專利名稱：一種多注行波管陰極鉭熱屏制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種多注行波管陰極鉭熱屏制備方法。
背景技術(shù)：
多注行波管是在大功率行波管的基礎(chǔ)上，將多電子注技術(shù)、寬帶技術(shù)、周期永磁聚焦和高發(fā)射密度陰極等結(jié)合在一起而發(fā)展起來的一種新穎的大功率微波真空電子器件。它有導(dǎo)流系數(shù)高、工作電壓低、體積重量小、頻帶寬、頻率和增益高等優(yōu)點(diǎn)。這些特點(diǎn)使它成為一種低工作電壓、緊湊型的大功率微波放大器件，是現(xiàn)在大功率微波電子系統(tǒng)的發(fā)射機(jī)末級(jí)功率放大器最有競(jìng)爭(zhēng)力的器件之一?，F(xiàn)在的多注行波管幾乎都是基于諧振腔基模工作的，研制中需要解決許多理論技術(shù)、工藝等方面問題，其中，最關(guān)鍵的技術(shù)問題之一是制備具有高發(fā)射電流密度的陰極組件。尤其是彈載多注行波管對(duì)陰極組件的要求更加苛刻，它不但要求陰極具有高發(fā)射電流密度，還要求陰極具有耐振動(dòng)、耐沖擊以及高可靠等特點(diǎn)。對(duì)陰極熱屏蔽零件來講，同時(shí)還要滿足熱子組件低溫狀態(tài)下陰極正常工作，為此熱屏零件具有高的熱屏蔽效果。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，有必要提供一種多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，旨在制得高精度、高熱屏蔽的多注陰極鉭熱屏零件。本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其包括以下步驟
a.毛坯加工，將鉭片材切割成滿足加工需要的零件；
b.超聲波中清洗零件，按操作規(guī)程開動(dòng)離子交換裝置，按操作規(guī)程接通烘箱，按操作規(guī)程接通超聲波發(fā)生器，所述超聲波發(fā)生器的振蕩頻率約為17. 5 23. 5KHz，用鑷子將所述零件裝在金屬籃中放入超聲波清洗槽中，在裝有去離子水的所述超聲波清洗槽中清洗所述零件約15 20min，清洗結(jié)束后的所述零件的電阻應(yīng)不小于2M Ω，將所述零件浸沒到無水乙醇中進(jìn)行脫水約3 5s，在所述烘箱中干燥所述零件時(shí)，用鑷子將所述零件放入所述烘箱中，干燥溫度約為75 85° C，干燥時(shí)間約為10 45min，所述零件干燥并冷卻后用鑷子取出放入清潔干燥的搪瓷盒中，按操作規(guī)程關(guān)閉所述超聲波發(fā)生器，所述離子交換裝置，所述烘箱；
c.酸洗，將所述零件放入金屬籃中或用鑷子夾住，將其浸沒到酸洗溶液，酸洗時(shí)間約 8 10s，酸洗掉的金屬層的平均厚度約為3 4Mm，用流動(dòng)的自來水沖洗零件30 50s，再用流動(dòng)的去離子水沖洗零件1. 0 1. 5min，將零件浸沒到丙酮或無水乙醇中進(jìn)行脫水處理 3 5s，用空氣噴槍吹干零件，將零件放入烘箱，干燥10 15min，戴尼龍手套或PVC手套將零件取出來，對(duì)零件進(jìn)行檢查，不允許存在毛刺，污物、氧化物，酸洗過度等缺陷，對(duì)零件作報(bào)廢處理；
d.一級(jí)真空高頻退火，用鑷子或戴手套將所述零件放入鉭筒中，并將所述鉭筒放在高頻爐的工件托架上，并放好鐘罩，關(guān)閉放氣閥并降下高頻線圈，根據(jù)設(shè)備操作規(guī)程，對(duì)系統(tǒng)抽真空，在真空度達(dá)到3 4X10_4Pa后，預(yù)熱燈絲3min后，按設(shè)備操作規(guī)程開始調(diào)節(jié)功率加熱，根據(jù)放氣情況，逐漸加大加熱功率，加熱時(shí)真空度應(yīng)不低于1 X IO-2Pa,當(dāng)加熱結(jié)束時(shí)， 逐漸將燈絲電壓降至零，冷卻所述鐘罩和所述零件，升起感應(yīng)線圈，將其移至一旁，關(guān)閉高真空插板閥，按設(shè)備的操作規(guī)程關(guān)閉真空計(jì)、分子泵和機(jī)械泵，打開放氣閥，向所述鐘罩中放入空氣，取下所述鐘罩，取出所述鉭筒，用鑷子或戴尼龍手套取出所述零件，放入零件盒， 所述零件為毛坯；
e.一級(jí)模壓；
f.對(duì)所述零件重復(fù)所述步驟b，超聲波中清洗零件；
g.對(duì)所述零件重復(fù)所述步驟c，酸洗；
h.對(duì)所述零件重復(fù)所述步驟d，真空高頻退火；
i.二級(jí)模壓；
j. 一級(jí)車加工；
k.對(duì)所述零件再次重復(fù)所述步驟b，超聲波中清洗零件；
1.對(duì)所述零件再次重復(fù)所述步驟c，酸洗；
m.對(duì)所述零件再次重復(fù)所述步驟d，真空高頻退火；
η.沖壓；
ο. 二級(jí)車加工；
P.對(duì)步驟j形成的零件第四次重復(fù)所述步驟b，超聲波中清洗零件； r. 一級(jí)檢測(cè)，檢測(cè)所述零件的內(nèi)徑尺寸； s.在所述零件上電火花切割兩個(gè)窗孔； t.在所述零件上電火花加工四個(gè)槽； U. 二級(jí)檢測(cè)，檢測(cè)所述零件的窗孔和槽；
V.對(duì)步驟t形成的零件第五次重復(fù)所述步驟b，超聲波中清洗零件 W.對(duì)所述零件第四次重復(fù)所述步驟b，酸洗； X. 二級(jí)真空高頻退火，形成所述多注行波管陰極鉭熱屏。
進(jìn)一步地，所述多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其在所述步驟c中，所述酸洗溶液配方硝酸200 士 5mL ；氫氟酸200 士 5mL ；硫酸500 士 10mL。進(jìn)一步地，所述多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其在所述步驟d中，真空高頻退火溫度為1050士50°C，保溫時(shí)間為20士 IOmin。進(jìn)一步地，所述多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其在所述步驟e中，在所述零件抹上油，模壓所述零件，將所述零件放入所述零件盒中。進(jìn)一步地，所述多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其在所述步驟i中，在所述零件抹上油，模壓所述零件，將所述零件放入所述零件盒中，其中，步驟e的壓膜規(guī)格不同于步驟i的壓膜規(guī)格。進(jìn)一步地，所述多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其在所述步驟j中，將步驟i形成的零件安放并固定在夾具上，切割端面尺寸，磨鈍銳邊，松開并取下所述零件。 進(jìn)一步地，所述多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其在所述步驟η中，在所述零件抹上油，模壓所述零件，將所述零件放入所述零件盒中，其中，步驟η的壓膜規(guī)格不僅不同于步驟i的壓膜規(guī)格還不同于步驟e的壓膜規(guī)格。
進(jìn)一步地，所述多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其在所述步驟ο中，根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)車加工卡頭夾具，將毛坯安放并固定在所述夾具上，車削端面尺寸，磨鈍銳邊。進(jìn)一步地，所述多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其在所述步驟!·中，用塞規(guī)檢測(cè)所述零件的內(nèi)徑尺寸。進(jìn)一步地，所述多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其所述一級(jí)真空高頻退火溫度為750士50°C，保溫時(shí)間為20 士 lOmin，所述二級(jí)真空高頻退火溫度為1600士20°C，保溫時(shí)間為 25 士 5min。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的多注行波管陰極鉭熱屏制備方法對(duì)鉭毛坯先進(jìn)行真空高頻退火處理，以消除應(yīng)力，降低硬度、穩(wěn)定尺寸，增加可塑性，采用高精度的模具保證模壓、車加工、沖壓、電火花切割和電火花加工，然后將加工好的零件經(jīng)過化學(xué)處理去除由機(jī)械加工帶來的雜質(zhì)和油漬，最后把清洗后的零件再次經(jīng)過真空高頻退火處理，進(jìn)一步凈化零件，同時(shí)去除零件表面吸附的氣體，提高零件的光潔度，得到高精度、高熱屏蔽效率的多注陰極鉭熱屏。所述多注行波管陰極鉭熱屏制備方法的優(yōu)點(diǎn)在于
1.鉭熱屏具有機(jī)械強(qiáng)度高、高溫下抗氧化和強(qiáng)吸氣性；
2.鉭熱屏的尺度精度可以控制在微米級(jí)；
3.鉭熱屏厚度比較小，熱損耗低，大大提高熱子組件熱效率；
4.加工鉭熱屏的工藝穩(wěn)定性和一致性高；
5.鉭熱屏表面凈化度和光潔度比較好，可以滿足多注行波管陰極的使用要求。


圖1是本發(fā)明較佳實(shí)施方式提供的多注行波管陰極鉭熱屏制備方法制備完成后鉭熱屏的示意圖2是第一次模壓完成后鉭毛坯的示意圖； 圖3是第二次模壓成后鉭毛坯的示意圖； 圖4是沖壓完成后鉭毛坯的示意圖。
具體實(shí)施例方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。本發(fā)明較佳實(shí)施方式提供的多注行波管陰極鉭熱屏制備方法是對(duì)鉭毛坯先進(jìn)行氫氣退火處理，以消除應(yīng)力，降低硬度、穩(wěn)定尺寸，增加可塑性，采用高精度的模具保證模壓、車加工、沖壓、電火花切割和電火花加工，然后將加工好的零件經(jīng)過化學(xué)處理去除由機(jī)械加工帶來的雜質(zhì)和油漬，最后把清洗后的零件再次經(jīng)過真空高頻退火處理，進(jìn)一步凈化零件，同時(shí)去除零件表面吸附的氣體，提高零件的光潔度，得到高精度、高熱屏蔽效率的多注陰極鉭熱屏。具體實(shí)施步驟如下
1.將鉭片材切割成滿足加工需要的條帶1(請(qǐng)參閱圖1);
2.按操作規(guī)程開動(dòng)離子交換裝置，按操作規(guī)程接通烘箱，按操作規(guī)程接通超聲波發(fā)生器，振蕩頻率為(17. 5 23. 5)KHz，用鑷子將零件裝在金屬籃中放入超聲波清洗槽中，在裝有去離子水的超聲波槽中清洗零件(15 20) min，清洗結(jié)束后的電阻應(yīng)不小于2ΜΩ，將零件浸沒到無水乙醇中進(jìn)行脫水(3 5)s，在(2 3)只去油槽或燒杯中依次進(jìn)行，在烘箱中干燥零件時(shí)，用鑷子將零件放入烘箱中，干燥溫度(75 85) ° C，干燥時(shí)間(10 45) min，零件干燥并冷卻后用鑷子取出放入清潔干燥的搪瓷盒中，按操作規(guī)程關(guān)閉(切斷)超聲波發(fā)生器，離子交換裝置，烘箱；
3.將零件放入金屬籃中或用鑷子夾住，將其浸沒到酸洗溶液(硝酸(200士5)mL，氫氟酸(200 士 5)mL，硫酸(500 士 10)mL)中，酸洗時(shí)間(8 10) s，酸洗掉的金屬層的平均厚度為(3 4) Mm，用流動(dòng)的自來水沖洗零件(30 50) s，再用流動(dòng)的去離子水沖洗零件 (1. 0 1. 5)min,將零件浸沒到丙酮或無水乙醇中進(jìn)行脫水處理(3 5) s，用空氣噴槍吹干零件，將零件放入烘箱，干燥(10 15)min，戴尼龍手套或PVC手套將零件取出來，對(duì)零件進(jìn)行檢查，不允許存在毛刺，污物、氧化物，酸洗過度等缺陷，對(duì)零件作報(bào)廢處理；
4.用鑷子或戴手套將零件放入鉭筒中，將其放在高頻爐的工件托架上，并放好鐘罩，關(guān)閉放氣閥并降下高頻線圈，根據(jù)設(shè)備操作規(guī)程，對(duì)系統(tǒng)抽真空，在真空度達(dá)到(3 4) XlCT4Pa后，預(yù)熱燈絲3min (8. 3V)后，按設(shè)備操作規(guī)程開始調(diào)節(jié)功率加熱，根據(jù)放氣情況，逐漸加大加熱功率，加熱時(shí)真空度應(yīng)不低于1 X IO-2Pa,當(dāng)溫度(用紅外測(cè)溫儀測(cè)量溫度) 達(dá)到(1050 士 50) V，保溫(20 士 10) min,當(dāng)加熱結(jié)束時(shí)，逐漸將燈絲電壓降至零，冷卻鐘罩和零件，升起感應(yīng)線圈，將其移至一旁，關(guān)閉高真空插板閥，按設(shè)備的操作規(guī)程關(guān)閉真空計(jì)、 分子泵和機(jī)械泵，打開放氣閥，向鐘罩中放入空氣，取下鐘罩，取出鉭筒，用鑷子或戴尼龍手套取出零件，放入零件盒；
5.在毛坯抹上油，按圖2模壓毛坯，將毛坯放入零件盒中；
6.重復(fù)第2步操作；
7.重復(fù)第3步操作；
8.重復(fù)第4步操作；
9.在毛坯抹上油，按圖3模壓毛坯，將毛坯放入零件盒中；
10.根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)車加工卡頭夾具，將毛坯安放并固定在夾具上，切割端面尺寸2(請(qǐng)參閱圖1)，磨鈍銳邊，松開并取下毛坯；
11.重復(fù)第2步操作；
12.重復(fù)第3步操作；
13.重復(fù)第4步操作；
14.在毛坯抹上油，按圖4沖毛坯，將毛坯放入零件盒中；
15.根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)車加工卡頭夾具，將毛坯安放并固定在夾具上，車削端面尺寸3(請(qǐng)參閱圖1)，磨鈍銳邊，松開并取下夾具；
16.重復(fù)第2步操作；
17.用塞規(guī)檢測(cè)零件內(nèi)徑尺寸4(請(qǐng)參閱圖1)，其它尺寸用通用方法檢測(cè)；
18.電火花切割2個(gè)窗孔5(請(qǐng)參閱圖1);
19.電火花加工4個(gè)槽6(請(qǐng)參閱圖1)；
20.按通用方法檢測(cè)窗孔5和槽6尺寸；
21.重復(fù)第2步操作；22.重復(fù)第3步操作；
23.用鑷子或戴手套將零件放入鉭筒中，將其放在高頻爐的工件托架上，并放好鐘罩，關(guān)閉放氣閥并降下高頻線圈，根據(jù)設(shè)備操作規(guī)程，對(duì)系統(tǒng)抽真空，在真空度達(dá)到(3 4) XlCT4Pa后，預(yù)熱燈絲3min (8. 3V)后，按設(shè)備操作規(guī)程開始調(diào)節(jié)功率加熱，根據(jù)放氣情況，逐漸加大加熱功率，加熱時(shí)真空度應(yīng)不低于lX10_2Pa，當(dāng)溫度(用紅外測(cè)溫儀測(cè)量溫度)達(dá)到(750士50) °C，保溫(20士 10) min，保溫結(jié)束后繼續(xù)加大加熱功率，當(dāng)溫度達(dá)到 (1600士20) °C，保溫(25士5)min，當(dāng)加熱結(jié)束時(shí)，逐漸將燈絲電壓降至零，冷卻鐘罩和零件，升起感應(yīng)線圈，將其移至一旁，關(guān)閉高真空插板閥，按設(shè)備的操作規(guī)程關(guān)閉真空計(jì)、分子泵和機(jī)械泵，打開放氣閥，向鐘罩中放入空氣，取下鐘罩，取出鉭筒，用鑷子或戴尼龍手套取出零件，放入零件盒，高精度、高熱屏蔽效率的多注行波管陰極鉭熱屏制備完成了。多注行波管陰極鉭熱屏的內(nèi)外直徑分別為0 6. 6和06. 8，尺度精度可以達(dá)到微米級(jí)，零件表面凈化度和光潔度比較好。本發(fā)明可以用于多注行波管，加工后的多注陰極，熱損耗低，大大提高熱子組件熱效率，機(jī)械強(qiáng)度高、高溫下抗氧化和強(qiáng)吸氣性，在Ka波段某彈載多注行波管中，采用這種方法的多注行波管，熱子組件功率從20W降低到12 W，熱屏蔽效率提高了 40%。綜上所述，所述多注行波管陰極鉭熱屏制備方法的優(yōu)點(diǎn)在于
1.鉭熱屏具有機(jī)械強(qiáng)度高、高溫下抗氧化和強(qiáng)吸氣性；
2.鉭熱屏的尺度精度可以控制在微米級(jí)；
3.鉭熱屏厚度比較小，熱損耗低，大大提高熱子組件熱效率；
4.加工鉭熱屏的工藝穩(wěn)定性和一致性高；
5.鉭熱屏表面凈化度和光潔度比較好，可以滿足多注行波管陰極的使用要求。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1. 一種多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其特征在于，其包括以下步驟a.毛坯加工，將鉭片材切割成滿足加工需要的零件；b.超聲波中清洗零件，按操作規(guī)程開動(dòng)離子交換裝置，按操作規(guī)程接通烘箱，按操作規(guī)程接通超聲波發(fā)生器，所述超聲波發(fā)生器的振蕩頻率約為17. 5 23. 5KHz，用鑷子將所述零件裝在金屬籃中放入超聲波清洗槽中，在裝有去離子水的所述超聲波清洗槽中清洗所述零件約15 20min，清洗結(jié)束后的所述零件的電阻應(yīng)不小于2MΩ，將所述零件浸沒到無水乙醇中進(jìn)行脫水約3 5s，在所述烘箱中干燥所述零件時(shí)，用鑷子將所述零件放入所述烘箱中，干燥溫度約為75 85° C，干燥時(shí)間約為10 45min，所述零件干燥并冷卻后用鑷子取出放入清潔干燥的搪瓷盒中，按操作規(guī)程關(guān)閉所述超聲波發(fā)生器，所述離子交換裝置，所述烘箱；c.酸洗，將所述零件放入金屬籃中或用鑷子夾住，將其浸沒到酸洗溶液，酸洗時(shí)間約 8 10s，酸洗掉的金屬層的平均厚度約為3 4Mm，用流動(dòng)的自來水沖洗零件30 50s，再用流動(dòng)的去離子水沖洗零件1. 0 1. 5min，將零件浸沒到丙酮或無水乙醇中進(jìn)行脫水處理 3 5s，用空氣噴槍吹干零件，將零件放入烘箱，干燥10 15min，戴尼龍手套或PVC手套將零件取出來，對(duì)零件進(jìn)行檢查，不允許存在毛刺，污物、氧化物，酸洗過度等缺陷，對(duì)零件作報(bào)廢處理；d.一級(jí)真空高頻退火，用鑷子或戴手套將所述零件放入鉭筒中，并將所述鉭筒放在高頻爐的工件托架上，并放好鐘罩，關(guān)閉放氣閥并降下高頻線圈，根據(jù)設(shè)備操作規(guī)程，對(duì)系統(tǒng)抽真空，在真空度達(dá)到3 4X10_4Pa后，預(yù)熱燈絲3min后，按設(shè)備操作規(guī)程開始調(diào)節(jié)功率加熱，根據(jù)放氣情況，逐漸加大加熱功率，加熱時(shí)真空度應(yīng)不低于1 X IO-2Pa,當(dāng)加熱結(jié)束時(shí)， 逐漸將燈絲電壓降至零，冷卻所述鐘罩和所述零件，升起感應(yīng)線圈，將其移至一旁，關(guān)閉高真空插板閥，按設(shè)備的操作規(guī)程關(guān)閉真空計(jì)、分子泵和機(jī)械泵，打開放氣閥，向所述鐘罩中放入空氣，取下所述鐘罩，取出所述鉭筒，用鑷子或戴尼龍手套取出所述零件，放入零件盒， 所述零件為毛坯；e.一級(jí)模壓；f.對(duì)所述零件重復(fù)所述步驟b，超聲波中清洗零件；g.對(duì)所述零件重復(fù)所述步驟c，酸洗；h.對(duì)所述零件重復(fù)所述步驟d，真空高頻退火；i.二級(jí)模壓；j. 一級(jí)車加工；k.對(duì)所述零件再次重復(fù)所述步驟b，超聲波中清洗零件；1.對(duì)所述零件再次重復(fù)所述步驟c，酸洗；m.對(duì)所述零件再次重復(fù)所述步驟d，真空高頻退火；η.沖壓；ο. 二級(jí)車加工；P.對(duì)步驟j形成的零件第四次重復(fù)所述步驟b，超聲波中清洗零件； r. 一級(jí)檢測(cè)，檢測(cè)所述零件的內(nèi)徑尺寸； s.在所述零件上電火花切割兩個(gè)窗孔； t.在所述零件上電火花加工四個(gè)槽；U. 二級(jí)檢測(cè)，檢測(cè)所述零件的窗孔和槽；V.對(duì)步驟t形成的零件第五次重復(fù)所述步驟b，超聲波中清洗零件W.對(duì)所述零件第四次重復(fù)所述步驟b，酸洗；X. 二級(jí)真空高頻退火，形成所述多注行波管陰極鉭熱屏。
2.如權(quán)利要求1所述的多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其特征在于，在所述步驟c 中，所述酸洗溶液配方硝酸200 士 5mL ；氫氟酸200 士 5mL ；硫酸500 士 10mL。
3.如權(quán)利要求1所述的多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其特征在于，在所述步驟d 中，真空高頻退火溫度為1050士50°C，保溫時(shí)間為20士 IOmin。
4.如權(quán)利要求1所述的多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其特征在于，在所述步驟e 中，在所述零件抹上油，模壓所述零件，將所述零件放入所述零件盒中。
5.如權(quán)利要求4所述的多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其特征在于，在所述步驟i 中，在所述零件抹上油，模壓所述零件，將所述零件放入所述零件盒中，其中，步驟e的壓膜規(guī)格不同于步驟i的壓膜規(guī)格。
6.如權(quán)利要求1所述的多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其特征在于，在所述步驟j 中，將步驟i形成的零件安放并固定在夾具上，切割端面尺寸，磨鈍銳邊，松開并取下所述零件。
7.如權(quán)利要求5所述的多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其特征在于，在所述步驟η 中，在所述零件抹上油，模壓所述零件，將所述零件放入所述零件盒中，其中，步驟η的壓膜規(guī)格不僅不同于步驟i的壓膜規(guī)格還不同于步驟e的壓膜規(guī)格。
8.如權(quán)利要求1所述的多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其特征在于，在所述步驟ο 中，根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)車加工卡頭夾具，將毛坯安放并固定在所述夾具上，車削端面尺寸，磨鈍銳邊。
9.如權(quán)利要求1所述的多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其特征在于，在所述步驟r 中，用塞規(guī)檢測(cè)所述零件的內(nèi)徑尺寸。
10.如權(quán)利要求1所述的多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，其特征在于，所述一級(jí)真空高頻退火溫度為750士50°C，保溫時(shí)間為20士 lOmin，所述二級(jí)真空高頻退火溫度為 1600士20°C，保溫時(shí)間為 25士5min。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種多注行波管陰極鉭熱屏制備方法，包括下述步驟a.毛坯加工；b.超聲波中清洗零件；c.酸洗；d.一級(jí)真空高頻退火；e.一級(jí)模壓；f.超聲波中清洗零件；g.酸洗；h.一級(jí)真空高頻退火；i.二級(jí)模壓；j.一級(jí)車加工；k.超聲波中清洗零件；l.酸洗；m.一級(jí)真空高頻退火；n.沖壓；o.二級(jí)車加工；p.超聲波中清洗零件；r.一級(jí)檢測(cè)；s.電火花切割；t.電火花加工；u.二級(jí)檢測(cè)；v.超聲波中清洗零件；w.酸洗；x.二級(jí)真空高頻退火，所述多注行波管陰極鉭熱屏制備完成了。所述多注行波管陰極鉭熱屏制備方法能高精度、高熱屏蔽的多注陰極鉭熱屏零件。
文檔編號(hào)H01J9/02GK102347182SQ20111028479
公開日2012年2月8日 申請(qǐng)日期2011年9月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月23日
發(fā)明者于晨晨, 吳華夏, 孟昭紅, 賀兆昌, 鄒鶯歌, 陳愛民 申請(qǐng)人:安徽華東光電技術(shù)研究所