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激光加工系統(tǒng)以及激光加工方法與流程

文檔序號(hào):12138820閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種激光加工系統(tǒng),具備:

激光振蕩器,輸出激光;

激光加工頭,通過第1光學(xué)部件來對(duì)所述激光進(jìn)行聚光并射出;和

反射單元,具有對(duì)從所述激光加工頭射出的所述激光進(jìn)行反射的反射部件,將由所述反射部件反射的所述激光照射到工件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工系統(tǒng),其中,

所述激光加工系統(tǒng)還具備:

第1機(jī)械手,該第1機(jī)械手被安裝有所述激光加工頭,對(duì)所述激光加工頭的位置進(jìn)行變更;和

第2機(jī)械手,該第2機(jī)械手被安裝有所述反射單元,對(duì)所述反射單元的位置進(jìn)行變更。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光加工系統(tǒng),其中,

所述第1機(jī)械手以及所述第2機(jī)械手進(jìn)行動(dòng)作,以使得從所述激光加工頭到所述反射單元的第1距離與從所述反射單元到所述工件的第2距離之和恒定。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光加工系統(tǒng),其中,

所述第1機(jī)械手以及所述第2機(jī)械手進(jìn)行動(dòng)作,以使得所述第1距離以及所述第2距離分別恒定。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光加工系統(tǒng),其中,

所述反射單元具有第2光學(xué)部件,該第2光學(xué)部件對(duì)由所述反射部件反射的所述激光進(jìn)行聚光。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光加工系統(tǒng),其中,

所述第2光學(xué)部件由第2準(zhǔn)直透鏡和第2聚光透鏡構(gòu)成,其中,所述第2準(zhǔn)直透鏡使由所述反射部件反射的所述激光平行化,所述第2聚光透鏡對(duì)被平行化的所述激光進(jìn)行聚光。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光加工系統(tǒng),其中,

所述反射單元的所述反射部件的表面是凹形狀。

8.根據(jù)權(quán)利要求5~7的任意一項(xiàng)所述的激光加工系統(tǒng),其中,

所述第2機(jī)械手進(jìn)行動(dòng)作,以使得從所述反射單元到所述工件的第2距離恒定。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工系統(tǒng),其中,

所述反射單元是被固定的反射部件。

10.根據(jù)權(quán)利要求1~9的任意一項(xiàng)所述的激光加工系統(tǒng),其中,

所述第1光學(xué)部件由第1準(zhǔn)直透鏡和第1聚光透鏡構(gòu)成,其中,所述第1準(zhǔn)直透鏡使從所述激光發(fā)射器輸出的所述激光平行化,第1聚光透鏡對(duì)被平行化的所述激光進(jìn)行聚光。

11.一種激光加工方法,具備:

輸出工序,通過激光振蕩器來輸出激光;

射出工序,通過激光加工頭,對(duì)被輸出的所述激光進(jìn)行聚光并射出;

反射工序,通過反射單元,對(duì)被射出的所述激光進(jìn)行反射;和

照射工序,通過所述反射單元,將被反射的所述激光照射到工件。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的激光加工方法,其中,

所述激光加工方法還具備:

聚光工序,通過所述反射單元,對(duì)被反射的所述激光進(jìn)行聚光,

在所述照射工序中,將被聚光的所述激光照射到所述工件。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的激光加工方法,其中,

所述激光的從通過所述反射工序而被反射直至到達(dá)所述工件的距離恒定。

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