專利名稱：掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種晶體結(jié)構(gòu)微區(qū)取向表征用裝置領(lǐng)域，特別是，本實(shí)用新型涉 及一種掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，所述掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品 臺(tái)用于在材料電子背散射衍射(EBSD)測(cè)試中，針對(duì)試樣軋制方向難以精確定位、上下表面 不平行時(shí)待測(cè)試樣放置角度難以控制等問題，提供可對(duì)待測(cè)試樣進(jìn)行精確定位的樣品臺(tái)， 由此提高試驗(yàn)精確度。
背景技術(shù)：
在掃描電鏡上配置電子背散射衍射裝置，就可以對(duì)試樣進(jìn)行微區(qū)織構(gòu)和取向差分 析；晶粒尺寸及形狀分布分析；晶界、亞晶及孿晶界性質(zhì)分析；應(yīng)變和再結(jié)晶的分析；相鑒 定及相比例計(jì)算等操作。要獲取準(zhǔn)確可靠的試驗(yàn)數(shù)據(jù)，就必須要對(duì)放置試樣進(jìn)行精確定位， 盡量減少試樣放置時(shí)引起的誤差。目前國(guó)內(nèi)外使用的材料電子背散射衍射(EBSD) 試樣的樣品臺(tái)如下圖3所示，首先 是將一圓柱體斜切一刀，獲得一斜切面。然后，使這個(gè)斜切面與水平面成一夾角θ，一般θ 定為70°。在進(jìn)行EBSD試驗(yàn)時(shí)，首先將標(biāo)準(zhǔn)樣品緊貼在斜面樣品臺(tái)上，與水平面成一夾角 θ，同時(shí)，還要求標(biāo)準(zhǔn)樣品某一方向豎直向上，據(jù)此對(duì)儀器進(jìn)行校準(zhǔn)。其次，將待測(cè)試樣貼在 斜面樣品臺(tái)上，要求其表面傾斜角度及軋制方向與標(biāo)準(zhǔn)樣品放置方式完全一致。直接用這 個(gè)樣品臺(tái)對(duì)試樣進(jìn)行精確定位。然而，要達(dá)到上述要求，仍是非常困難。因?yàn)椋谌缟纤鰧?duì)試樣表面做EBSD測(cè)試時(shí)，是直接將試樣貼在樣品臺(tái)上，這對(duì) 于上下表面相互平行的試樣，可保證試樣表面與水平面成一固定角度θ，滿足試驗(yàn)要求。然 而，在遇到待測(cè)樣品上下表面不平行時(shí)，如果直接將樣品貼到樣品臺(tái)上，則所述待測(cè)樣品表 面與水平面的夾角不是θ，引起的角度偏差會(huì)有好幾度，由此，必然會(huì)對(duì)取向測(cè)試帶來較大 的誤差。另外，將試樣放置在樣品臺(tái)上時(shí)，通常，試驗(yàn)人員是簡(jiǎn)單地采用目測(cè)的方法來觀測(cè) 和調(diào)整試樣的軋制方向，使試樣的軋制方向豎直向上。此時(shí)，仍舊會(huì)存在多少的偏差，嚴(yán)重 時(shí)其軋制方向與豎直向上方向偏差可達(dá)4 10°，甚至更大。這樣，試驗(yàn)精確度難以得到保 證。再有，若是對(duì)試樣截面做EBSD測(cè)試的場(chǎng)合，也有類似問題。即，如果直接將制備好 的試樣截面貼在樣品臺(tái)上，也會(huì)存在因試樣上下截面不平行，從而導(dǎo)致試樣截面與水平面 的夾角不是θ =70°，引起的角度偏差也會(huì)有好幾度。同時(shí)用目測(cè)的方法來觀測(cè)和調(diào)整試 樣截面的長(zhǎng)度方向(一般為軋制方向)，使其豎直向上，也會(huì)存在很大的偏差，偏差可達(dá)4 10°，甚至更大。這樣，試驗(yàn)精確度難以得到保證。為此，已有人開發(fā)了新技術(shù)。例如，在專利號(hào)分別為“200720157306. 3”和 “200720157305. 9”的實(shí)用新型專利中，公開了這樣一種技術(shù)利用螺桿將一圓臺(tái)固定于掃 描電鏡工作室，然后將電子背散射衍射專用插座插入圓臺(tái)中心插孔中，再將樣品座安裝到專用座的插孔中固定，最后將樣品固定在樣品座上，對(duì)樣品進(jìn)行EBSD檢測(cè)。然而，這種掃描電鏡樣品臺(tái)只是提供一個(gè)試樣承載裝置，沒有對(duì)待測(cè)試樣平面按試驗(yàn)要求進(jìn)行位置精確定 位，無法對(duì)試樣放置方式進(jìn)行有效控制，難以保證試驗(yàn)精確度。專利號(hào)為“200720157303. X”的實(shí)用新型專利涉及一種電子背散射衍射專用樣品座，可用來支撐多個(gè)傾斜角度為70°的專用樣品臺(tái)，可同時(shí)測(cè)定多個(gè)樣品。然而，該專利公 開的樣品臺(tái)固然提高了工作效率，但仍未涉及試樣的精確定位等問題。專利號(hào)“200820002530. X”的實(shí)用新型專利是一種掃描電鏡樣品臺(tái)集合器，是在掃描電鏡工作室安裝一金屬圓臺(tái)，在圓臺(tái)上設(shè)有4-8個(gè)等份通圓孔作為掃描電鏡樣品臺(tái)裝載 裝置，一次性可裝入4-8個(gè)掃描電鏡樣品臺(tái)。然而，如同上述，該專利公開的樣品臺(tái)固然提 高了工作效率和確保掃描電鏡真空度，但未涉及試樣精確定位等裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容為克服所述問題，本實(shí)用新型提出了一種掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，所述掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)可以安裝在掃描電鏡工作室，對(duì)待測(cè)試樣 精確定位的樣品臺(tái)裝置設(shè)計(jì)。本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)可分別 用于測(cè)試試樣表面和試樣截面EBSD時(shí)試樣精確定位。本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)技術(shù)方案如下一種掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，包括電子背散射衍射試樣放置用可 轉(zhuǎn)動(dòng)插座式圓臺(tái)及可插入于所述電子背散射衍射試樣放置用可轉(zhuǎn)動(dòng)插座式圓臺(tái)上的插孔 的插座式樣品臺(tái)，其特征在于，所述插座式樣品臺(tái)朝向電子背散射衍射方向的臺(tái)面為一插 入試樣的凹槽，所述凹槽兩端擋板等高，兩擋板頂部平面處于同一平面上，且與水平面的夾 角為θ = 65-75°，所述插座式樣品臺(tái)朝向電子背散射衍射方向的臺(tái)面與水平面成夾角為 θ = 65-75°。根據(jù)本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，其特征在于，所述插 入試樣的凹槽表面上下部分分別覆蓋以一遮蔽的平板，中部通透，所述上下部分遮蔽的平 板內(nèi)表面處于同一平面上，且與水平面的夾角為θ = 65-75°，二平板外表面標(biāo)上刻度尺， 用于精確調(diào)整試樣軋制方向，所述凹槽內(nèi)設(shè)置彈簧卡子，且彈簧卡子下表面與凹槽底平面 相接觸，此兩彈簧卡子用于斜向支撐試樣。根據(jù)本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，其特征在于，分別用 螺栓通過上下?lián)醢鍌?cè)面中心位置螺孔，將彈簧卡子固定于凹槽內(nèi)。根據(jù)本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，其特征在于，在上下 擋板頂部位置分別加工兩對(duì)稱螺紋孔，在上下?lián)醢鍌?cè)面中心位置分別加工一螺紋孔。根據(jù)本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，其特征在于，所述表 面覆蓋的上部平板為一直角梯形平板，下部平板為一矩形平板。根據(jù)本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，其特征在于，所述兩 平板與凹槽等寬，用螺母將平板固定于擋板頂部螺紋孔中。根據(jù)本實(shí)用新型的這種設(shè)計(jì)，在測(cè)試時(shí)，試樣長(zhǎng)度可以在較大范圍內(nèi)變動(dòng)，滿足不 同長(zhǎng)度規(guī)格試樣的測(cè)試要求。另外，由于在直角梯形平板和矩形平板外表面分別標(biāo)上刻度尺，可用于精確調(diào)整試樣軋制方向，這樣其軋制方向與豎直向上方向間的偏差可控制在0.3°以內(nèi)。而且，這樣即使待測(cè)試樣上下表面不平行，也可保證試樣待測(cè)表面與水平面成一 固定夾角θ = 65-75°，其角度偏差可控制在0.5°以內(nèi)。根據(jù)上述本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，可以對(duì)試樣的測(cè) 試表面進(jìn)行精確定位。根據(jù)本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，其特征在于，所述凹 槽為一具有一定寬度(5-30mm)的貫通槽，所述凹槽側(cè)平面豎直向上。根據(jù)本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，其特征在于，所述貫 通槽側(cè)面中心部位加工一螺紋孔，用一螺桿通過螺紋孔將試樣旋緊。這樣，既可以保證待測(cè)試樣截面與水平面成一固定夾角θ = 65-75°，又使得試 樣軋制方向沿著凹槽的長(zhǎng)邊方向，即豎直向上，其角度偏差可控制在0.3°以下，截面試樣 的放置位置得到了精確定位。測(cè)試時(shí)凹槽中試樣大小可以在較大范圍內(nèi)變動(dòng)，可滿足不同 大小規(guī)格試樣的測(cè)試要求。根據(jù)本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，其 特征在于，所述貫通槽寬5-30mm。試驗(yàn)時(shí)，將制備好的試樣截面放在凹槽中，緊靠凹槽內(nèi)側(cè)表面，再將樣品臺(tái)及試樣 倒置放在一水平面上，調(diào)整試樣高度，使試樣截面與樣品臺(tái)臺(tái)面處在同一平面上，然后用一 螺桿通過另一凹槽側(cè)面中心部位螺紋孔將試樣旋緊，即可以對(duì)試樣截面的測(cè)試表面進(jìn)行精 確定位。根據(jù)上述本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，可以對(duì)試樣的截 面EBSD測(cè)試進(jìn)行精確定位。根據(jù)本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，其特征在于，所述θ =69-71°本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)可分別用于測(cè)試試樣表面 和試樣截面EBSD時(shí)試樣精確定位。用于測(cè)試試樣表面時(shí)，保證試樣待測(cè)表面與水平面成一 固定夾角θ = 65-75°，其角度偏差可控制在0.5°以內(nèi)，并可保證待測(cè)試樣表面沿軋制方 向豎直向上，其角度偏差可控制在0.3°以內(nèi)；對(duì)試樣的截面EBSD測(cè)試進(jìn)行精確定位時(shí)，保 證試樣待測(cè)表面與水平面成一固定夾角θ = 65-75°，其角度偏差可控制在0.5°以內(nèi)，并 可保證試樣截面沿長(zhǎng)度方向豎直向上，其角度偏差可控制在0.3°以內(nèi)。附圖簡(jiǎn)單說明


圖1Α，B分別為本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)的剖視圖及 試樣的測(cè)試表面的A向視圖。圖2Α，B分別為本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，對(duì)試樣的 截面測(cè)試進(jìn)行精確定位時(shí)的主視圖及側(cè)視圖。圖3為以往的電子背散射衍射(EBSD)試樣的樣品臺(tái)示意圖。圖4，5分別為本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)對(duì)試樣的測(cè) 試表面及截面的測(cè)試立體圖。圖中，1為樣品臺(tái)，2為彈簧卡子，3為支桿，4為直角梯形擋板，5為矩形擋板，6為 螺栓，7為擋板側(cè)面螺栓，8為刻度尺，9為電子束，10為探測(cè)器朝向，11為試樣。
具體實(shí)施方式
以下，舉實(shí)施例，具體說明本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)。實(shí)施例1表面EBSD樣品臺(tái)示意圖，見
圖1所示。本裝置由帶槽口擋板的樣品臺(tái)1、彈簧卡子2、支桿3、直角梯形擋板4、矩形擋板5、 擋板頂端螺栓6、擋板側(cè)面螺栓7、刻度尺8八部分構(gòu)成。其中支桿3為一圓柱體，配合掃描電鏡樣品室及樣品臺(tái)要求，支桿3兩端各加工出 一插桿，分別插入樣品臺(tái)1及掃描電鏡樣品室圓臺(tái)插孔中。首先將樣品臺(tái)1加工成直三棱 柱，底面為直角三角形，另一夾角為θ (θ =69-71° )；直三棱柱一側(cè)面(其與兩相鄰側(cè)面 的夾角分別為90°和Θ)中心部位加工一圓孔，供支桿3插入其內(nèi)。直三棱柱斜側(cè)面為樣品臺(tái)1臺(tái)面，要求其表面粗糙度要達(dá)到▽ 0. 4，這個(gè)側(cè)面中間 加工有一定深度的矩形凹槽，上下兩端各保留一擋板，并保證兩擋板頂部平面處于同一平 面上，且與水平面的夾角為θ = 69-71°，兩擋板頂部平面粗糙度應(yīng)達(dá)到VO. 4;在擋板頂 部對(duì)稱加工兩螺紋孔，用螺栓6分別將直角梯形擋板4和矩形平板5固定于兩上下?lián)醢迳希?兩平板下表面處于同一平面上，并且與水平面成一固定角度θ = 69-71°。要求直角梯形擋板4和矩形平板5下表面粗糙度應(yīng)達(dá)到▽ 0. 4。在兩平板的上表 面分別貼上對(duì)稱的刻度尺8，使刻度尺上相同刻度值點(diǎn)之間的連線豎直向上，這樣就可以根 據(jù)刻度尺8上的刻度值來調(diào)整試樣的軋制方向。在樣品臺(tái)上下?lián)醢鍌?cè)面中心位置分別加工一螺旋孔，用螺栓7將彈簧卡子2固定 于凹槽內(nèi)，此彈簧用于支撐試樣11，使試樣11緊貼在兩擋板下表面，保證試樣表面與水平 面成一固定夾角θ = 69-71°。實(shí)施例2對(duì)試樣截面做EBSD測(cè)試時(shí)，見圖2。本裝置為帶矩形槽口的樣品臺(tái)1、螺桿2、支桿3三部分組成，其中支桿3為一圓柱 體，配合掃描電鏡樣品室及樣品臺(tái)要求，支桿3兩端各加工出一插桿，分別插入樣品臺(tái)1及 掃描電鏡樣品室圓臺(tái)插孔中。樣品臺(tái)1加工成直四棱柱，底面為一直角梯形，要求梯形一內(nèi)角為θ(—般為 69-71° )；直四棱柱一側(cè)面(其與兩相鄰側(cè)面的夾角分別為90°和Θ)中心部位加工一圓 孔，供支桿3插入其內(nèi)。直四棱柱斜側(cè)面為樣品臺(tái)1臺(tái)面，其與另一側(cè)面成一固定夾角θ，θ = 69-71°， 并且樣品臺(tái)1臺(tái)面表面粗糙度應(yīng)達(dá)到V0. 4;樣品臺(tái)1臺(tái)面中心部位開一凹槽，此凹槽有一 定寬度(10-20mm)，貫穿整個(gè)樣品臺(tái)，凹槽側(cè)面與直四棱柱底面相平行；凹槽一側(cè)面表面要 求光滑，其表面粗糙度應(yīng)達(dá)到▽ 0. 4 ；從另一側(cè)面中心位置加工一螺紋孔。裝載試樣時(shí)，將試樣11的表面緊靠凹槽內(nèi)表面，使試樣截面與試樣臺(tái)臺(tái)面處于同 一平面上，然后用一螺桿6通過中心螺紋孔將試樣旋緊，固定住試樣，這樣就可保證試樣截 面豎直向上，不會(huì)傾斜，并且試樣截面也與水平面成一固定夾角θ = 69-71°。此套發(fā)明裝置既保證待測(cè)試樣平面與水平面成一試驗(yàn)所要求的角度θ = 69-71°，又保證試樣軋制方向豎直向上，提高了試驗(yàn)精度，可以獲得精確的試驗(yàn)數(shù)據(jù)。測(cè)試?yán)?[0052]對(duì)試樣表面做EBSD測(cè)試時(shí)，安裝試樣時(shí)，輕輕按下兩彈簧卡子，試樣11表面向上， 緊靠?jī)善桨逑卤砻孑p輕滑入槽口中去，利用兩槽口上的刻度尺，調(diào)整試樣的軋制方向，使其 軋制方向與刻度尺兩端同一刻度值相重合，則其軋制方向?yàn)樨Q直向上。試樣待測(cè)表面與水 平面成一固定夾角θ =69-71°將支桿上一插桿插入樣品臺(tái)的圓孔中，再將支桿上另一插 桿插入掃描電鏡樣品室圓臺(tái)插孔中，轉(zhuǎn)動(dòng)支桿，使待測(cè)試樣表面正對(duì)著EBSD探測(cè)器，即可 對(duì)待測(cè)試樣表面進(jìn)行試驗(yàn)。測(cè)試?yán)?對(duì)試樣截面做EBSD測(cè)試時(shí)，安裝試樣時(shí)，將試樣11表面緊靠凹槽內(nèi)表面，將樣品臺(tái)臺(tái)面及試樣截面倒置于一水平面上，使得試樣截面與樣品臺(tái)臺(tái)面處于同一平面，然后用 一螺桿通過螺旋孔將試樣另一表面旋緊，將其固定，這樣就可使得待測(cè)試樣截面與水平面 成一固定角度θ，θ =69-71°，并且截面沿長(zhǎng)度方向豎直向上，不會(huì)傾斜。將支桿上一插 桿插入樣品臺(tái)的圓孔中，再將支桿上另一插桿插入掃描電鏡樣品室圓臺(tái)插孔中，轉(zhuǎn)動(dòng)支桿， 使待測(cè)試樣截面正對(duì)著EBSD探測(cè)器，即可對(duì)待測(cè)試樣截面進(jìn)行試驗(yàn)。實(shí)施例3除了試樣待測(cè)表面與水平面成一固定夾角θ = 66-69°之外，其他如同實(shí)施例1， 制得本實(shí)用新型的表面EBSD樣品臺(tái)。實(shí)施例4除了試樣待測(cè)表面與水平面成一固定夾角θ = 71-73°，之外，其他如同實(shí)施例 1，制得本實(shí)用新型的表面EBSD樣品臺(tái)。實(shí)施例5除了試樣待測(cè)截面與水平面成一固定夾角θ = 66-69°，凹槽有一定寬度 (20-30mm)之外，其他如同實(shí)施例2，制得本實(shí)用新型的截面EBSD樣品臺(tái)。實(shí)施例6除了試樣待測(cè)截面與水平面成一固定夾角θ = 71-73°，凹槽有一定寬度 (5-10mm)之外，其他如同實(shí)施例2，制得本實(shí)用新型的截面EBSD樣品臺(tái)。測(cè)試?yán)?除了試樣待測(cè)表面與水平面成一固定夾角θ = 66-69°之外，其他如同測(cè)試?yán)?， 對(duì)試樣表面做EBSD測(cè)試.測(cè)試?yán)?除了試樣待測(cè)表面與水平面成一固定夾角θ =71-73°之外，其他如同測(cè)試?yán)?， 對(duì)試樣表面做EBSD測(cè)試.測(cè)試?yán)?除了試樣待測(cè)截面與水平面成一固定夾角θ = 66-69°之外，其他如同測(cè)試?yán)?， 對(duì)試樣截面做EBSD測(cè)試。測(cè)試?yán)?除了試樣待測(cè)截面與水平面成一固定夾角θ =71-73°之外，其他如同測(cè)試?yán)?， 對(duì)試樣截面做EBSD測(cè)試。本實(shí)用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)可分別用于測(cè)試試樣表面 和試樣截面EBSD時(shí)試樣精確定位。用于測(cè)試試樣表面時(shí)，保證試樣待測(cè)表面與水平面成一固定夾角θ = 65-75°， 其角度偏差可控制在0.5°以內(nèi)，并可保證待測(cè)試樣表面沿軋制方 向豎直向上，其角度偏差可控制在0.3°以內(nèi)；對(duì)試樣的截面EBSD測(cè)試進(jìn)行精確定位時(shí)，保 證試樣待測(cè)表面與水平面成一固定夾角θ = 65-75°，其角度偏差可控制在0.5°以內(nèi)，并 可保證試樣截面長(zhǎng)度方向豎直向上，其角度偏差可控制在0.3°以內(nèi)。
權(quán)利要求一種掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，包括電子背散射衍射試樣放置用可轉(zhuǎn)動(dòng)插入式圓臺(tái)及可插入于所述電子背散射衍射試樣放置用可轉(zhuǎn)動(dòng)插入式圓臺(tái)上的插孔的插座式樣品臺(tái)，其特征在于，所述插座式樣品臺(tái)朝向電子背散射衍射方向的臺(tái)面為一可插入試樣(11)的凹槽，所述試樣平面平行于臺(tái)面，所述凹槽兩端擋板等高，兩擋板頂部平面處于同一平面上，且與水平面的夾角為θ＝65-75°，所述插座式樣品臺(tái)朝向電子背散射衍射方向的臺(tái)面與水平面成夾角為θ＝65-75°。
2.如權(quán)利要求1所述的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，其特征在于，所述插 入試樣的凹槽表面上下部分分別覆蓋以一遮蔽的平板(4，5)，中部通透，所述上下部分遮 蔽的平板外表面標(biāo)上刻度尺(8)，用于精確調(diào)整試樣軋制方向，二平板內(nèi)表面處于同一平 面上，且與水平面的夾角為θ = 65-75°，所述凹槽內(nèi)設(shè)置用于斜向支撐試樣的彈簧卡子 (2)，且彈簧卡子下表面與凹槽底平面相接觸。
3.如權(quán)利要求1所述的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，其特征在于，分別用 螺栓通過上下?lián)醢鍌?cè)面中心位置螺孔，將彈簧卡子固定于凹槽內(nèi)。
4.如權(quán)利要求1所述的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，其特征在于，在上下 擋板頂部位置分別加工兩對(duì)稱螺紋孔，在上下?lián)醢鍌?cè)面中心位置分別加工一螺紋孔。
5.如權(quán)利要求2所述的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，其特征在于，所述表 面覆蓋的上部平板為一直角梯形平板(4)，下部平板為一矩形平板(5)。
6.如權(quán)利要求2所述的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，其特征在于，所述兩 平板與凹槽等寬，用螺母將平板固定于擋板頂部螺紋孔中。
7.如權(quán)利要求1所述的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，其特征在于，所述凹 槽為一貫通槽，所述貫通槽側(cè)平面豎直向上，所述試樣的截面與臺(tái)面平齊。
8.如權(quán)利要求7所述的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，其特征在于，所述貫 通槽側(cè)面中心部位加工一螺紋孔，用一螺桿通過螺紋孔將試樣旋緊。
9.如權(quán)利要求7所述的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，其特征在于，所述貫 通槽寬5-30mm。
10.如權(quán)利要求1或2所述的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，其特征在于，所 述 θ = 69-71° 。
專利摘要一種掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)，包括試樣放置用可轉(zhuǎn)動(dòng)插入式圓臺(tái)及可插入圓臺(tái)插孔的插座式樣品臺(tái)，所述樣品臺(tái)朝向電子背散射衍射方向的臺(tái)面為一可插入試樣的凹槽，試樣平面平行于臺(tái)面，樣品臺(tái)朝向電子背散射衍射方向的臺(tái)面與水平面成夾角θ＝65-75°。本實(shí)用新型可分別用于測(cè)試試樣表面及截面EBSD時(shí)試樣的精確定位。測(cè)試時(shí)，試樣待測(cè)表面與水平面成夾角θ＝65-75°，角度偏差控制在0.5°以內(nèi)，待測(cè)試樣表面沿軋制方向豎直向上，角度偏差控制在0.3°以內(nèi)；對(duì)試樣截面EBSD測(cè)試進(jìn)行精確定位時(shí)，保證試樣待測(cè)表面與水平面成夾角θ＝65-75°，其角度偏差可控制在0.5°以內(nèi)，并可保證試樣截面沿長(zhǎng)度方向豎直向上，角度偏差控制在0.3°以內(nèi)。
文檔編號(hào)H01J37/20GK201556600SQ20092020979
公開日2010年8月18日 申請(qǐng)日期2009年9月17日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月17日
發(fā)明者張志霞, 胡錦程, 許永泉, 陳旭, 顧佳卿 申請(qǐng)人:寶山鋼鐵股份有限公司