光罩承座滑軌及光罩機(jī)臺的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制程中的曝光顯影的技術(shù)領(lǐng)域，特別是關(guān)于一種光罩承座滑軌及光罩機(jī)臺。
【背景技術(shù)】
[0002]光罩，又稱光掩模版、掩膜版(Mask或Photomask)，其上形成有與半導(dǎo)體芯片對應(yīng)的電路布線圖。半導(dǎo)體芯片在進(jìn)行曝光顯影制程時(shí)，先在被加工物表面上涂上一層光阻，再借由光源的照射將光罩上的電路布線圖案映像至被加工物表面的光阻層上，以使光阻層的化學(xué)性質(zhì)因光源的照射而產(chǎn)生變化，然后再利用去光阻劑來將被光源照射過的光阻或未經(jīng)曝光的光阻自被加工物的表面去除，以形成與光罩對應(yīng)的線路布局。光罩除了應(yīng)用于芯片制造外，還廣泛應(yīng)用于液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)及印制電路板(PrintedCircuit Board, PCB)等領(lǐng)域。
[0003]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的一種光罩機(jī)臺的結(jié)構(gòu)示意圖，請參圖1，該光罩機(jī)臺包括相互平行間隔設(shè)置的兩個(gè)光罩承座滑軌80和一個(gè)光罩承座90，光罩(圖未示)放置于光罩承座90上形成一個(gè)光罩盒，該光罩承座90通過這兩個(gè)滑軌80進(jìn)出曝光室，每個(gè)滑軌80的一個(gè)端部上設(shè)置有擋塊81，該光罩承座90滑動至與擋塊81碰撞后停止滑動。
[0004]然而，由于目前的光罩承座90需通過手動推送而在滑軌80上運(yùn)動，每次光罩盒進(jìn)出機(jī)臺，都要手動操作光罩承座90在滑軌80上滑動，因此，需憑借操作人員的經(jīng)驗(yàn)控制推送光罩承座90的速度、力度與位置。由于目前沒有任何設(shè)備和措施在此方面予以控制，因而操作時(shí)的人員差異對機(jī)臺結(jié)構(gòu)的影響較大。此外，由于光罩承座90與滑軌80末端的擋塊81皆為鐵質(zhì)材料，兩者撞擊時(shí)缺少緩沖，當(dāng)光罩承座90與擋塊81頻繁撞擊后，會導(dǎo)致?lián)鯄K81的位置發(fā)生偏移，長時(shí)間碰撞下?lián)鯄K81甚至?xí)撀?，對機(jī)臺結(jié)構(gòu)存在隱患。另外，若擋塊81位置偏移或脫落，將可能導(dǎo)致光罩損壞，光罩的平均單價(jià)為100KRMB/塊，造成巨大經(jīng)濟(jì)損失。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]有鑒于此，本實(shí)用新型目的在于提供一種光罩承座滑軌，可有效增加光罩承座與擋塊間的緩沖，降低光罩承座與擋塊間的撞擊速度，減少人為操作對光罩機(jī)臺造成的損壞，提高光罩承座運(yùn)作的安全程度。
[0006]為達(dá)到上述優(yōu)點(diǎn)，本實(shí)用新型提供一種光罩承座滑軌，用于供光罩承座進(jìn)行滑動，所述光罩承座滑軌的一個(gè)端部上設(shè)有緩沖擋塊，且所述光罩承座滑軌的上表面于靠近所述緩沖擋塊的位置處設(shè)有減速帶，所述緩沖擋塊包括彈性部，所述光罩承座在所述光罩承座滑軌上滑動并經(jīng)所述減速帶減速后，與所述緩沖擋塊的彈性部形成緩沖接觸而停止。
[0007]在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，所述緩沖擋塊還包括框架，所述框架固定于所述滑軌上，所述彈性部收容于所述框架中，所述彈性部的一部分凸伸出所述框架外而可與所述光罩承座形成緩沖接觸。
[0008]在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，所述框架為一箱型結(jié)構(gòu)，所述框架的一個(gè)側(cè)向具有開口，所述彈性部的一部分從所述開口凸伸出所述框架外。
[0009]在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，所述減速帶與所述緩沖擋塊之間的距離為5厘米。
[0010]在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，所述減速帶沿所述光罩承座滑軌的長度方向上的長度為3厘米。
[0011]在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，所述減速帶為在所述光罩承座滑軌的上表面進(jìn)行打磨而形成的磨砂面。
[0012]在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，所述彈性部由耐磨無塵橡膠制成。
[0013]本實(shí)用新型還提供一種光罩機(jī)臺，包括光罩承座，所述光罩承座上放置光罩，所述光罩機(jī)臺還包括兩個(gè)相互平行且間隔設(shè)置的如上所述的光罩承座滑軌，所述光罩承座可沿著兩個(gè)所述光罩承座滑軌滑動。
[0014]綜上所述，本實(shí)用新型在光罩承座滑軌的端部上設(shè)置的擋塊具有彈性，可在光罩承座與擋塊碰撞時(shí)進(jìn)行緩沖。同時(shí)，在滑軌上于靠近擋塊的位置處增加了減速帶，既可以在接近擋塊時(shí)降低光罩承座沿滑軌的滑動速度，又可以提示操作者光罩承座即將與擋塊撞擊，提示請小心操作。因此，本實(shí)用新型的光罩承座滑軌可減少人為操作對光罩機(jī)臺造成的損壞，提高光罩承座運(yùn)作的安全程度，避免光罩損壞而造成巨大經(jīng)濟(jì)損失。
【附圖說明】
[0015]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中光罩機(jī)臺的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例中光罩機(jī)臺的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖3為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例中緩沖擋塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]為更進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型為達(dá)成預(yù)定實(shí)用新型目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。
[0019]圖2為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例中光罩機(jī)臺的結(jié)構(gòu)示意圖，請參圖2，該光罩機(jī)臺包括兩個(gè)相互平行且間隔設(shè)置的滑軌10和一個(gè)光罩承座20，兩個(gè)滑軌10的結(jié)構(gòu)相同，光罩承座20可沿著兩個(gè)滑軌10滑動，光罩承座20用于放置光罩(圖未示)。
[0020]進(jìn)一步地，每個(gè)滑軌10的一個(gè)端部上設(shè)有緩沖擋塊13，且每個(gè)滑軌10的上表面于靠近緩沖擋塊13的位置處設(shè)有減速帶11，光罩承座20在滑軌10上滑動并經(jīng)減速帶11減速后，與緩沖擋塊13形成緩沖接觸而停止滑動。兩個(gè)滑軌10上的緩沖擋塊13和減速帶11的位置均分別相互對應(yīng)。
[0021]圖3為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例中緩沖擋塊的結(jié)構(gòu)示意圖，請參圖3，緩沖擋塊13包括彈性部131與框架132，框架132為一箱型結(jié)構(gòu)，該框架132于朝向光罩承座20的一個(gè)側(cè)向具有一開口 133，彈性部132收容于框架132中并與框架132的每個(gè)內(nèi)表面相抵靠而固定，框架132的底面固定(例如焊接)于對應(yīng)的滑軌10上，彈性部131的一部分從框架132的開口 133凸伸出框架132外而可與光罩承座20形成抵靠接觸。為使緩沖擋塊13具有彈性以及耐沖擊的強(qiáng)度，彈性部131由耐磨無塵橡膠制成，框架132由金屬材料或其它強(qiáng)度高、不易變形的材料制成，彈性部131與框架132分開設(shè)計(jì)，便于對彈性部131進(jìn)行更換?？衫斫獾?，緩沖擋塊13的結(jié)構(gòu)并不僅限于此，彈性部131與框架132也可為一體設(shè)計(jì)，只需在擋塊13上形成可與光罩承座20形成抵靠接觸并進(jìn)行緩沖的彈性部即可。
[0022]在本實(shí)施例中，減速帶11與緩沖擋塊13之間的距離優(yōu)選為5厘米。減速帶11沿滑軌10的長度方向上的長度優(yōu)選為3厘米。在本實(shí)施例中，減速帶11為通過對滑軌10的上表面進(jìn)行打磨而形成磨砂面，但不以此為限。減速帶11也可以為固定在滑軌10的上表面的其它具有減速功能的結(jié)構(gòu)。可理解的，減速帶11與緩沖擋塊13的間隔距離與減速帶11的長度還可根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)定，在此不作限制。
[0023]操作時(shí)，沿滑軌10向前推送光罩承座20，當(dāng)光罩承座20滑動至減速帶11時(shí)，光罩承座20與滑軌10的上表面之間的摩擦增大，減速帶11的設(shè)置相當(dāng)于在滑軌10上為光罩承座20構(gòu)建了一個(gè)減速區(qū)，使光罩承座20滑動至減速帶11時(shí)減速。在經(jīng)過減速帶11之后，再輕輕向前推動光罩承座20，使其繼續(xù)前進(jìn)并與緩沖擋塊13的彈性部132觸碰停止即可。
[0024]綜上所述，本實(shí)用新型的光罩承座滑軌的端部上設(shè)置的擋塊具有彈性，可在光罩承座與擋塊碰撞時(shí)進(jìn)行緩沖。同時(shí)，在滑軌上于靠近擋塊的位置處增加了減速帶，既可以在接近擋塊時(shí)降低光罩承座沿滑軌的滑動速度，又可以提示操作者光罩承座即將與擋塊撞擊，提示請小心操作。因此，本實(shí)用新型的光罩承座滑軌可減少人為操作對光罩機(jī)臺造成的損壞，提高光罩承座運(yùn)作的安全程度，避免光罩損壞而造成巨大經(jīng)濟(jì)損失。
[0025]以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對本實(shí)用新型作任何形式上的限制，雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本實(shí)用新型，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光罩承座滑軌，用于供光罩承座進(jìn)行滑動，其特征在于:所述光罩承座滑軌的一個(gè)端部上設(shè)有緩沖擋塊，且所述光罩承座滑軌的上表面于靠近所述緩沖擋塊的位置處設(shè)有減速帶，所述緩沖擋塊包括彈性部，所述光罩承座在所述光罩承座滑軌上滑動并經(jīng)所述減速帶減速后，與所述緩沖擋塊的彈性部形成緩沖接觸而停止。
2.如權(quán)利要求1所述的光罩承座滑軌，其特征在于:所述緩沖擋塊還包括框架，所述框架固定于所述滑軌上，所述彈性部收容于所述框架中，所述彈性部的一部分凸伸出所述框架外而可與所述光罩承座形成緩沖接觸。
3.如權(quán)利要求2所述的光罩承座滑軌，其特征在于:所述框架為一箱型結(jié)構(gòu)，所述框架的一個(gè)側(cè)向具有開口，所述彈性部的一部分從所述開口凸伸出所述框架外。
4.如權(quán)利要求1所述的光罩承座滑軌，其特征在于:所述減速帶與所述緩沖擋塊之間的距離為5厘米。
5.如權(quán)利要求1所述的光罩承座滑軌，其特征在于:所述減速帶沿所述光罩承座滑軌的長度方向上的長度為3厘米。
6.如權(quán)利要求1所述的光罩承座滑軌，其特征在于:所述減速帶為在所述光罩承座滑軌的上表面進(jìn)行打磨而形成的磨砂面。
7.如權(quán)利要求1所述的光罩承座滑軌，其特征在于:所述彈性部由耐磨無塵橡膠制成。
8.一種光罩機(jī)臺，包括光罩承座，所述光罩承座上放置光罩，其特征在于:所述光罩機(jī)臺還包括兩個(gè)相互平行且間隔設(shè)置的如權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的光罩承座滑軌，所述光罩承座可沿著兩個(gè)所述光罩承座滑軌滑動。
【專利摘要】一種光罩承座滑軌，用于供光罩承座進(jìn)行滑動，所述光罩承座滑軌的一個(gè)端部上設(shè)有緩沖擋塊，且所述光罩承座滑軌的上表面于靠近所述緩沖擋塊的位置處設(shè)有減速帶，所述緩沖擋塊包括彈性部，所述光罩承座在所述光罩承座滑軌上滑動并經(jīng)所述減速帶減速后，與所述緩沖擋塊的彈性部形成緩沖接觸而停止。本實(shí)用新型在滑軌上設(shè)有緩沖擋塊與減速帶，可有效減少人為操作對光罩機(jī)臺造成的損壞，提高光罩承座運(yùn)作的安全程度，避免光罩損壞而造成巨大經(jīng)濟(jì)損失。
【IPC分類】G03F7-20
【公開號】CN204314607
【申請?zhí)枴緾N201520003899
【發(fā)明人】王楠
【申請人】昆山龍騰光電有限公司
【公開日】2015年5月6日
【申請日】2015年1月5日