專利名稱：一種掃描抑制電極的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及離子注入機(jī)中一種掃描抑制電極的裝置。
背景技術(shù)：
離子注入機(jī)是半導(dǎo)體エ藝中離子摻雜的典型設(shè)備，離子源產(chǎn)生需要摻雜的離子束，通過(guò)引出電極，引出離子源的離子束，在經(jīng)過(guò)加速管，提供離子束所需要的能量，分析器分離出需要的離子束，其他的離子被篩選出來(lái)，掃描板是提高離子束流質(zhì)量的關(guān)鍵部分，掃描由兩塊對(duì)稱的喇叭形電極板組成，兩塊電極板上所加掃描電壓(偏轉(zhuǎn)電壓)相位相差180°。該掃描系統(tǒng)為對(duì)稱掃描，即以中心對(duì)稱向兩邊掃開。不需要的離子最終會(huì)偏離離子束運(yùn)動(dòng)軌道，打到掃描抑制電極上，掃描抑制電源接到掃描抑制電極上，掃描抑制電源在負(fù)輸出的直流高壓電源的基礎(chǔ)上增加了ー個(gè)2.5mA的恒流泄放，2.5mA的恒流泄放是由一正IOKV高壓電源和4M大功高壓電阻構(gòu)成，，正IOKV高壓電源工作在2.5mA的恒流模式。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):掃描抑制電極和電極支撐分別如圖1、圖2所示。通過(guò)銷孔(5)固定電極支撐，石墨電極⑶的沉孔⑴與電極支撐的通孔⑷共同固定石墨電極(3)，定位銷(6)用于電極定位，保證電極穩(wěn)固。引束出口(2)提供離子運(yùn)動(dòng)通道，被篩選出的離子將打到抑制電極上，被抑制電極吸收，這樣提高了束流的純度，保證測(cè)量束流的精度。本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點(diǎn):1.簡(jiǎn)單可靠，易于加工制造。2.提高了束流的純度，保證束流的品質(zhì)。


圖1掃描抑制電極圖2電極支撐
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖1和2具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)ー步介紹，但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。掃描抑制電極和電極支撐分別如圖1、圖2所示。通過(guò)銷孔(5)固定電極支撐，石墨電極⑶的沉孔⑴與電極支撐的通孔⑷共同固定石墨電極(3)，定位銷(6)用于電極定位，保證電極穩(wěn)固。引束出口(2)提供離子運(yùn)動(dòng)通道.
以上所述已對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說(shuō)明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求
1. 一種掃描抑制電極的裝置。包括:沉孔(I)、引束出口(2)、石墨電極(3)、通孔⑷、銷孔(5)、定位銷(6)。其特征在于:如權(quán)利要求1所述的石墨電極⑶的沉孔⑴與電極支撐的通孔⑷固定石墨電極⑶。
2.如權(quán)利要求1所述的定位銷(6)用于電極定位，保證電極穩(wěn)固。
3.如權(quán)利要求1所述的銷孔(5)固定電極支撐。
4.如權(quán)利要求1所述的引束出口(2)提供離子運(yùn)動(dòng)通道。
全文摘要
一種掃描抑制電極的裝置。包括沉孔(1)、引束出口(2)、石墨電極(3)、通孔(4)、銷孔(5)、定位銷(6)。該裝置特征在于，掃描抑制電極主要是吸附打到抑制電極上的離子，提高了束流的純度。說(shuō)明書對(duì)裝置進(jìn)行了詳細(xì)闡述。
文檔編號(hào)H01J37/04GK103137401SQ201110390399
公開日2013年6月5日 申請(qǐng)日期2011年11月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月25日
發(fā)明者林萍 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司