一種質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)，包括外腔體；由水平調(diào)節(jié)直線馬達(dá)控制的水平調(diào)節(jié)組件；由垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)和深度調(diào)節(jié)直線馬達(dá)控制的垂直/深度調(diào)節(jié)裝置，其通過安裝在垂直調(diào)節(jié)組件上的由垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)帶動(dòng)做直線運(yùn)動(dòng)且可繞和所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)聯(lián)接的移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)軸控制桿與安裝在所述深度調(diào)節(jié)組件上的由所述深度調(diào)節(jié)直線馬達(dá)帶動(dòng)做直線運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)軸托架聯(lián)接進(jìn)行垂直和深度的調(diào)節(jié)；本發(fā)明通過對(duì)深度和垂直方向的連桿式調(diào)節(jié)，保證了精確調(diào)節(jié)，且大大減小了體積，更利于儀器整體化、小型化設(shè)計(jì)，同時(shí)降低了成本，提升了操作的便捷性。
【專利說明】一種質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光譜/質(zhì)譜檢測儀器領(lǐng)域，具體來說，涉及一種光譜/質(zhì)譜三維移動(dòng)平臺(tái)。

【背景技術(shù)】
[0002]ICP產(chǎn)生的等離子火焰中等離子體形成很細(xì)的等離子束，通過接口裝置進(jìn)入質(zhì)譜儀，接口裝置的主要參數(shù)是采樣深度，即采樣錐孔與炬管的距離，調(diào)整兩個(gè)錐孔的距離和同心度，還要調(diào)整透鏡電壓，使離子有很好的聚焦。為達(dá)到最佳的聚焦效果，通過調(diào)節(jié)垂直位置，水平位置，及采樣深度。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，體積龐大，不適合于儀器整體化設(shè)計(jì)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]有鑒于此，需要克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷中的至少一個(gè)。本發(fā)明提供了一種質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)，包括:
外腔體，所述外腔體作為基座承載其他部件；
水平調(diào)節(jié)組件，包括安裝在所述外腔體外側(cè)底部的水平運(yùn)動(dòng)的水平調(diào)節(jié)直線馬達(dá)，由所述水平調(diào)節(jié)直線馬達(dá)帶動(dòng)進(jìn)行水平直線運(yùn)動(dòng)的匹配箱組件；
垂直/深度調(diào)節(jié)裝置，包括垂直調(diào)節(jié)組件和深度調(diào)節(jié)組件以及垂直/深度調(diào)節(jié)裝置腔體，所述垂直調(diào)節(jié)組件包括安裝在所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置腔體外側(cè)的垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)，所述深度調(diào)節(jié)組件包括安裝在所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置腔體外側(cè)的深度調(diào)節(jié)直線馬達(dá)，所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)和所述深度調(diào)節(jié)直線馬達(dá)依據(jù)其絲桿運(yùn)動(dòng)方向呈垂直安裝，且處于兩個(gè)有一定距離的平行平面上，所述垂直調(diào)節(jié)組件和所述深度調(diào)節(jié)組件通過安裝在所述垂直調(diào)節(jié)組件上的由所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)帶動(dòng)做直線運(yùn)動(dòng)且可繞和所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)聯(lián)接的移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)軸控制桿與安裝在所述深度調(diào)節(jié)組件上的由所述深度調(diào)節(jié)直線馬達(dá)帶動(dòng)做直線運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)軸托架聯(lián)接在一起；
所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置通過安裝在所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置上且與所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸相聯(lián)的支撐塊與所述匹配箱組件相聯(lián)，間接由所述水平調(diào)節(jié)直線馬達(dá)帶動(dòng)。
[0005]根據(jù)本發(fā)明【背景技術(shù)】中對(duì)現(xiàn)有技術(shù)所述，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，體積龐大，不適合于儀器整體化設(shè)計(jì)；而本發(fā)明提供的質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)，通過對(duì)深度和垂直方向的連桿式調(diào)節(jié)，保證了精確調(diào)節(jié)，且大大減小了體積，更利于儀器整體化、小型化設(shè)計(jì)，同時(shí)降低了成本，提升了操作的便捷性。
[0006]另外，根據(jù)本發(fā)明公開的質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)還具有如下附加技術(shù)特征:
進(jìn)一步地，所述質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)還包括屏蔽罩，所述屏蔽罩固定安裝在所述匹配箱組件側(cè)面，通過安裝在其側(cè)面的石英矩管和線圈及安裝在所述匹配箱組件上的固定塊與所述匹配箱組件相聯(lián)，可隨所述匹配箱組件進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。
[0007]所述匹配箱組件通過使用線圈與所述探測箱相聯(lián)，可以進(jìn)一步保證其水平運(yùn)行的穩(wěn)定性。
[0008]進(jìn)一步地，所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)上的垂直馬達(dá)絲杠通過絲杠固定板及旋轉(zhuǎn)部件與所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸一端相聯(lián)，所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸的另一端通過軸承安裝在所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置腔體的相對(duì)一側(cè)。
[0009]所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸可以繞自身旋轉(zhuǎn)，且可跟隨所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)進(jìn)行垂直方向的運(yùn)動(dòng)，即可做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)也可以做直線運(yùn)動(dòng)，其兩端都存在有支撐，則保證了其具有相應(yīng)的剛性。
[0010]進(jìn)一步地，所述轉(zhuǎn)軸控制桿平行于所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)運(yùn)動(dòng)方向并通過調(diào)節(jié)聯(lián)接件與所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸相聯(lián)，形成剖面為以所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸為轉(zhuǎn)軸所述調(diào)節(jié)聯(lián)接件為支撐的多邊結(jié)構(gòu)。
[0011]更進(jìn)一步地，所述調(diào)節(jié)聯(lián)接件為I個(gè)，則所述多邊結(jié)構(gòu)形成封閉的三邊結(jié)構(gòu)或半封閉的三邊結(jié)構(gòu)。
[0012]更進(jìn)一步地，所述調(diào)節(jié)聯(lián)接件為2個(gè)，則所述多邊結(jié)構(gòu)形成封閉的四邊結(jié)構(gòu)。
[0013]進(jìn)一步地，所述深度調(diào)節(jié)組件還包括滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)軸托架安裝在所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，由所述深度調(diào)節(jié)直線馬達(dá)帶動(dòng)做直線運(yùn)動(dòng)。
[0014]進(jìn)一步地，所述轉(zhuǎn)軸托架具有貫通槽，所述轉(zhuǎn)軸控制桿通過所述貫通槽與所述深度調(diào)節(jié)組件聯(lián)接。
[0015]更進(jìn)一步地，所述貫通槽和所述轉(zhuǎn)軸控制桿精密配合。
[0016]兩者的精密配合，可以保證其調(diào)節(jié)過程中的連續(xù)性。
[0017]進(jìn)一步地，所述水平調(diào)節(jié)直線馬達(dá)或所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)或所述深度調(diào)節(jié)直線馬達(dá)或所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸還包括限位裝置。
[0018]本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實(shí)踐了解到。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從下面結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
圖1本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的正視不意圖圖2本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的3D圖圖3本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例去除外腔體側(cè)面的正視示意圖圖4本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例去除外腔體側(cè)面的3D示意圖圖5本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例垂直/深度調(diào)節(jié)裝置示意圖
圖6本發(fā)明的一個(gè)去除垂直/深度調(diào)節(jié)裝置腔體的垂直/深度調(diào)節(jié)裝置3D示意圖圖7垂直調(diào)節(jié)組件示意圖圖8本發(fā)明圖3相對(duì)面示意圖圖9深度調(diào)節(jié)組件示意圖
其中，1.外腔體、2.垂直/深度調(diào)節(jié)裝置、210.垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)、211.移動(dòng)腔側(cè)蓋、212.絲杠固定板、213.調(diào)節(jié)聯(lián)接件、214.轉(zhuǎn)軸控制桿、215.小型滑軌、216.支撐塊限位套、217.開槽錐端定位螺釘、218.移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸、219.垂直馬達(dá)絲杠、220.支撐塊、240.深度調(diào)節(jié)直線馬達(dá)、241.深度馬達(dá)絲杠、242.支撐塊、243.轉(zhuǎn)軸托架、244.電機(jī)固定板、245.限位開關(guān)、250.垂直/深度調(diào)節(jié)裝置腔體、310.水平調(diào)節(jié)直線馬達(dá)、311.線圈、312.固定塊、320.匹配箱組件、410.屏蔽罩、411.石英炬管。

【具體實(shí)施方式】
[0020]下面描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能解釋為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0021]下面將參照附圖來描述本發(fā)明的質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)，其中圖1是本發(fā)明質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)示意圖。
[0022]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，如圖1-9所示，本發(fā)明提供的質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)，包括: 外腔體I，所述外腔體I作為基座承載其他部件，如圖1-4所示；
水平調(diào)節(jié)組件，包括安裝在所述外腔體I外側(cè)底部的水平運(yùn)動(dòng)的水平調(diào)節(jié)直線馬達(dá)310，由所述水平調(diào)節(jié)直線馬達(dá)310帶動(dòng)進(jìn)行水平直線運(yùn)動(dòng)的匹配箱組件320，如圖1-4所示；
垂直/深度調(diào)節(jié)裝置2，包括垂直調(diào)節(jié)組件和深度調(diào)節(jié)組件以及垂直/深度調(diào)節(jié)裝置腔體，所述垂直調(diào)節(jié)組件包括安裝在所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置腔體250外側(cè)的垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)210，所述深度調(diào)節(jié)組件包括安裝在所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置腔體250外側(cè)的深度調(diào)節(jié)直線馬達(dá)240，所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)210和所述深度調(diào)節(jié)直線馬達(dá)250依據(jù)其絲桿(219、241)運(yùn)動(dòng)方向呈垂直安裝，且處于兩個(gè)有一定距離的平行平面上，所述垂直調(diào)節(jié)組件和所述深度調(diào)節(jié)組件通過安裝在所述垂直調(diào)節(jié)組件上的由所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)210帶動(dòng)做直線運(yùn)動(dòng)且可繞和所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)聯(lián)接210的移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸218旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)軸控制桿214與安裝在所述深度調(diào)節(jié)組件上的由所述深度調(diào)節(jié)直線馬達(dá)240帶動(dòng)做直線運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)軸托架243聯(lián)接在一起，如圖5、6、7、9 ；
所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置2通過安裝在所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置2上且與所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸218相聯(lián)的支撐塊220與所述匹配箱組件320相聯(lián)，間接由所述水平調(diào)節(jié)直線馬達(dá)310帶動(dòng)，如圖5、6、7、9。
[0023]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)還包括屏蔽罩410，所述屏蔽罩410固定安裝在所述匹配箱組件320側(cè)面，通過安裝在其側(cè)面的滑輪石英矩管411和線圈311及安裝在所述匹配箱組件320上的固定塊312與所述匹配箱組件320相聯(lián)，可隨所述匹配箱組件320進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，如圖8所示。
[0024]所述匹配箱組件320通過使用線圈311與所述探測箱屏蔽罩320相聯(lián)，可以進(jìn)一步保證其水平運(yùn)行的穩(wěn)定性。
[0025]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)210上的垂直馬達(dá)絲杠219通過絲杠固定板212及旋轉(zhuǎn)部件與所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸218 —端相聯(lián)，所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸218的另一端通過軸承安裝在所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置腔體250的相對(duì)一側(cè)，如圖7所示。
[0026]所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸218可以繞自身旋轉(zhuǎn)，且可跟隨所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)210進(jìn)行垂直方向的運(yùn)動(dòng)，即可做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)也可以做直線運(yùn)動(dòng)，其兩端都存在有支撐，則保證了其具有相應(yīng)的剛性。
[0027]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述轉(zhuǎn)軸控制桿214平行于所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)210運(yùn)動(dòng)方向并通過調(diào)節(jié)聯(lián)接件213與所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸218相聯(lián)，形成剖面為以所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸218為轉(zhuǎn)軸所述調(diào)節(jié)聯(lián)接件213為支撐的多邊結(jié)構(gòu)，如圖7所示。
[0028]可選地，所述調(diào)節(jié)聯(lián)接件213為I個(gè)，則所述多邊結(jié)構(gòu)形成封閉的三邊結(jié)構(gòu)或半封閉的三邊結(jié)構(gòu)。
[0029]優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)聯(lián)接件213為2個(gè)，則所述多邊結(jié)構(gòu)形成封閉的四邊結(jié)構(gòu)，如圖7所示。
[0030]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述深度調(diào)節(jié)組件還包括滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)軸托架243安裝在所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，由所述深度調(diào)節(jié)直線馬達(dá)240帶動(dòng)做直線運(yùn)動(dòng)，如圖7、9所示。
[0031]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述轉(zhuǎn)軸托架243具有貫通槽，所述轉(zhuǎn)軸控制桿214通過所述貫通槽與所述深度調(diào)節(jié)組件聯(lián)接，如圖9所示。
[0032]優(yōu)選地，所述貫通槽和所述轉(zhuǎn)軸控制桿精密配合。
[0033]兩者的精密配合，可以保證其調(diào)節(jié)過程中的連續(xù)性。
[0034]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述水平調(diào)節(jié)直線馬達(dá)310或所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)210或所述深度調(diào)節(jié)直線馬達(dá)240或所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸218還包括限位裝置。
[0035]盡管參照本發(fā)明的多個(gè)示意性實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行了詳細(xì)的描述，但是必須理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計(jì)出多種其他的改進(jìn)和實(shí)施例，這些改進(jìn)和實(shí)施例將落在本發(fā)明原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開、附圖以及權(quán)利要求的范圍之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進(jìn)，而不會(huì)脫離本發(fā)明的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進(jìn)，其范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
【權(quán)利要求】
1.一種質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，包括: 外腔體，所述外腔體作為基座承載其他部件； 水平調(diào)節(jié)組件，包括安裝在所述外腔體外側(cè)底部的水平運(yùn)動(dòng)的水平調(diào)節(jié)直線馬達(dá)，由所述水平調(diào)節(jié)直線馬達(dá)帶動(dòng)進(jìn)行水平直線運(yùn)動(dòng)的匹配箱組件； 垂直/深度調(diào)節(jié)裝置，包括垂直調(diào)節(jié)組件和深度調(diào)節(jié)組件以及垂直/深度調(diào)節(jié)裝置腔體，所述垂直調(diào)節(jié)組件包括安裝在所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置腔體外側(cè)的垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)，所述深度調(diào)節(jié)組件包括安裝在所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置腔體外側(cè)的深度調(diào)節(jié)直線馬達(dá)，所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)和所述深度調(diào)節(jié)直線馬達(dá)依據(jù)其絲桿運(yùn)動(dòng)方向呈垂直安裝，且處于兩個(gè)有一定距離的平行平面上，所述垂直調(diào)節(jié)組件和所述深度調(diào)節(jié)組件通過安裝在所述垂直調(diào)節(jié)組件上的由所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)帶動(dòng)做直線運(yùn)動(dòng)且可繞和所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)聯(lián)接的移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)軸控制桿與安裝在所述深度調(diào)節(jié)組件上的由所述深度調(diào)節(jié)直線馬達(dá)帶動(dòng)做直線運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)軸托架聯(lián)接在一起； 所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置通過安裝在所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置上且與所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸相聯(lián)的支撐塊與所述匹配箱組件相聯(lián)，間接由所述水平調(diào)節(jié)直線馬達(dá)帶動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)還包括屏蔽罩，所述屏蔽罩固定安裝在所述匹配箱組件側(cè)面，通過安裝在其側(cè)面的石英矩管和線圈及安裝在所述匹配箱組件上的固定塊與所述匹配箱組件相聯(lián)，可隨所述匹配箱組件進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)上的垂直馬達(dá)絲杠通過絲杠固定板及旋轉(zhuǎn)部件與所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸一端相聯(lián)，所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸的另一端通過軸承安裝在所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置腔體的相對(duì)一側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸控制桿平行于所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)運(yùn)動(dòng)方向并通過調(diào)節(jié)聯(lián)接件與所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸相聯(lián)，形成剖面為以所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸為轉(zhuǎn)軸所述調(diào)節(jié)聯(lián)接件為支撐的多邊結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述調(diào)節(jié)聯(lián)接件為I個(gè)，則所述多邊結(jié)構(gòu)形成封閉的三邊結(jié)構(gòu)或半封閉的三邊結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述調(diào)節(jié)聯(lián)接件為2個(gè)，則所述多邊結(jié)構(gòu)形成封閉的四邊結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述深度調(diào)節(jié)組件還包括滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)軸托架安裝在所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，由所述深度調(diào)節(jié)直線馬達(dá)帶動(dòng)做直線運(yùn)動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸托架具有貫通槽，所述轉(zhuǎn)軸控制桿通過所述貫通槽與所述深度調(diào)節(jié)組件聯(lián)接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述貫通槽和所述轉(zhuǎn)軸控制桿精密配合。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀三維移動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述水平調(diào)節(jié)直線馬達(dá)或所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達(dá)或所述深度調(diào)節(jié)直線馬達(dá)或所述移動(dòng)腔轉(zhuǎn)軸還包括限位裝置。
【文檔編號(hào)】H01J49/02GK104332381SQ201410621659
【公開日】2015年2月4日 申請(qǐng)日期:2014年11月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月7日
【發(fā)明者】劉召貴, 孫克強(qiáng), 丁志國, 周立 申請(qǐng)人:江蘇天瑞儀器股份有限公司