切割用多功能吸盤(pán)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種切割用多功能吸盤(pán)，包括吸盤(pán)底座，所述吸盤(pán)底座上設(shè)有吸盤(pán)及壓板，所述吸盤(pán)及壓板通過(guò)螺釘或其他方式固定在吸盤(pán)底座上，所述吸盤(pán)可以獨(dú)立或自由設(shè)定吸附工作物的數(shù)量，所述吸盤(pán)的尺寸和形狀實(shí)現(xiàn)各種吸附狀態(tài)。該吸盤(pán)可以通過(guò)吸盤(pán)上的孔來(lái)進(jìn)行工件的吸附，吸盤(pán)上面的通道可以選擇排渣或其他功能。
【專利說(shuō)明】切割用多功能吸盤(pán)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種切割用多功能吸盤(pán)。
【背景技術(shù)】
[0002]激光切割用真空吸盤(pán)是一種在工程【技術(shù)領(lǐng)域】，特別在半導(dǎo)體加工生產(chǎn)時(shí)的晶圓切割時(shí)的的定位裝置，在晶圓的加工定位中，真空吸盤(pán)作為一種定位夾具與半導(dǎo)體晶圓直接接觸的部分被廣泛應(yīng)用，現(xiàn)有技術(shù)中的真空吸盤(pán)以多孔陶瓷為主要材質(zhì)，經(jīng)后續(xù)加工制成；但由于激光切割多為半切穿，無(wú)法實(shí)現(xiàn)全部切穿，否則激光高溫會(huì)傷到工作盤(pán)表面造成工作盤(pán)的損傷，并造成產(chǎn)品缺陷，無(wú)法實(shí)現(xiàn)晶圓切割的高精度要求；因激光切割過(guò)程中切割產(chǎn)品不同可能存在排渣不暢，對(duì)產(chǎn)品造成污染或品質(zhì)下降，本吸盤(pán)具有排屑(排渣)溝槽，可以實(shí)現(xiàn)廢渣的清理，提高切割廢棄物造成的污染。本吸盤(pán)可以有效解決半導(dǎo)體行業(yè)激光切割過(guò)程中的工作物切割前工作物吸附、工作物切割后產(chǎn)品吸附、切割中廢渣(廢棄物)排除、切割后工作物拾取輔助件定位調(diào)整等多重功能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷和問(wèn)題，本發(fā)明目的是提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可以實(shí)現(xiàn)激光切割整個(gè)工藝流程的切割前、切割中、切割后、切割后拾取整個(gè)過(guò)程的工作物解決方案的多功能吸盤(pán)。
[0004]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:
[0005]一種切割用多功能吸盤(pán)，包括吸盤(pán)底座，所述吸盤(pán)底座上設(shè)有吸盤(pán)排氣壓板和高度調(diào)整組件，所述吸盤(pán)排氣壓板通過(guò)螺釘或其他固定方式固定在吸盤(pán)底座上，所述吸盤(pán)排氣壓板設(shè)有吸盤(pán)，所述吸盤(pán)通過(guò)螺釘固定在吸盤(pán)排氣壓板上，所述吸盤(pán)底座上設(shè)有多個(gè)凹槽，所述吸盤(pán)上設(shè)有多個(gè)孔和槽。
[0006]進(jìn)一步，所述吸盤(pán)底座上的多個(gè)凹糟與所述吸盤(pán)上的多個(gè)孔與外界連接。
[0007]進(jìn)一步，所述吸盤(pán)孔和槽為4個(gè)。
[0008]進(jìn)一步，所述吸盤(pán)底座上設(shè)有多個(gè)吸盤(pán)連接孔。
[0009]進(jìn)一步，所述吸盤(pán)連接孔為4個(gè)。
[0010]本發(fā)明的有益效果是，由于本發(fā)明的吸盤(pán)上設(shè)有多個(gè)孔和槽，使得在激光切割的整個(gè)流程中，實(shí)現(xiàn)吸附的同時(shí)可以排除廢渣或其他廢棄物。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施效果圖，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，就可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0012]圖1是本發(fā)明的切割用多功能吸盤(pán)的結(jié)構(gòu)示意圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0013]下面將結(jié)合本發(fā)明的附圖，對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0014]如圖1所示，本發(fā)明公開(kāi)的，一種切割用多功能吸盤(pán)，包括吸盤(pán)底座1，所述吸盤(pán)底座I上設(shè)有吸盤(pán)排氣壓板2和高度調(diào)整組件，所述吸盤(pán)排氣壓板2通過(guò)螺釘或其他固定方式固定在吸盤(pán)底座I上，所述吸盤(pán)排氣壓板2設(shè)有吸盤(pán)3，所述吸盤(pán)3通過(guò)螺釘固定在吸盤(pán)排氣壓板2上，所述吸盤(pán)底座I上設(shè)有多個(gè)凹槽，所述吸盤(pán)上設(shè)有多個(gè)孔和槽，所述吸盤(pán)上設(shè)有多個(gè)孔，并且可以自由組合，實(shí)現(xiàn)單個(gè)或多個(gè)物件同時(shí)吸附，通過(guò)底座的真空通道與外界連接，吸盤(pán)底座具有調(diào)整功能，可以調(diào)整工作物切割完成后工作物拾取(連接)附件的高度調(diào)節(jié)功能。
[0015]優(yōu)選的技術(shù)方案，所述吸盤(pán)底座上的多個(gè)凹糟與所述吸盤(pán)上的多個(gè)孔與外界連接，所述吸盤(pán)孔和槽為4個(gè)，保證吸盤(pán)與底座的真空連接狀態(tài)通暢。
[0016]優(yōu)選的技術(shù)方案，所述吸盤(pán)底座上設(shè)有多個(gè)吸盤(pán)連接孔4。
[0017]優(yōu)選的技術(shù)方案，所述吸盤(pán)連接孔為4個(gè)。
[0018]以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)所述以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種切割用多功能吸盤(pán)，其特征在于，包括吸盤(pán)底座，所述吸盤(pán)底座上設(shè)有吸盤(pán)排氣壓板和高度調(diào)整組件，所述吸盤(pán)排氣壓板通過(guò)螺釘或其他固定方式固定在吸盤(pán)底座上，所述吸盤(pán)排氣壓板設(shè)有吸盤(pán)，所述吸盤(pán)通過(guò)螺釘固定在吸盤(pán)排氣壓板上，所述吸盤(pán)底座上設(shè)有多個(gè)凹槽，所述吸盤(pán)上設(shè)有多個(gè)孔和槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的切割用多功能吸盤(pán)，其特征在于，所述吸盤(pán)底座上的多個(gè)凹糟與所述吸盤(pán)上的多個(gè)孔與外界連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的切割用多功能吸盤(pán)，其特征在于，所述吸盤(pán)孔和槽為4個(gè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的切割用多功能吸盤(pán)，其特征在于，所述吸盤(pán)底座上設(shè)有多個(gè)吸盤(pán)連接孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的切割用多功能吸盤(pán)，其特征在于，所述吸盤(pán)連接孔為4個(gè)。
【文檔編號(hào)】B23K26/70GK103801843SQ201410026435
【公開(kāi)日】2014年5月21日 申請(qǐng)日期:2014年1月22日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月22日
【發(fā)明者】李豐 申請(qǐng)人:李豐