專利名稱：電解加工方法和動壓軸承裝置的制造方法及動壓軸承裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過使電極工具與被加工物夾有電解液地相對配置并通電而進行被加工物的電解加工的電解加工方法和動壓軸承裝置的制造方法及利用該制造方法制造的動壓軸承裝置。
背景技術(shù)：
電解加工是通過將電解熔出集中于被加工物的所需部位進行的，例如

圖12所示的電解加工裝置是人們所知道的以往技術(shù)。在圖12所示的電解加工裝置中，將被加工物4載置在夾有絕緣物2地設(shè)于基座1的夾具3上，并使電極工具5接近該被加工物4地相對配置。而且，上述被加工物4與未圖示的電解加工用電源的正極(+極)側(cè)連接，電極工具5與負極(-極)側(cè)連接。
另外，蓄積在外部側(cè)的電解液6，利用作為電解液供給裝置的泵7通過過濾器8而向上述電極工具5與被加工物4之間的間隙供給，一邊使電解液6在電極工具5與被加工物4之間流動一邊進行兩者間的通電。由此，被加工物4就連續(xù)地電化學(xué)地熔出、可進行被加工物4的電解加工。
這時，在上述電極工具5上附設(shè)有送進裝置10，隨著被加工物4的加工進行使電極工具5向送入被加工物4側(cè)，而在兩者間維持規(guī)定的加工間隙(平衡間隙)，其結(jié)果，就將使電極工具5的形狀翻轉(zhuǎn)的形狀形成于被加工物4上。由電解加工所產(chǎn)生的氣體由風(fēng)扇11排向外部。又，在因焦耳熱而被升溫的電解液中含有各種電解生成物，使用后的電解液12通過離心分離器13被凈化后，再供給至上述的電極工具5與被加工物4之間。
但是，在使用這樣的一般的電解加工方法進行成批加工的工序中，存在下述的問題。
①相對電極工具的寬度，被加工物的加工寬度有變大的傾向，并且，該加工寬度容易產(chǎn)生誤差。
②為了減小加工寬度的誤差而減小電極工具與被加工物之間的間隙時，因存在于電解液中的被加工物的電解生成物等的各種粒子而容易產(chǎn)生液體堵塞現(xiàn)象，導(dǎo)致加工不良的情況增多。
③同樣，當(dāng)減小電極工具與被加工物之間的間隙時，由于電解液的流動變得不良，故在加工途中電解液容易產(chǎn)生劣化，在電解液的入口側(cè)的加工量較深，而隨著移向出口側(cè)，加工深度逐漸變淺。
④電解液及電解生成物的一部分容易附著在被加工物上。
尤其，當(dāng)在利用潤滑流體的動壓的動壓軸承裝置中的動壓產(chǎn)生用槽的槽加工中使用電解加工時，就不能以必需的精度獲得對動壓特性給予較大影響的動壓產(chǎn)生用槽的槽形狀，就不能獲得良好的動壓特性，并且還成為生產(chǎn)率降低的原因。又，在加工后的產(chǎn)品上仍附著電解生成物及電解液的場合，在由動壓軸承裝置支承的旋轉(zhuǎn)體的種類、例如在硬盤驅(qū)動裝置(HDD)中，有可能成為化學(xué)污染物以至成為不能使用的狀態(tài)。
因此，本發(fā)明目的在于，提供結(jié)構(gòu)簡單、能對被加工物進行高精度且有效加工的電解加工方法和動壓產(chǎn)生用槽的制造方法。
發(fā)明的概要為了達到上述目的，在技術(shù)方案1的電解加工方法中，一邊將由超聲波振動發(fā)生裝置發(fā)生的超聲波振動賦予電解液一邊進行電解加工，即使在使電極工具接近被加工物的場合，也使因賦予電解液的超聲波振動而從被加工物熔出的電解生成物等的各種粒子圓滑地流動，并維持良好的電解加工。又，在技術(shù)方案2的電解加工方法中，是在技術(shù)方案1的基礎(chǔ)上，通過將由超聲波振動發(fā)生裝置產(chǎn)生的加振幅度作成15-25μm，能實現(xiàn)更良好的電解加工。
又，技術(shù)方案3的電解加工方法是，在技術(shù)方案1的基礎(chǔ)上，預(yù)先將超聲波振動發(fā)生裝置安裝在上述電極工具上，通過使上述電極工具接近被加工物，從而以將這些電極工具與被加工物之間的間隙接近于由上述超聲波振動發(fā)生裝置賦予電極工具的振幅的狀態(tài)進行電解加工，由此能一邊確保電解液的流動性一邊使加工精度提高。
又，技術(shù)方案4的電解加工方法是，在技術(shù)方案1的基礎(chǔ)上，使用與界面活性劑的混合液作為電解液，從被加工物熔出的電解生成物等的各種粒子被電解液中的界面活性劑吸收，而能確保電解液的圓滑的流動。
又，技術(shù)方案5的電解加工方法是，在技術(shù)方案1的基礎(chǔ)上，使電解加工用的通電與超聲波振動用的通電獨立地進行。又，技術(shù)方案6的電解加工方法是，在技術(shù)方案5的基礎(chǔ)上，使電解加工用的通電與超聲波振動用的通電交替地或使它們的各通電的至少一部分重復(fù)地進行，通過根據(jù)電解加工的狀況而適當(dāng)?shù)厍袚Q電解加工用的通電和超聲波振動用的通電，而始終獲得最佳的加工狀態(tài)。
另外，權(quán)利要求7的動壓軸承裝置的制造方法中，通過一邊將由超聲波振動發(fā)生裝置發(fā)生的超聲波振動賦予電解液一邊進行電解加工，即使在使電極工具接近被加工物的場合，也使因賦予電解液的超聲波振動而從被加工物熔出的電解生成物等的各種粒子圓滑地流動，并維持良好的電解加工。又，技術(shù)方案8的動壓軸承裝置的制造方法是，在技術(shù)方案7的基礎(chǔ)上，通過將由超聲波振動發(fā)生裝置產(chǎn)生的加振幅度作成15-25μm，能實現(xiàn)更良好的電解加工。
又，技術(shù)方案9的動壓軸承裝置的制造方法是，在技術(shù)方案7的基礎(chǔ)上，預(yù)先將超聲波振動發(fā)生裝置安裝在上述電極工具上，通過使上述電極工具接近被加工物，從而以將這些電極工具與被加工物之間的間隙接近于由超聲波振動發(fā)生裝置賦予電極工具的振幅的狀態(tài)進行電解加工，由此能一邊確保電解液的流動性一邊提高加工精度。
又，技術(shù)方案10的動壓軸承裝置的制造方法是，在技術(shù)方案7的基礎(chǔ)上，使用與界面活性劑的混合液作為電解液，從被加工物熔出的電解生成物等的各種粒子被電解液中的界面活性劑吸收，而能確保電解液的圓滑的流動。
又，技術(shù)方案11的動壓軸承裝置的制造方法是，在技術(shù)方案7的基礎(chǔ)上，使電解加工用的通電與超聲波振動用的通電獨立地進行。又，技術(shù)方案12的電解加工方法是，在技術(shù)方案11的基礎(chǔ)上，使電解加工用的通電與超聲波振動用的通電交替地或使它們的各通電的至少一部分重復(fù)地進行，通過根據(jù)電解加工的狀況而適當(dāng)?shù)厍袚Q電解加工用的通電與超聲波振動用的通電，而始終獲得最佳的加工狀態(tài)。
又，技術(shù)方案13的動壓軸承裝置，具有利用技術(shù)方案7-技術(shù)方案12的任一項所述的動壓軸承裝置的制造方法所制造的軸構(gòu)成或軸承構(gòu)件，由此能高精度并有效地制造動壓軸承裝置。
如上所述，本發(fā)明的技術(shù)方案1的電解加工方法，通過一邊將由超聲波振動發(fā)生裝置發(fā)生的超聲波振動賦予電解液一邊進行電解加工，即使在使電極工具接近被加工物的場合，也能利用賦予電解液的超聲波振動維持良好的電解加工，由于可將設(shè)于電極工具側(cè)的圖形的形狀精度良好地形成于被加工物側(cè)，故結(jié)構(gòu)簡單、能廉價地進行高精度的電解加工，能大幅度提高電解加工的實用性。又，技術(shù)方案2所述的電解加工方法，是在技術(shù)方案1的基礎(chǔ)上，通過將超聲波振動發(fā)生裝置產(chǎn)生的加振幅度作成15-25μm，能實現(xiàn)更好的電解加工。
又，技術(shù)方案3所述的電解加工方法由于是，在技術(shù)方案1的基礎(chǔ)上，預(yù)先將超聲波振動發(fā)生裝置安裝在上述電極工具上，通過使上述電極工具接近被加工物，以將這些電極工具與被加工物之間的間隙接近于由上述超聲波振動發(fā)生裝置賦予電極工具的振幅的狀態(tài)進行電解加工，作成一邊確保電解液的流動性一邊使加工精度提高的狀態(tài)，故能對加工部分賦予有效的振動、能進一步提高上述的效果。
又，技術(shù)方案4所述的電解加工方法是，在技術(shù)方案1的基礎(chǔ)上，使用與界面活性劑的混合液作為電解液，由于能確保電解液的圓滑的流動，故能附加界面活性劑的洗凈作用，并進一步提高上述的效果。
又，技術(shù)方案5所述的電解加工方法是，在技術(shù)方案1的基礎(chǔ)上，使電解加工用的通電與超聲波振動用的通電獨立地進行。又，技術(shù)方案6所述的電解加工方法是，在技術(shù)方案5的基礎(chǔ)上，由于使電解加工用的通電與超聲波振動用的通電交替地或使它們的各通電的至少一部分重復(fù)地進行，從而獲得始終最佳的加工狀態(tài)，故能使上述的效果進一步提高。
另外，技術(shù)方案7所述的動壓軸承裝置的制造方法由于是，通過一邊利用超聲波振動發(fā)生裝置對電解液賦予超聲波振動一邊進行電解加工，即使在使電極工具接近被加工物的場合，也由于賦予電解液的超聲波振動而能維持良好的電解加工，能在被加工物側(cè)精度良好地形成設(shè)在電極工具側(cè)的圖形的形狀，故結(jié)構(gòu)簡單、能廉價地進行高精度的動壓產(chǎn)生用槽的加工、能極良好地制造動壓軸承裝置。又，技術(shù)方案8所述的動壓軸承裝置的制造方法是，在技術(shù)方案7的基礎(chǔ)上，通過將由超聲波振動發(fā)生裝置產(chǎn)生的加振幅度作成15-25μm，故能實現(xiàn)更良好的電解加工。
又，技術(shù)方案9所述的動壓軸承裝置的制造方法由于是，在技術(shù)方案7的基礎(chǔ)上，預(yù)先將超聲波振動發(fā)生裝置安裝在上述電極工具上，通過使上述電極工具接近被加工物，以使這些電極工具與被加工物之間的間隙接近于由超聲波振動發(fā)生裝置賦予電極工具的振幅的狀態(tài)進行電解加工，從而一邊確保電解液的流動性一邊提高加工精度，故能進一步提高上述的效果。
又，技術(shù)方案10所述的動壓軸承裝置的制造方法由于是，在技術(shù)方案7的基礎(chǔ)上，使用與界面活性劑的混合液作為電解液，確保電解液的圓滑的流動，故能進一步提高上述的效果。
又，技術(shù)方案11所述的動壓軸承裝置的制造方法由于是，在技術(shù)方案7的基礎(chǔ)上，使電解加工用的通電與超聲波振動用的通電獨立地進行，且技術(shù)方案12所述的電解加工方法是，在技術(shù)方案11的基礎(chǔ)上，使電解加工用的通電與超聲波振動用的通電交替地或使它們的各通電的至少一部分重復(fù)地進行，能獲得始終最佳的加工狀態(tài)，故能進一步提高上述的效果。
另外，技術(shù)方案13所述的動壓軸承裝置的制造方法，由于具有利用技術(shù)方案7-技術(shù)方案12中任一項所述的動壓軸承裝置的制造方法所制造的軸構(gòu)件或軸承構(gòu)件，故能高精度而有效地制造動壓軸承裝置，能極廉價地獲得動壓軸承裝置。
附圖的簡單說明圖1是表示實施本發(fā)明用的電解加工裝置一例子的概略結(jié)構(gòu)的主視剖視說明圖。
圖2是表示圖1所示的實施本發(fā)明用的電解加工裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)剖說明圖。
圖3是表示圖1和圖2所示的電解加工裝置所使用的電極工具的前端部分的圖形結(jié)構(gòu)的主視說明圖。
圖4是沿圖3中IV-IV線的剖視說明圖。
圖5是表示圖1-圖4所示的電解加工裝置使用狀態(tài)的裝置主要部分的外觀說明圖。
圖6是表示圖1-圖5所示的電解加工裝置中的通電狀態(tài)一例子的線圖。
圖7是表示圖1-圖5所示的電解加工裝置中的通電狀態(tài)另一例子的線圖。
圖8是表示作為具有利用本發(fā)明的電解加工制造的動壓軸承裝置的裝置例子的硬盤驅(qū)動用電動機(HDD)的結(jié)構(gòu)例子的縱剖說明圖。
圖9是表示用于圖8所示的動壓軸承裝置的軸向推力板的結(jié)構(gòu)例子的仰視說明圖。
圖10是表示用于圖8所示的動壓軸承裝置的軸向推力板的結(jié)構(gòu)例子的俯視說明圖。
圖11是圖9和圖10所示的軸向推力板的縱剖面說明圖。
圖12是表示一般的電解加工裝置一例子的概略結(jié)構(gòu)的模式的側(cè)視說明圖。
發(fā)明的實施形態(tài)以下，根據(jù)附圖詳細說明本發(fā)明的實施形態(tài)，在此之前，先說明作為應(yīng)用本發(fā)明的制造方法的一例子的硬盤驅(qū)動用裝置(HDD)的整個結(jié)構(gòu)。
圖8所示的軸旋轉(zhuǎn)的HDD主軸電動機的整體，由作為固定構(gòu)件的定子組10和作為從圖示上側(cè)安裝在該定子組10上的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的轉(zhuǎn)子組20構(gòu)成。其中的定子組10具有螺釘緊固在未圖示的固定基座側(cè)的固定框架11。該固定框架11，為獲得輕量化而由鋁系金屬材料形成，在立設(shè)于該固定框架11的大致中央部分上所形成的環(huán)狀的軸承支架12的內(nèi)周面?zhèn)龋鳛樾纬芍锌請A筒狀的固定軸承構(gòu)件的軸承套筒13利用壓入或熱壓的方法與上述軸承支架12結(jié)合。該軸承套筒13，為了使小直徑的孔加工等容易化而由磷青銅等的銅系材料形成。
又，在上述軸承支架12的外周安裝面上，嵌合有由電磁鋼板的層疊體構(gòu)成的定子鐵心14。在設(shè)于該定子鐵心14的各突極部上分別卷繞著驅(qū)動線圈15。
又，在設(shè)于上述軸承套筒13的中心孔內(nèi)，旋轉(zhuǎn)自如地插入有構(gòu)成上述轉(zhuǎn)子組20的旋轉(zhuǎn)軸21。也就是說，相對形成于上述軸承套筒13的內(nèi)周壁部上的動壓面，在上述旋轉(zhuǎn)軸21的外周面上形成的動壓面被配置成在半徑方向接近地相對，在這些微小間隙部分上構(gòu)成徑向動壓軸承部RB。更詳細地說，上述徑向動壓軸承部RB上的軸承套筒13側(cè)的動壓面和旋轉(zhuǎn)軸21側(cè)的動壓面，通過數(shù)μm的微小間隙而圓周狀地相對配置著，在由該微間隙構(gòu)成的軸承空間內(nèi)，潤滑油、磁性流體及空氣等的潤滑流體在軸向連續(xù)狀地被注入或夾入。
又，在上述軸承套筒13和旋轉(zhuǎn)軸21的兩動壓面的至少一方側(cè)，在軸向分成2塊并環(huán)狀地凹設(shè)有未圖示的例如人字形的徑向動壓產(chǎn)生用槽，在旋轉(zhuǎn)時，利用該徑向動壓產(chǎn)生用槽的泵吸作用對潤滑流體加壓產(chǎn)生動壓，由于該潤滑流體的動壓，所述旋轉(zhuǎn)軸21及后述的旋轉(zhuǎn)輪轂22，在徑向上構(gòu)成以非接觸狀態(tài)被軸支承在上述軸承套筒13上。
這時，構(gòu)成上述旋轉(zhuǎn)軸21及轉(zhuǎn)子組20的旋轉(zhuǎn)輪轂22，由鋁系金屬構(gòu)成的大致杯狀構(gòu)件構(gòu)成，設(shè)在該旋轉(zhuǎn)輪轂22中心部分的接合孔22a，利用壓入或熱壓的方法一體地與上述旋轉(zhuǎn)軸21的圖示上端部分接合。而且，在該旋轉(zhuǎn)輪轂22上，利用未圖示的夾子，使磁盤等的記錄媒體呈被固定的狀態(tài)。也就是說，上述旋轉(zhuǎn)輪轂22具有在外周部搭載記錄媒體盤片的大致圓筒狀的筒體部22b，并在該筒體部22b的圖示下側(cè)的內(nèi)周壁面?zhèn)壬希ㄟ^背軛鐵而安裝有環(huán)狀驅(qū)動磁鐵22c。上述環(huán)狀驅(qū)動磁鐵22c相對上述的定子鐵心14的外周側(cè)端面環(huán)狀相對地接近配置。
另外，還如圖9、圖10和圖11所示，在上述旋轉(zhuǎn)軸21的圖示下端側(cè)的前端部分上，利用固定螺釘24固定著圓盤狀的軸向推力板23。該軸向推力板23被收容配置在凹設(shè)于上述的軸承套筒13的圖示下端側(cè)中心部分上的圓筒狀的凹坑部13a(參照圖8)內(nèi)，在該軸承套筒13的凹坑部13a內(nèi)，設(shè)在上述軸向推力板23的圖示左側(cè)面上的動壓面相對設(shè)在軸承套筒13上的動壓面沿軸向接近地相對配置。
而且，在上述軸向推力板23的圖示左側(cè)的動壓面上，利用后述的電解加工方法形成有尤其如圖10所示那樣的人字形的軸向推力動壓產(chǎn)生用槽23a，在該軸向推力板23和上述軸承套筒13的兩動壓面相互之間的相對間隙部分上，形成有圖示左側(cè)的軸向推力動壓軸承部SBa。
再有，將由較大直徑的圓盤狀構(gòu)件構(gòu)成的計數(shù)板16配置成與上述軸向推力板23的圖示右側(cè)的動壓面接近的狀態(tài)。該計數(shù)板16被配置成將上述軸承套筒13的下端側(cè)的開口部分封住，并且該計數(shù)板16的外周側(cè)部分固定在上述軸承套筒13側(cè)上。
而且，在上述軸向推力板23的圖示右側(cè)的動壓面上，利用后述的電解加工方法形成有圖9所示那樣的人字形的軸向推力動壓產(chǎn)生用槽23b，由此，形成圖示右側(cè)的軸向推力動壓軸承部SBa。
這樣地構(gòu)成沿軸向鄰接配置的一組軸向推力動壓軸承部SBa、SBb的軸向推力板23側(cè)的兩動壓面和與其接近相對的軸承套筒13及計數(shù)板16側(cè)的兩動壓面，分別通過數(shù)μm的微小間隙在軸向上相對配置著，并在由其微小間隙構(gòu)成的軸承空間內(nèi)，油、磁性流體及空氣等的潤滑流體通過上述軸向推力板23的外周側(cè)通路在軸向連續(xù)地注入或夾入，在旋轉(zhuǎn)時，由于設(shè)在上述的軸向推力板23上的軸向推力動壓產(chǎn)生用槽23a、23b的泵吸作用而對潤滑流體加壓產(chǎn)生動壓，利用該潤滑流體的動壓，上述的旋轉(zhuǎn)軸21和旋轉(zhuǎn)輪轂22構(gòu)成以向軸向推力方向上浮的非接觸狀態(tài)而被軸支承。
下面，對在上述的軸向推力板23上利用本發(fā)明制造軸向推力動壓產(chǎn)生用槽23a、23b所使用的電解加工裝置的結(jié)構(gòu)進行說明。
如圖1、圖2和圖5所示，在安裝于本體基座部31上的工件支承夾具32的大致中央部分上，設(shè)有工件安裝用的凹部，在該工件安裝用凹部內(nèi)，落入地被安裝著作為上述被加工物的軸向推力板23的毛坯(以下稱作軸向推力板毛坯)23′。
又，在上述軸向推力板毛坯23′的正上方位置，由棒狀構(gòu)件構(gòu)成的電極工具35被配置成豎立設(shè)在大致鉛垂的方向的狀態(tài)。該電極工具35被保持在向上述的本體基座部31的上方位置延伸的本體支臂部36上，該電極工具35的圖示下端部分，在與上述軸向推力板毛坯23′之間配置成形成間隙δ的狀態(tài)。關(guān)于該間隙δ將于后述。
這時，在上述電極工具35的圖示下端側(cè)的前端面上，尤其如圖3和圖4所示，與上述的軸向推力動壓產(chǎn)生用槽23a、23b相對應(yīng)形狀的圖形35a被形成凸?fàn)?。這時，用樹脂等的絕緣體35b埋入上述圖形35a以外的部分，該電極工具35的前端面被形成平坦面。而且，包含該圖形35a的前端面被配置成與軸向推力板毛坯23′相對。又，在該電極工具35側(cè)，連接著具有例如5V-15V左右的輸出電壓的直流電源的負極(-)，該直流電源的正極(+)與作為被加工物的軸向推力板毛坯23′側(cè)連接著。
另外，在上述電極工具35與作為被加工物的軸向推力板毛坯23′之間的間隙δ中，供給有向與軸向大致正交的方向流動的電解液。該電解液作成由未圖示的電解液供給裝置(泵)供給的結(jié)構(gòu)。作為這時的電解液，使用NaNO3的30重量％溶液，從上述間隙δ的一方側(cè)(圖5左方側(cè))向另一方側(cè)(圖5右方側(cè))流動的電解液，作成蓄積在未圖示的容器中并進行循環(huán)的結(jié)構(gòu)(參照圖12)。又，作為這時的電解液，也可以使用3-10重量％的KOH、3-10重量％的NaOH、5-15重量％的Na2CO3等。
這樣，通過一邊使電解液在電極工具35與軸向推力板毛坯23′之間間隙δ內(nèi)流動、一邊在上述電極工具35與軸向推力板毛坯23′之間進行通電，從而從上述軸向推力板毛坯23′的表面電化學(xué)地熔出與上述的電極工具35的圖形35a相當(dāng)?shù)牟课?，由此，就能進行該軸向推力板毛坯23′的電解加工。
這時，在上述電極工具35的最上端部分上，安裝著構(gòu)成超聲波振動發(fā)生裝置的加振器37。作為本實施形態(tài)的加振器37，使用加振幅度放大為15-25μm、最好為20-22μm程度的喇叭型加振器，通過使上述電極工具35加振，就作成對上述電解液賦予超聲波振動的結(jié)構(gòu)。
而且，在電解加工時，使上述的電極工具35比以往的電解加工大幅度地接近于作為被加工物的軸向推力板毛坯23′，上述電極工具35與軸向推力板毛坯23′之間的間隙δ設(shè)定成比上述的超聲波加振器37的加振幅度(20-22μm)稍大程度的狀態(tài)。
又，在本實施形態(tài)中，將電解加工用的通電和超聲波振動用的通電作成可獨立地進行的結(jié)構(gòu)，作為實際的通電狀態(tài)，使用如圖6所示那樣矩形的脈沖電流，使電解加工用的通電Pa和超聲波振動用的通電Pb交替地進行，或如圖7所示，可使較長寬度的電解加工用的通電Ca與超聲波振動用的通電Cb一部分重復(fù)地進行。
又，作為在本實施形態(tài)中所使用的上述電解液，采用界面活性劑的混合液。本實施形態(tài)中的界面活性劑使用非離子性活性劑的烷基醚系的活性劑。
根據(jù)實驗，界面活性劑與0％體積比的場合相比，在混合0.03％體積比以上時，殘留金屬片數(shù)格外地減少，可提高界面活性劑的洗凈作用。另外，該界面活性劑若混合成2％左右的體積比是足夠的。
采用具有這樣結(jié)構(gòu)的動壓軸承裝置的制造方法，即使在使電極工具35接近作為被加工物的軸向推力板毛坯23′的場合，也由于賦予電解液的超聲波振動，從而使從軸向推力板毛坯23′熔出的電解生成物等的各種粒子圓滑地流動，能保持良好的電解加工，設(shè)于電極工具35側(cè)的圖形35a的形狀，精度良好地形成于動壓軸承部毛坯23′側(cè)。
尤其在本實施形態(tài)的動壓軸承裝置的制造方法中，由于通過將作為超聲波振動發(fā)生裝置的加振器37預(yù)先安裝在電極工具35上、使該電極工具35接近作為被加工物的軸向推力板毛坯23′，從而以在與由上述超聲波加振器37給予電極工具35的振幅不干擾的范圍內(nèi)使這些電極工具35與軸向推力板毛坯23′之間的間隙δ接近的狀態(tài)進行電解加工，故既能確保電解液的流動性又能提高加工精度。又，也可以構(gòu)成使上述加振器37不預(yù)先安裝在電極工具35上而對電解液賦予振動的狀態(tài)。
又，在本實施形態(tài)的動壓軸承裝置的制造方法中，作為電解液，由于使用與界面活性劑的混合液，來自作為被加工物的軸向推力板毛坯23′的電解生成物等的各種粒子，被電解液中的界面活性劑吸收而能確保圓滑的流動。又，這時的電解液的供給，通過上述的電極工具35的內(nèi)部來進行，該供給的電解液也可作成從中心部向半徑方向外方擴展地流動的結(jié)構(gòu)。
又，在本實施形態(tài)的動壓軸承裝置的制造方法中，由于使電解加工用的通電與超聲波振動用的通電獨立地進行，并使電解加工用通電Pa、Ca與超聲波振動用的通電Pb、Cb交替地或使這些的各通電的至少一部分重復(fù)地進行，故通過根據(jù)電解加工的狀況而適當(dāng)?shù)厍袚Q電解加工用的通電與超聲波振動用的通電，就能始終獲得最佳的加工狀態(tài)。
以上，雖然對本由發(fā)明者作成的發(fā)明的實施形態(tài)作了具體說明，但本發(fā)明不限于上述實施形態(tài)，在不脫離其宗旨的范圍當(dāng)然可作各種變形。
例如，上述實施形態(tài)，雖然是將本發(fā)明應(yīng)用于硬盤驅(qū)動用電動機(HDD)的動壓軸承裝置，但同樣也可應(yīng)用于其他的動壓軸承裝置、進一步應(yīng)用于對多種多樣的被加工物的電解加工方法。
權(quán)利要求
1.一種電解加工方法，使電極工具與被加工物留有適當(dāng)間隙地相對配置，使電解液流動地夾入于所述間隙內(nèi)，并通過對所述被加工物與電極工具之間進行適當(dāng)?shù)耐姡瑢λ霰患庸の锏谋砻骐娊饧庸に栊螤畹陌疾?，其特征在于，一邊對所述電解液賦予由超聲波振動發(fā)生裝置產(chǎn)生的超聲波振動一邊進行電解加工。
2.如權(quán)利要求1所述的電解加工方法，其特征在于，將由所述超聲波振動產(chǎn)生的加振幅度作成15-25μm。
3.如權(quán)利要求1所述的電解加工方法，其特征在于，預(yù)先將所述超聲波振動發(fā)生裝置安裝在所述電極工具上，通過使所述電極工具接近被加工物，以使這些電極工具與被加工物之間的間隙接近由所述超聲波振動發(fā)生裝置賦予電極工具的振幅的狀態(tài)進行電解加工。
4.如權(quán)利要求1所述的電解加工方法，其特征在于，作為所述電解液使用與界面活性劑的混合液。
5.如權(quán)利要求1所述的電解加工方法，其特征在于，使所述電解加工用的通電與所述超聲波振動用的通電獨立地進行。
6.如權(quán)利要求5所述的電解加工方法，其特征在于，使所述電解加工用的通電與所述超聲波振動用的通電交替地或使它們的兩通電中至少一部分重復(fù)地進行。
7.一種動壓軸承裝置的制造方法，是將在利用潤滑流體的動壓的動壓軸承裝置中所使用的軸構(gòu)件或軸承構(gòu)件的毛坯作為被加工物、在該被加工物上形成動壓產(chǎn)生用槽的方法，使電極工具與所述被加工物留有適當(dāng)間隙地相對配置，使電解液流動地夾入于所述間隙內(nèi)，并通過對所述被加工物與電極工具之間進行適當(dāng)?shù)耐姡瑢λ霰患庸の锏谋砻骐娊饧庸に栊螤畹膭訅寒a(chǎn)生用槽，其特征在于，一邊對所述電解液賦予由超聲波振動發(fā)生裝置產(chǎn)生的超聲波振動一邊進行電解加工。
8.如權(quán)利要求7所述的動壓軸承裝置的制造方法，其特征在于，將由所述超聲波振動發(fā)生裝置產(chǎn)生的加振幅度作成15-25μm。
9.如權(quán)利要求7所述的動壓軸承裝置的制造方法，其特征在于，預(yù)先將所述超聲波振動發(fā)生裝置安裝在所述電極工具上，通過使所述電極工具接近被加工物，以使這些電極工具與被加工物之間的間隙接近于由所述超聲波振動發(fā)生裝置賦予電極工具的振幅的狀態(tài)進行電解加工。
10.如權(quán)利要求7所述的動壓軸承裝置的制造方法，其特征在于，作為所述電解液使用與界面活性劑的混合液。
11.如權(quán)利要求7所述的動壓軸承裝置的制造方法，其特征在于，使所述電解加工用的通電與所述超聲波振動用的通電獨立地進行。
12.如權(quán)利要求11所述的動壓軸承裝置的制造方法，其特征在于，使所述電解加工用的通電與所述超聲波振動用的通電交替地或使它們的兩通電的至少一部分重復(fù)地進行。
13.一種動壓軸承裝置，其特征在于，具有利用權(quán)利要求7-權(quán)利要求12中任一項所述的動壓軸承裝置的制造方法所制造的軸構(gòu)件或軸承構(gòu)件。
全文摘要
一種電解加工方法和動壓軸承裝置的制造方法及利用該方法制造的動壓軸承裝置。通過一邊利用超聲波振動發(fā)生裝置(37)對電解液賦予超聲波振動一邊進行電解加工，即使在使電極工具(35)接近被加工物(23’)而使構(gòu)成電解液的通路的間隙變狹的場合，也能利用賦予電解液的超聲波振動維持良好的電解加工，能在被加工物(23’)側(cè)精度良好地形成設(shè)于電極工具(35)側(cè)的圖形的形狀。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，能廉價地電解加工高精度的凹部。
文檔編號B23H3/08GK1400077SQ0212712
公開日2003年3月5日 申請日期2002年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2001年7月27日
發(fā)明者臼井本基, 小林壽政 申請人:株式會社三協(xié)精機制作所