技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種激光蝕刻機(jī)的光路設(shè)計(jì)控制系統(tǒng)及控制方法，包括激光器、擴(kuò)束鏡、勻光系統(tǒng)、動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)、物鏡、振鏡掃描系統(tǒng)、工控機(jī)、激光控制D/A輸出卡，激光器輸出的激光光束先經(jīng)過擴(kuò)束鏡擴(kuò)束后再經(jīng)過勻光系統(tǒng)的變換使激光光束分布更均勻，勻光系統(tǒng)在光路中處于擴(kuò)束鏡的后面；所述動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)在光路中處于勻光系統(tǒng)的后面；物鏡在光路中處于動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)的后面；振鏡掃描系統(tǒng)置于勻光系統(tǒng)之后，工控機(jī)與激光控制D/A輸出卡連接，用于控制激光控制D/A輸出卡；激光控制D/A輸出卡分別與激光器、動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)、振鏡掃描系統(tǒng)連接。本發(fā)明掃描幅面大，加工光束能量均勻從而使激光蝕刻機(jī)生產(chǎn)良率更高，加工范圍更大。

技術(shù)研發(fā)人員：葉騰;彭國紅;俞守綱
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢奇致激光技術(shù)股份有限公司
文檔號(hào)碼：201510982194
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.22
技術(shù)公布日：2017.06.30