用于透鏡組件的uv保護(hù)涂層的制作方法
【專(zhuān)利說(shuō)明】用于透鏡組件的UV保護(hù)涂層
[0001 ] 本申請(qǐng)要求2013年9月6日提交的美國(guó)申請(qǐng)序列號(hào)14/020102在美國(guó)法典第35篇第120條款下的優(yōu)先權(quán)的權(quán)益，其內(nèi)容通過(guò)引用以其全文依賴(lài)且結(jié)合在此。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本說(shuō)明書(shū)總體上涉及透鏡的保護(hù)涂層以及用于將透鏡粘附至光學(xué)系統(tǒng)的方法。
【背景技術(shù)】
[0003]透鏡系統(tǒng)被用于各種最終用戶(hù)應(yīng)用，包括用于光刻和半導(dǎo)體檢查設(shè)備。在這些應(yīng)用中，來(lái)自光源的光被引入到系統(tǒng)以便進(jìn)行操作。然而，在一些應(yīng)用中，引入到透鏡元件的UV光可降解(degrade)被定位成將透鏡元件耦合至透鏡固持器的粘合劑。粘合劑的降解可導(dǎo)致透鏡元件的未對(duì)準(zhǔn)。
[0004]從而，用于光學(xué)系統(tǒng)的UV保護(hù)涂層是可期望的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，描述了一種光學(xué)組件，包括:透鏡;光吸收劑，該光吸收劑不透射具有從大于或等于大約250nm至小于或等于大約400nm的波長(zhǎng)的光;透鏡固持器；以及粘合劑，該粘合劑被配置成用于將該透鏡粘附至該透鏡固持器。該光吸收劑被定位從而使得具有從大于或等于大約190nm至小于或等于大約500nm的波長(zhǎng)的光無(wú)法入射至該粘合劑。
[0006]在另一個(gè)實(shí)施例中，描述了一種光學(xué)組件，包括:透鏡;光吸收劑，該光吸收劑不透射具有從大于或等于大約190nm至小于或等于大約500nm的波長(zhǎng)的光；以及定位于該光吸收劑上的保護(hù)層。
[0007]在又一個(gè)實(shí)施例中，描述了一種用于減少光學(xué)組件中的粘合劑的降解的方法，包括:將光吸收劑應(yīng)用于透鏡，其中，該光吸收劑不透射具有從大于或等于大約190nm至小于或等于大約500nm的波長(zhǎng)的光;配置所述光吸收劑和所述粘合劑從而使得具有從大于或等于大約190nm至小于或等于大約500nm的波長(zhǎng)的光無(wú)法入射至所述粘合劑。
[0008]附加特征以及優(yōu)點(diǎn)將在以下詳細(xì)描述中予以闡明、并且部分從該描述中對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言將變得非常明顯或者通過(guò)實(shí)踐本文中所描述的實(shí)施例很容易被識(shí)別，包括以下詳細(xì)描述、權(quán)利要求書(shū)以及所附附圖。
[0009]應(yīng)當(dāng)理解，上述概括描述和以下詳細(xì)描述兩者均描述各實(shí)施例并且旨在為理解所請(qǐng)求保護(hù)的主題的本質(zhì)和特征提供概要或框架。附圖被包括以便提供對(duì)各實(shí)施例的進(jìn)一步理解，并被結(jié)合在本說(shuō)明書(shū)中并構(gòu)成本說(shuō)明書(shū)的一部分。附圖展示了本文所描述的各實(shí)施例，并且與詳細(xì)描述一起用于解釋所請(qǐng)求包括的主題的原理和操作。
【附圖說(shuō)明】
[0010]附圖中闡明的實(shí)施例在本質(zhì)上是說(shuō)明性的且示例性的并且并不旨在限制由權(quán)利要求書(shū)限定的主題。當(dāng)結(jié)合以下附圖閱讀時(shí)，能夠理解說(shuō)明性實(shí)施例的以下詳細(xì)描述，其中，相似結(jié)構(gòu)用相似參考數(shù)字指示，并且在附圖中:
[0011]圖1示意性地描繪了根據(jù)本文中所示出或描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的具有耦合至透鏡固持器的透鏡的光學(xué)系統(tǒng)的切除前視圖；
[0012]圖2示意性地描繪了根據(jù)本文中所示出或描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的具有耦合至透鏡固持器的透鏡的透鏡組件的俯視圖；
[0013]圖3示意性地描繪了根據(jù)本文中所示出或描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的具有耦合至透鏡固持器的透鏡的透鏡組件的沿圖2的線A-A示出的截面前視圖；
[0014]圖4示意性地描繪了根據(jù)本文中所示出或描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的具有耦合至透鏡固持器的透鏡的透鏡組件的在圖3的視圖J示出的詳細(xì)截面前視圖；
[0015]圖5示意性地描繪了根據(jù)本文中所示出或描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的具有耦合至透鏡固持器的透鏡的透鏡組件的俯視圖；
[0016]圖6示意性地描繪了根據(jù)本文中所示出或描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的具有耦合至透鏡固持器的透鏡的透鏡組件的沿圖5的線B-B示出的截面前視圖；
[0017]圖7示意性地描繪了根據(jù)本文中所示出或描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的用于將透鏡粘附至透鏡固持器的層狀結(jié)構(gòu)；
[0018]圖8示意性地描繪了根據(jù)本文中所示出或描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的包括防反射層和保護(hù)層的用于將透鏡粘附至透鏡固持器的層狀結(jié)構(gòu)；
[0019]圖9示意性地描繪了根據(jù)本文中所示出或描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的包括多個(gè)防反射層和多個(gè)吸收劑的用于將透鏡粘附至透鏡固持器的層狀結(jié)構(gòu)；以及
[0020]圖10是根據(jù)實(shí)施例示出了透鏡組件的透射率和反射率的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]現(xiàn)在將詳細(xì)參照具有透鏡和透鏡固持器的透鏡組件以及用于將透鏡粘附至透鏡組件的方法的各實(shí)施例。結(jié)合透鏡組件的光學(xué)系統(tǒng)的各實(shí)施例可包括透鏡和透鏡固持器。該透鏡可通過(guò)粘合劑固定到該透鏡固持器上。該粘合劑以多種配置被安排在透鏡被配置成與透鏡固持器相接觸的位置處。在各實(shí)施例中，包括透鏡和透鏡固持器的該透鏡組件可被結(jié)合在包括光源以便向透鏡提供光的光學(xué)系統(tǒng)中。該光源可具有能夠在粘合劑暴露于光源時(shí)降解粘合劑的波長(zhǎng)。因此，在各實(shí)施例中，該透鏡組件包括被定位以便防止粘合劑暴露于降解光的吸收劑。
[0022]參考圖1，示意性地描繪了光學(xué)系統(tǒng)90的一部分，為了簡(jiǎn)潔，某些部件被切除。在所描繪的實(shí)施例中，光學(xué)系統(tǒng)90包括光源92、至少一個(gè)波束成形元件94、透鏡組件100以及零件載體96。透鏡組件100包括透鏡固持器110和透鏡130。由光源92提供的光被引導(dǎo)通過(guò)透鏡組件100的透鏡130，其朝向被支撐在零件載體96上的工件80透射并反射光。光學(xué)系統(tǒng)90可被用于在工件80上例如以光刻工藝進(jìn)行制造操作，例如檢查工件80或修改工件80。
[0023]現(xiàn)在參考圖2，描繪了透鏡組件100的一個(gè)實(shí)施例。在此實(shí)施例中，透鏡組件100包括透鏡固持器110和透鏡130。在圖3中以橫截面被示出的透鏡固持器110包括緊固部分112和透鏡支撐部分118。緊固部分112包括多個(gè)安裝元件114，該多個(gè)安裝元件提供固定位置以便耦合光學(xué)系統(tǒng)中的透鏡固持器110和/或光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)的其他透鏡固持器。在圖2示出的實(shí)施例中，通孔穿過(guò)緊固部分112。緊固部分112也可包括定時(shí)元件116，例如鍵和/或鍵槽。定時(shí)元件116可提供光學(xué)系統(tǒng)90的相鄰部件之間的定向參考從而使得光學(xué)系統(tǒng)90的部件的對(duì)準(zhǔn)能夠被維持。
[0024]在所描繪的實(shí)施例中，透鏡支撐部分118以徑向地向內(nèi)定向從緊固部分112延伸。如在圖4中詳細(xì)描繪的，透鏡支撐部分118可包括平坦部分124和波形形狀部分126。在此實(shí)施例中，波形形狀部分126位于距離平坦部分124的徑向地向內(nèi)位置處。波形形狀部分126可被成形為符合在透鏡130通過(guò)粘合劑140耦合至透鏡支撐部分118的位置處的透鏡130的大體形狀。
[0025]參考圖4，透鏡130的附接部分134用粘合劑140耦合至透鏡支撐部分118。在一些實(shí)施例中，粘合劑140定位在圍繞透鏡130以圓周定向被安排的多個(gè)位置處。粘合劑140的區(qū)域可在粘合劑140的區(qū)域之間的中間周向位置處彼此分離，從而使得透