專利名稱：激光加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種波形可控的激光加工裝置。
直到現(xiàn)在，在通過向工件照射脈沖激光束實現(xiàn)激光加工例如焊接、切割等的激光加工裝置中，利用可變控制脈沖激光的輸出激光的脈沖波形技術(shù)，以滿足各種加工要求。
圖6表示常規(guī)的波形可控的激光加工裝置的主要結(jié)構(gòu)。該激光加工裝置包含激光振蕩單元100、激光器電源單元102和控制單元104。激光器電源單元102經(jīng)過通常由晶體管構(gòu)成的開關(guān)元件106電連接到激光振蕩單元100的激發(fā)光源(未示出)，可由控制單元104對開關(guān)元件106進(jìn)行的反饋開關(guān)控制，來控制激光器電源單元102向所述激發(fā)光源提供的直流功率或電流波形。激光振蕩單元100利用從激發(fā)光源發(fā)出的激發(fā)光的能量激勵固態(tài)激光器介質(zhì)(未示出)，以便振蕩輸出具有可控激光輸出(光強(qiáng))波形的激光束LB。
為了實現(xiàn)上述激光輸出波形控制，控制單元104包含激光輸出測量單元108，用于測量激光束LB的輸出；以及開關(guān)控制單元112，用于根據(jù)來自激光輸出測量單元108的激光輸出信號測量值ML的反饋信號和來自基準(zhǔn)信號發(fā)生單元110的基準(zhǔn)信號Mref之間的誤差對開關(guān)元件106進(jìn)行開關(guān)控制。
在開關(guān)控制單元112中，由運算放大器114、輸入電阻116和118以及反饋電阻120組成的誤差放大器122，將兩個信號ML和Mref的電平相比較，以產(chǎn)生代表其間誤差或差的誤差信號ER。以及一PWM(脈寬調(diào)制)電路124產(chǎn)生預(yù)定頻率的PWM信號MW，該信號的脈寬與誤差信號相適應(yīng)。PWM信號MW作為一開關(guān)控制信號經(jīng)過驅(qū)動電路126提供到開關(guān)元件106。
在上述激光加工裝置中，激光束LB的輸出相對于用于波形控制從PWM電路124饋送到開關(guān)元件106的開關(guān)控制信號MW，可以具有很大程度的相位滯后，例如多達(dá)180°。
由于這一理由，為了穩(wěn)定波形控制反饋回路，與運算放大器114的反饋電路中的電阻120相并聯(lián)配置一相位補(bǔ)償電路，該相位補(bǔ)償電路由串聯(lián)的電容128和電阻130組成，以便加強(qiáng)特別是高頻分量的負(fù)反饋，以此補(bǔ)償大的相位滯后，幾乎能夠?qū)⑷缟纤龅南辔环聪唷?br> 然而，這可能導(dǎo)致降低誤差放大器122的增益，特別是高頻分量的增益。由于這一理由，當(dāng)激光束LB上升時，兩個激光輸出測量值信號ML和基準(zhǔn)信號Mref往往包含很多高頻分量，使得關(guān)于各對應(yīng)高頻分量之間的誤差(或差)的誤差信號ER的增益或靈敏度隨PWM電路124響應(yīng)速度的降低而變低。這可能經(jīng)常導(dǎo)致激光輸出緩慢上升，如在圖7A到7C中所示，以及由于其反應(yīng)導(dǎo)致過沖，降低波形控制的精確度和可靠性。此外，從激光加工質(zhì)量的觀點出發(fā)，這也是不希望有的。
根據(jù)在先技術(shù)存在的這些問題提出本發(fā)明。因此，本發(fā)明的目的是提供一種提高激光輸出波形控制的精確度或可靠性的激光加工裝置。
本發(fā)明的另目的是提供一種提高激光輸出上升特性的激光加工裝置。
為了實現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供一種功率反饋型激光加工裝置，具有激光振蕩單元，用于利用從激發(fā)光源發(fā)出的激發(fā)光的能量激勵固態(tài)激光器介質(zhì)，以便振蕩輸出激光，激光器電源單元向所述激發(fā)光源供電，以及激光輸出測量單元測量激光輸出，根據(jù)反饋信號和預(yù)設(shè)的基準(zhǔn)值之間的誤差控制激光輸出，所述反饋信號是來自所述激光輸出測量單元的激光器功率測量值，所述激光加工裝置包含功率測量單元，用于測量向激發(fā)光源提供的功率，其中利用代表來自所述功率測量單元的功率測量信號的交流分量校正所述反饋信號，以便控制激光輸出。
在上述結(jié)構(gòu)中，利用基本上與控制信號同相的功率測量值信號的交流分量，校正其相位相對于控制信號明顯滯后的激光輸出測量值信號或反饋信號，以此，該反饋信號能夠進(jìn)行相位補(bǔ)償，以穩(wěn)定功率反饋回路。
另一方面，可以利用功率測量值信號的高頻分量校正基準(zhǔn)值，以控制激光輸出。另外，可以這樣配置，取代功率測量裝置提供電流測量裝置，用于測量提供到激發(fā)光源的電流，使得可以利用來自功率測量裝置代表功率測量值的信號的高頻分量校正該反饋信號，以控制激光輸出。作為一種替代方案，可以利用功率測量值信號的交流分量校正該基準(zhǔn)值，以控制激光輸出。
最好，本發(fā)明的激光加工裝置還包含開關(guān)裝置，其連接在所述激光器電源單元和所述激發(fā)光源之間；以及開關(guān)控制裝置，用于按照預(yù)定頻率通過脈寬調(diào)制對所述開關(guān)裝置進(jìn)行開關(guān)控制。
最好，該開關(guān)裝置還包含加法器，其將測量值信號的交流分量加到反饋信號上；運算放大器，其將來自所述加法器的輸出信號與所述基準(zhǔn)值相比較，以放大其間的誤差信號；以及電容器，配置在所述運算放大器的反饋電路中，用于相位補(bǔ)償。另外，該開關(guān)裝置可以包含減法器，其從所述基準(zhǔn)值中減去測量值信號的交流分量；運算放大器，其將來自減法器的輸出信號與所述基準(zhǔn)值相比較，以放大其間的誤差信號；以及電容器，配置在所述運算放大器的反饋電路中，用于相位補(bǔ)償。在本發(fā)明中，利用功率測量值信號或電流測量值信號的交流分量，補(bǔ)償反饋信號的相位以便穩(wěn)定功率反饋回路，其結(jié)果是，以此使得形成構(gòu)成誤差放大器的運算放大器的快速響應(yīng)的頻率特性，進(jìn)行穩(wěn)定的和快速響應(yīng)的激光輸出波形控制。
根據(jù)結(jié)合附圖的如下詳細(xì)說明本發(fā)明的上述和其它目的、方面、特征和優(yōu)點將變得更明顯，其中

圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的激光加工裝置主要結(jié)構(gòu)的方塊圖；圖2是表示在該實施例的激光加工裝置中包含的開關(guān)控制單元示范性結(jié)構(gòu)的電路圖；圖3是表示在該實施例的開關(guān)控制單元包含的誤差放大器頻率特性與常規(guī)實例比較的示意圖；圖4A到4C是表示在該實施例的激光加工裝置的各個部分的波形示意圖；圖5是表示在該實施例的一種變更開關(guān)控制單元的電路圖；圖6是表示常規(guī)激光加工裝置的主要結(jié)構(gòu)的方塊圖；圖7A到7C是表示在常規(guī)激光加工裝置的各個部分的波形示意圖。
下面參照附圖1到5進(jìn)行說明，這些附圖以非限定性方式表示了目前的本發(fā)明的優(yōu)選實施例。
圖1表示根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的激光加工裝置主要結(jié)構(gòu)的方塊圖。該激光加工裝置包含激光振蕩單元10、激光器電源單元12和激光器冷卻單元14和控制單元15。
激光振蕩單元10包含用作激發(fā)光源的激發(fā)燈20和用作激發(fā)介質(zhì)的YAG棒22，這兩者配置在小室18內(nèi)；以及配置在小室18之外位于YAG棒22光軸上的一對反射鏡24和26。
激發(fā)燈20點亮并發(fā)出激發(fā)光時，利用激發(fā)光的能量激勵YAG棒22。從YAG棒22的相反兩端沿光軸發(fā)射的光由于光諧振器反射鏡24和26之間的放大作用反復(fù)反射，然后以脈沖激光束LB的形式傳輸通過輸出反射鏡24。在傳輸通過輸出反射鏡24之后，脈沖激光束LB經(jīng)過例如由反射鏡和光纖組成的光傳輸系統(tǒng)(未示出)發(fā)送到激光輸出單元，該激光輸出測量單元位于激光加工部位并從激光輸出單元照射到工件(未示出)。
激光器電源單元12包含一電容128，用于存儲要提供到激光振蕩單元10的激光振蕩能量；以及一充電電路30，其用于將工業(yè)AC(交流)例如3相AC電源電壓(U,V,W)整流為DC(直流)，以向電容28充電直到預(yù)定DC電壓。激光器電源單元12即電容28的一端經(jīng)過開關(guān)元件例如IGBT(絕緣柵雙極型晶體管)32電連接到激發(fā)燈20。
激光器冷卻單元14用于將由激光振蕩單元10中的激發(fā)燈20和YAG棒22產(chǎn)生的熱量排放到外部，并且向激光振蕩單元10提供致冷劑例如溫度可控的冷卻水CW。
控制單元16包含一CPU(微處理器)34，用于對整個裝置和其中的每個單元的工作進(jìn)行控制；存儲器36，用于存儲各種程序、各種設(shè)定值和為使進(jìn)行預(yù)定處理所需的其它數(shù)據(jù)；以及各種測量裝置38-48和用于波形控制的開關(guān)控制單元50。
各種測量裝置之中，激光輸出測量單元38具有接收從光諧振器反射鏡26反向漏出的激光束LB’的光電探測器，以及一測量電路，用于根據(jù)從光電探測器輸出的電信號確定脈沖激光束LB的激光輸出。激光輸出測量單元38將從測量電路獲得的激光輸出測量值信號SL饋送到開關(guān)控制單元50和CPU34。
電壓測量電路40經(jīng)過電壓檢測用引線電連接到激發(fā)燈20的兩對端并測量例如從激光器電源單元12向激發(fā)燈20施加的有效值(RMS)電壓(燈電壓)，以便向功率計算電路44饋送燈電壓的測量值。
電流測量電路46接收例如來自霍爾CT48的電流檢測信號，該霍爾CT48是一裝配到電源單元12中的燈電流供給電路的電流傳感器，并測量提供到激發(fā)燈20的有效值電流(燈電流)I，以便向功率計算電路44和開關(guān)控制單元50饋送代表燈電流測量值的信號SI。
功率計算電路44根據(jù)來自電壓測量電路40的燈電壓測量值信號SV和根據(jù)來自電流測量電路46的燈電流測量值信號SI通過計算求出燈功率SP的測量值，以便將代表燈功率測量值的信號SP饋送到開關(guān)控制單元50。
開關(guān)控制單元50將用于波形控制的開關(guān)控制信號SW經(jīng)過驅(qū)動電路52饋送到IGBT32。在這一實施例的激光輸出波動控制中，開關(guān)控制單元50利用來自激光輸出測量單元38的激光輸出測量值信號SL作為主反饋信號，和利用來自功率計算電路44的燈功率測量值信號SP或來自電流測量電路46的燈電流測量值信號SI作為輔助反饋信號。然后，開關(guān)控制單元50將反饋信號SL,SPc(SIc)和來自CPU34的具有預(yù)期脈沖波形的基準(zhǔn)信號Sref相比較，以便得到比較誤差，產(chǎn)生例如用于PWM的開關(guān)控制信號SW，以便消除比較誤差。因此，利用開關(guān)控制信號SW經(jīng)過驅(qū)動電路52對IGBT32進(jìn)行開關(guān)控制。
這種反饋控制系統(tǒng)提供控制，使得從激光振蕩單元10振蕩輸出的脈沖激光束LB的輸出跟隨波形基準(zhǔn)信號Sref的波形。
然后，CPU34使通信接口單元54、輸入單元56和顯示單元58等相關(guān)聯(lián)。通信接口單元54用于與外圍設(shè)備(未示出)交換數(shù)據(jù)或信號。輸入單元56例如包含在該裝置控制臺面板上配置的鍵開關(guān)，并用于所有的各種設(shè)定值。顯示單元58包含安裝到控制臺面板上的顯示器并顯示輸入的各種設(shè)定值、各種測量值。在圖1中，作為測量值僅從激光輸出測量單元38將激光輸出測量值信號SL輸入到CPU34并可顯示。然而，可以將由其它測量單元40,44和46得到的測量值信號輸入到CPU34，用以顯示或進(jìn)行所需的數(shù)據(jù)處理。
圖2以舉例方式表示在該實施例中包含的開關(guān)控制單元結(jié)構(gòu)。開關(guān)控制單元50是由模擬電路形成的，并包含加法器60、反相電路62、誤差放大器64以及PWM電路66。
在加法器60中，來自激光輸出測量單元38的激光輸出測量值信號SL(圖1)作為主反饋信號經(jīng)過輸入晶體管70提供到運算放大器68的反相輸入端(-)。電容72接收來自功率計算電路44(圖1)的燈功率測量值信號SP或來自電流測量電路46(圖1)的燈電流測量值信號SI。傳輸通過電容72的信號SP(SI)的交流分量SPc(SIc)經(jīng)過輸入晶體管74提供到運算放大器68的反相輸入端(-)作為輔助反饋信號。運算放大器68的同相輸入端(+)接到地電位，反饋電阻76接入在輸出端和同相輸入端(+)之間。
按此構(gòu)成的加法器60將功率測量值信號SP的交流分量SPc或電流測量值信號SI的交流分量SIc相加到激光功率測量值信號SL上，并提供一以具有反極性的校正的反饋信號-SF形式的反極性信號作為其輸出。
反相電路62包含運算放大器78、輸入電阻80和反饋電阻82。利用這一反相電路62將反極性的校正的反饋信號-SF極性反相，以便得到正極性的校正的反饋信號SF。
誤差放大器64包含運算放大器84、一對輸入電阻86和88，及反饋電阻90。運算放大器84具有同相輸入端(+)，其經(jīng)過輸入電阻86接收來自反相電路62的校正反饋信號SF，并具有反相輸入端(-)，其經(jīng)過輸入電阻88接收來自CPU34的基準(zhǔn)信號Sref應(yīng)注意，來自CPU34的基準(zhǔn)信號Sref是在利用數(shù)模變換電路變換成模擬信號之后饋送到反相輸入端(-)的。
在這一誤差放大器64中，運算放大器84具有輸出端，該輸出端輸出一代表信號SF和信號Sref之間的差或誤差(SF-Sref)的誤差信號ER。由輸入電阻86和88與反饋電阻90的比值確定的信號放大倍數(shù)。
在這一誤差放大器64中為保證用于波形控制的反饋電路的穩(wěn)定性，運算放大器84的反饋電路還設(shè)有由串聯(lián)的電阻90、電容92和電阻94組成的相位補(bǔ)償電路，這些電容92和電阻94的串聯(lián)電路與電阻90相并聯(lián)。然而應(yīng)注意，在這一裝置中，由于校正的反饋信號SF相對于從PWM電路66輸出的開關(guān)控制信號SW小的相位移(滯后)，可能向相位補(bǔ)償電路提供特別是高頻分量的弱負(fù)反饋，后面將予以說明。
舉例來說，在常規(guī)裝置(圖6)的相位補(bǔ)償電路中電容128的電容量為47000微法，電阻130的阻值設(shè)定為500歐，在本裝置的相位補(bǔ)償電路中電容92的電容量為47000微法，電阻130的阻值設(shè)定為20千歐。由于在本相位補(bǔ)償電路中高頻分量弱負(fù)反饋的結(jié)果，可以顯著地改進(jìn)誤差放大器64的頻率特性。
圖3表示在該實施例的誤差放大器頻率特性與常規(guī)實例比較的實例(圖1)。輸入電阻86,88(116,118)及反饋電阻90(120)的阻值分別設(shè)定為2千歐和100千歐。
PWM電路66包含一用于產(chǎn)生比較用基準(zhǔn)信號例如恒定頻率的鋸齒波信號的電路，以及一比較器，用于將來自誤差放大器64的誤差信號ER與鋸齒波信號相比較，以產(chǎn)生PWM信號即開關(guān)控制信號SW。在每一開關(guān)同期中開關(guān)控制信號SW的脈寬限定了IGBT32的導(dǎo)通時間，并可隨誤差信號ER變大相應(yīng)地增加，但隨誤差信號ER變小相應(yīng)地降低。
按本實施例的激光輸出波形控制的開關(guān)控制單元50的工作如下。
在每一開關(guān)周期中，開關(guān)控制信號SW接通時間內(nèi)或IGBT32的導(dǎo)通時間內(nèi)，直流電流I從激光器電源單元12經(jīng)過開關(guān)元件32提供到激光振蕩單元10中的，以便點亮激發(fā)燈20。在該激光振蕩單元10中，如上所述，利用來自激發(fā)燈20的激發(fā)光激勵YAG棒22以產(chǎn)生激光，由于光諧振器反射鏡24和26使該光發(fā)生光諧振或放大并形成激光束LB。其中，從激光器電源單元12向激發(fā)燈20提供的功率測量值信號SP的變化即交流分量與開關(guān)控制信號SW或?qū)〞r間(脈沖持續(xù)時間)同步，該導(dǎo)通時間是IGBT32的一個控制變量。相反，激光束LB的輸出變化不與之同步，可能顯著地滯后例如為180°量級。
這一實施例的開關(guān)控制單元50利用來自激光輸出測量單元38的激光輸出測量值信號SL作為一主反饋信號，并利用來自功率計算電路44的燈功率測量值信號SP或者來自電流測量電路46的電流測量值信號SI中的交流分量SPc(SIc)作為用于校正的輔助反饋信號。在開關(guān)控制單元50中，加法器60將兩個反饋信號SL和SPc(SIc)相加在一起，以及誤差放大器64將作為加法結(jié)果得到的校正的反饋信號SF與基準(zhǔn)信號Sref相比較，得到比較誤差(SF-Sref)。然后根據(jù)該比較誤差(SF-Sref)確定在下一個開關(guān)周期中的IGBT32導(dǎo)通時間。
其中饋送到誤差放大器64的校正的反饋信號SF是通過利用接近與開關(guān)控制信號SW同相的輔助反饋信號SPc(SIc)校正(相位補(bǔ)償)主反饋信號得到的，隨著該主反饋信號相對于開關(guān)控制信號SW變?yōu)橄辔幌喾?，有相?dāng)大程度的滯后。這樣保證了波形控制反饋回路的高可靠性。由于這一理由，利用特別是由誤差放大器64中相位補(bǔ)償電路(92,94)的消弱的高頻分量，如上所述改進(jìn)了頻率特性和提高響應(yīng)速度。
因此，如在圖4A到4C中所示，這一實施例能夠?qū)崿F(xiàn)脈沖激光束LB穩(wěn)定和快速上升并消除過沖。這種激光輸出波形控制的精確度和可靠性的提高可以提高激光加工的質(zhì)量。
圖5是表示在該實施例的一種變型開關(guān)控制單元50的電路圖。在這個圖中，對于具有與與圖2中相似結(jié)構(gòu)的元件使用相同的標(biāo)號。
在這種變型方案中，基準(zhǔn)信號Sref傳輸通過反相電路62并在此以后利用加法器60將其相加到輔助反饋信號SPc(SIc)上，得到第一比較誤差(SF-{Sref-SPc(SIc)}。即，加法器60和反相電路62構(gòu)成一減法器，用于從基準(zhǔn)信號Sref中減去輔助反饋信號SPc(SIc)。然后，在誤差放大器64中，將第一比較誤差(SF-{Sref-SPc(SIc)}饋送到運算放大器84的反相輸入端(-)，而主反饋信號SL饋送到同相輸入端(+)，以得到第二比較誤差{SL+SPc(SIc)-Sref}。第二比較誤差是與在上述實施例的相同結(jié)果，使相同的誤差信號ER可饋送到PWM電路66。
雖然上面已經(jīng)介紹了本發(fā)明的優(yōu)選實施例，但本發(fā)明可以根據(jù)其技術(shù)構(gòu)思以各種方式變化或改進(jìn)。例如激光振蕩單元10、激光器電源單元12和控制單元16的結(jié)構(gòu)和工作性能并不局限于在上述實施例中的，而是可以各種方式變化。雖然上述實施例采用PWM作為開關(guān)控制系統(tǒng)，但也采用其它適合于該反饋系統(tǒng)的控制系統(tǒng)。
如上文所述，根據(jù)本發(fā)明的激光加工裝置，利用由激光器電源單元提供到激光振蕩單元中的激發(fā)光源的功率或電流的交流分量，校正反饋信號(激光輸出測量值)或基準(zhǔn)信號Sref，以便進(jìn)行功率控制，因此，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的和快速響應(yīng)的激光輸出波形控制，特別是提高激光輸出的上升特性。
權(quán)利要求
1．一種功率反饋型激光加工裝置，具有激光振蕩單元，用于利用從激發(fā)光源發(fā)出的激發(fā)光的能量激勵固態(tài)激光器介質(zhì)，以便振蕩輸出激光，激光器電源單元向所述激發(fā)光源供電，以及激光輸出測量單元測量激光輸出，根據(jù)反饋信號和預(yù)設(shè)的基準(zhǔn)值之間的誤差控制激光輸出，所述反饋信號是來自所述激光輸出測量單元的激光器功率測量值，所述激光加工裝置包含功率測量單元，用于測量向所述激發(fā)光源提供的功率，其中利用代表來自所述功率測量單元的功率測量信號的交流分量校正所述反饋信號，以便控制激光輸出。
2．一種功率反饋型激光加工裝置，具有激光振蕩單元，用于利用從激發(fā)光源發(fā)出的激發(fā)光的能量激勵固態(tài)激光器介質(zhì)，以便振蕩輸出激光，激光器電源單元向所述激發(fā)光源供電，以及激光輸出測量單元測量激光輸出，根據(jù)反饋信號和預(yù)設(shè)的基準(zhǔn)值之間的誤差控制激光輸出，所述反饋信號是來自所述激光輸出測量單元的激光器功率測量值，所述激光加工裝置包含功率測量單元，用于測量向所述激發(fā)光源提供的功率，其中利用代表來自所述功率測量單元的功率測量信號的交流分量校正所述基準(zhǔn)值，以便控制激光輸出。
3．一種功率反饋型激光加工裝置，具有激光振蕩單元，用于利用從激發(fā)光源發(fā)出的激發(fā)光的能量激勵固態(tài)激光器介質(zhì)，以便振蕩輸出激光，激光器電源單元向所述激發(fā)光源供電，以及激光輸出測量單元測量激光輸出，根據(jù)反饋信號和預(yù)設(shè)的基準(zhǔn)值之間的誤差控制激光輸出，所述反饋信號是來自所述激光輸出測量單元的激光器功率測量值，所述激光加工裝置包含電流測量單元，用于測量向所述激發(fā)光源提供的電流，其中利用代表來自所述電流測量單元的功率測量信號的交流分量校正所述反饋信號，以便控制激光輸出。
4．一種功率反饋型激光加工裝置，具有激光振蕩單元，用于利用從激發(fā)光源發(fā)出的激發(fā)光的能量激勵固態(tài)激光器介質(zhì)，以便振蕩輸出激光，激光器電源單元向所述激發(fā)光源供電，以及激光輸出測量單元測量激光輸出，根據(jù)反饋信號和預(yù)設(shè)的基準(zhǔn)值之間的誤差控制激光輸出，所述反饋信號是來自所述激光輸出測量單元的激光器功率測量值，所述激光加工裝置包含電流測量單元，用于測量向所述激發(fā)光源提供的電流，其中利用代表來自所述電流測量單元的功率測量信號的交流分量校正所述基準(zhǔn)值，以便控制激光輸出。
5．根據(jù)前述權(quán)利要求中之一所述的激光加工裝置，還包含開關(guān)裝置，連接在所述激光器電源單元和所述激發(fā)光源之間，以及開關(guān)控制裝置，用于按照預(yù)定頻率通過脈寬調(diào)制對所述開關(guān)裝置進(jìn)行開關(guān)控制。
6．根據(jù)前述權(quán)利要求中之一所述的激光加工裝置，其中所述開關(guān)裝置包含加法器，其將測量值的所述信號的交流分量加到反饋信號上；運算放大器，其將來自所述加法器的輸出信號與所述基準(zhǔn)值相比較，以放大其間的誤差信號；以及電容器，配置在所述運算放大器的反饋電路中，用于相位補(bǔ)償。
7．根據(jù)前述權(quán)利要求5所述的激光加工裝置，其中所述開關(guān)裝置包含減法器，其從所述基準(zhǔn)值中減去測量值的所述信號的交流分量；運算放大器，其將來自所述減法器的輸出信號與所述基準(zhǔn)值相比較，以放大其間的誤差信號；以及電容器，配置在所述運算放大器的反饋電路中，用于相位補(bǔ)償。
全文摘要
當(dāng)IGBT導(dǎo)通時,來自激光器電源單元的電流經(jīng)過開關(guān)元件提供到激光振蕩單元中的激發(fā)燈使之發(fā)光,振蕩輸出激光束LB。開關(guān)控制單元利用來自激光輸出測量單元的輸出SL作為主反饋信號,及利用來自功率計算電路的燈功率測量值信號SP的或者來自電流測量電路的電流測量值信號SI中的交流分量SPc(SIc)作為用于校正的輔助反饋信號。開關(guān)控制單元將反饋信號與來自CPU具有預(yù)期脈沖波形的基準(zhǔn)信號相比較,以得到比較誤差。
文檔編號B23K26/00GK1320503SQ0111720
公開日2001年11月7日 申請日期2001年4月25日 優(yōu)先權(quán)日2000年4月25日
發(fā)明者牛增強(qiáng), 川村浩二 申請人:宮地技術(shù)株式會社