切削工具用硬質(zhì)被膜及硬質(zhì)被膜被覆切削工具的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供優(yōu)越的耐磨性及耐熔敷性兼?zhèn)涞那邢鞴ぞ哂糜操|(zhì)被膜及硬質(zhì)被膜被覆切削工具。是第1被膜層(24)和第2被膜層(26)交替地層疊2層以上的多層膜；第1被膜層(24)由AgaCu1-a構(gòu)成；第2被膜層(26)由包含IVa族元素、Va族元素、VIa族元素、Al及Si中的至少1種元素的氮化物、氧化物、碳化物、碳氮化物或硼化物構(gòu)成；涉及第1被膜層(24)的原子比a處在0.2以上0.4以下的范圍內(nèi)；第1被膜層(24)與第2被膜層(26)的層疊周期(d3)處在0.2nm以上100nm以下的范圍內(nèi)；而且，總膜厚(D)處在0.2μm以上10.0μm以下的范圍內(nèi)。所以，通過在被膜中含有Ag，能夠使摩擦系數(shù)及切削阻力減輕，獲得潤(rùn)滑性及耐熔敷性優(yōu)越并且高硬度的被膜。
【專利說明】切削工具用硬質(zhì)被膜及硬質(zhì)被膜被覆切削工具

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種被覆設(shè)置在切削工具的表面上的切削工具用硬質(zhì)被膜及設(shè)置了該硬質(zhì)被膜的硬質(zhì)被膜被覆切削工具，特別是涉及用于使耐磨性及耐熔敷性都提高的改良。

【背景技術(shù)】
[0002]在鉆頭、螺絲攻等切削工具上，為了使耐磨性提高而被覆設(shè)置硬質(zhì)被膜。作為此切削工具用硬質(zhì)被膜，廣泛使用TiN系、TiCN系、TiAlN系及AlCrN系的涂層，為了進(jìn)一步使其性能提高，不斷地在謀求改良。例如，記載于專利文獻(xiàn)I的硬質(zhì)層疊被膜就是如此。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2010-76082號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明所要解決的課題
[0007]然而，根據(jù)上述那樣的現(xiàn)有技術(shù)形成了硬質(zhì)被膜的切削工具，當(dāng)進(jìn)行其切削加工時(shí)，根據(jù)被切削材料的種類、切削條件，存在耐熔敷性變得不充分的危險(xiǎn)。即，有時(shí)會(huì)因被切削材料的熔敷等造成工具的壽命變短，存在改良的余地。因此，要求開發(fā)優(yōu)越的耐磨性及耐熔敷性兼?zhèn)涞那邢鞴ぞ哂糜操|(zhì)被膜及硬質(zhì)被膜被覆切削工具。
[0008]本發(fā)明就是將以上的情況作為背景作出的，其目的在于提供一種優(yōu)越的耐磨性及耐熔敷性兼?zhèn)涞那邢鞴ぞ哂糜操|(zhì)被膜及硬質(zhì)被膜被覆切削工具。
[0009]用于解決課題的技術(shù)手段
[0010]為了達(dá)到這樣的目的，本發(fā)明第I發(fā)明的要旨是，一種被覆設(shè)置在切削工具的表面上的切削工具用硬質(zhì)被膜；該切削工具用硬質(zhì)被膜的特征在于:是第I被膜層和第2被膜層交替地層疊2層以上的多層膜；該第I被膜層，由AgaCUl_a構(gòu)成；該第2被膜層，由包含IVa族元素、Va族元素、VIa族元素、Al及Si中的至少I種元素的氮化物、氧化物、碳化物、碳氮化物或硼化物構(gòu)成；涉及上述第I被膜層的原子比a處在0.2以上0.4以下的范圍內(nèi)；上述第I被膜層與上述第2被膜層的層疊周期處在0.2nm以上10nm以下的范圍內(nèi)；而且，總膜厚處在0.2μπι以上10.Ομπι以下的范圍內(nèi)。
[0011]發(fā)明的效果
[0012]這樣根據(jù)上述第I發(fā)明，是第I被膜層和第2被膜層交替地層疊2層以上的多層膜；該第I被膜層，由AgaCUh構(gòu)成；該第2被膜層，由包含IVa族元素、Va族元素、VIa族元素、Al及Si中的至少I種元素的氮化物、氧化物、碳化物、碳氮化物或硼化物構(gòu)成；涉及上述第I被膜層的原子比a處在0.2以上0.4以下的范圍內(nèi)；上述第I被膜層與上述第2被膜層的層疊周期處在0.2nm以上10nm以下的范圍內(nèi)；而且，總膜厚處在0.2 μ m以上10.0 μ m以下的范圍內(nèi)。所以，通過在被膜中含有Ag，能夠使摩擦系數(shù)及切削阻力減輕，獲得潤(rùn)滑性及耐熔敷性優(yōu)越并且高硬度的被膜。即，能夠提供優(yōu)越的耐磨性及耐熔敷性兼?zhèn)涞那邢鞴ぞ哂糜操|(zhì)被膜。
[0013]從屬于上述第I發(fā)明的本發(fā)明第2發(fā)明的要旨是，在表面上被覆設(shè)置上述第I發(fā)明的切削工具用硬質(zhì)被膜的硬質(zhì)被膜被覆切削工具。如果這樣做，通過在被膜中含有Ag，能夠使摩擦系數(shù)及切削阻力減輕，獲得潤(rùn)滑性及耐熔敷性優(yōu)越并且高硬度的被膜。即，能夠提供優(yōu)越的耐磨性及耐熔敷性兼?zhèn)涞挠操|(zhì)被膜被覆切削工具。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1是從與軸心垂直的方向觀看的作為本發(fā)明的硬質(zhì)被膜被覆切削工具的一實(shí)施例的鉆頭的正面圖。
[0015]圖2是從設(shè)置切削刃的前端側(cè)觀看圖1所示鉆頭的放大仰視圖。
[0016]圖3是圖1的鉆頭的主體的表面附近的放大剖視圖，是例示作為本發(fā)明的切削工具用硬質(zhì)被膜的一實(shí)施例的硬質(zhì)被膜的構(gòu)成的圖。
[0017]圖4是說明圖3的硬質(zhì)被膜的涂鍍方法的一例的圖。
[0018]圖5是合并表示在本
【發(fā)明者】等為了驗(yàn)證本發(fā)明的效果而進(jìn)行的鉆孔試驗(yàn)中使用的、作為本發(fā)明的實(shí)施例的各試樣的被膜構(gòu)造及各自的試驗(yàn)結(jié)果的圖。
[0019]圖6是合并表示在本
【發(fā)明者】等為了驗(yàn)證本發(fā)明的效果而進(jìn)行的鉆孔試驗(yàn)中使用的、用于比較的各試驗(yàn)品的被膜構(gòu)造及各自的試驗(yàn)結(jié)果的圖。

【具體實(shí)施方式】
[0020]本發(fā)明的切削工具用硬質(zhì)被膜，除了立銑刀、鉆頭、平面銑刀、成形銑刀、鉸刀、螺絲攻等旋轉(zhuǎn)切削工具外，還可較好地應(yīng)用于車刀等非旋轉(zhuǎn)式的切削工具等各種各樣的切削工具的表面涂層。作為工具基材即設(shè)置硬質(zhì)被膜的構(gòu)件的材質(zhì)，雖然可以較好地使用超硬合金、高速工具鋼，但也可以是其它的材料，例如在由金屬陶瓷、陶瓷、多晶金剛石、單晶金剛石、多晶CBN、單晶CBN等各種各樣的材料構(gòu)成的切削工具廣泛應(yīng)用本發(fā)明的切削工具用硬質(zhì)被膜。
[0021]本發(fā)明的切削工具用硬質(zhì)被膜，是被覆設(shè)置在切削工具的一部分或全部的表面上的硬質(zhì)被膜，最好在該切削工具上設(shè)置于與切削加工相關(guān)的刃部。如以被覆至少其刃部的切削刃至前刃面的方式設(shè)置則更理想。
[0022]上述2被膜層，由包含IVa族元素、Va族元素、VIa族元素、Al及Si中的至少I種元素的氮化物、氧化物、碳化物、碳氮化物或硼化物或它們的相互固溶體構(gòu)成。具體地說，是由 TiN, TiAlN, TiAlCrVSiB, TiS1, TiffC, ZrVO, ZrNbB, HfTaCN, NbN, CrN, MoSiC, A1N、AlCrSiCN, SiN等構(gòu)成的被膜層。
[0023]上述第I被膜層及第2被膜層的膜厚，雖然與組成等對(duì)應(yīng)地個(gè)別確定，但在它們重復(fù)層疊多層的場(chǎng)合，可分別是一定的膜厚，也可使膜厚連續(xù)地或分階段地改變。上述第I被膜層、第2被膜層的各平均膜厚，雖然根據(jù)涂鍍的構(gòu)件、被膜的組成等而不同，但例如0.1?90nm左右的范圍內(nèi)是適當(dāng)?shù)摹?br> [0024]上述第I被膜層、第2被膜層，雖然可由例如電弧離子鍍法、離子束沉積法、灘鍛法、PLD(Pulse Laser Deposit1n ;脈沖激光沉積)法、IBAD(1n Beam AssistedDeposit1n ;離子束輔助沉積)法等PVD法較好地設(shè)置，但也可采用其它的成膜法。
[0025]實(shí)施例
[0026]下面，根據(jù)附圖詳細(xì)地說明本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施例。關(guān)于在以下的說明中使用的圖，各部分的尺寸比等未必正確地描繪。
[0027]圖1是表示作為本發(fā)明的硬質(zhì)被膜被覆切削工具的一實(shí)施例的鉆頭10的圖，是從與軸心O垂直的方向觀看的正面圖。圖2是從設(shè)置切削刃12的前端側(cè)(即朝由箭頭II所示的方向)觀看圖1所示鉆頭10的放大仰視圖。這些圖1及圖2所示本實(shí)施例的鉆頭10是2片刃的螺旋鉆頭，在軸心O方向一體地具備柄部14及主體16。在該主體16上，形成繞軸心O右旋地螺旋的一對(duì)槽18。在上述主體16的前端，與上述一對(duì)槽18對(duì)應(yīng)地設(shè)置一對(duì)切削刃12，通過上述鉆頭10從上述柄部14那一側(cè)觀看繞軸心O右旋地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，由上述切削刃12在被切削材料上切削加工孔，并且，以對(duì)該孔進(jìn)行切削加工時(shí)產(chǎn)生的切屑通過上述槽18向柄部14那一側(cè)排出的方式構(gòu)成。
[0028]圖3是上述鉆頭10的主體16的表面附近的放大剖視圖，是例示作為本發(fā)明的切削工具用硬質(zhì)被膜的一實(shí)施例的硬質(zhì)被膜22的構(gòu)成的圖。上述鉆頭10，例如是在高速工具鋼(高速鋼)制的工具基材(工具母材)20的表面上涂鍍圖3所示那樣的硬質(zhì)被膜22構(gòu)成的鉆頭。此硬質(zhì)被膜22，例如圖3所示那樣，是第I被膜層24和第2被膜層26在上述工具基材20的表面上交替地層疊2層以上的多層膜。在圖3中，雖然表示出上述第I被膜層24構(gòu)成設(shè)在上述工具基材20的表面上的最下層、上述第2被膜層26構(gòu)成與上述硬質(zhì)被膜22的表面(外表面)相當(dāng)?shù)淖钌蠈拥睦?，但也可以是上述?被膜層26構(gòu)成最下層、上述第I被膜層24構(gòu)成最上層的硬質(zhì)被膜。
[0029]上述第I被膜層24，由包含不可避的雜質(zhì)的AgaCUl_a構(gòu)成。涉及此第I被膜層24的原子比(混晶比)a處在0.2以上0.4以下的范圍內(nèi)(0.2蘭a蘭0.4)。上述第2被膜層26,是包含IVa族元素、Va族元素、VIa族元素、Al及Si中的至少I種元素的氮化物、氧化物、碳化物、碳氮化物或硼化物或它們的相互固溶體，包含不可避的雜質(zhì)。即，上述第2被膜層 26，具體地說，由 TiN、TiAlN, TiAlCrVSiB, TiS1, TiffC, ZrVO, ZrNbB, HfTaCN, NbN、CrN, MoSiC、AIN、AlCrSiCN、SiN 等構(gòu)成。
[0030]在上述硬質(zhì)被膜22，最好上述第I被膜層24及第2被膜層26分別以預(yù)先確定了的一定的膜厚(平均膜厚)形成。上述第I被膜層24及第2被膜層26各自的平均膜厚，雖然與涂鍍的構(gòu)件、被膜的組成等對(duì)應(yīng)地個(gè)別進(jìn)行設(shè)定，但最好上述第I被膜層24的平均膜厚dl在0.1?90.0nm的范圍內(nèi)適當(dāng)?shù)貨Q定，上述第2被膜層26的平均膜厚d2在0.1?75.0nm的范圍內(nèi)適當(dāng)?shù)貨Q定。上述第I被膜層24與上述第2被膜層26的層疊周期d3，處在0.2nm以上10nm以下的范圍內(nèi)。上述第I被膜層24及上述第2被膜層26的層疊數(shù)(第I被膜層24及第2被膜層26的層數(shù)的合計(jì))，最好處在30?6300的范圍內(nèi)。S卩，上述第I被膜層24及上述第2被膜層26各自的層數(shù)，最好處在15?3150的范圍內(nèi)。上述硬質(zhì)被膜22的總膜厚D，處在0.2 μ m以上10.0 μ m以下的范圍內(nèi)。
[0031]圖4是說明上述硬質(zhì)被膜22的涂鍍方法的一例的圖。上述硬質(zhì)被膜22相對(duì)于上述鉆頭10等的涂鍍，使用例如圖4所示那樣的濺鍍裝置30，通過控制器36的控制進(jìn)行。最好首先在作為前處理的腐蝕工序中，由偏壓電源34在配置在上述濺鍍裝置30的腔室32內(nèi)的上述工具基材20上施加負(fù)的偏壓。由此，正的氬離子Ar+與上述工具基材20沖撞，該工具基材20的表面被粗面化。
[0032]接著，在濺鍍工序中，在上述工具基材20的表面上交替地形成上述第I被膜層24及第2被膜層26。例如，在上述第2被膜層26的形成中，通過由電源40在構(gòu)成該第2被膜層26的TiAl等的靶材38上施加負(fù)的一定的偏壓(例如-50?-60V左右)，并且，由上述偏壓電源34在工具基材20上施加負(fù)的一定的偏壓(例如-100V左右)，氬離子Ar+與上述靶材38沖撞，由此，TiAl等構(gòu)成物質(zhì)被轟出。在上述腔室32內(nèi)，除了氬氣外，還以規(guī)定的流量導(dǎo)入氮?dú)?N2)、碳?xì)浠衔餁怏w(CH4、C2H2)的反應(yīng)氣體，其氮原子N、碳原子C與從上述靶材38轟出的TiAl等結(jié)合，成為TiAlN等，作為上述硬質(zhì)被膜22中的第2被膜層26等附著在上述工具基材20的表面上?；蛘?，分別與T1、Al等的單體對(duì)應(yīng)地構(gòu)成靶材，使用這些多個(gè)靶材同時(shí)地進(jìn)行濺鍍，形成由TiAlN等構(gòu)成的上述第2被膜層26。在上述濺鍍工序中，也可使得在上述工具基材20上施加正的電壓。通過如以上那樣做，使上述第I被膜層24和上述第2被膜層26交替地附著在上述工具基材20的表面上，在該工具基材20的表面上形成上述硬質(zhì)被膜22。
[0033]接下來，說明本
【發(fā)明者】等為了驗(yàn)證本發(fā)明的效果而進(jìn)行的鉆孔試驗(yàn)。圖5及圖6，是合并表示在此試驗(yàn)中使用的本發(fā)明品及試驗(yàn)品的被膜構(gòu)造和各自的試驗(yàn)結(jié)果(加工孔數(shù)及判定)的圖。圖5表示作為本發(fā)明的實(shí)施例的本發(fā)明品I?14的構(gòu)造及試驗(yàn)結(jié)果，圖6表示用于比較的作為現(xiàn)有技術(shù)的試驗(yàn)品I?9的構(gòu)造及試驗(yàn)結(jié)果。本
【發(fā)明者】等在工具直徑8.3ιηιηφ的超硬鉆頭上涂鍍圖5至圖6所示各被膜構(gòu)造及膜厚的硬質(zhì)被膜,制作作為試樣的本發(fā)明品I?14及試驗(yàn)品I?9，對(duì)于各試驗(yàn)品在以下的切削條件下進(jìn)行了切削試驗(yàn)。圖5所示本發(fā)明品I?14與應(yīng)用了本實(shí)施例的硬質(zhì)被膜22的本發(fā)明品相當(dāng)，圖6所示試驗(yàn)品I?9與應(yīng)用了不滿足本發(fā)明的必要條件的(從權(quán)利要求1的必要條件脫離的)硬質(zhì)被膜的非發(fā)明品相當(dāng)。圖5及圖6中的“A層”、“B層”，分別與上述第I被膜層24、第2被膜層26對(duì)應(yīng)。圖5及圖6所示加工孔數(shù)，是側(cè)面磨損寬度0.2mm時(shí)的孔數(shù)，合格判定基準(zhǔn)是側(cè)面磨損寬度0.2mm時(shí)的加工孔數(shù)在20孔以上。
[0034][加工條件]
[0035].工具形狀:φ8 J超硬鉆頭
[0036].被切削材料:因科鎳合金(注冊(cè)商標(biāo))718
[0037].切削機(jī)械:立型M/C
[0038].切削速度:10m/min
[0039].進(jìn)給速度:0.1 mm/rev
[0040].加工深度:33_(盡頭)
[0041].臺(tái)階量:無臺(tái)階
[0042].切削油:油性
[0043]如圖5所示，上述本發(fā)明品I?14是都是第I被膜層(A層)24和第2被膜層(B層)26交替地層疊2層以上的多層膜，第I被膜層(A層)24由AgaCUl_a構(gòu)成，第2被膜層(B層)26由包含IVa族元素、Va族元素、VIa族元素、Al及Si中的至少I種元素的氮化物、氧化物、碳化物、碳氮化物或硼化物構(gòu)成，涉及上述第I被膜層24的原子比a處在0.2以上
0.4以下的范圍內(nèi)，上述第I被膜層24與上述第2被膜層26的層疊周期d3處在0.2nm以上10nm以下的范圍內(nèi)，而且，總膜厚D處在0.2μπι以上10.0 μ m以下的范圍內(nèi)。即，應(yīng)用了滿足本發(fā)明的權(quán)利要求1的必要條件的硬質(zhì)被膜22。如從圖5所示試驗(yàn)結(jié)果可以得知的那樣，在應(yīng)用了這樣的本實(shí)施例的硬質(zhì)被膜22的本發(fā)明品I?14中，不論是哪個(gè)試樣，側(cè)面磨損寬度0.2mm時(shí)的加工孔數(shù)都在20孔以上，滿足合格基準(zhǔn)。
[0044]可以得知，特別是在上述第I被膜層24由Ag0.4Cu0.6構(gòu)成、上述第2被膜層26由AlN構(gòu)成、上述第I被膜層24的平均膜厚是0.5nm、上述第2被膜層26的平均膜厚是36.5nm、層疊周期是37.0nm、層數(shù)是150、總膜厚是2.8 μ m的本發(fā)明品4，加工孔數(shù)成為41，在上述第I被膜層24由Aga3Cua7構(gòu)成、上述第2被膜層26由CrN構(gòu)成、上述第I被膜層24的平均膜厚是5.0nm、上述第2被膜層26的平均膜厚是10.0nm、層疊周期是15.0nm、層數(shù)是400、總膜厚是3.0 μ m的本發(fā)明品2，加工孔數(shù)成為36，在上述第I被膜層24由Aga4Cua6構(gòu)成、上述第2被膜層26由ZrNbB構(gòu)成、上述第I被膜層24及第2被膜層26的平均膜厚都是
0.lnm、層疊周期是0.2nm、層數(shù)是2000、總膜厚是0.2 μ m的本發(fā)明品12，加工孔數(shù)成為36，在上述第I被膜層24由Aga4Cua6構(gòu)成、上述第2被膜層26由TiS1構(gòu)成、上述第I被膜層24的平均膜厚是5.0nm、上述第2被膜層26的平均膜厚是0.lnm、層疊周期是5.lnm、層數(shù)是3200、總膜厚是8.2 μ m的本發(fā)明品13，加工孔數(shù)成為35，不論是哪一個(gè)，側(cè)面磨損寬度
0.2mm時(shí)的加工孔數(shù)都成為35孔以上，表現(xiàn)出特別良好的切削性能。
[0045]如圖6所示，上述試驗(yàn)品I的上述第I被膜層24由AgaiCua9構(gòu)成，脫離了作為本發(fā)明的權(quán)利要求1的必要條件的Ag的原子比a是0.2以上0.4以下的范圍。上述試驗(yàn)品2的上述第I被膜層24由Aga5Cua5構(gòu)成，脫離了作為本發(fā)明的權(quán)利要求1的必要條件的Ag的原子比a是0.2以上0.4以下的范圍。上述試驗(yàn)品3的層疊周期是0.1nm,脫離了作為本發(fā)明的權(quán)利要求1的必要條件的層疊周期0.2nm以上10nm以下的范圍。上述試驗(yàn)品4的層疊周期是101.0nm,脫離了作為本發(fā)明的權(quán)利要求1的必要條件的層疊周期0.2nm以上10nm以下的范圍。上述試驗(yàn)品5的總膜厚是10.1 μ m，脫離了作為本發(fā)明的權(quán)利要求1的必要條件的總膜厚0.2 μ m以上10.0 μ m以下的范圍。上述試驗(yàn)品6的上述第I被膜層24由AgaiCua9構(gòu)成，脫離了作為本發(fā)明的權(quán)利要求1的必要條件的Ag的原子比a是0.2以上0.4以下的范圍。上述試驗(yàn)品7的上述第I被膜層24由Aga5Cua5構(gòu)成，脫離了作為本發(fā)明的權(quán)利要求1的必要條件的Ag的原子比a是0.2以上0.4以下的范圍。上述試驗(yàn)品8的層疊周期是0.lnm，脫離了作為本發(fā)明的權(quán)利要求1的必要條件的層疊周期0.2nm以上10nm以下的范圍，并且，總膜厚是0.15 μ m,脫離了作為本發(fā)明的權(quán)利要求1的必要條件的總I旲厚0.2 μ m以上10.0um以下的范圍。本試驗(yàn)品9的總I旲厚是10.1 μ m,脫尚了作為本發(fā)明的權(quán)利要求1的必要條件的總膜厚0.2μπι以上10.Ομπι以下的范圍，并且，上述第I被膜層24由Tia4Ba6ON構(gòu)成，不滿足該第I被膜層由AgaCUl_a構(gòu)成的本發(fā)明的權(quán)利要求1的必要條件。如從圖6所示試驗(yàn)結(jié)果可以得知的那樣，在這些試驗(yàn)品I?9中，不論是哪一個(gè)，側(cè)面磨損寬度0.2mm時(shí)的加工孔數(shù)都不足20，與上述本發(fā)明品I?14相比切削性能較差。這可以認(rèn)為是因?yàn)?，在不滿足本發(fā)明的權(quán)利要求1的必要條件的硬質(zhì)被膜，耐熔敷性不充分，熔敷、剝離等導(dǎo)致壽命提前。
[0046]這樣構(gòu)成本實(shí)施例，因?yàn)槭堑贗被膜層24和第2被膜層26交替地層疊2層以上的多層I旲，弟I被I旲層24由AgaCuw構(gòu)成，弟2被I旲層26由包含IVa族兀素、Va族兀素、VIa族元素、Al及Si中的至少I種元素的氮化物、氧化物、碳化物、碳氮化物或硼化物構(gòu)成，涉及上述第I被膜層24的原子比a處在0.2以上0.4以下的范圍內(nèi)，上述第I被膜層24與上述第2被膜層26的層疊周期d3處在0.2nm以上10nm以下的范圍內(nèi)，而且，總膜厚D處在0.2μπι以上10.0ym以下的范圍內(nèi)，所以，通過在被膜中含有Ag，能夠使摩擦系數(shù)及切削阻力減輕，獲得潤(rùn)滑性及耐熔敷性優(yōu)越并且高硬度的被膜。即，能夠提供優(yōu)越的耐磨性及耐熔敷性兼?zhèn)涞淖鳛榍邢鞴ぞ哂糜操|(zhì)被膜的硬質(zhì)被膜22。
[0047]根據(jù)本實(shí)施例，因?yàn)槭巧鲜鲇操|(zhì)被膜22被覆設(shè)置在表面上的鉆頭10，所以，通過在被膜中含有Ag，能夠使摩擦系數(shù)及切削阻力減輕，獲得潤(rùn)滑性及耐熔敷性優(yōu)越并且高硬度的被膜。即，能夠提供優(yōu)越的耐磨性及耐熔敷性兼?zhèn)涞淖鳛橛操|(zhì)被膜被覆切削工具的鉆頭10。
[0048]以上，根據(jù)附圖詳細(xì)地說明了本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施例，但本發(fā)明不限于此，在不脫離其宗旨的范圍內(nèi)能夠施加各種各樣的變更進(jìn)行實(shí)施。
[0049]附圖標(biāo)記說明:
[0050]10:鉆頭(硬質(zhì)被膜被覆切削工具)、12:切削刃、14:柄部、16:主體、18:槽、20:工具基材、22:硬質(zhì)被膜(切削工具用硬質(zhì)被膜)、24:第I被膜層、26:第2被膜層、30:濺鍍裝置、32:腔室、34:偏壓電源、36:控制器、38:革巴材、40:電源。
【權(quán)利要求】
1.一種切削工具用硬質(zhì)被膜，被覆設(shè)置在切削工具的表面上；其特征在于: 是第I被膜層和第2被膜層交替地層疊2層以上的多層膜； 該第I被膜層由AgaCUh構(gòu)成； 該第2被膜層由包含IVa族元素、Va族元素、VIa族元素、Al及Si中的至少I種元素的氮化物、氧化物、碳化物、碳氮化物或硼化物構(gòu)成； 涉及上述第I被膜層的原子比a處在0.2以上0.4以下的范圍內(nèi)； 上述第I被膜層與上述第2被膜層的層疊周期處在0.2nm以上10nm以下的范圍內(nèi)； 而且，總膜厚處在0.2 μ m以上10.0 μ m以下的范圍內(nèi)。
2.一種硬質(zhì)被膜被覆切削工具，其特征在于:該硬質(zhì)被膜被覆切削工具在表面上被覆設(shè)置了權(quán)利要求1所述的切削工具用硬質(zhì)被膜。
【文檔編號(hào)】B23B51/00GK104203467SQ201280072256
【公開日】2014年12月10日 申請(qǐng)日期:2012年4月9日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月9日
【發(fā)明者】櫻井正俊, 戶井原孝臣 申請(qǐng)人:Osg株式會(huì)社