助氣體的噴射的加工噴嘴2進(jìn)行詳細(xì)說明。圖2是實(shí)施方式1涉及的激光加工裝置100所具有的加工噴嘴2的剖視圖。加工噴嘴2具有：外側(cè)噴嘴3，其呈筒狀形狀；以及內(nèi)側(cè)噴嘴5，其呈筒狀形狀，嵌入于外側(cè)噴嘴3的內(nèi)側(cè)。

圖3是對實(shí)施方式1涉及的激光加工裝置100所具有的外側(cè)噴嘴3從激光束102的入射側(cè)進(jìn)行觀察的俯視圖。圖4是實(shí)施方式1涉及的激光加工裝置100所具有的外側(cè)噴嘴3的剖視圖，且為沿圖3所示的a-a線的矢向剖視圖。圖5是圖4所示的外側(cè)噴嘴3的剖面斜視圖。

呈筒狀形狀的外側(cè)噴嘴3的內(nèi)側(cè)成為輔助氣體經(jīng)過的流路4。外側(cè)噴嘴3的內(nèi)側(cè)的形狀為隨著朝向?qū)⑤o助氣體噴出的噴出口21而變細(xì)。在外側(cè)噴嘴3的內(nèi)側(cè)，形成將后面敘述的內(nèi)側(cè)噴嘴5的凸緣部進(jìn)行嵌入的凸緣嵌入部8。

在外側(cè)噴嘴3的內(nèi)側(cè)，形成有向在凸緣嵌入部8中嵌入的凸緣凸出的環(huán)狀凸出部9。環(huán)狀凸出部9呈與外側(cè)噴嘴3所呈的筒狀形狀的中心軸為同軸的圓環(huán)形狀。此外，在下面的說明中，將外側(cè)噴嘴3所呈的筒狀形狀的中心軸稱為加工噴嘴2的中心軸。在環(huán)狀凸出部9的前端，形成與內(nèi)側(cè)噴嘴5的凸緣進(jìn)行抵接的抵接面9a。在環(huán)狀凸出部9的抵接面9a，等間隔地形成有多個(gè)槽9b。槽9b是將環(huán)狀凸出部9的外側(cè)面和內(nèi)側(cè)面之間貫穿而形成的。

圖6是對實(shí)施方式1涉及的激光加工裝置100所具有的內(nèi)側(cè)噴嘴5從激光束102的入射側(cè)進(jìn)行觀察的俯視圖。圖7是實(shí)施方式1涉及的激光加工裝置100所具有的內(nèi)側(cè)噴嘴5的剖視圖，且為沿圖6所示的b-b線的矢向剖視圖。

在內(nèi)側(cè)噴嘴5，形成對與外側(cè)噴嘴3之間進(jìn)行封閉的凸緣11。凸緣11的外側(cè)面與外側(cè)噴嘴3的內(nèi)側(cè)面抵接。在內(nèi)側(cè)噴嘴5中，從凸緣11向外側(cè)噴嘴3的噴出口21凸出形成有呈筒狀形狀的筒狀部12。筒狀部12的內(nèi)側(cè)成為輔助氣體經(jīng)過的內(nèi)側(cè)流路10。筒狀部12的前端即噴出口22與外側(cè)噴嘴3的噴出口21相比位于流路4的內(nèi)側(cè)。內(nèi)側(cè)流路10隨著朝向噴出口22而變細(xì)。

如圖2所示，通過將凸緣11嵌入至外側(cè)噴嘴3的凸緣嵌入部8，即，將內(nèi)側(cè)噴嘴5嵌入至外側(cè)噴嘴3的流路4，由此在筒狀部12的外側(cè)，流路4被凸緣11分為輔助氣體的經(jīng)過方向上的上游側(cè)和下游側(cè)。在這里，將在外側(cè)噴嘴3的內(nèi)側(cè)形成的流路4之中的與凸緣11相比的上游側(cè)設(shè)為上游流路4a，將與凸緣11相比的下游側(cè)、且內(nèi)側(cè)噴嘴5的筒狀部12與外側(cè)噴嘴3之間設(shè)為外側(cè)流路4b。

通過將凸緣11嵌入至外側(cè)噴嘴3的凸緣嵌入部8，從而在外側(cè)噴嘴3的環(huán)狀凸出部9形成的抵接面9a與凸緣11抵接。通過抵接面9a與凸緣11抵接，從而實(shí)現(xiàn)內(nèi)側(cè)噴嘴5的向流路4內(nèi)的進(jìn)深方向的定位。通過抵接面9a與凸緣11抵接，從而在凸緣11與槽9b之間形成間隙。即，環(huán)狀凸出部9為間隙形成部。此外，內(nèi)側(cè)噴嘴5向徑向的定位是通過凸緣11的外側(cè)面與外側(cè)噴嘴3的內(nèi)側(cè)面的抵接而進(jìn)行的。

另外，在凸緣11處，呈以加工噴嘴2的中心軸為中心的圓周狀而等間隔地形成有使上游流路4a和外側(cè)流路4b連通的通路即多個(gè)孔13。

在如上所述地構(gòu)成的加工噴嘴2中，激光束102經(jīng)過上游流路4a、內(nèi)側(cè)流路10、噴出口22、噴出口21而從加工噴嘴2射出。另外，供給至上游流路4a的輔助氣體分為經(jīng)過內(nèi)側(cè)流路10、噴出口22、噴出口21而噴出的輔助氣體和經(jīng)過孔13、外側(cè)流路4b、噴出口21而噴出的輔助氣體。此外，在下面的說明中，將經(jīng)過內(nèi)側(cè)流路10而噴出的輔助氣體稱為內(nèi)側(cè)氣流，將經(jīng)過外側(cè)流路4b而噴出的輔助氣體稱為外側(cè)氣流。

返回至圖1，在從加工噴嘴2噴出的輔助氣體之中，內(nèi)側(cè)氣流主要向通過激光加工在被加工物101形成的狹縫108的內(nèi)部進(jìn)行供給。另外，從加工噴嘴2噴出的輔助氣體之中的外側(cè)氣流主要向通過激光加工在被加工物101形成的狹縫108與表面101a的邊界部分進(jìn)行供給。此外，由于外側(cè)氣流在存在于外側(cè)氣流的外側(cè)的外部氣體與內(nèi)側(cè)氣流之間進(jìn)行流動(dòng)，因此內(nèi)側(cè)氣流與外部氣體的速度差降低。由此，外部氣體向內(nèi)側(cè)氣流的卷入被抑制，內(nèi)側(cè)氣流的直進(jìn)性提高，并且輔助氣體的濃度的降低被抑制。

在這里，對被加工物101為軟鋼的軟鋼切斷加工進(jìn)行說明。在軟鋼切斷加工中，作為輔助氣體而主要使用高純度氧氣。在高純度氧氣中被照射激光束102而成為高溫的軟鋼表面處，通過輔助氣體的供給而促進(jìn)氧化反應(yīng)，成為更高的高溫。由此，在被加工物101形成狹縫108，能夠高效地進(jìn)行切斷加工。

為了實(shí)現(xiàn)通過激光加工得到的切斷面的品質(zhì)的提高，需要向激光束102正在照射的部位、即狹縫108的內(nèi)部供給大量的輔助氣體。因此，向狹縫108的內(nèi)部供給內(nèi)側(cè)氣流。另外，如上所述，通過外側(cè)氣流的噴出而提高了直進(jìn)性的內(nèi)側(cè)氣流可容易地在維持濃度不變的狀態(tài)下到達(dá)至狹縫108的內(nèi)部。

另一方面，在被加工物101的表面101a與狹縫108的邊界部分處，通過對輔助氣體的供給量進(jìn)行抑制而抑制氧化反應(yīng)，能夠防止由于表面101a的熔融而不穩(wěn)定地對表面101a進(jìn)行加工。由此，能夠形成鋒銳(sharp)的狹縫108。為了對輔助氣體的向被加工物101的表面101a與狹縫108的邊界部分的供給量進(jìn)行抑制，需要對外側(cè)氣流的量進(jìn)行抑制。此外，外側(cè)氣流還需要確保為了實(shí)現(xiàn)內(nèi)側(cè)氣流的直進(jìn)性的提高以及濃度的維持所需的流量，因此對外側(cè)氣流的流量的調(diào)整要求高精度。

為了對外側(cè)氣流的量進(jìn)行抑制，將加工噴嘴2內(nèi)的外側(cè)氣流經(jīng)過的流路的面積變小即可。在本實(shí)施方式1中，能夠根據(jù)在形成于環(huán)狀凸出部9的槽9b與凸緣11之間所形成的間隙的大小，將外側(cè)氣流經(jīng)過的流路的面積變小。即，能夠通過將槽9b的寬度及深度變小，由此將外側(cè)氣流經(jīng)過的流路的面積變小。在本實(shí)施方式1中，與多個(gè)孔13的開口面積(流路面積)的總和相比，由多個(gè)槽9b與凸緣11之間的間隙所形成的流路的面積的總和較小。

在這里，將在凸緣11形成的孔13變小，也能夠?qū)⑼鈧?cè)氣流經(jīng)過的流路的面積變小。然而，在形成孔13的打孔加工中，如果將孔的大小變小，則加工精度容易降低，外側(cè)氣流的供給量容易發(fā)生波動(dòng)。在確保打孔加工的加工精度以使得能夠?qū)ν鈧?cè)氣流的供給量的波動(dòng)進(jìn)行抑制的情況下，加工費(fèi)用會(huì)增大。

另一方面，在本實(shí)施方式1涉及的加工噴嘴2中，能夠通過將形成于環(huán)狀凸出部9的槽9b的寬度及深度變小，由此將外側(cè)氣流經(jīng)過的流路的面積變小。在形成槽9b的槽加工中，在與打孔加工相比將寬度及深度變小的情況下，難以發(fā)生加工精度的降低。因此，也容易對槽加工的加工精度的確保所需的加工費(fèi)用進(jìn)行抑制。例如，在噴出口21的直徑為1.5mm至3mm的情況下，作為槽9b的加工精度，也能夠采用通常公差即±0.1mm。

另外，由于通過槽9b部分實(shí)現(xiàn)流量的抑制，因此能夠?qū)⒃谕咕?1形成的孔13形成得大。由此，能夠?qū)Υ蚩准庸さ馁M(fèi)用進(jìn)行抑制。因此，對于本實(shí)施方式1涉及的加工噴嘴2而言，能夠抑制制造成本、實(shí)現(xiàn)經(jīng)過外側(cè)流路的輔助氣體的流量的抑制、實(shí)現(xiàn)激光加工的加工品質(zhì)的提高。

另外，由于多個(gè)孔13及多個(gè)槽9b分別是等間隔地形成的，因此在內(nèi)側(cè)氣流的周圍，外側(cè)氣流的流量在周向上均勻化。因此，能夠?qū)η袛嗉庸さ挠尚羞M(jìn)方向引起的加工品質(zhì)的波動(dòng)進(jìn)行抑制。此外，為了實(shí)現(xiàn)外側(cè)氣流的均勻化，優(yōu)選多個(gè)孔13及多個(gè)槽9b的數(shù)量大于或等于3個(gè)。另外，通過在外側(cè)流路4b中，與筒狀部12的外側(cè)面相對于中心軸的傾斜度相比，使外側(cè)噴嘴3的內(nèi)側(cè)面相對于中心軸的傾斜度較大，由此能夠?qū)崿F(xiàn)外側(cè)氣流的進(jìn)一步的均勻化。

此外，作為激光加工裝置100，例示為使用反射鏡105將激光束102從激光振蕩器104傳輸至加工頭1，但不限于此。例如，也可以為通過光纖將激光束從激光振蕩器104傳輸至加工頭1的激光加工裝置。作為通過光纖進(jìn)行傳輸?shù)募す馄鳎嬖诶绻饫w激光器及直接二極管激光器。

圖8是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工裝置100所具有的加工噴嘴2的變形例的剖視圖。圖9是表示圖8所示的加工噴嘴2所具有的外側(cè)噴嘴3的變形例的剖面斜視圖。在本變形例中，在環(huán)狀凸出部9的前端面9c未形成槽，在前端面9c的整體與凸緣11之間，形成將外側(cè)流路4b的流路面積變小的間隙。在本變形例中，環(huán)狀凸出部9未與凸緣11抵接，因此在外側(cè)噴嘴3形成有進(jìn)行內(nèi)側(cè)噴嘴5的向進(jìn)深方向的定位的定位凸出部14。在定位凸出部14處，在與形成有孔13的位置相比的外周側(cè)，形成有與凸緣11抵接的抵接面14a。

在本變形例中，由于在環(huán)狀凸出部9未形成槽，因此將外側(cè)噴嘴3的形狀簡化，能夠?qū)崿F(xiàn)制造成本的抑制。在本變形例中，與多個(gè)孔13的開口面積(流路面積)的總和相比，由環(huán)狀凸出部9的前端面9c與凸緣11之間的間隙所形成的流路的面積的總和較小。

實(shí)施方式2.

圖10是本發(fā)明的實(shí)施方式2涉及的加工噴嘴的剖視圖。此外，針對與上述實(shí)施方式1相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)而省略詳細(xì)說明。本實(shí)施方式2涉及的加工噴嘴32在內(nèi)側(cè)噴嘴5形成有環(huán)狀凸出部39。環(huán)狀凸出部39的前端成為與外側(cè)噴嘴3的接觸面34進(jìn)行抵接的抵接面39a。在環(huán)狀凸出部39的抵接面39a處，與實(shí)施方式1相同地等間隔地形成有多個(gè)槽39b，在槽39b與接觸面34之間形成的間隙將外側(cè)流路4b的流路面積變小。

在本實(shí)施方式2涉及的加工噴嘴32中，與實(shí)施方式1相同地，能夠通過槽39b的形成而將外側(cè)流路4b的流路面積變小，因此能夠抑制制造成本，實(shí)現(xiàn)經(jīng)過外側(cè)流路4b的輔助氣體的流量的抑制，實(shí)現(xiàn)激光加工的加工品質(zhì)的提高。在本實(shí)施方式2中，與多個(gè)孔13的開口面積(流路面積)的總和相比，由多個(gè)槽39b與接觸面34之間的間隙所形成的流路的面積的總和較小。

此外，與上述實(shí)施方式1的變形例相同地，也可以在環(huán)狀凸出部39的前端面不形成槽，通過在前端面整體與接觸面34之間所形成的間隙而將外側(cè)流路4b的流路面積變小。在該情況下，與實(shí)施方式1的變形例相同地，為了進(jìn)行內(nèi)側(cè)噴嘴5的向進(jìn)深方向的定位，而在外側(cè)噴嘴3設(shè)置形成有抵接面14a的定位凸出部14(也參照圖8)。另外，與多個(gè)孔13的開口面積(流路面積)的總和相比，由環(huán)狀凸出部39的前端面與接觸面34之間的間隙所形成的流路的面積的總和較小。

實(shí)施方式3.

圖11是本發(fā)明的實(shí)施方式3涉及的加工噴嘴的剖視圖。此外，針對與上述實(shí)施方式1相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)而省略詳細(xì)說明。本實(shí)施方式3涉及的加工噴嘴42具有與外側(cè)噴嘴3及內(nèi)側(cè)噴嘴5分體的圓環(huán)狀的環(huán)狀部件49，以取代上述實(shí)施方式1及上述實(shí)施方式2中所示的環(huán)狀凸出部。環(huán)狀部件49是夾持在外側(cè)噴嘴3和內(nèi)側(cè)噴嘴5之間的被夾持部。

圖12是本發(fā)明的實(shí)施方式3涉及的加工噴嘴42所具有的環(huán)狀部件的俯視圖。圖13是本發(fā)明的實(shí)施方式3涉及的加工噴嘴42所具有的環(huán)狀部件49的剖面斜視圖。在環(huán)狀部件49之中，在與凸緣11相對的表面，形成與凸緣11進(jìn)行抵接的抵接面49a，在抵接面49a等間隔地形成多個(gè)槽49b。槽49b將環(huán)狀部件49的外側(cè)面和內(nèi)側(cè)面貫穿。環(huán)狀部件49通過嵌入至在外側(cè)噴嘴3處形成為圓形形狀的定位槽44而進(jìn)行定位。

在本實(shí)施方式3中，能夠通過在形成于環(huán)狀部件49的槽49b與凸緣11之間所形成的間隙，將外側(cè)流路4b的流路面積變小。因此，與上述實(shí)施方式1相同地，能夠抑制制造成本，實(shí)現(xiàn)經(jīng)過外側(cè)流路4b的輔助氣體的流量的抑制，實(shí)現(xiàn)激光加工的加工品質(zhì)的提高。另外，通過更換為槽49b的寬度及深度不同的環(huán)狀部件49，從而能夠容易地進(jìn)行外側(cè)氣流的流量的變更。在本實(shí)施方式3中，與多個(gè)孔13的開口面積(流路面積)的總和相比，由多個(gè)槽49b與凸緣11之間的間隙所形成的流路的面積的總和較小。

圖14是表示實(shí)施方式3涉及的加工噴嘴42的變形例的剖視圖。在本變形例中，在內(nèi)側(cè)噴嘴5的凸緣11形成定位槽44，并且與圖12所示的例子相比上下反轉(zhuǎn)地設(shè)置環(huán)狀部件49。由此，能夠通過在形成于環(huán)狀部件49的槽49b與外側(cè)噴嘴3之間所形成的間隙，將外側(cè)流路4b的流路面積變小。在本變形例中，與多個(gè)孔13的開口面積(流路面積)的總和相比，由多個(gè)槽49b與外側(cè)噴嘴3之間的間隙所形成的流路的面積的總和較小。

實(shí)施方式4.

圖15是本發(fā)明的實(shí)施方式4涉及的加工噴嘴52的剖視圖。圖16是對實(shí)施方式4涉及的加工噴嘴52的孔從激光束102的入射側(cè)進(jìn)行觀察的俯視圖。此外，針對與上述實(shí)施方式1相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)而省略詳細(xì)說明。在本實(shí)施方式4中，由形成于外側(cè)噴嘴3而與凸緣11抵接的接觸面55，將從形成于凸緣11的孔13通向外側(cè)流路4b的流出口的一部分進(jìn)行封閉。在圖16中，為了使附圖易于理解，對接觸面55標(biāo)注陰影線而示出。

在本實(shí)施方式4中，通過由間隙形成部即接觸面55和孔13的流出口形成的間隙，將外側(cè)流路4b的流路面積變小。在這里，間隙的面積是根據(jù)接觸面55的緣部55a的位置而決定的。由于緣部55a的位置通過切削加工而進(jìn)行調(diào)整，因此，與上述實(shí)施方式1相同地，能夠抑制制造成本，實(shí)現(xiàn)經(jīng)過外側(cè)流路4b的輔助氣體的流量的抑制，實(shí)現(xiàn)激光加工的加工品質(zhì)的提高。

圖17及圖18是表示內(nèi)側(cè)噴嘴5的凸緣11的形狀的變形例的圖。如圖17及圖18所示，對于內(nèi)側(cè)噴嘴5的凸緣11，也可以在凸緣11的外周形成缺口15，以取代孔13。在該情況下，外側(cè)噴嘴3的內(nèi)側(cè)面與缺口15之間作為將上游流路4a和外側(cè)流路4b連通的通路而起作用。如果是缺口15，則與形成孔13相比容易抑制加工費(fèi)用，因此能夠?qū)崿F(xiàn)加工噴嘴的制造成本的抑制。

以上的實(shí)施方式示出的結(jié)構(gòu)表示本發(fā)明的內(nèi)容的一個(gè)例子，既能夠與其他公知的技術(shù)進(jìn)行組合，也能夠在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)對結(jié)構(gòu)的一部分進(jìn)行省略、變更。

標(biāo)號(hào)的說明

1加工頭，2加工噴嘴，3外側(cè)噴嘴，4流路，4a上游流路，4b外側(cè)流路，5內(nèi)側(cè)噴嘴，6加工透鏡，7供給口，8凸緣嵌入部，9環(huán)狀凸出部(間隙形成部)，9a抵接面，9b槽，9c前端面，10內(nèi)側(cè)流路，11凸緣，12筒狀部，13孔(通路)，14定位凸出部，14a接觸面，15缺口(通路)，21噴出口，22噴出口，32加工噴嘴，34接觸面，39環(huán)狀凸出部(間隙形成部)，39a抵接面，39b槽，42加工噴嘴，44定位槽，49環(huán)狀部件(被夾持部)，49a抵接面，49b槽，52加工噴嘴，55接觸面(間隙形成部)，55a緣部，100激光加工裝置，101被加工物，101a表面，102激光束，103保持臺(tái)，104激光振蕩器，105反射鏡，106輔助氣體供給源，107氣體通路，108狹縫。